JP3553318B2 - ホルダ保持装置 - Google Patents
ホルダ保持装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3553318B2 JP3553318B2 JP14580597A JP14580597A JP3553318B2 JP 3553318 B2 JP3553318 B2 JP 3553318B2 JP 14580597 A JP14580597 A JP 14580597A JP 14580597 A JP14580597 A JP 14580597A JP 3553318 B2 JP3553318 B2 JP 3553318B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- sample
- scanner
- tip
- holding member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、STM(Scanning Tunneling Microscope、走査型トンネル顕微鏡)、AFM(Atomic Force Microscope、原子間力顕微鏡)、UHV(ulutra high vacuum)−STM(超高真空走査型トンネル顕微鏡)、UHV(urutra high vacuum)−AFM(超高真空原子間力顕微鏡)等の走査型プローブ顕微鏡、および、SAP(走査型アトムプローブ装置)で使用する試料ホルダまたはプローブホルダ等を着脱可能に保持するホルダ保持装置に関する。
本発明のホルダ保持装置は、円筒状の圧電体により構成されたスキャナの先端に設けられたホルダ保持部材や、このホルダ保持部材に対向して配置された第2のホルダ保持部材等を有するホルダ保持装置に適用することができる。
【0002】
【従来の技術】
前記STM、AFM等においては、試料の位置を高精度に制御するため、試料ホルダを微小に移動させる円筒状の圧電体を用いたホルダ保持装置が使用されている。
前記ホルダ保持装置として、従来次の技術が知られている。
(J01)図18〜図23に示すホルダ保持装置
図18は従来のホルダ保持装置を備えたAFMの全体説明図である。図19はAFMを用いた分析作業時に試料を保持するホルダ保持装置の説明図で、図19Aは前記図18の部分拡大図、図19Bは前記図19AのXIXB−XIXB線断面図である。図20は前記図18の部分拡大図でホルダ搬送装置の説明図である。図21は試料ホルダをAFMの内外間で搬送するために試料ホルダを着脱自在に保持する搬送用試料ホルダ保持部材の説明図で、図21Aは前記図18の部分拡大図で、図21Bは前記図21Aの矢印XXIBから見た図である。図22は前記図19のホルダ保持装置への試料ホルダの装着方法の説明図で、図22Aは前記図19のホルダ保持装置へ試料ホルダを装着する前の状態を示す図、図22Bは前記図19のホルダ保持装置へ試料ホルダを装着した状態を示す図である。図23は前記図21に示す試料ホルダの説明図で、図23Aは試料が装着された状態の試料ホルダの平面図、図23Bは試料ホルダ本体の平面図、図23Cは試料ホルダ本体の斜視図、図23Dは前記試料ホルダ本体に固定される試料装着ブロックの斜視図、図23Eは他の試料装着ブロックの斜視図である。
【0003】
図18、図20、図21において、AFMの真空室A内部には図示しない搬送部材により搬入された待機位置用ホルダ保持部材1が配置されている。待機位置用ホルダ保持部材01は図21に示すようにホルダ載置面02および一対のホルダ保持用押えばね03,03を有している。
【0004】
図23において、前記待機位置用ホルダ保持部材01(図18、図21参照)に保持される試料ホルダH1は、ピン貫通孔06aが形成されたホルダ本体06、前記ホルダ本体06に固定される試料装着ブロック07,08を有している。試料装着ブロック07,08は、試料ホルダH1を前記待機位置用ホルダ保持部材01に装着する際に前記押えばね03,03(図21参照)に押圧される被押圧部07a,08aを有している。
試料Sは前記試料装着ブロック07,08表面に、押圧プレート09,010を用いて押圧固定されている。
【0005】
図18、図19、図22において、AFMの真空室A内部にはステージ012が配置されている。ステージ012は、スライドテーブル012aを有しており、AFM走査用の試料ホルダ保持装置013およびプローブホルダ保持装置014を支持している。スライドテーブル012aは、前記ステージ012上でスライド移動して位置調節される。
図19において、前記試料ホルダ保持装置013は、前記ステージ012により固定支持された固定部材016を有し、固定部材016には円孔016aが形成されている。前記固定部材016は前記円孔016aの外周に沿って互いに120°離れて配置された3個の当接部材017(1個のみ図示)を支持している。前記3個の当接部材017に対応してそれぞれ引張ばね018が設けられている。
【0006】
可動プレート019は、前記3個の引張ばね018により、前記3個の当接部材017に押し付けられて、固定部材016上に保持されている。なお、前記可動プレート019は円孔019aを有しており、円孔019a前記円孔016aに対応する位置に配置されている。可動プレート019は前記当接部材017と摩擦接触しながら移動してその位置を上下左右に調節可能である。
【0007】
前記可動プレート019には円筒部材021の一端部が連結されており、円筒部材021は前記円孔016a貫通している。前記円筒部材021の他端部にはスキャナ支持部材022が支持され、スキャナ支持部材021により、円筒状圧電体製のスキャナ023の一端部(基端部)が支持されている。
前記スキャナ023の先端部にはホルダ装着部材024が支持されている。
図18、図19中、前記ホルダ装着部材024右端面に形成されたホルダ装着面024aを有している。保持部材装着面024aには、一対のホルダ載置面026,026およびホルダ保持用の押えばね027,027が設けられている。また、前記各押えばね027,027間には、前記試料ホルダH1の下端中央部を押さえる下端部押えばね028が設けられている。
【0008】
図22Aの状態で試料ホルダH1を下方に移動させて保持部材装着面024aに装着すると、図22Bに示すように、前記被押圧部07a,08aおよび試料ホルダH1下端部中央部は前記押えばね027,027および下端部押さえばね028により保持部材装着面024a上に保持されるように構成されている。
【0009】
前記ステージ012に支持されたプローブホルダ保持装置014は、前記ステージ012上で、移動調節される前記スライドテーブル012aにより支持されたホルダ装着部材031を有している。前記ホルダ装着部材031により、プローブホルダH2が着脱可能に保持されており、プローブホルダH2に保持されたプローブ(探針)は、前記保持部材装着面024a上の試料ホルダH1に対向して配置され、各ホルダ間の初期間隔は前記スライドテーブル012aの位置調節によって調節される。
【0010】
図18,20において、試料交換装置033は、前記試料ホルダH1が待機位置用ホルダ保持部材01に保持される待機位置とAFM走査用の試料ホルダ保持装置013に保持される作業位置との間で、前記試料ホルダH1を搬送する装置である。
試料交換装置033は、昇降ロッド034の下端に支持されたスライダガイド部材035を有しており、スライダガイド部材035に沿って水平移動可能なスライダ036は、水平方向に位置調節可能である。
【0011】
図20に示す試料交換装置033は従来公知の技術(特願平7−218762号、特開平9−61440号公報に記載された技術)であるので、次に簡単に説明する。
前記スライダ036には連結部材037が連結されている。連結部材037はばね収容孔037aおよび下方に延びる鉛直ロッド部037bを有している。前記ばね収容孔037aは上端がねじ038で塞がれており、内部には圧縮コイルばね039が収容されている。
前記連結部材037の鉛直ロッド部037b下端には板ばね041を介して第1保持部材042が連結されている。第1保持部材042にはピン孔042aが形成されている。
【0012】
前記連結部材037には、軸043回りに回転部材044が回転可能に支持されている。回転部材044は、前記ばね収容孔037a内の圧縮コイルばね039によって常時時計方向に回転力を付与されるばね当接部044aおよび前記鉛直ロッド部037bに沿って下方に延びるロッド部044bを有している。前記ロッド部044b下端には板ばね045を介して第2保持部材046が連結されている。
