JP2001272324A - 試料ホルダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課 題】 ＳＴＭで使用する試料ホルダを、ＦＥＭ
またはＦＩＭで使用するアパーチャホルダとしても使用
可能にすること。 【解決手段】 試料ホルダＳＨは、互いに着脱可能に構
成された搬送棒連結部材ＳＨ２およびステージ着脱部材
ＳＨ１を有し、試料ステージに対して進退移動可能且つ
軸周りに回転可能なホルダ搬送棒ＨＢにより搬送されて
前記試料ステージに着脱可能に装着される。前記ステー
ジ着脱部材ＳＨ１は、試料ステージ側端部およびホルダ
搬送棒側端部間に形成された貫通孔４６ａを有する筒状
本体４６を有しており、搬送棒連結部材ＳＨ２が離脱し
た状態では電子、イオンが通過可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＳＴＭ（Scanning
Tunneling Microscope 走査型トンネル顕微鏡）およ
び、ＦＥＭ（Field Emission Microscopy 電界放射顕微
鏡）、ＦＩＭ（Field Ion Microscopy 電界イオン顕微
鏡）等で使用可能なアパーチャホルダ兼用の試料ホルダ
に関する。本発明のアパーチャホルダ兼用の試料ホルダ
は、ＡＦＭ（Atomic Force Microscope 原子間力顕微
鏡）、ＵＨＶ（Ultra High Vacuum）−ＳＴＭ（超高真
空走査型トンネル顕微鏡）、ＵＨＶ（Ultra High Vacuu
m）−ＡＦＭ（超高真空原子間力顕微鏡）等のＳＰＭ（S
canning Probe Microscope 走査型プローブ顕微鏡でも
使用可能である。

【０００２】

【従来の技術】ＵＨＶ（超高真空）下で使用するＳＴＭ
（走査型トンネル顕微鏡）は、プローブ（探針）を試料
表面に近づけることにより得られるトンネル電流を利用
して表面の凹凸の情報を得たり、試料表面の原子配列等
の情報を得るために使用されている。前記プローブを１
０００℃以上の高温で加熱しながら１０ｋｖ程度の高電
圧を印加すると、プローブ先端は非常に鋭く尖ったもの
と同様になる。これはＳＴＭにおいてはとても有利な条
件である。また、プローブを高温加熱することによりプ
ローブに付着した不純物を除去すること（プローブをク
リーニングすること）ができる。

【０００３】また、前記プローブを高温加熱し且つ１０
ｋｖ程度の高電圧を印加しながらパルス電圧を重畳する
と、電子が出易い状態となる。前記印加する高電圧をマ
イナスにすると電子がプローブ先端から飛び出し、プラ
スにすると周囲の気体が電離してイオンが発生する。試
料により形成したプローブと、前記プローブに対向して
配置したアパーチャ（電子通過孔またはイオン通過孔の
ある電極）との間に高電界を印加し且つプローブ（試
料）に印加する前記高電圧をマイナスにしたＦＥＭ（Fi
eld Emission Microscopy 電界放射顕微鏡）では、プロ
ーブ（試料）先端から飛び出す電子をＭＣＰ（Micro Ch
annel Plate）等により倍増して蛍光スクリーンに投射
することにより試料(プローブ)先端の原子構造が分か
る。また、清浄表面のＦＥＭ像は仕事関数に依存した明
暗像となり、仕事関数は緻密な面ほど大きく、粗い面で
は小さいので明暗模様の対称性から各結晶面の同定が行
える。

【０００４】また、前記試料（プローブ）に印加する前
記高電圧をプラスにしたＦＩＭ（Field Ion Microscopy
電界イオン顕微鏡）では、前記プローブ（試料）とア
パーチャ（電子通過孔またはイオン通過孔のある電極）
との間の気体の電離により発生するイオンをＭＣＰ等に
より倍増して蛍光スクリーンに映したＦＩＭ像により試
料（プローブ）の先端の原子１つ１つがはっきり識別で
き、原子構造が分かる。また、質量分析器で検出するこ
とにより試料（プローブ）の質量分析を行うことができ
る。

【０００５】ＦＥＭ、ＦＩＭの試料ステージはＳＴＭ試
料ステージにＦＥＭ、ＦＩＭを行える機能を持たせた構
成となっており、ＳＴＭの試料ホルダと、ＦＥＭまたは
ＦＩＭのアパーチャホルダは、試料ステージ上の同じと
ころに装着される。図１３は従来の試料ステージのホル
ダ装着部に装着されるＳＴＭ用の試料ホルダおよびＦＩ
Ｍ（またはＦＥＭ）用の試料ホルダの説明図であり、図
１３Ａは試料ステージのホルダ装着部に、ＳＴＭ用の試
料ホルダを装着した状態を示す図、図１３Ｂは同じホル
ダ装着部にＦＩＭ（またはＦＥＭ）用の試料ホルダを装
着した状態を示す図である。図１３Ａにおいて、試料ス
テージのホルダ装着部０１には試料ホルダ０２が着脱可
能に装着されており、試料ホルダ０２には試料Ｓが支持
されている。前記試料Ｓに対向してプローブＰの先端が
配置されている。前記試料ホルダ０２にはホルダ搬送棒
に着脱可能に装着される被着脱部０２ａが設けられてい
る。

【０００６】図１３Ｂにおいて、試料ステージのホルダ
装着部０１には試料ホルダ０３が着脱可能に装着されて
おり、試料ホルダ０３にはアパーチャ（電子通過孔また
はイオン通過孔のある電極）Ａが支持されている。前記
アパーチャＡに対向して試料としてのプローブＰの先端
が配置されている。前記プローブＰ先端から出た電子ま
たは、プローブＰおよびアパーチャＡ間の気体の電離に
より生成されたイオンはアパーチャＡを通ってプローブ
Ｐと反対側に配置された検出器Ｄにより検出される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】前記図１３Ｂにおい
て、前記検出器ＤおよびプローブＰは、試料ホルダ０３
の反対側に存在する。このため試料ホルダ０３は、前記
図１３Ａに示すような被着脱部０２ａのある形状のもの
を使用することができない。したがって、ＳＴＭ、ＦＩ
Ｍ（またはＦＥＭ）で同じ試料ステージを使用する場
合、試料ホルダ０２を着脱可能に装着して搬送するホル
ダ搬送棒（図示せず）と、試料ホルダ０３を着脱可能に
装着して搬送するホルダ搬送棒（図示せず）とは、それ
ぞれ異なる構成のものを用意する必要がある。その場
合、構成が異なる２種類のホルダおよびホルダ搬送棒を
用意しなければならないので、それらの保管に必要なス
ペースを確保する必要が生じる。また、２種類のホルダ
およびホルダ搬送棒の製造や、保管スペースを確保する
ために、コストアップになるという問題点もある。