前記第2保持部材046にはピン046aが設けられており、ピン046aは前記第1保持部材042のピン孔042aに嵌合するように配置されている。
そして、通常は、前記圧縮コイルバネ039により前記回転部材044が時計方向に回転力を付与されているため、前記ピン046aはピン孔042aに嵌合するように構成されている。
【0013】
前記連結037には電磁ソレノイド047が支持されており、電磁ソレノイド047が通電された場合には前記回転部材044が前記軸043回りに反時計方向に回転して、前記ピン046aは前記ピン孔042aが抜け出すように構成されている。
したがって、前記待機位置用ホルダ保持部材01および、走査作業用の前記ホルダ装着部材024間で試料ホルダH1を搬送する場合には、前記ピン046aをピン孔042aから離脱させた状態で、前記昇降ロッド034およびスライダ036の移動により前記第1保持部材042および第2保持部材046の位置調節をする。そして、例えば前記待機位置用ホルダ保持部材01に保持された試料ホルダH1のピン貫通孔06a(図23参照)および前記ピン孔042aを一致させる。この状態で、前記ピン046aを、ピン貫通孔06aに貫通させ、前記ピン046aの先端部をピン孔042aに挿入させる。
この状態では試料ホルダH1が前記第1保持部材042および第2保持部材046に保持されるので、前記待機位置用ホルダ保持部材01から、走査作業用の前記ホルダ装着部材024の間で、試料ホルダを搬送することができる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
(前記従来技術(J01)の問題点)
前記(J01)の従来技術では、前記走査作業用の前記ホルダ装着部材024に対して試料ホルダH1を装着したり、離脱させたりする際に、前記第1試料保持部材042の下方移動時の力が前記ホルダ装着部材024を介して圧電体により構成されたスキャナ023に加えられる。このときにスキャナ023に加わる負荷によってスキャナ023が破損する事故が良く発生した。
したがって、試料ホルダH1のホルダ装着部材024への着脱作業は非常に神経を使う作業であった。
【0015】
また、真空室Aの外部および内部間での試料ホルダH1の搬送に際しては、試料ホルダH1のみを搬送するのではなく、試料ホルダH1と待機位置用ホルダ保持部材01との2個の部材が必要であった。したがって、前記ホルダ装着部材024に装着される試料ホルダH1の交換作業時に、チャッキング動作およびアンチャッキング動作を何度も行う必要があった。前記試料ホルダH1は形状が小さいので、前記チャッキング動作およびアンチャッキング動作を何度も行うことは、事故発生の確率が大きく、好ましくない。
また、図18および図20から分かるように、試料交換装置033は、ステージ012の試料ホルダ保持装置013およびプローブホルダ保持装置014の上方に配置されるため、冷却装置、XPS(X−ray Photoelectron Spectrometer)、X線光電子分光装置)等の重要なアタッチメントを取り付けることが困難であるという問題点もあった。
【0016】
また、前記UHV−STM、AFM等の走査型プローブ顕微鏡の試料ホルダ交換装置として次の従来技術(J02)が知られている。
(J02)図24に示す技術
図24はSTMの従来技術の説明図である。
図24において、超高真空室A内には、フランジ050に支持されたSTMステージ051が配置されている。STMステージ051は、第1基台052、前記第1基台052に除振器053,053を介して支持された第2基台054を有している。第2基台上にはXYステージ055およびZステージ056が支持されている。XYステージ055には試料ホルダH1が保持され、前記Zステージ056には積層型圧電体製のスキャナ057を介してプローブホルダH2が支持されている。
図24の技術では、STMステージ051が装着されるフランジ050に対して反対側に円筒ケース058を設け、前記円筒ケース058の外側に設けたマグネット059の軸方向の移動および軸回りの回転に伴い、内側をスライド移動および回転移動する交換棒060を操作し、試料交換およびプローブ交換を行っている。
【0017】
(前記(J02)の問題点)
前記従来技術(J02)は、SAP(走査型アトムプローブ装置)のように、前記STMステージ051が装着されるフランジ050と反対側にスクリーンやイオン検出器等を配置する構成の装置に対しては、スクリーンやイオン検出器が邪魔になって交換棒を使用することができなくなる。したがって、前記図24に示す従来技術(J02)はSAPでは使用することができない。
また、前記(J02)の技術では、前記STMステージ051が装着される試料真空フランジ050側およびその反対側(円筒ケースが設けられた側)の両側に構成部材が配置されているため、既存の真空チャンバに組み込むことが困難であるという問題点もある。
【0018】
また、前記UHV−STM、UHV−AFM、等の走査型プローブ顕微鏡およびSAP等の試料冷却装置として次の従来技術(J03)が知られている。
(J03)図25に示す技術)
図25は走査型プローブ顕微鏡で使用される試料冷却装置の従来例の説明図である。
図25において前記図24に対応する構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
XYステージ055には試料ホルダ固定機構061を介して試料ホルダH1が保持される。
前記試料ホルダ固定機構061はヒートコンダクタ062を介して冷却タンク063に接続されており、冷却タンク063には液体窒素や液体ヘリウム等の冷却液064が入っている。
【0019】
試料ホルダ固定機構061は、図示していないがXYステージ055側部分061aに熱伝導度の低い物質(例えばダイフロン)を使用し、試料ホルダH1側部分061aには電気絶縁性が有り且つ熱伝導率の良い物質(例えばサファイヤ)を使用し、真ん中のヒートコンダクタ062との接続部061cには熱伝導率が良い物質(例えば銅)を使用している。ヒートコンダクタ062は銀または銅の箔を束ねたものか、網線等が使用されている。
前記構成により試料を電気的に絶縁し且つ十分冷やすことが可能である。
前記Zステージ056およびスキャナ057により試料ホルダH1に保持された試料にトンネル電流が流れるまでプローブホルダH2のプローブPを試料ホルダH1に保持された試料Sに近づけ、その後、スキャナ057により走査して冷却された試料Sの観察(例えばSTM観察)を行う。
【0020】
(前記(J03)問題点)
前記従来技術(J03)において、試料ホルダH1を交換する技術として、前記従来技術(J01)を使用する場合には、前記ヒートコンダクタ062や冷却タンク063が邪魔になり、また、前記従来技術(J02)を使用しようとしても、前記試料ホルダ固定機構061が邪魔になって、試料ホルダH1を交換することは困難である。
また、前記スクリーンやイオン検出器を使用するSAP(走査型アトムプローブ装置)ではその構成上、前記(J03)の試料冷却装置は使用できない。
【0021】
本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載内容を課題とする。
(O01)円筒状圧電体製のスキャナの先端にホルダ保持部材を設けたホルダ保持装置において、前記スキャナに曲げ荷重を作用させることなく、ホルダ保持部材にホルダを着脱できるようにすること。
(O02)円筒状圧電体製のスキャナの先端にホルダ保持部材を設けたホルダ保持装置において、前記ホルダ保持部材に保持された試料を冷却する新規な冷却方法を提供すること。
(O03)円筒状圧電体製のスキャナの先端にホルダ保持部材を設けたホルダ保持装置を有するSAP(走査型アトムプローブ装置)で使用可能な、新規な試料冷却方法およびホルダ交換方法を提供すること。
【0022】
【課題を解決するための手段】
次に、前記課題を解決するために案出した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。
また、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
【0023】
(第1発明)
前記課題を解決するために、本出願の第1発明のホルダ保持装置(56)は、下記の要件を備えたことを特徴とする、
(A01)基端部が支持され且つ先端部が自由端として構成された円筒状の圧電体により構成され、前記円筒の軸に一致するZ軸方向に伸縮可能、且つ前記Z軸に垂直で且つ互いに垂直なX軸およびY軸方向に前記先端部が移動可能なスキャナ(71)、
(A02)前記スキャナ(71)の基端部を支持するとともに前記基端部側から前記スキャナ(71)内部に接続するホルダ挿入孔(67a)を有するスキャナ支持部材(67+68+69)、
(A03)前記Z軸方向に移動可能で、ホルダ(H1,H2)を着脱可能に保持する先端ホルダ保持部(37)を有し、前記先端ホルダ保持部(37)に保持したホルダ(H1,H2)を前記ホルダ挿入孔(67a)およびスキャナ(71)内部を通って前記スキャナ(71)先端部に搬送するホルダ搬送部材(36)、
(A04)前記Z軸方向に移動可能なホルダ搬送部材(36)の前記先端ホルダ保持部(37)に保持されてスキャナ(71)先端部側に前進したホルダ(H1,H2)が着脱自在に保持されるとともに、前記スキャナ(71)先端部に設けられたホルダ保持部材(74)。
【0024】
(第1発明の作用)
前記第1発明のホルダ保持装置では、スキャナ(71)は、基端部が支持され且つ先端部が自由端として構成された円筒状の圧電体により構成される。前記スキャナ(71)は、前記円筒の軸に一致するZ軸方向に伸縮し、且つ前記Z軸に垂直で且つ互いに垂直なX軸およびY軸方向に前記先端部が移動する。
スキャナ支持部材(67+68+69)は、前記スキャナ(71)の基端部を支持するとともに前記基端部側から前記スキャナ(71)内部に接続するホルダ挿入孔(67a)を有する。
前記Z軸方向に移動可能で、前記ホルダ(H1,H2)を着脱可能に支持する先端ホルダ保持部(37)を有するホルダ搬送部材(36)は、前記先端ホルダ保持部(37)に保持したホルダ(H1,H2)を前記ホルダ挿入孔(67a)およびスキャナ(71)内部を通って前記スキャナ(71)先端部に搬送する。
前記スキャナ(71)先端部に設けられたホルダ保持部材(74)には、前記Z軸方向に移動可能なホルダ搬送部材(36)の前記先端ホルダ保持部(37)に保持され、スキャナ(71)先端部側に前進したホルダ(H1,H2)が着脱自在に保持される。
【0027】
【発明の実施の形態】
(第1発明の実施の形態1)
また、前記第1発明のホルダ保持装置の実施の形態1は、前記第1発明のホルダ保持装置において下記の要件を備えたことを特徴とする、
(A05)前記ホルダ保持部材(74)に保持されるホルダ(H1,H2)とは別の第2ホルダ(H2)が貫通可能な第2ホルダ貫通孔が形成された前記ホルダ保持部材(74)、
(A06)前記ホルダ搬送部材(36)の先端ホルダ保持部(37)に着脱自在に保持されて前記第2ホルダ貫通孔を貫通した前記第2ホルダ(H2)が着脱自在に保持される第2ホルダ保持部材(61)。
【0028】
(第1発明の実施の形態1の作用)
また、前記第1発明のホルダ保持装置の実施の形態1では、前記ホルダ保持部材(74)は、前記ホルダ保持部材(74)に保持されるホルダ(H1,H2)とは別の第2ホルダ(H2)が貫通可能な第2ホルダ貫通孔(77a)が形成される。したがって、前記第2ホルダ(H2)は前記ホルダ保持部材(74)を貫通して搬送可能である。
前記ホルダ搬送部材(36)の先端ホルダ保持部(37)に着脱自在に保持されて前記第2ホルダ貫通孔(77a)を貫通した前記第2ホルダ(H2)は、第2ホルダ保持部材(61)により着脱自在に保持される。
【0029】
(第1発明の実施の形態2)
また、前記第1発明のホルダ保持装置の実施の形態2は、前記第1発明または第1発明の実施の形態1のホルダ保持装置において下記の要件を備えたことを特徴とする、
(A001)前記ホルダ挿入孔(67a)からスキャナ(71)内部に挿入されてスキャナ(71)先端部側に前進したホルダ(H1,H2)が接触する前進時ホルダ接触部(77)および、前記前進時ホルダ接触部(77)に接触した前記ホルダ(H1,H2)を前記Z軸回りに一定方向に回転した状態で前記ホルダ(H1,H2)を後退不能に保持するとともに前記後退不能のホルダ(H1,H2)を前記一定方向と反対方向に回転した状態で前記ホルダ(H1,H2)の後退を可能にする後退不能保持部材(80)を有する前記ホルダ保持部材(74)。
前記(A001)の「後退不能保持部材」は前記ホルダ(H1,H2)に直接接触してホルダ(H1,H2)の後退を不能にする部材や、直接接触せずに他の部材を介して後退を不能にする部材により構成することが可能である。
【0030】
(第1発明の実施の形態2の作用)
また、前記第1発明のホルダ保持装置の実施の形態2では、前記ホルダ挿入孔(67a)からスキャナ(71)内部に挿入されてスキャナ(71)先端部側に前進したホルダ(H1,H2)は、ホルダ保持部材(74)の前進時ホルダ接触部(77)に接触する。ホルダ保持部材(74)の後退不能保持部材(80)は、前記前進時ホルダ接触部(77)に接触した前記ホルダ(H1,H2)を前記Z軸回りに一定方向に回転した状態で前記ホルダ(H1,H2)を後退不能に保持するとともに、前記後退不能のホルダ(H1,H2)を前記一定方向と反対方向に回転した状態で前記ホルダ(H1,H2)の後退を可能とする。
したがって、ホルダ保持部材(74)は前記ホルダ(H1,H2)を前進および後退不能に保持することができる。
【0031】
(第1発明の実施の形態3)
また、前記第1発明のホルダ保持装置の実施の形態3は、前記第1発明のホルダ保持装置において下記の要件を備えたことを特徴とする、
(A07)前記スキャナ(71)の先端部に断熱材および熱伝導材を介して設けられ且つ、ホルダ(H1,H2)が着脱自在に保持されるホルダ保持部材(74)、(A08)一端が前記熱伝導材に接続され且つ他端が冷熱源に接続されたヒートコンダクタ(111)。
【0032】
(第1発明の実施の形態3の作用)
前記要件(A07),(A08)を備えた第1発明のホルダ保持装置では、前記スキャナ(71)の先端部に断熱材および熱伝導材を介して設けられたホルダ保持部材(74)は、ホルダ(H1,H2)を着脱自在に保持する。
一端が前記熱伝導材に接続され且つ他端が冷熱源に接続されたヒートコンダクタ(111)は、冷熱源の冷熱を前記熱伝導材に伝達する。前記熱伝導材に伝達された例熱は、ホルダ保持部材(74)および前記ホルダ保持部材(74)に保持された試料に伝達される。
【0033】
【実施例】
次に図面を参照しながら、本発明のホルダ保持装置の実施例を説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではない。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において互いに直交する矢印X,Y,Zの方向に直交座標軸X軸、Y軸、Z軸を定義し、X方向と逆向きは−X方向、Y方向と逆向きは−Y方向、Z方向と逆向きは−Z方向とする。また、X方向及び−X方向を含めてX軸方向といい、Y方向及び−Y方向を含めてY軸方向といい、Z方向及び−Z方向を含めてZ軸方向ということにする。
さらに図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
【0034】
(実施例1)
図1は本発明のホルダ保持装置の実施例1を備えたSTMの全体説明図である。図2は前記図1の要部拡大図である。図3は前記図2の平面図である。図4は同実施例1の先端部に試料ホルダおよびプローブホルダを着脱自在に装着するホルダ装着部を有するホルダ搬送部材と前記試料ホルダの説明図である。図5は前記図4に示すホルダ搬送部材とプローブホルダの説明図である。図6は前記図2および図3に示すVI−VI線端面図である。図7は前記図2および図3に示すVII−VII線断面図である。
【0035】
図8は実施例1の試料ホルダ保持部材の説明図であり、図8Aは試料ホルダ保持部材の横断面図で図8BのVIIIA−VIIIA線断面図、図8Bは試料ホルダ保持部材の縦断面図で、図8AのVIIIB−VIIIB線断面図、図8Cは前記図8Bの矢印VIIICから見た図である。図9は実施例1の試料ホルダ保持部材と試料ホルダの装着方法の説明図であり、図9Aは装着前の状態を示す図、図9Bは装着後の状態を示す図である。図10は実施例1の試料ホルダ保持部材と試料ホルダの装着方法の説明図であり、図10Aは装着前の試料ホルダ保持部材と試料ホルダの位置関係を示す図、図10Bは装着後の試料ホルダの位置を示す図である。