【０００８】本発明は、前述の問題点に鑑み、下記の記
載内容（Ｏ01），（Ｏ02）を課題とする。 （Ｏ01）ＳＴＭで使用する試料ホルダを、ＦＥＭまたは
ＦＩＭで使用するアパーチャホルダとしても使用可能に
すること。 （Ｏ02）ＳＴＭで使用する試料ホルダと、ＦＥＭまたは
ＦＩＭで使用するアパーチャホルダとを同じホルダ搬送
棒を使用して搬送可能にすること。

【０００９】

【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決し
た本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施
例の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符
号をカッコで囲んだものを付記する。また、本発明を後
述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明
の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例
に限定するためではない。

【００１０】（本発明）前記課題を解決するために、本
発明の試料ホルダは、下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ0
3）を備えたことを特徴とする。 （Ａ01）互いに着脱可能に構成された搬送棒連結部材
（ＳＨ２）およびステージ着脱部材（ＳＨ１）を有し、
試料ステージ（Ｔ）に対して進退移動可能且つ軸周りに
回転可能なホルダ搬送棒（ＨＢ）により搬送されて前記
試料ステージ（Ｔ）に着脱可能に装着される試料ホルダ
（ＳＨ）、（Ａ02）前記ホルダ搬送棒（ＨＢ）の進退移
動により前記ホルダ搬送棒（ＨＢ）に連結・離脱可能な
搬送棒連結部（ＨＰ＋６６＋６７）と前記ホルダ搬送棒
（ＨＢ）の進退移動および回転移動により前記ステージ
着脱部材（ＳＨ１）に連結・離脱可能な連結・離脱部
（ＧＰ＋６１〜６５）とを有する前記搬送棒連結部材
（ＳＨ２）、（Ａ03）互いに連結された前記搬送棒連結
部材（ＳＨ２）および前記ステージ着脱部材（ＳＨ１）
がホルダ搬送棒（ＨＢ）により試料ステージ（Ｔ）に搬
送された際、前記試料ステージ（Ｔ）のホルダ着脱部
（２１ｄ＋３０）に押し付けられるとともに押し付けら
れた状態でホルダ搬送棒（ＨＢ）を回転させることによ
り前記ホルダ着脱部（２１ｄ＋３０）に着脱されるステ
ージ着脱部（４７）と、ホルダ搬送棒（ＨＢ）と反対側
の端部である試料ステージ側端部に設けられた試料
（Ｓ）およびアパーチャ（Ａ）を交換可能に保持する試
料保持部（５５ｂ＋５６＋５７）と、ホルダ搬送棒（Ｈ
Ｂ）側の端部に設けられて前記搬送棒連結部材（ＳＨ
２）に着脱可能な連結部材着脱部（４６ａ＋５０）と、
前記試料ステージ側端部およびホルダ搬送棒側端部間に
形成された貫通孔（４６ａ）と、を有する筒状の前記ス
テージ着脱部材（ＳＨ１）。

【００１１】（本発明の作用）前記構成を備えた本発明
の試料ホルダ（ＳＨ）では、互いに着脱可能に構成され
た搬送棒連結部材（ＳＨ２）およびステージ着脱部材
（ＳＨ１）を有する。前記ステージ着脱部材（ＳＨ１）
のホルダ搬送棒（ＨＢ）側の端部に設けられた連結部材
着脱部（４６ａ＋５０）と、前記搬送棒連結部材（ＳＨ
２）の連結・離脱部（ＧＰ＋６１〜６５）とは、連結・
離脱可能である。前記搬送棒連結部材（ＳＨ２）および
ステージ着脱部材（ＳＨ１）が連結された状態の試料ホ
ルダ（ＳＨ）の前記搬送棒連結部材（ＳＨ２）の搬送棒
連結部（ＨＰ＋６６＋６７）に対して、前記ホルダ搬送
棒（ＨＢ）を進退移動させることにより、前記ホルダ搬
送棒（ＨＢ）は搬送棒連結部（ＨＰ＋６６＋６７）に連
結・離脱する。

【００１２】前記ホルダ搬送棒（ＨＢ）に試料ホルダ
（ＳＨ）の搬送棒連結部（ＨＰ＋６６＋６７）を連結し
た状態で、ホルダ搬送棒（ＨＢ）により前記試料ホルダ
（ＳＨ）を搬送して、ステージ着脱部材（ＳＨ１）のス
テージ着脱部（４７）を前記試料ステージ（Ｔ）のホル
ダ着脱部（２１ｄ＋３０）に押し付けるとともに押し付
けた状態でホルダ搬送棒（ＨＢ）を回転させると、試料
ホルダ（ＳＨ）は、試料ステージ（Ｔ）のホルダ着脱部
（２１ｄ＋３０）に装着される。その状態でホルダ搬送
棒（ＨＢ）を試料ステージ（Ｔ）から後退させると、ホ
ルダ搬送棒（ＨＢ）は試料ホルダ（ＳＨ）の搬送棒連結
部（ＨＰ＋６６＋６７）から離脱し、試料ホルダ（Ｓ
Ｈ）は試料ステージ（Ｔ）に装着された状態に保持され
る。

【００１３】また、ホルダ搬送棒（ＨＢ）により試料ホ
ルダ（ＳＨ）を試料ステージ（Ｔ）のホルダ着脱部（２
１ｄ＋３０）に装着した状態で、ホルダ搬送棒（ＨＢ）
を進退移動および回転移動させることにより、前記ステ
ージ着脱部材（ＳＨ１）の連結部材着脱部（４６ａ＋５
０）と、前記搬送棒連結部材（ＳＨ２）の連結・離脱部
（ＧＰ＋６１〜６５）とを離脱させることが可能であ
る。前記前記ステージ着脱部材（ＳＨ１）および搬送棒
連結部材（ＳＨ２）を離脱させた状態で、ホルダ搬送棒
（ＨＢ）を試料ステージ（Ｔ）から後退させると、ホル
ダ搬送棒（ＨＢ）および搬送棒連結部材（ＳＨ２）が試
料ステージ（Ｔ）から後退して、試料ホルダ（ＳＨ）の
ステージ着脱部材（ＳＨ１）のみを試料ステージ（Ｔ）
に装着することができる。