図11は実施例1のホルダ搬送部材の説明図である。図12は前記図1に示すSTM、前記STMに接続されたパーキング、および前記パーキングでホルダの交換を行うための試料交換棒等の平面図である。図13は前記図12のパーキングのステージ移動機構の説明図である。
【0036】
図12において、真空試料室1には前記STMが収容されている。前記真空試料室1とこれに隣接して配置された試料交換室2との間には、それらの間を密封状態で遮断する開閉可能な内部仕切弁3が設けられている。前記試料交換室2には、パーキング4が設けられている。
図13において、前記パーキング4は、テーブル支持部材6により回転自在に支持されたターンテーブル7、このターンテーブル7上に支持された複数のホルダ支持ステージ8a、複数のプローブ支持ステージ8b等により構成されている。前記ターンテーブル7の下部外周には回転力伝達用のギヤ7aが形成されている。前記ホルダ支持ステージ8aは、試料を保持する試料ホルダH1(図2参照)を支持するための部材である。また、前記プローブ支持ステージ8bは、前記STMにおいて使用されるプローブ(探針)を交換するための交換用のプローブホルダH2を支持するための部材である。
【0037】
前記テーブル支持部材6は、テーブル搬送用円筒9に固定支持されている。前記テーブル搬送用円筒9の内周面によりテーブル回転用軸11が支持されている。前記テーブル回転用軸11先端にはギヤ(傘歯歯車)12が固定されている。このギヤ12は前記テーブル支持部材6に回転自在に支持されたギヤ(傘歯歯車)13に噛み合っている。前記ギヤ13は前記ターンテーブル7のギヤ7aと噛み合うように配置されている。
【0038】
前記試料交換室2側壁にはターンテーブル作動用の円筒ケース14がベローズ15等を介して連結されている。前記テーブル搬送用円筒9の前記試料交換室2から突出している部分の周囲は、前記円筒ケース14内には前記テーブル搬送用円筒9を回転可能且つスライド可能に支持するベアリング17が設けられている。
前記テーブル搬送用円筒9およびテーブル回転用軸11の後端(図13で−X側端部)には永久磁石を有する円筒状の磁性部材18および19がそれぞれ固定されている。また、前記円筒状の磁性部材18、19に対応して、前記円筒ケース14外周面には永久磁石を有する円筒状の操作部材21、22がスライド可能且つ回転可能に設けられている。前記操作部材21、22のスライドは個別または一体的に行うことが可能である。
【0039】
前記操作部材21を作業員が回転させると、操作部材21の動きに対応して磁性部材18も同時に回転するように構成されている。そして、前記磁性部材18および前記テーブル搬送用円筒9は一体的に回転し、それに伴い前記ターンテーブル7が傾斜されるようになっている。前記磁性部材22を作業員が回転させると、磁性部材22の動きに対応して前記磁性部材19も同時に回転するように構成されている。そして、前記磁性部材19が回転すると前記テーブル回転用軸11が回転され、前記テーブル回転用軸11先端に設けられているギヤ(傘歯歯車)12が回転する。そして、前記ギヤ(傘歯歯車)12の回転に伴い前記ギヤ(傘歯歯車)13およびギヤ7aが回転し、前記ターンテーブル7が回転されるようになっている。また、前記操作部材21、22を一体的にスライドさせると、操作部材21、22の移動に対応して前記磁性部材18、19も同時にX軸方向に移動するようになっている。そして、磁性部材18、19がX軸方向に移動すると前記テーブル搬送用円筒9およびテーブル回転用軸11がX軸方向に移動し、それに伴いターンテーブル7がX軸方向に移動されるようになっている。
前記ターンテーブル7は、前記ホルダ支持ステージ8aをターンテーブル7の傾斜、回転、前後(X軸方向)動により移動させる役目を有する。
前記符号7〜22で示された要素から本発明のステージ移動機構23が構成されている。
【0040】
図12において、前記試料交換室2とこれに隣接して配置された試料導入室25との間には、それらの間を密封状態で遮断する開閉可能な内部仕切弁26が設けられている。前記試料導入室25には、導入用円筒ケース27が連結されている。前記導入用円筒ケース27内側には試料導入棒28が導入用円筒ケース27の軸に沿って進退移動可能に設けられている。前記試料導入棒28の先端には前記試料ホルダH1およびプローブホルダH2を把持するチャック29が設けられている。
前記導入用円筒ケース27の外側には永久磁石を有する円筒状の操作部材31が回転およびスライド可能に支持されており、この操作部材31のスライドおよび回転移動によりチャック29に把持された試料ホルダH1またはプローブホルダH2を前記導入用円筒ケース27の軸に沿ってスライドおよび回転移動させることができる。ここで、前記試料導入棒28の軸とパーキング4とが交差する位置をそれぞれQ1、Q2とする。
【0041】
図12、図11において、前記試料交換室2には試料交換用の円筒ケース33がベローズ34、連結ボルト35等を介して連結されている。前記円筒ケース33内側にはホルダ搬送部材36が円筒ケース33の軸に沿って進退移動可能に支持されている。
前記搬送部材36は、図4、図5に示すように、スライド筒36aおよび回転軸36bを有しており、前記搬送部材36の回転軸36bの−Z側端部に円筒状の磁性部材(図示せず)が固定されている。前記搬送部材36の回転軸36bの先端(Z側端部)には前記試料ホルダH1(図4、図9参照)またはプローブホルダH2(図5参照)を把持する先端ホルダ保持部37が設けられている。
前記円筒ケース33の外側には永久磁石を有する円筒状の操作部材38がスライド可能に支持されており、この操作部材38は前記搬送部材36の回転軸36bに固定された前記図示しない円筒状の磁性部材に対応する位置に配置されている。前記搬送部材36のスライド筒36aおよび回転軸36bは、前記操作部材38のスライド移動に伴ってZ軸方向に一体的にスライド移動する。また、前記スライド筒36aは図示しない回転止め部材により回転不可能であるが、回転軸36bは前記操作部材38の回転に伴い、前記スライド筒36a内で回転可能である。
【0042】
図11に示すように、試料交換用の円筒ケース33の前記試料交換室2との連結部近傍にはストッパ39が固定用ビス39aにより固定されている。ストッパ39には円周に沿って120度の間隔で3本のスライド軸41がZ軸方向にスライド可能に支持されている。前記スライド軸41の−Z側端部はリングプレート状スライダ42に固定されている。前記スライド軸41周囲には圧縮コイルバネ43が配置されており、この圧縮コイルバネ43は前記リングプレート状スライダ42を常時−Z側に押圧している。
したがって、前記操作部材38がZ方向に移動して前記リングプレート状スライダ42に当接すると、リングプレート状スライダ42は前記圧縮コイルバネ43を圧縮しながらZ方向にある距離だけ移動することができるが、その際に圧縮コイルバネ43の反力を受けるため、操作部材38の操作を行う作業者は移動方向の限界位置に移動したことを知ることができる。
【0043】
図1において、前記試料交換用の円筒ケース33(図11、図12参照)内部に収容された搬送部材36の先端部の先端ホルダ保持部37は、前記試料交換室2および内部仕切弁3を横切って、STMを収容する真空試料室1内に移動可能である。
前記真空試料室1内にはフランジ50に支持されたSTMステージ51が配置されている。STMステージ51は、第1基台52、前記第1基台52に複数の除振器53を介して支持された第2基台54を有している。第2基台54にはXYステージ貫通孔54aが形成されている。
【0044】
図1、図2、図3において、前記第2基台54上には試料ホルダ保持装置56が支持されている。試料ホルダ保持装置56は、前記第2基台54に支持されたXYステージ支持部材57を有している。XYステージ支持部材57には、前記搬送部材36の軸を中心とする円周に沿って互いに120°離れて配置された3個の当接部材58(1個のみ図示)を支持している。前記3個の当接部材58に対応してそれぞれ引張ばね59が設けられている。
【0045】
XYステージ61はその下端部(−Y側の端部)が前記XYステージ貫通孔54aより下方に配置されており、その上部は、前記3個の引張ばね59により、前記3個の当接部材58に押し付けられて、XYステージ支持部材57上に保持されている。このXYステージ61は前記当接部材58と摩擦接触しながら移動してその位置を上下左右に調節可能である。
図3において前記XYステージ61はX軸方向の両側に位置調整用突出部61a,61aを有しており、この位置調整用突出部61a,61aは、前記第2基台54上に支持されたXYステージ位置調整部材62,62によりXY平面内で位置調整可能である。なお、このような位置調節装置は従来公知であり、従来公知の種々の位置調節装置を使用することが可能である。
なお、前記XYステージ61はプローブホルダH2をねじ込んで着脱自在に装着するためのプローブホルダ装着用ねじ孔61bを有している。したがって、この実施例1では、XYステージ61はプローブホルダ保持部材(第2ホルダ保持部材)として構成されている。
【0046】
図1、図2、図3において、前記第2基台54上にはZステージ64がZ軸方向に位置調整可能に支持されている。図3から分かるように、Zステージ64は、引張ばね66により常時Z方向に引っ張られている。Zステージ64はZ側を向いた端面が図示しないZ軸方向位置調節部材に当接しており、前記Z軸方向位置調節部材および前記引張ばね66によってそのZ軸方向の位置が調節可能である。
前記Zステージ64上には−Z側の端部にガイド67(図2、図3、図6参照)が支持されている。ガイド67にはガイド孔67aが形成されており、また、前記ガイド67のZ側の面には円筒部67bがZ側に突出して形成されている。
【0047】
前記円筒部67bには円筒状絶縁体68が接着剤により接着されている。前記円筒状絶縁体68により金属製の接続部材69を介して円筒状圧電体製のスキャナ71がはめ合い構造により接着支持されている。前記スキャナ71内周面は前記接続部材69と一体に形成された薄い円筒状の金属カバー69aにより被覆、保護されている。前記ガイド67、円筒状絶縁体68、および接続部材69によりスキャナ支持部材(67+68+69)が構成されている。前記スキャナ71と金属カバー69aとの間には狭い空間が形成されており、前記空間には給電用のリード線が配置されている。
前記スキャナ71の先端は前記円筒状の金属カバー69aよりもZ方向に延びており、その先端部には円筒状絶縁部材73を介して試料ホルダ保持部材74が接着されている。
【0048】
図7、図8において、試料ホルダ保持部材74は金属製のリング状の保持部材本体76を有している。保持部材本体76はホルダ装着孔76aを有している。ホルダ装着孔76aのZ側の側面にはリング状プレート(すなわち、前進時ホルダ接触部)77が固定されている。このリング状プレート77の−Z側の面は試料ホルダH1が前進したときに試料ホルダH1が接触する前進時ホルダ接触部を構成している。リング状プレート77の内孔(すなわち、第2ホルダ貫通孔)77aの直径は前記ホルダ装着孔76aの直径よりも小さく形成されている。前記内孔77aの直径は試料ホルダH1の直径よりも小さく形成され、前記ホルダ装着孔76aの直径は試料ホルダH1の直径よりも大きく形成されている。
したがって、前記ホルダ装着孔76aの−Z側から挿入された試料ホルダH1は、前記内孔77aからZ方向には通過不能である。
前記保持部材本体の−Z側の側面には、90°間隔で合計4個のスプリング支持ブロック78およびスプリングリーフ79が固定されている。スプリングリーフ79先端はホルダ装着孔76a内のリング状プレート77の−Z側の側面を押圧している。前記リーフスプリング79の−Z側の面に隣接して配置された負荷受けピン(後退不能保持部材)80は前記スプリング支持ブロック78に固定支持されている。
【0049】
図4、図5において、前記搬送部材36の回転軸36b先端に設けた先端ホルダ保持部37は、先端側に開口するホルダ装着孔81を有している。ホルダ装着孔81は試料ホルダH1およびプローブホルダH2の被装着部が着脱自在に挿入される孔である。前記ホルダ装着孔81の先端部には上下にローラ82,82が回転可能に支持されている。前記ローラ82,82はホルダ装着孔81の内周面側に突出しているため、ホルダ装着孔81に装着される試料ホルダH1およびプローブホルダH2の被装着部の形状は、図5から分かるように、前記ローラ82,82に対応した部分が平坦に切除された形状となっている。図9Bにおいて試料ホルダH1の平坦な切除部H1aが示されている。
また、前記ローラ82,82の両端のローラ軸82a,82aは、板ばね83,83により外側から内側に向けて押されている。したがって、前記ホルダ装着孔81に試料ホルダH1、またはプローブホルダH2が挿入される場合には、前記ローラ82,82は外側に押されるが、前記板ばね83,83の弾性力により内側に押されている。この板ばね83,83の弾性力により、前記試料ホルダH1およびプローブホルダH2は、ホルダ装着孔81内に保持される。
【0050】
ローラ82,82に対応した部分が平坦に切除された試料ホルダH1およびプローブホルダH2は、その被装着部が図5に示すホルダ装着孔81に、その先端側から嵌合状態で挿入されたとき、回転不能に嵌合する。
前記ホルダ装着孔81内部には緩衝ばね84が収容されており、試料ホルダH1およびプローブホルダH2が急に押し込まれた場合に衝撃を緩和する機能を有している。
【0051】
図4に示す試料ホルダH1は試料Sを保持する部材で、外方に突出する4個の端子プレート86,86および87,87を有している。
前記図4の試料ホルダH1をZ方向に前進させる際の前記試料ホルダH1と前記試料ホルダ保持部材74のZ軸回りの位置関係は図10Aに示す通りである。この場合Z軸方向の位置関係は図10Aに示されている。但し、図10Aにおいては試料ホルダH1および試料ホルダ保持部材74のZ軸方向の位置関係を示すだけで、Z軸回りの位置関係は正しく示していない。
前記試料ホルダH1をホルダ装着孔76aに挿入すると、前記外方に突出する4個の端子プレート86,86および87,87が図9Bに示すように、リング状プレート77に当接する。前記端子プレート86,86および87,87が前記リング状プレート77に当接したときに試料ホルダH1を図10Aに示す位置から反時計方向に45度回転させて図10Bの状態にすると、前記端子プレート86,86および87,87がスプリングリーフ79によりリング状プレート77に押圧されて固定されるように構成されている。図7に示すように前記端子プレート87には、スプリングリーフ79を介して導線(図7の2点鎖線参照)が接続されている。
【0052】
前記試料ホルダH1をホルダ装着孔76aに装着した状態で前記搬送部材36および先端保持部37を後退させた場合(−Z方向に移動させた場合)前記スプリングリーフ79に負荷が作用して、破損するおそれがあるが、本実施例1では、負荷受けピン80がスプリングリーフ79の−Z側の側面に隣接して配置されているため、負荷は前記負荷受けピン80によって受けられる。このため、スプリングリーフ79の破損が防止される。前記負荷受けピン80は、前記前進時ホルダ接触部77に接触した前記ホルダH1を前記Z軸回りに一定方向に回転した状態で前記ホルダH1を後退不能に保持するとともに前記後退不能のホルダH1を前記一定方向と反対方向に回転した状態でその後退を可能にする後退不能保持部材80としての機能を有している。
前記試料ホルダH1をホルダ装着孔76aから抜き出す際には、搬送部材36を前進させて試料ホルダH1の被装着部に先端保持部37のホルダ装着孔81を嵌合させて時計方向に45度回転させてから、搬送部材36を後退させればよい。
【0053】
前記試料ホルダ保持装置56の試料ホルダ保持部材74に試料ホルダH1が保持されていない状態では、前記先端保持部37のホルダ装着孔81にプローブホルダH2を装着して、前記ホルダ装着孔76aおよびリング状プレート77の内孔77aを貫通させることにより、プローブホルダH2を前記プローブホルダ装着用ねじ孔61bに対して着脱することができる。
【0054】
(実施例1の作用)
前記ホルダ保持装置56では、スキャナ支持部材(67+68+69)は、前記スキャナ71の基端部を支持する。前記スキャナ71の先端部は、自由端として構成されており、前記円筒の軸に一致するZ軸方向に伸縮し、且つ前記Z軸に垂直で且つ互いに垂直なX軸およびY軸方向に前記先端部が移動する。
前記スキャナ支持部材(67+68+69)には、前記スキャナ基端部側から前記スキャナ71内部に接続するホルダ挿入孔67aを有する。
前記スキャナ71先端部に設けられたホルダ保持部材74に試料ホルダH1が装着されていない場合に、試料ホルダH1を装着する方法は次のとおりである。前記Z軸方向に移動可能なホルダ搬送部材36の前記先端ホルダ保持部37に試料ホルダH1を保持した状態で、前記円筒ケース33にスライド可能および回転可能に装着された永久磁石を有する操作部材38をZ方向にスライド移動させる。