【００１４】ステージ着脱部材（ＳＨ１）の前記ホルダ
搬送棒（ＨＢ）と反対側の端部である試料ステージ側端
部に設けられた試料保持部（５５ｂ＋５６＋５７）は、
試料（Ｓ）およびアパーチャ（Ａ）を交換可能に保持す
ることができる。前記試料ステージ（Ｔ）に装着された
ステージ着脱部材（ＳＨ１）は、前記試料ステージ側端
部およびホルダ搬送棒側端部間に形成された貫通孔（４
６ａ）を有する筒状部材である。したがって、前記ステ
ージ着脱部材（ＳＨ１）の試料保持部（５５ｂ＋５６＋
５７）にアパーチャ（Ａ）を保持した状態では、アパー
チャ（Ａ）の前記ホルダ搬送棒（ＨＢ）側とは反対側に
ＦＩＭまたはＦＥＭのプローブ（Ｐ）を配置した場合
に、プローブ（Ｐ）から出た電子またはプローブ（Ｐ）
およびアパーチャ（Ａ）間で発生したイオンを、前記ス
テージ着脱部材（ＳＨ１）の貫通孔（４６ａ）から、プ
ローブ（Ｐ）と反対側に通過させることができる。した
がって前記試料ホルダ（ＳＨ）は、ＳＴＭ、ＦＩＭ、お
よびＦＥＭ等に使用することができる。

【００１５】（実施例）次に図面を参照しながら本発明
の走査型プローブ顕微鏡の実施の形態の具体例（実施
例）を説明するが、本発明は以下の実施例に限定される
ものではない。なお、以後の説明の理解を容易にするた
めに、図面において、前後方向をＸ軸方向、右左方向を
Ｙ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，
Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞ
れ、前方、後方、右方、左方、上方、下方、または、前
側、後側、右側、左側、上側、下側とする。また、図
中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏か
ら表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載
されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するも
のとする。

【００１６】（実施例１）図１は本発明の試料ホルダが
装着される試料ステージを備えた走査型プローブ顕微鏡
の実施例１の全体説明図である。図２は前記図１の要部
拡大図である。図３は前記図１のIII−III線断面拡大図
である。図４は前記図１に示すスライドベースの位置決
め部材の説明図である。図５は実施例１の試料ステージ
の位置調整部材の説明図で図２のＶ−Ｖ線断面図であ
る。図６は前記図３のＶI−ＶI線断面図である。

【００１７】図１において、走査型プローブ顕微鏡ＳＰ
Ｍを収容する真空試料室Ａ１を形成する外壁１には、−
Ｘ側部分に円筒状の連通路２ａおよび仕切弁２ｂを介し
て試料交換室Ａ２が接続され、Ｘ側部分に試料ステージ
支持フランジ３が設けられ、上側に昇降ロッド支持フラ
ンジ４および観察窓５が設けられている。

【００１８】前記試料交換室Ａ２の外壁（図示せず）に
は、ホルダ搬送棒ＨＢがＸ軸方向に進退移動可能に支持
されている。前記ホルダ搬送棒ＨＢは試料ホルダＳＨ
を、前記仕切弁２を通って真空試料室Ａ１および試料交
換室Ａ２間で搬送する。前記真空試料室Ａ１内に配置さ
れた大ベース６は前記試料ステージ支持フランジ３の内
側に支持されている。前記大ベース６上に、順次、Ｘテ
ーブルＴｘ、ＹテーブルＴｙ、および回転テーブルＴｒ
が支持されており、前記回転テーブルＴｘ上に、４個の
防振ユニット７を介して小ベース８が支持されている。
小ベース８には位置決め部材貫通口８ａが形成されてい
る。

【００１９】前記小ベース８により後述の試料ステージ
Ｔが支持されている。試料ステージＴには、図１、図２
および図５の実線で示す状態で試料搬送棒ＨＢにより搬
送される試料ホルダＳＨが着脱される。図３において外
壁１には、図１に示す試料ステージＴをＦＩＭ（Field
Ion Microscopy 電界イオン顕微鏡）として使用する場
合の質量分析器Ｄが支持されている。図１〜図３に示す
試料ステージＴをＦＩＭで使用する場合、前記試料ステ
ージＴを前記質量分析器Ｄに対向させるために、回転テ
ーブルＴｒを回転させて小ベース８を２点鎖線で示す位
置（図３参照）に回転移動させる。

【００２０】（プローブステージ）前記小ベース８には
Ｘ軸方向に延びるレール（図示せず）によりスライドベ
ースＳＢ（図３参照）が移動可能に支持されている。ス
ライドベースＳＢは、２本の引張バネＳＰ，ＳＰにより
−Ｘ方向に引っ張られている。図２、図４において、小
ベース８の下面の位置決め部材貫通口８ａに対応する位
置に一対のヒンジ連結部材９，９が固定されている。前
記スライドベースＳＢを位置決めする位置決め部材１０
は、上端部のＵ字型部分１０ａとその中央部から下方に
延びる直線状ロッド部分１０ｂとを有しており、その直
線状ロッド部分１０ｂ上端部のヒンジ連結部１０ｃは前
記一対のヒンジ連結部材９，９によりヒンジ連結され
て、Ｘ軸方向に揺動可能である。前記位置決め部材１０
のＵ字型部分１０ａの両端部は、前記スライドベースＳ
Ｂの−Ｘ方向を向いた端面に当接しており、下端部はス
ライドベース位置制御ロッド１１の先端部（−Ｘ側の端
部）に当接している。

【００２１】スライドベース位置制御ロッド１１の前端
部（Ｘ端部）は二股に形成されておりその前方には、回
転軸Ｍ０ａの後端（−Ｘ端）が対向するように配置され
ている。回転軸Ｍ０ａは、前記試料ステージ支持フラン
ジ３の外側面に支持されたスライドベース位置制御モー
タユニットＭ０により回転する。回転軸Ｍ０ａの後端
（−Ｘ端）には、前記ＸテーブルＴｘのＸ方向への移動
時に、前記スライドベース位置制御ロッド１１の前端部
の二股部分の間に進入可能なピンＰＮ（図２、図５参
照）が設けられている。前記スライドベース位置制御ロ
ッド１１の前端部の二股部分の間にピンＰＮが進入した
状態で、モータユニットＭ０の回転軸Ｍ０ａが回転する
と、スライドベース位置制御ロッド１１が回転してＸ軸
方向に進退移動する。したがってスライドベースＳＢ
は、前記試料ステージ支持フランジ３の外側面に支持さ
れたベース位置制御モータユニットＭ０によりＸ軸方向
に移動調節される。