【0055】
このスライド移動により、ホルダ搬送部材36は円筒ケース33内側をスライド移動する。このとき、ホルダ搬送部材36の先端ホルダ保持部37に保持された試料ホルダH1は、前記ホルダ挿入孔67aからスキャナ71の内側に進入し、スキャナ71内部を通って前記スキャナ71先端部に搬送される。
前記ホルダ挿入孔67aからスキャナ71内部に挿入されてスキャナ71先端部側に前進した試料ホルダH1はホルダ保持部材74のリング状プレート(前進時ホルダ接触部)77に当接する。
この状態で前記操作部材38を回転させて、搬送部材36の回転軸36bを回転させると、前記試料ホルダH1は図10Aの状態から図10Bの状態となる。この状態で前記操作部材38を後退させた場合(−Z方向に移動させた場合)前記スプリングリーフ79に負荷が作用するが本実施例1では、負荷受けピン80がスプリングリーフ79の−Z側の側面に隣接して配置されているため、負荷は前記負荷受けピン80によって受けられる。このため、スプリングリーフ79の破損が防止される。
このとき前記負荷受けピン80は、試料ホルダH1を後退不能に保持するので、前記搬送部材36のみが後退する(−Z方向に移動する)。
したがって、試料ホルダH1は前記スキャナ71先端部のホルダ保持部材74に装着される。
【0056】
前記ホルダ装着部材74に装着された試料ホルダを離脱させて前記パーキング4に搬送する場合の作用は次のとおりである。
前記搬送部材36をZ方向に前進させて前記先端ホルダ保持部37のホルダ装着孔81に前記試料ホルダH1を装着させて、試料ホルダH1を前記図10B状態から図10Aの状態に回転させる。この状態で前記搬送部材36を後退させて前記パーキング4に搬送する。
【0057】
前記ホルダ保持部材74には、前記搬送部材36に保持されたプローブホルダH2が貫通可能な内孔(プローブホルダ貫通孔、第2ホルダ貫通孔)77aが形成されている。
したがって、前記プローブホルダ(第2ホルダ)H2は前記ホルダ保持部材74を貫通して搬送可能である。
前記ホルダ搬送部材36の先端ホルダ保持部37に着脱自在に保持されて前記内孔(第2ホルダ貫通孔)77aを貫通した前記プローブホルダ(第2ホルダ)H2は、XYステージ(すなわち、プローブホルダ保持部材、第2ホルダ保持部材)61により着脱自在に保持される。
【0058】
(実施例2)
図14は本発明の実施例2の説明図であり、本発明の実施例1のホルダ保持装置をSAP(走査型アトムプローブ装置)に適用した場合の概略説明図である。図14において、SAPの超高真空室A内には、フランジ91に支持されたSPMステージ92が配置されている。SPMステージ92は、第1基台93、前記第1基台93に除振器94,94を介して支持された第2基台95を有している。第2基台上にはXYステージ96およびZステージ97が支持されている。XYステージ96はアパーチャホルダ保持部材として構成され、アパーチャホルダH2が保持される。前記Zステージ97には円筒状圧電体製のスキャナ98が支持され、スキャナ98の先端部にはホルダ保持部材99を介して試料ホルダH1が支持されている。前記スキャナ98およびホルダ保持部材99は前記実施例1のスキャナ71およびホルダ保持部材74と同様に構成されている。
【0059】
前記アパーチャホルダH2には、プローブホール付の引き出し電極Eが保持されている。また、前記アパーチャホルダH2のZ側にはスクリーン101およびイオン検出器102が配置されている。
試料Sに高電圧を印加し試料S先端から放出された電子またはイオンをスクリーンに映し出し、さらに、試料S先端から電界蒸発したイオンをイオン検出器102で検出し、質量分析を行う。
試料搬送部材103およびその先端に設けた先端ホルダ保持部104は、前記実施例1の試料搬送部材36および先端ホルダ保持部37と同様に構成されている。前記試料搬送部材103および先端ホルダ保持部37により、前記SPMステージ92と試料交換室106のパーキングとの間で、前記円筒状圧電体製のスキャナ98内側を通って、試料ホルダH1およびアパーチャホルダH2の搬送を行う。
【0060】
(実施例3)
図15は本発明の実施例3の説明図である。なお、この実施例3の説明において、前記実施例2の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
スキャナ98先端部には、円筒状熱絶縁部107、熱伝導部108、電気絶縁部109を介してホルダ保持部材99が、それぞれエポキシ系接着剤により取り付けられている。前記スキャナ98先端部、円筒状熱絶縁部107、熱伝導部108、電気絶縁部109およびホルダ保持部材99の接着は強度を持たせるために嵌め合いになっている。
熱伝導部108は、ヒートコンダクタ111を介して液体窒素、液体ヘリウム等が入った冷却タンク112に接続されており、試料Sの冷却が可能となっている。
【0062】
前記電気絶縁部109は熱伝導が良く、曲げ強度の大きいPBN(パイロリティクボロンナイトライド)で作られている。これにより、試料Sに10KVまで高電圧を印加可能である。
前記熱絶縁部107は熱伝導の悪い物質を使用すれば良いが、マコールで作成した場合、冷却するだけで、マコールが破損してしまう。強度を強くするためには金属を使用することが考えられるが、スキャナ98が冷却されることになる。この場合、冷熱が試料Sに伝達されないので、試料温度を十分に下げることができなくなる。また、スキャナ(圧電体)が冷却されると、感度が落ちてしまう。いろいろ検討した結果前記熱絶縁部107は、熱伝導率が悪く、しかも強度の強いグラスファイバーを使用している。
前記熱伝導部108は熱伝導性の良い金属(銅等)で作られている。
また、前記ヒートコンダクタ111は、銀または銅の箔を束ねた(重ねた)ものか、網線等が使用される。
このような構成により、試料を電気的に絶縁し且つ十分冷やすことができ、スキャナ(圧電体)は冷えないようにすることができる。
【0063】
(実施例4)
図16は本発明の実施例4の説明図である。なお、この実施例4の説明において、前記実施例3の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例4は試料加熱用電源により、試料Sを通電加熱することが可能となっている。
SAPとして使用する時には、試料加熱用電源と高電圧電源28を手動により切り換えて使用する。
【0064】
(実施例5)
図17は本発明の実施例5の説明図である。なお、この実施例5の説明において、前記図15に示す実施例3の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例5はUHV−STM(超高真空走査型トンネル顕微鏡)に適用した例である。STMの場合には、試料Sの耐電圧は、数100V以下で良いので、電気絶縁部109の長さは短くても良い。
【0065】
(変更例)
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更実施例を下記に例示する。
【0066】
(H01)スキャナ先端部に試料ホルダH1を保持する代わりにプローブホルダH2を保持し、XYステージ(第2ホルダ保持部材)61にプローブホルダH2を保持する代わりに試料ホルダH1を保持することが可能である。
(H02)本発明は、実施例に示した、STM、SAPの代わりに、UHV−AFM(原子間力顕微鏡)等の他のSPM(走査型プローブ顕微鏡)にも適用可能であり、また、超高真空でなくても、高真空用にも適用可能である。
(H03)冷却タンク112の代わりに機械式冷凍機を使用することが可能である。
(H04)熱絶縁部107は、グラスファイバーの代わりに、強度の高いステンレスを使用することが可能であり、その際、熱伝導率の良い分長さを長くしたり、形を変えたり、厚さを薄くしたりして、熱伝導率を調整して熱絶縁部107を構成することが可能である。
【0067】
【発明の効果】
前述の本発明のホルダ保持装置は、下記の効果を奏することができる。
(E01)円筒状圧電体製のスキャナの先端にホルダ保持部材を設けたホルダ保持装置において、前記スキャナに曲げ荷重を作用させることなく、ホルダ保持部材にホルダを着脱できるようにすること。
(E02)円筒状圧電体製のスキャナの先端にホルダ保持部材を設けたホルダ保持装置において、前記ホルダ保持部材に保持された試料を冷却する新規な冷却方法を提供すること。
(E03)円筒状圧電体製のスキャナの先端にホルダ保持部材を設けたホルダ保持装置を有するSAP(走査型アトムプローブ装置)で使用可能な、新規な試料冷却方法およびホルダ交換方法を提供すること。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明のホルダ保持装置の実施例1を備えたSTMの全体説明図である。
【図2】図2は前記図1の要部拡大図である。
【図3】図3は前記図2の平面図である。
【図4】図4は同実施例1の先端部に試料ホルダおよびプローブホルダを着脱自在に装着するホルダ装着部を有するホルダ搬送部材と前記試料ホルダの説明図である。
【図5】図5は前記図4に示すホルダ搬送部材とプローブホルダの説明図である。
【図6】図6は前記図2および図3に示すVI−VI線端面図である。
【図7】図7は前記図2および図3に示すVII−VII線断面図である。
【図8】図8は実施例1の試料ホルダ保持部材の説明図であり、図8Aは試料ホルダ保持部材の横断面図で図8BのVIIIA−VIIIA線断面図、図8Bは試料ホルダ保持部材の縦断面図で図8AのVIIIB−VIIIB線断面図、図8Cは前記図8Bの矢印VIIICから見た図である。
【図9】図9は実施例1の試料ホルダ保持部材と試料ホルダの装着方法の説明図であり、図9Aは装着前の状態を示す図、図9Bは装着後の状態を示す図である。
【図10】図10は実施例1の試料ホルダ保持部材と試料ホルダの装着方法の説明図であり、図10Aは装着前の試料ホルダ保持部材と試料ホルダの位置関係を示す図、図10Bは装着後の試料ホルダの位置を示す図である。
【図11】図11は実施例1のホルダ搬送部材の説明図である。
【図12】図12は前記図1に示すSTM、前記STMに接続されたパーキング、および前記パーキングでホルダの交換を行うための試料交換棒等の平面図である。
【図13】図13は前記図12のパーキングのステージ移動機構の説明図である。
【図14】図14は本発明の実施例2の説明図であり、本発明の実施例1のホルダ保持装置をSAP(走査型アトムプローブ装置)に適用した場合の概略説明図である。
【図15】図15は本発明の実施例3の説明図である。
【図16】図16は本発明の実施例4の説明図である。
【図17】図17は本発明の実施例5の説明図である。
【図18】図18は従来のホルダ保持装置を備えたAFMの全体説明図である。
【図19】図19はAFMを用いた分析作業時に試料を保持するホルダ保持装置の説明図で、図19Aは前記図18の部分拡大図、図19Bは前記図19AのXIXB−XIXB線断面図である。
【図20】図20は前記図18の部分拡大図でホルダ搬送装置の説明図である。
【図21】図21は試料ホルダをAFMの内外間で搬送するために試料ホルダを着脱自在に保持する搬送用試料ホルダ保持部材の説明図で、図21Aは前記図18の部分拡大図で、図21Bは前記図21Aの矢印XXIBから見た図である。
【図22】図22は前記図19のホルダ保持装置への試料ホルダの装着方法の説明図で、図22Aは前記図19のホルダ保持装置へ試料ホルダを装着する前の状態を示す図、図22Bは前記図19のホルダ保持装置へ試料ホルダを装着した状態を示す図である。
【図23】図23は前記図21に示す試料ホルダの説明図で、図23Aは試料が装着された状態の試料ホルダの平面図、図23Bは試料ホルダ本体の平面図、図23Cは試料ホルダ本体の斜視図、図23Dは前記試料ホルダ本体に固定される試料装着ブロックの斜視図、図23Eは他の試料装着ブロックの斜視図である。
【図24】図24はSTMの従来技術の説明図である。
【図25】図25は走査型プローブ顕微鏡で使用される試料冷却装置の従来例の説明図である。
【符号の説明】
H1…ホルダ(試料ホルダ)、H2…ホルダ(第2ホルダ、プローブホルダ)、36…ホルダ搬送部材、37…先端ホルダ保持部、56…ホルダ保持装置、61…第2ホルダ保持部材(XYステージ)、67a…ホルダ挿入孔、71…スキャナ、74…ホルダ保持部材、77…リング状プレート(前進時ホルダ接触部)、77a…第2ホルダ貫通孔、80…負荷受けピン(後退不能保持部材)、111…ヒートコンダクタ、(67+68+69)…スキャナ支持部材、
Claims (3)
- 下記の要件(A01)〜(A04)を備えたことを特徴とするホルダ保持装置、
(A01)基端部が支持され且つ先端部が自由端として構成された円筒状の圧電体により構成され、前記円筒の軸に一致するZ軸方向に伸縮可能、且つ前記Z軸に垂直で且つ互いに垂直なX軸およびY軸方向に前記先端部が移動可能なスキャナ、
(A02)前記スキャナの基端部を支持するとともに前記基端部側から前記スキャナ内部に接続するホルダ挿入孔を有するスキャナ支持部材、
(A03)前記Z軸方向に移動可能で、ホルダを着脱可能に保持する先端ホルダ保持部を有し、前記先端ホルダ保持部に保持したホルダを前記ホルダ挿入孔およびスキャナ内部を通って前記スキャナ先端部に搬送するホルダ搬送部材、
(A04)前記Z軸方向に移動可能なホルダ搬送部材の前記先端ホルダ保持部に保持されてスキャナ先端部側に前進したホルダが着脱自在に保持されるとともに、前記スキャナ先端部に設けられたホルダ保持部材。 - 下記の要件(A05),(A06)を備えたことを特徴とする請求項1記載のホルダ保持装置、
(A05)前記ホルダ保持部材に保持されるホルダとは別の第2ホルダが貫通可能な第2ホルダ貫通孔が形成された前記ホルダ保持部材、
(A06)前記ホルダ搬送部材の先端ホルダ保持部に着脱自在に保持されて前記第2ホルダ貫通孔を貫通した前記第2ホルダが着脱自在に保持される第2ホルダ保持部材。 - 下記の要件(A07),(A08)を備えたことを特徴とする請求項1または2記載のホルダ保持装置、
(A07)前記スキャナの先端部に断熱材および熱伝導材を介して設けられ且つ、ホルダが着脱自在に保持されるホルダ保持部材、
(A08)一端が前記熱伝導材に接続され且つ他端が冷熱源に接続されたヒートコンダクタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14580597A JP3553318B2 (ja) | 1997-05-20 | 1997-05-20 | ホルダ保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14580597A JP3553318B2 (ja) | 1997-05-20 | 1997-05-20 | ホルダ保持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1130573A JPH1130573A (ja) | 1999-02-02 |
JP3553318B2 true JP3553318B2 (ja) | 2004-08-11 |
Family
ID=15393565
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14580597A Expired - Fee Related JP3553318B2 (ja) | 1997-05-20 | 1997-05-20 | ホルダ保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3553318B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000258439A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Jeol Ltd | 走査形プローブ顕微鏡 |
JP3942869B2 (ja) * | 2001-11-14 | 2007-07-11 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP3959468B2 (ja) * | 2003-02-12 | 2007-08-15 | 国立大学法人 奈良先端科学技術大学院大学 | 試料搬送システム |
JP4508239B2 (ja) * | 2007-12-27 | 2010-07-21 | 株式会社日立製作所 | 試料作製装置 |
RU2466376C2 (ru) | 2008-06-24 | 2012-11-10 | Ниппон Стил Корпорейшн | Газозаряжающий контейнер, аппарат атомного зонда и способ анализа положения водорода в материале |