【００２２】図１〜図３において、前記スライドベース
ＳＢには複数の固定ネジによりスキャナ支持部材１２が
固定されている。スキャナ支持部材１２の先端（−Ｘ側
の端）には外乱防止用の円筒状のシールドカバー１３お
よびその内側に配置された圧電体製のスキャナ１４が支
持されており、スキャナ１４の先端（−Ｘ端）には絶縁
碍子製のプローブホルダ装着部材１５を介してプローブ
ホルダＰＨが支持されている。プローブホルダＰＨの先
端（−Ｘ端）にはプローブＰが支持されている。プロー
ブＰの基部（−Ｘ端部）には、プローブＰに給電するた
めの導電性のケーブルＣ１およびＣ２が接続されてい
る。

【００２３】（試料ステージ）前記図２〜図６に示すよ
うに、前記小ベース８の先端部（−Ｘ側端部）には、小
ベース８と一体に構成された試料ステージ支持部材１６
が設けられている。図２において、試料ステージ支持部
材１６は、中央部に形成された１個の試料ホルダ貫通孔
１６ａと、その外側に形成された３個のサポート挿入孔
１６ｂとを有している。前記３個のサポー卜挿入孔１６
ｂにはそれぞれ、前側面（Ｘ側の側面）からサポート１
７が挿入されている。また、試料ステージ支持部材１６
にはその外側面に３個のバネ支持部材１８が固定されて
いる。前記試料ステージ支持部材１６の前側（Ｘ側）に
は試料ステージＴが配置されている。試料ステージＴは
試料ステージ本体２１を有しており、試料ステージ本体
２１には中央に試料ホルダ装着孔２１ａが形成されてい
る。

【００２４】図７は試料ステージに試料ホルダを装着す
る方法の説明図で、図７Ａは試料ホルダ装着孔に試料ホ
ルダを装着する際の試料ホルダの後面図、図７Ｂは前記
図６に示す試料ステージの後面図、図７Ｃは試料ホルダ
装着孔に試料ホルダを装着した状態の試料ホルダの後面
図である。図８は前記図２に示す試料ステージおよび試
料ホルダの説明図で、図８Ａは試料を保持した試料ホル
ダが試料ステージに装着される前の状態を示す図、図８
Ｂは試料ホルダが試料ステージに装着された状態を示す
図である。図９は前記図２に示す試料ステージおよび試
料ホルダの説明図で、図９Ａはアパーチャを保持した試
料ホルダが試料ステージに装着される前の状態を示す
図、図９Ｂはアパーチャを保持した試料ホルダが試料ス
テージに装着された状態を示す図である。

【００２５】図６、図７Ｂにおいて試料ステージ本体２
１の後側（−Ｘ側）の側面には前記３個のサポート１７
の先端がそれぞれ当接する３個の当接凹部２１ｂが設け
られている。また試料ステージ本体２１の前側（Ｘ側）
の側面には、２個のレバー収容凹部２１ｃ，２１ｃが形
成されている。前記レバー収容凹部２１ｃ，２１ｃの上
端にはそれぞれ円柱状被支持部材２２，２２が固定され
ている。図７Ｂ、図８において前記試料ホルダ装着孔２
１ａ（図２、図７Ｂ参照）は、−Ｘ側の端部の内径が小
さく形成されており、その内周に隣接する外側部分にリ
ング状プレート部分２１ｄが形成されている。前記リン
グ状プレート部分２１ｄには試料ホルダ装着孔２１ａの
内周部から外方に広がる一対の着脱部材挿入部分２１
ｅ，２１ｅ（図７参照）および一対の電極挿入部２１
ｆ，２１ｆが形成されている。また、前記リング状プレ
ート部分２１ｄには試料ホルダ装着孔２１ａの内径に沿
って等間隔で４個の端子挿入孔２１ｇが形成されてい
る。前記試料ホルダ装着孔２１ａのＸ側の端面には大径
の抜止プレート装着部２１ｈ（図８参照）が形成されて
いる。

【００２６】図２、図３、図６において、前記試料ステ
ージ本体２１の外周部には３個のバネ支持部材２３が固
定されている。試料ステージ本体２１の３個のバネ支持
部材２３および前記試料ステージ支持部材１６の３個の
バネ支持部材１８はそれぞれ引張バネ２４により連結さ
れている。したがって、前記試料ステージＴの試料ステ
ージ本体２１は、３本の前記引張バネ２４により試料ス
テージ支持部材１６の方向（−Ｘ方向）に引張られた状
態で、前記当接凹部２１ｂに当接する前記サポート１７
の先端により試料ステージ支持部材１６に支持されてい
る。そのため、試料ステージ本体２１はＸ軸に垂直な平
面（ＹＺ平面）内で移動可能である。

【００２７】図８、図９において前記抜止プレート装着
部２１ｈにはリング状の抜止プレート２８が装着され、
抜止プレート２８の内面には絶縁性の保護部材２９およ
びリング状のホルダ当接部材３０が支持されている。前
記試料ステージ本体２１の−Ｘ側の側面には、前記４個
の端子挿入孔２１ｇ（図７Ｂ、図８参照）に対応してそ
れぞれ絶縁性の端子支持ブロック３１およびそれに支持
された板バネ製の給電端子３２が支持されている。前記
リング状プレート部分２１ｄおよびホルダ当接部材３０
により、試料ホルダＳＨのステージ着脱部４７（後述）
を挟持して固定するホルダ着脱部（２１ｄ＋３０）が構
成されている。

【００２８】図３、図６において、試料ステージ支持部
材１６と一体に形成された小ベース８上には、前記試料
ステージＴの両側に隣接してそれぞれ試料ステージ調節
レバー支持部材３５，３５が配置されており、一対の試
料ステージ調節レバー支持部材３５，３５はそれぞれレ
バー支持部材本体３６およびそれにネジで固定されたカ
バー３７を有している。一対のレバー支持部材本体３
６，３６は、小ベース８（図３参照）に固定されてお
り、また、互いに対向する面および前側（Ｘ側）の側面
に開口するレバー収容凹部３６ａ，３６ａを有してい
る。図３においてレバー収容凹部３６ａのＸ側の側面の
開口はカバー３７により閉塞されている。試料ステージ
本体２１を支える試料ステージ調節レバー支持部材３
５，３５はＸ軸方向に延びる鉛直平面に対して互いに面
対称に配置されており、左側（−Ｙ側）一方にはＹＺ平
面試料ステージ調節第１レバーＬ１が水平軸回りに回転
可能に支持され、右側（Ｙ側）にはＹＺ平面試料ステー
ジ調節第２レバーＬ２が水平軸回りに回転可能に支持さ
れている。前記ＹＺ平面試料ステージ調節レバーＬ１，
Ｌ２はＬ型レバーであり、前記レバー収容凹部２１ｃ内
に延びて円柱状被支持部材２２下面を支持するステ一ジ
支持部Ｌ１ａ，Ｌ２ａと下方に延びる被操作部Ｌ１ｂ，
Ｌ２ｂとを有している。

【００２９】前記試料ステージ調節レバーＬ１，Ｌ２の
被操作部Ｌ１ｂ，Ｌ２ｂの下端部は前記小ベース８下方
に突出している。小ベース８の下面には水平回転レバー
３８，３９（図６，図５参照）が支持されている。水平
回転レバー３８，３９の操作端３８ａ，３９ａは試料ス
テージ調節レバーＬ１，Ｌ２の被操作部Ｌ１ｂ，Ｌ２ｂ
下端部側面に当接している。図５において、水平回転レ
バー３８の被操作部３８ｂには−Ｘ方向に移動するＹＺ
平面位置制御第１ロッド４１の先端が当接し、水平回転
レバー３９の被操作部３９ｂには−Ｘ方向に移動するＹ
Ｚ平面位置制御第２ロッド４２の先端部（−Ｘ端部すな
わち、後端部）が当接している。前記小ベース８下面に
はナットＮが固定されており、前記ナットＮには前記ロ
ッド４１，４２の外周面に形成された雄ネジが螺合して
いる。このため、ロッド４１，４２が回転すると、ロッ
ド４１，４２は前後に進退移動するようになっている。

【００３０】図５において、前記ＹＺ平面位置制御第１
および第２ロッド４１および４２はその前端部（Ｘ端
部）が二股に形成されており、前記二股部分の前方に
は、前記試料ステージ支持フランジ３の外側面に支持さ
れた試料ステージ位置制御モータユニットＭ１およびＭ
２（図３、図５参照）により回転する回転軸Ｍ１ａおよ
びＭ２ａの後端（−Ｘ端）が対向するように配置されて
いる。なお、回転軸Ｍ１ａおよびＭ２ａはＸ軸方向へ移
動可能である。回転軸Ｍ１ａ，Ｍ２ａの後端（−Ｘ端）
には、前記ＸテーブルＴｘのＸ方向への移動時に、前記
ロッド４１，４２の二股部分の間に進入可能なピンＰＮ
が設けられている。前記ロッド４１，４２の二股部分の
間にピンＰＮが進入した状態で、モータユニットＭ１，
Ｍ２の回転軸Ｍ１ａ，Ｍ２ａが回転すると、ロッド４
１，４２が回転してＸ軸方向に進退移動する。なお、前
記試料ステージ位置制御モータユニットＭ１およびＭ２
が回転したときにＸ軸方向に移動可能な構成は従来周知
の種々の構成を採用可能である。

【００３１】図６において試料ステージＴは、円柱状被
支持部材２２下面を支持する試料ステージ支持部Ｌ１
ａ，Ｌ２ａに支持されており、また、試料ステージ位置
決め用引張バネ４３により大ベース６に向けて引っ張ら
れている。したがって図６において、試料ステージ位置
制御モータユニットＭ１，Ｍ２の回転駆動により、前記
ＹＺ平面位置制御ロッド４１，４２がＸ軸方向に移動す
ると、水平回転レバー３８，３９および試料ステージ調
節レバーＬ１，Ｌ２が回転する。このとき、図６から分
かるように、円柱状被支持部材２２下面を支持する試料
ステージ支持部Ｌ１ａ，Ｌ２ａが上下方向に回転し、試
料ステージＴのＹＺ平面（Ｘ軸に垂直な平面）内の位置
が調節される。

【００３２】（試料ホルダ）図１０は試料ホルダの説明
図で、図１０Ａは試料を保持した試料ホルダの側断面
図、図１０Ｂは前記図１０ＡのＸＢ−ＸＢ線断面図、図
１０Ｃは前記図１０Ｂの矢印ＸＣから見た図、図１０Ｄ
は前記図１０Ａ〜図１０Ｃに示す絶縁碍子の説明図であ
る。図１１は試料ホルダを構成する着脱可能な搬送棒連
結部材およびステージ着脱部材の着脱方法の説明図で、
図１１Ａは搬送棒連結部材およびステージ着脱部材が装
着された状態の側面図、図１１Ｂはアパーチャを保持し
た試料ホルダの断面図で前記図１１ＡのＸＩＢ−ＸＩＢ
線断面図、図１１Ｃは前記図１１Ｂの搬送棒連結部材お
よびステージ着脱部材が離脱した状態の断面図である。
図８〜図１１において、本発明の実施例１の試料ホルダ
ＳＨは、互いに着脱可能に構成されたステージ着脱部材
ＳＨ１および搬送棒連結部材ＳＨ２を有している。

【００３３】（試料ホルダＳＨのステージ着脱部材ＳＨ
１）図１０、図１１において、前記筒状のステージ着脱
部材ＳＨ１は、金属製の筒状本体４６を有している。筒
状本体４６は貫通孔４６ａ有し、外周面にはその周方向
に１８０°離れた位置においてそれぞれ外方に突出する
ステージ着脱部４７が設けられている。試料ホルダＳＨ
のステージ着脱部４７（図１０Ａ、図１１Ａ参照）は、
前記試料ステージＴのホルダ着脱部（２１ｄ＋３０）を
構成するリング状プレート部分２１ｄおよびホルダ当接
部材３０により挟持され固定される。筒状本体４６の内
周には、リング状小径部４８が設けられており、リング
状小径部４８には円周方向に１８０°はなれた位置にそ
れぞれ、ねじ頭収容孔４８ａ，４８ａが形成されてい
る。前記筒状本体４６には円周方向に１８０°離れた位
置に電極部材収容溝４９，４９（図１０Ｂ、図１０Ｃ参
照）が形成されている。本実施例では図１０Ｂから分か
るように、前記電極部材収容溝４９とねじ頭収容孔４８
ａとは連通している。また、筒状本体４６の後端部（−
Ｘ端部）には、その周方向に１８０°離れた位置におい
てそれぞれピン嵌合溝５０（図１１Ａ参照）が形成され
ている。

【００３４】図１１Ａにおいて、ピン嵌合溝５０は後方
（−Ｘ方向）から接近するホルダ搬送棒ＨＢに支持され
た搬送棒連結部材ＳＨ２の被ガイドピンＧＰ（図１１
Ａ、図１１Ｃ参照）が挿入されるピン挿入部５０ａと、
ピン挿入部５０ａの前端から周方向に延びる周方向ガイ
ド部５０ｂと、周方向ガイド部５０ｂの端部から後方
（−Ｘ方向）に延びる係止部５０ｃとにより構成されて
いる。前記貫通孔４６ａの後端部およびピン嵌合溝５０
により、搬送棒連結部材（ＳＨ２）に着脱可能な連結部
材着脱部（４６ａ＋５０）が構成されている。

【００３５】図１０、図１１において、前記リング状小
径部４８の前面（Ｘ側の面）には、２本のねじ５１（図
１０Ａ参照）によりドーナツ状の絶縁碍子５２が固定さ
れている。ドーナツ状の絶縁碍子５２の孔５２ａの内周
面および前記リング状小径部４８と接触する面（後側
面、−Ｘ側面）には電極膜５３（図１０Ｄ参照）が形成
されている。前記電極膜５３は金属製の筒状本体４６を
介してアースされることにより、イオンが安定して通過
できる。前記絶縁碍子５２の前面（Ｘ側面）には、ねじ
５４，５４により円周方向に１８０°離れた位置に電極
部材５５，５５が固定されている。電極部材５５，５５
は、外端部５５ａ，５５ａが前記電極部材収容溝４９，
４９に収容され且つ筒状本体４６の外側面から外方に突
出している。なお、電極部材５５，５５は前記ステージ
着脱部４７，４７と円周方向に９０°離れた位置に配置
されている。

【００３６】前記電極部材５５の前端部５５ｂは前記外
端部５５ａよりも内側で且つ前方に突出して形成されて
おり、前端部５５ｂの前端面にはねじ５６により試料固
定部材５７が固定されている。前記電極部材５５の前端
部５５ｂの前端面および試料固定部材５７により試料Ｓ
（図１０Ｂ参照）またはアパーチャＡ（図１１Ｂ参照）
の両端部が挟まれた状態で固定される。したがって、前
記電極部材５５の前端部５５ｂの前端面、試料固定部材
５７およびねじ５６により、試料ＳまたはアパーチャＡ
を交換可能に保持する試料保持部（５５ｂ＋５６＋５
７）が構成されている。

【００３７】（試料ホルダＳＨの搬送棒連結部材ＳＨ
２）図１０、図１１において、搬送棒連結部材ＳＨ２
は、その前端部（Ｘ端部）に大径円筒部材６１を有して
おり、前記大径円筒部材６１は、前記ステージ着脱部材
ＳＨ１の筒状本体４６の後端部の内周面に嵌合する。前
記大径円筒部材６１外側面には、その円周方向に１８０
°離れた位置に、それぞれ外方に突出する被ガイドピン
ＧＰ，ＧＰが設けられている。図１１Ａにおいて、被ガ
イドピンＧＰは、前記ステージ着脱部材ＳＨ１のピン嵌
合溝５０に嵌合する部材である。前記大径円筒部材６１
の後端（−Ｘ端）に設けた底壁６２の底面には、コイル
バネ６３後端が固着された円形プレート６４がねじ６５
により固定されている。前記符号ＧＰ、６１〜６５で示
された要素により、前記ステージ着脱部材ＳＨ１に連結
・離脱可能な連結・離脱部（ＧＰ＋６１〜６５）が構成
されている。前記連結・離脱部（ＧＰ＋６１〜６５）
は、搬送棒連結部材ＳＨ２と連結された前記ホルダ搬送
棒ＨＢの進退移動および回転移動により前記ステージ着
脱部材ＳＨ１に連結・離脱可能な部分である。

【００３８】前記底壁６２の後端面から後方（−Ｘ方
向）に小径円筒部材６６が突出しており、前記小径円筒
部材６６の外周面には円周方向に１８０°離れた位置に
外方に突出する搬送棒連結ピンＨＰ，ＨＰが設けられて
いる。また、前記小径円筒部材６６の外周面には前記搬
送棒連結ピンＨＰ、ＨＰから円周方向に９０°離れた位
置にロール係止溝６７，６７（図１１Ａ参照）が形成さ
れている。前記符号ＨＰ，６６，６７で示された要素に
より搬送棒連結部（ＨＰ＋６６＋６７）が構成されてい
る。搬送棒連結部（ＨＰ＋６６＋６７）は、前記ホルダ
搬送棒ＨＢの進退移動により前記ホルダ搬送棒ＨＢに連
結・離脱する。

【００３９】（ホルダ搬送部材ＨＢ）図１２はホルダ搬
送部材の先端部の説明図で、図１２Ａは断面図、図１２
Ｂは前記図１２Ａの矢印ＸIIＢから見た図である。図１
２において、ホルダ搬送棒ＨＢは従来公知のマグネット
ローダにより構成されており、外筒（図示せず）および
内筒７１を有している。内筒７１は前後方向に進退移動
可能且つ進退移動方向の軸周りに回転可能である。前記
内筒７１の前端（Ｘ端）には、前記搬送棒連結部材ＳＨ
２の搬送棒連結部（ＨＰ＋６６＋６７）を連結するホル
ダ連結部材７２が設けられている。前記ホルダ連結部材
７２は、前端面に開口するホルダ連結孔７２ａを有し、
前記ホルダ連結孔７２ａの左右（Ｙ軸方向）両側面には
ピン係合溝７２ｂ（図１２Ａ参照）が形成されている。
前記ホルダ連結孔７２ａは搬送棒連結部材ＳＨ２の搬送
棒連結部（ＨＰ＋６６＋６７）が着脱自在に挿入される
孔である。

【００４０】また、前記搬送棒連結部材ＳＨ２の搬送棒
連結部（ＨＰ＋６６＋６７）がホルダ連結孔７２ａに挿
入された際、前記搬送棒連結部（ＨＰ＋６６＋６７）の
一対の搬送棒連結ピンＨＰ，ＨＰ（図１０Ａ、図１０Ｂ
参照）が前記ピン係合溝７２ｂ，７２ｂに係合するよう
になっている。前記ホルダ連結孔７２ａの先端部には図
１２Ａで上下一対のローラ７３，７３が回転可能に支持
されている。前記ローラ７３，７３はホルダ連結孔７２
ａの内周面側に突出しており、前記ローラ７３，７３の
突出部分は、前記搬送棒連結部材ＳＨ２の搬送棒連結部
（ＨＰ＋６６＋６７）のローラ係止溝６７，６７（図１
０Ａ，図１０Ｂ参照）に係合する。

【００４１】また、前記ローラ７３，７３の両端のロー
ラ軸７３ａ，７３ａは、板バネ７４，７４により外側か
ら内側に向けて押されている。したがって、前記ホルダ
連結孔７２ａに搬送棒連結部材ＳＨ２の小径円筒部材６
６（図１０Ａ、図１０Ｂ参照）が挿入された場合には、
前記ローラ７３，７３は小径円筒部材６６のローラ係止
溝６７（図１０Ａ、図１１Ａ参照）に係止され、板バネ
７４，７４の弾性力により、前記搬送棒連結部材ＳＨ２
の小径円筒部６６は、ホルダ連結孔７２ａ内に回転不能
に保持される。また、ホルダ搬送棒ＨＢは図１２Ａに２
点鎖線で示すプローブホルダＰＨを着脱可能に装着して
搬送するように構成されている。

【００４２】（実施例の作用） （ＳＴＭとして使用する場合）図１１において、前記構
成を備えた実施例の試料ホルダＳＨは、互いに着脱可能
に構成された搬送棒連結部材ＳＨ２およびステージ着脱
部材ＳＨ１を有する。図１１Ｃ示すように、前記ステー
ジ着脱部材ＳＨ１と搬送棒連結部材ＳＨ２とが離脱した
状態において、搬送棒連結部材ＳＨ２の被ガイドピンＧ
Ｐをステージ着脱部材ＳＨ１のピン嵌合溝５０（図１１
Ａ参照）のピン挿入部５０ａから挿入し、周方向ガイド
部５０ｂを通過させて係止部５０ｃに移動させると、コ
イルばね６３の圧縮応力により、被ガイドピンＧＰは図
１１Ａ、図１１Ｂの位置（係止部５０ｃの後端位置すな
わち、−Ｘ端）に保持される。すなわち、搬送棒連結部
材ＳＨ２は、ステージ着脱部材ＳＨ１に対してＸ軸方向
の進退移動および回転移動により着脱可能である。

【００４３】図８Ｂにおいて、前記搬送棒連結部材ＳＨ
２およびステージ着脱部材ＳＨ１が連結された状態の試
料ホルダＳＨの搬送棒連結部（ＨＰ＋６６＋６７）に対
して前記ホルダ搬送棒ＨＢを前進させると、ホルダ搬送
棒ＨＢのピン係合溝７２ｂ（図１２Ａ参照）に搬送棒連
結部材ＳＨ２の搬送棒連結ピンＨＰ（図８Ａ、図８Ｂ参
照）が嵌合し、且つホルダ搬送棒ＨＢのローラ７３が搬
送棒連結部材ＳＨ２のローラ係止溝６７（図１０Ａ、図
１１Ａ参照）に係止される。

【００４４】図８Ａに示すように、ホルダ搬送棒ＨＢに
試料ホルダＳＨを連結した状態で、ホルダ搬送棒ＨＢを
試料ステージＴに向けて前進させる際、試料ステージＴ
および試料ホルダＳＨのＸ軸周りの位置関係は図７Ａ、
図７Ｂに示されている。その状態でホルダ搬送棒ＨＢを
試料ホルダＳＨに向けて前進させると、図７から分かる
ように、前記ステージ着脱部４７，４７および電極部材
５５，５５の外端部５５ａ，５５ａ（図７Ａ参照）は、
着脱部材挿入部分２１ｅ，２１ｅおよび電極挿入部２１
ｆ，２１ｆ（図７Ｂ参照）から試料ホルダ装着孔２１ａ
（図８Ａ、図８Ｂ参照）に挿入される。

【００４５】その状態（挿入した状態）で図７Ａの矢印
Ｒ方向にホルダ搬送棒ＨＢおよび試料ホルダＳＨを４５
°回転させると、試料ホルダＳＨは図７Ｃの位置に回転
移動する。その状態では図７、図８から分かるように、
前記電極部材５５の外端部５５ａの後面は板ばね製の給
電端子３２と接触し、ステージ着脱部４７は前記試料ス
テージＴのホルダ着脱部（２１ｄ＋３０）を構成するリ
ング状プレート部分２１ｄおよびホルダ当接部材３０に
より挟持され固定される。なお前記ステージ着脱部４７
の後面にも板ばね製の給電端子３２が接触するが、本実
施例ではステージ着脱部４７に接触する給電端子３２は
アースされている。前記試料ホルダＳＨを試料ステージ
Ｔに装着した状態では被ガイドピンＧＰは図１１Ａの位
置にある。この状態でホルダ搬送棒ＨＢを後退させる
と、図８Ｂに示すように、ホルダ搬送棒ＨＢは試料ホル
ダＳＨから離脱する。

【００４６】（ＦＩＭとして使用する場合）図９Ａにお
いて、アパーチャＡを保持した試料ホルダＳＨを前記図
８Ａで説明した場合と同様に試料ステージＴに装着す
る。すなわち、図７Ａに示す回転位置で試料ホルダＳＨ
を試料ステージＴ（図７Ｂ参照）に挿入し、図７Ａの矢
印Ｒで示す方向に４５°回転させて図７Ｃの状態とす
る。その状態は前記試料ホルダＳＨを試料ステージＴに
装着した状態であり、被ガイドピンＧＰは図１１Ａに示
す位置にある。この状態でホルダ搬送棒ＨＢを後退させ
ると、前記図８Ｂで説明したようにホルダ搬送棒ＨＢは
試料ホルダＳＨから離脱するが、図１１Ａの状態でホル
ダ搬送棒ＨＢを後退させずに前進させると、搬送棒連結
部材ＳＨ２はコイルばね６３を圧縮させながらステージ
着脱部材ＳＨ１の貫通孔４６ａ内を前進する。このと
き、被ガイドピンＧＰは係止部５０ｃ内を前方にスライ
ド移動する。

【００４７】被ガイドピンＧＰが係止部５０ｃの前端位
置まで移動すると、被ガイドピンＧＰは周方向ガイド部
５０ｂ内を円周方向に移動可能となる。このため、搬送
棒連結部材ＳＨ２はステージ着脱部材ＳＨ１の貫通孔４
６ａ内において、図７Ａの矢印Ｒ方向に回転可能とな
る。この状態でホルダ搬送棒ＨＢを回転させて、被ガイ
ドピンＧＰを周方向ガイド部５０ｂを通過させ、次に、
被ガイドピンＧＰをピン挿入部５０ａから前方に移動さ
せることにより、図９Ｂ、図１１Ｃに示すように、搬送
棒連結部材ＳＨ２をステージ着脱部材ＳＨ１から離脱さ
せることができる。図９Ｂの状態からホルダ搬送棒ＨＢ
および搬送棒連結部材ＳＨ２を後方に移動させ、その
後、図３の２点鎖線で示すように小ベース８を回転テー
ブルＴｒにより回転させることにより、試料ステージＴ
を質量分析器Ｄに対向する位置に移動させることができ
る。その状態では、前記試料ステージＴに装着された試
料ホルダＳＨのステージ着脱部材ＳＨ１のアパーチャＡ
は、ＦＩＭのアパーチャＡとして使用可能である。した
がって、前記試料ホルダＳＨは、ＳＴＭ、およびＦＩＭ
に使用可能である。また、前記ホルダ搬送棒ＨＢはＳＴ
Ｍの試料ホルダＳＨおよびＦＩＭのアパーチャホルダの
搬送部材として使用可能である。

【００４８】（変更例）以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。 （Ｈ01）実施例ではテーブルＴを回転テーブルＴｒ上に
支持し、回転テーブルＴｒを回転させてテーブルＴに装
着した試料ホルダＳＨ上のアパーチャＡを質量分析器Ｄ
に対向する位置に移動させているが、回転テーブルＴｒ
を省略して質量分析器Ｄを移動可能な構成とすることも
可能である。

【００４９】

【発明の効果】前述の本発明のホルダ保持装置は、下記
の効果（Ｅ01），（Ｅ02）を奏することができる。 （Ｅ01）ＳＴＭで使用する試料ホルダを、ＦＥＭまたは
ＦＩＭで使用するアパーチャホルダとしても使用するこ
とができる。 （Ｅ02）ＳＴＭで使用する試料ホルダと、ＦＥＭまたは
ＦＩＭで使用するアパーチャホルダとを同じホルダ搬送
棒を使用して搬送することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は本発明の試料ホルダが装着される試料
ステージを備えた走査型プローブ顕微鏡の実施例１の全
体説明図である。

【図２】 図２は前記図１の要部拡大図である。

【図３】 図３は前記図１のIII−III線断面拡大図であ
る。

【図４】 図４は前記図１に示すスライドベースの位置
決め部材の説明図である。

【図５】 図５は実施例１の試料ステージの位置調整部
材の説明図で図２のＶ−Ｖ線断面図である。

【図６】 図６は前記図３のＶI−ＶI線断面図である。

【図７】 図７は試料ステージに試料ホルダを装着する
方法の説明図で、図７Ａは試料ホルダ装着孔に試料ホル
ダを装着する際の試料ホルダの後面図、図７Ｂは前記図
６に示す試料ステージの後面図、図７Ｃは試料ホルダ装
着孔に試料ホルダを装着した状態の試料ホルダの後面図
である。

【図８】 図８は前記図２に示す試料ステージおよび試
料ホルダの説明図で、図８Ａは試料を保持した試料ホル
ダが試料ステージに装着される前の状態を示す図、図８
Ｂは試料ホルダが試料ステージに装着された状態を示す
図である。

【図９】 図９は前記図２に示す試料ステージおよび試
料ホルダの説明図で、図９Ａはアパーチャを保持した試
料ホルダが試料ステージに装着される前の状態を示す
図、図９Ｂはアパーチャを保持した試料ホルダが試料ス
テージに装着された状態を示す図である。

【図１０】 図１０は試料ホルダの説明図で、図１０Ａ
は試料を保持した試料ホルダの側断面図、図１０Ｂは前
記図１０ＡのＸＢ−ＸＢ線断面図、図１０Ｃは前記図１
０Ｂの矢印ＸＣから見た図、図１０Ｄは前記図１０Ａ〜
図１０Ｃに示す絶縁碍子の説明図である。

【図１１】 図１１は試料ホルダを構成する着脱可能な
搬送棒連結部材およびステージ着脱部材の着脱方法の説
明図で、図１１Ａは搬送棒連結部材およびステージ着脱
部材が装着された状態の側面図、図１１Ｂはアパーチャ
を保持した試料ホルダの断面図で前記図１１ＡのＸＩＢ
−ＸＩＢ線断面図、図１１Ｃは前記図１１Ｂの搬送棒連
結部材およびステージ着脱部材が離脱した状態の断面図
である。

【図１２】 図１２はホルダ搬送部材の先端部の説明図
で、図１２Ａは断面図、図１２Ｂは前記図１２Ａの矢印
ＸIIＢから見た図である。

【図１３】 図１３は従来の試料ステージのホルダ装着
部に装着されるＳＴＭ用の試料ホルダおよびＦＩＭ（ま
たはＦＥＭ）用の試料ホルダの説明図であり、図１３Ａ
は試料ステージのホルダ装着部に、ＳＴＭ用の試料ホル
ダを装着した状態を示す図、図１３Ｂは同じホルダ装着
部にＦＩＭ（またはＦＥＭ）用の試料ホルダを装着した
状態を示す図である。

【符号の説明】

Ａ…アパーチャ、ＨＢ…ホルダ搬送棒、Ｓ…試料、ＳＨ
…試料ホルダ、ＳＨ２…搬送棒連結部材、ＳＨ１…ステ
ージ着脱部材、Ｔ…試料ステージ、４６ａ…貫通孔、４
７…ステージ着脱部、（ＨＰ＋６６＋６７）…搬送棒連
結部、（ＧＰ＋６１〜６５）…連結・離脱部、（２１ｄ
＋３０）…ホルダ着脱部、（５５ｂ＋５６＋５７）…試
料保持部、（４６ａ＋５０）…連結部材着脱部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ03）を備
   えたことを特徴とする試料ホルダ、（Ａ01）互いに着脱
   可能に構成された搬送棒連結部材およびステージ着脱部
   材を有し、試料ステージに対して進退移動可能且つ軸周
   りに回転可能なホルダ搬送棒により搬送されて前記試料
   ステージに着脱可能に装着される試料ホルダ、（Ａ02）
   前記ホルダ搬送棒の進退移動により前記ホルダ搬送棒に
   連結・離脱可能な搬送棒連結部と前記ホルダ搬送棒の進
   退移動および回転移動により前記ステージ着脱部材に連
   結・離脱可能な連結・離脱部とを有する前記搬送棒連結
   部材、（Ａ03）互いに連結された前記搬送棒連結部材お
   よび前記ステージ着脱部材がホルダ搬送棒により試料ス
   テージに搬送された際、前記試料ステージのホルダ着脱
   部に押し付けられるとともに押し付けられた状態でホル
   ダ搬送棒を回転させることにより前記ホルダ着脱部に着
   脱されるステージ着脱部と、ホルダ搬送棒と反対側の端
   部である試料ステージ側端部に設けられた試料およびア
   パーチャを交換可能に保持する試料保持部と、ホルダ搬
   送棒側の端部に設けられて前記搬送棒連結部材に着脱可
   能な連結部材着脱部と、前記試料ステージ側端部および
   ホルダ搬送棒側端部間に形成された貫通孔と、を有する
   筒状の前記ステージ着脱部材。