CN110631764A (zh) * | 2018-06-21 | 2019-12-31 | 清华大学 | 真空用平板样品架拓展结构 |
CN111257598B (zh) * | 2020-02-13 | 2021-01-05 | 西南交通大学 | 应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置 |
JP7105271B2 (ja) * | 2020-04-07 | 2022-07-22 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5941749U (ja) * | 1982-09-09 | 1984-03-17 | 日本電子株式会社 | 真空機器における試料交換棒移動機構 |
JPH0355238Y2 (ja) * | 1985-10-02 | 1991-12-09 | ||
JPH043247Y2 (ja) * | 1985-11-12 | 1992-02-03 | ||
JPH0760129B2 (ja) * | 1987-09-09 | 1995-06-28 | 日本電子株式会社 | 磁気結合式試料交換装置 |
JPH0624110B2 (ja) * | 1987-11-14 | 1994-03-30 | 日本電子株式会社 | 反射型電子顕微鏡用走査トンネル顕微鏡 |
JPH06103163B2 (ja) * | 1987-12-15 | 1994-12-14 | 日本電子株式会社 | 走査トンネル顕微鏡を備えた透過型電子顕微鏡 |
JPH01189847A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-31 | Nippon Steel Corp | 分析用試料保持方法および装置 |
JPH0795071B2 (ja) * | 1989-10-20 | 1995-10-11 | 松下電器産業株式会社 | チップ交換装置 |
JP3058771B2 (ja) * | 1992-12-18 | 2000-07-04 | 日本電子株式会社 | 試料パーキング装置 |
JP3266740B2 (ja) * | 1994-08-17 | 2002-03-18 | 日本電子株式会社 | 走査トンネル顕微鏡用試料ホルダ |
JPH0868799A (ja) * | 1994-08-31 | 1996-03-12 | Nikon Corp | 走査型プロ−ブ顕微鏡 |
JP3482258B2 (ja) * | 1994-10-21 | 2003-12-22 | オリンパス株式会社 | 走査型プローブ顕微鏡 |
JPH08201399A (ja) * | 1995-01-20 | 1996-08-09 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 微動機構 |
JPH08273572A (ja) * | 1995-03-30 | 1996-10-18 | Jeol Ltd | 試料搬送装置 |
JP3280203B2 (ja) * | 1995-08-28 | 2002-04-30 | 日本電子株式会社 | ホルダ保持装置 |
JP3223464B2 (ja) * | 1995-09-11 | 2001-10-29 | 日本電子株式会社 | 試料処理装置 |
JP3280205B2 (ja) * | 1995-09-20 | 2002-04-30 | 日本電子株式会社 | ホルダ受および試料ホルダ |
JPH10275582A (ja) * | 1997-03-28 | 1998-10-13 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡等の試料加熱・冷却装置 |
-
1997
- 1997-05-20 JP JP14580597A patent/JP3553318B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1130573A (ja) | 1999-02-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3553318B2 (ja) | ホルダ保持装置 | |
JP4616701B2 (ja) | 電子顕微鏡の試料ホルダ | |
JP5745757B2 (ja) | 二重装着光学系を備えた荷電粒子光学系 | |
JP2000251820A (ja) | マニピュレータおよびそれを用いたプローブ装置、試料作製装置 | |
US5857341A (en) | Specimen-cooling device | |
JP3266740B2 (ja) | 走査トンネル顕微鏡用試料ホルダ | |
JP3851640B2 (ja) | マニピュレータおよびそれを用いたプローブ装置、試料作製装置 | |
JP2006244796A (ja) | 電子顕微鏡の試料ホルダ | |
JP3649913B2 (ja) | 親子ホルダ | |
JP2003263969A (ja) | 試料ホルダ | |
Lapicki et al. | Kinematic sample mounting system for accurate positioning of transferrable samples | |
JP3822400B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
CN112563102A (zh) | 试样保持架和带电粒子束装置 | |
Drouhin et al. | Ultrahigh vacuum sample transfer device with broad temperature range | |
JP2986304B2 (ja) | 走査トンネル顕微鏡用試料冷却保持装置 | |
CN216451555U (zh) | 一种真空加热装置 | |
JP2001272324A (ja) | 試料ホルダ | |
JP3492485B2 (ja) | ホルダ保持部材および試料ホルダ | |
JP2003329562A (ja) | 磁場印加試料ホルダおよび試料評価装置 | |
JP2003050191A (ja) | 冷却加熱用試料ホルダおよび試料観察装置 | |
JP3437910B2 (ja) | ホルダ着脱装置 | |
JP2001083067A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JP3380134B2 (ja) | ヒートコンダクタ | |
JP2003344043A (ja) | スキャナ保持装置および走査型プローブ顕微鏡 | |
CN114096016A (zh) | 一种真空加热装置及方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040413 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040428 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080514 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090514 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090514 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100514 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100514 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110514 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120514 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120514 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130514 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |