CN111257598B - 应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置，其包括：进样腔、进样机构和传样盒。进样腔包括：进样腔腔体、进样口、进样腔观察窗口、操作杆和进样腔盖子。进样机构包括：推杆、进样导轨、进样平台和样品刮片。传样盒包括：传样盒盖子和传样盒凸台。本发明的传样过程如下：将真空管道中的待测样品放入传样盒内并密封；将传样盒取出并放入进样腔中并密封；将进样腔与真空扫描探针显微镜抽真空，打开传样盒，利用进样机构仅将待测样品传送到真空扫描探针显微镜的样品台上。本发明实现了待测样品平稳可靠传送，严格保证传样时待测样品始终处于真空环境中，且适用于现有的真空扫描探针显微镜，有效保护压电陶瓷管。
Description
技术领域
本发明属于扫描探针技术或设备领域，具体而言，涉及一种应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置。
背景技术
扫描探针显微镜是扫描隧道显微镜以及在扫描隧道显微镜的基础之上发展起来的各种新型探针显微镜(原子力显微镜、力调制显微镜、相位检测显微镜、静电力显微镜、电容扫描显微镜、热扫描显微镜和近场光学显微镜等)的统称，是一种应用于纳米科学领域和表面科学领域的精密分析仪器。近几年，随着纳米科技的迅速发展，对扫描探针显微镜的需求日益上升。
扫描探针显微镜在进行成像时，利用微小的探针针尖接近待测样品，该针尖与待测样品表面产生相互作用，通过检测这种相互作用，能够获得待测样品表面的高分辨率三维形貌。此外，也可以利用针尖对待测样品进行微观摩擦磨损实验。如果扫描探针显微镜是在普通大气环境中进行操作，那么由于大气中存在水蒸气的缘故，容易在待测样品表面形成水膜，要想实现高分辨率探测较为困难；此外，大气环境异常复杂，含有氧气、微颗粒以及有机物等，上述成分极有可能会污染待测样品表面，导致其物化特性发生改变，影响实验结果的真实性，为此，需要严格保证待测样品处于真空环境。
以超滑过程摩擦能量耗散研究作为一种典型应用实例来进行说明。理论而言，超滑是摩擦系数接近于零的润滑状态，一般认为滑动摩擦系数在0.001量级或更低的润滑状态即为超滑态。超滑现象为解决能源消耗这一难题提供了新的重要途径，在超滑状态下，摩擦系数较常规的油润滑成数量级的降低，磨损率极低，接近于零。然而，超滑现象的机理尚不清楚，有些现象用现有理论无法解释。超滑的关键是将摩擦降低到最小程度，而摩擦过程能量的耗散途径和机制是预测和控制摩擦的关键。因此，对摩擦过程能量耗散的定量研究是探索超滑机理的重要手段，亟需高分辨原位实时摩擦能量耗散实验对超滑的机理进行研究。摩擦能量耗散涉及声子耗散、声-电耦合耗散及不同频率的物理射线发射的测量，其能量微小，受环境影响巨大。为了实现对电子、声子耗散行为的有效区分，以及超低热噪声的发射信号检测等主要功能，必须采用真空环境的实验腔室，待测样品始终处于真空环境中，此时，待测样品需要利用真空管道在各个检测设备之间进行传送，例如，在真空扫描探针显微镜与真空管道之间进行传送。具体而言，需要从真空管道中取出待测样品，传送到真空扫描探针显微镜中，进而实现摩擦系数、表面形貌、局部电势和微区拉曼信息的检测，整个传送过程必须严格保证待测样品始终处于真空环境。上述需求对真空管道与真空扫描探针显微镜之间的样品传送提出了严峻挑战。
然而，提供一种应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置具有极高的难度。目前科研界和工业界鲜有类似功能的装置。经过调研，仅日立有一款带有样品传送装置的真空扫描探针显微镜。然而，该样品传送装置只能在日立的真空扫描探针显微镜和日立的扫描电子显微镜之间传送待测样品，无法直接应用于真空管道与真空扫描探针显微镜之间的样品传送，几乎没有借鉴意义，具体表现如下：
1、该装置在传样过程中，会将样品支架与待测样品一同传送至真空扫描探针显微镜的样品台上，真空扫描探针显微镜的压电陶瓷管需要额外承受样品支架的重力。然而，真空扫描探针显微镜的压电陶瓷管非常脆弱，使用时需要竭力避免承受额外压力。同时，当压电陶瓷管承受较大压力时，其运动性能也会受到抑制，影响检测的准确性。一般而言，待测样品的重量应控制在15克以下。
2、为了配合传样盒上用于定位的特殊圆柱结构，需要专门设计一个带有引导槽的特殊样品台安装在压电陶瓷管上，无法使用现有真空扫描探针显微镜的标准样品台。特殊设计的样品台尺寸微小、结构复杂、加工较为困难，且重量需要严格控制。此外，真空扫描探针显微镜本身附带有标准样品台，使用特殊设计后的样品台会带来一些不确定因素。
综上所述，现有的样品传送装置难以提供有益的借鉴和指导，亟需针对性地提供一种应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置。该装置能够保证待测样品始终处于真空环境中，避免大气环境中水蒸气、氧气、微颗粒以及有机物等对待测样品表面性质的影响，保证实验结果的真实性和可靠性；同时，该装置能够仅传送待测样品到真空扫描探针显微镜的样品台上，减小压电陶瓷管压溃风险；此外，该装置能够兼容真空扫描探针显微镜的标准样品台，杜绝不确定因素。
发明内容
本发明的目的是解决上述问题，针对性地提供一种应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置。
本发明的技术方案是：
一种应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置，包括进样腔、进样机构和传样盒。进样腔通过法兰与真空扫描探针显微镜连接，进样机构穿过进样腔与真空扫描探针显微镜内部相连，在进样腔的侧面分布有进样腔观察窗口，工作人员通过进样腔观察窗口可以看到进样机构在进样腔与真空扫描探针显微镜内部的工作过程。
在本发明较佳的实施例中，所述进样腔包括进样腔腔体、进样口、进样腔观察窗口、操作杆和进样腔盖子。进样口位于进样腔腔体的顶部。进样腔观察窗口数量为二，对称分布在进样腔腔体的两侧。进样腔盖子与操作杆相连，操作杆的端部设有操作杆凸起，操作杆凸起呈“T”字形结构，用于打开或关闭传样盒。
在本发明较佳的实施例中，所述进样机构包括推杆、进样导轨、进样平台和样品刮片。进样导轨的数量为二且互相平行，进样导轨的一端位于进样腔内部，进样导轨的另一端位于真空扫描探针显微镜的内部。进样导轨包括层叠的进样上层导轨和进样下层导轨，进样上层导轨和进样下层导轨互相平行且固连为一体状的阶梯结构，进样平台位于进样下层导轨上，样品刮片位于进样上层导轨上。进样平台位于相邻进样导轨之间，安装在进样下层导轨。样品刮片位于进样平台上方，安装在进样上层导轨。推杆包括推杆主轴、推杆主轴第一挡块、推杆主轴第二挡块和推杆主轴第三挡块。推杆主轴第一挡块位于推杆主轴的端部，推杆主轴第三挡块位于推杆主轴的另一端，推杆主轴第二挡块套设在推杆主轴上。推杆主轴呈阶梯式的柱状体结构，推杆主轴第三挡块为半圆柱体结构，推杆主轴中直径较小的端部与推杆主轴第三挡块的半圆柱体结构的直线部分固连。进样平台上设有进样平台槽，推杆主轴第三挡块能够在进样平台槽内部转动。样品刮片呈“回”字形结构，样品刮片上设有样品第一刮片和样品第二刮片，样品第一刮片和样品第二刮片的结构相同，均为圆弧状结构且对称布置，样品刮片上设有样品刮片孔，样品刮片孔呈“T”字形结构，样品刮片孔将样品第二刮片分为两段。样品刮片孔与进样平台槽层叠分布，推杆主轴第三挡块在样品刮片孔内转动。通过这种设计，可以实现推杆仅操控样品刮片和同时操控进样平台以及样品刮片两种操作模式。
在本发明较佳的实施例中，所述进样平台上设有结构相同的进样平台第一缺口和进样平台第二缺口，进样平台第一缺口和进样平台第二缺口对称分布在进样平台的两端。
在本发明较佳的实施例中，所述样品刮片为薄片结构，样品第一刮片和样品第二刮片均为弹性刮片，弹性刮片由高分子材料制成。
在本发明较佳的实施例中，所述弹性刮片高分子材料包括但不限于聚氨酯、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚醚醚酮等。
在本发明较佳的实施例中，所述传样盒包括传样盒盖子和传样盒凸台。传样盒盖子与传样盒凸台通过螺纹连接配合，传样盒盖子内部设有一密封圈，保证传样盒内部空间处于密封状态。传样盒凸台底部有一个“十”字形的凸起结构，该凸起结构与进样腔底部的“十”字形凹槽配合，使得传样盒凸台不能旋转。传样盒盖子顶部有两个对称的圆弧形开口，该圆弧形开口用于进样腔顶部的操作杆打开或关闭传样盒。
在本发明较佳的实施例中，采用所述应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置进行待测样品传送的流程如下：首先，将待测样品从真空管道中取出，放入传样盒中传样盒凸台上，盖上传样盒盖子，将传样盒密封；然后，将传样盒取出，放入进样腔中，盖上进样腔盖子，将进样腔密封；接着，将进样腔与真空扫描探针显微镜抽真空，通过进样腔顶部的操作杆打开传样盒盖子，露出待测样品；最后，通过进样机构将待测样品传送到真空扫描探针显微镜的标准样品台上。
本发明提供的应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置具有如下有益效果：
1、严格保证待测样品始终处于真空环境中，避免了大气环境中水蒸气、氧气、微颗粒以及有机物等对待测样品表面性质的影响，保证了实验结果的真实性和可靠性。
2、有效保护真空扫描探针显微镜的压电陶瓷管：仅将待测样品传送到真空扫描探针显微镜的样品台上，避免压电陶瓷管承受额外压力，减小压溃风险。
3、适用于现有的真空扫描探针显微镜：兼容现有真空扫描探针显微镜的标准样品台，杜绝不确定因素；进样腔与进样机构均为可拆卸设计，使用时安装，使用完成后拆卸下来，无需对现有真空扫描探针显微镜进行改造。
4、实现待测样品平稳可靠传送：进样机构具有水平的进样导轨，保证了进样平台运动过程平稳；同时，进样导轨为双层设计，两层导轨始终保持平行，保证了刮取待测样品的平稳可靠；在进样平台上设有两个圆弧形缺口，精确地限制了进样平台运动的起始点和终止点，使得传送待测样品的过程精确可靠。
附图说明
图1是本发明使用状态图；
图2是本发明进样腔及传样盒的爆炸视图；
图3是本发明进样腔安装示意图；
图4是本发明进样机构结构示意图；
图5是本发明进样机构中推杆、样品刮片和进样平台的示意图；
图6是本发明进样平台结构示意图；
图7是本发明进样导轨结构示意图；
图8是本发明样品刮片结构示意图；
图9是本发明推杆结构示意图；
图10是本发明使用时初始状态示意图；
图11是本发明开启传样盒示意图；
图12是本发明进样机构推动示意图；
图13是本发明进样机构送待测样品进入真空扫描探针显微镜的状态示意图。
附图标记说明：1、真空扫描探针显微镜；2、进样腔；3、进样机构；4、传样盒；11、真空扫描探针显微镜主体；12、法兰；21、进样腔腔体；22、进样口；23、进样腔观察窗口；24、操作杆；25、进样腔盖子；31、推杆；32、进样导轨；33、进样平台；34、样品刮片；311、推杆主轴；312、推杆主轴第一挡块；313、推杆主轴第二挡块；314、推杆主轴第三挡块；321、进样上层导轨；322、进样下层导轨；331、进样平台槽；332、进样平台第一缺口；333、进样平台第二缺口；341、样品第一刮片；342、样品第二刮片；343、样品刮片孔；41、传样盒盖子；42、传样盒凸台。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步的说明：
如图1到图13所示，本发明提供的一种应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置，包括进样腔2、进样机构3和传样盒4。真空扫描探针显微镜1中安装有样品台，进样腔2通过法兰12与真空扫描探针显微镜1相连，该连接方式确保真空扫描探针显微镜1与进样腔2的密封性。进样机构3穿过进样腔2与真空扫描探针显微镜1内部相连，在进样腔2的侧面分布有进样腔观察窗口23，工作人员通过进样腔观察窗口23可以看到进样机构3在进样腔2与真空扫描探针显微镜1内部的工作过程。
真空扫描探针显微镜1包括真空扫描探针显微镜主体11和法兰12。真空扫描探针显微镜主体11呈圆柱状结构，真空扫描探针显微镜主体11与样品台相连，法兰12位于真空扫描探针显微镜主体11侧面，用于连接真空扫描探针显微镜1与进样腔2。
进样腔2包括进样腔腔体21、进样口22、进样腔观察窗口23、操作杆24和进样腔盖子25。进样腔腔体21为内部中空的长方体结构，进样口22位于进样腔腔体21的顶部。进样腔观察窗口23的数量为二，对称的分布在进样腔腔体21的两侧。进样腔盖子25与操作杆24相连，操作杆24的端部设有操作杆凸起，操作杆凸起呈“T”字形结构，用于打开或关闭传样盒4。
如图1到图5所示，进样机构3包括推杆31、进样导轨32、进样平台33和样品刮片34。进样导轨32的数量为二且互相平行，进样导轨32的一端位于进样腔2内部，进样导轨32的另一端位于真空扫描探针显微镜1的内部。推杆31推动进样平台33和样品刮片34往返运动。进样平台33位于相邻进样导轨32之间，安装在进样下层导轨322；样品刮片34位于进样平台33上方，安装在进样上层导轨321。推杆31包括推杆主轴311、推杆主轴第一挡块312、推杆主轴第二挡块313和推杆主轴第三挡块314。推杆主轴第一挡块312位于推杆主轴311的端部，推杆主轴第三挡块314位于推杆主轴311的另一端，推杆主轴第二挡块313套设在推杆主轴311上。推杆主轴311呈阶梯式的柱状体结构，推杆主轴第三挡块314为半圆柱体结构。推杆主轴311中直径较小的端部与推杆主轴第三挡块314的半圆柱体结构的直线部分固连。推杆主轴311可以实现绕自身轴线方向转动和水平伸缩运动，操作者可以在外部驱动推杆主轴311做沿轴线方向的转动和水平运动。推杆主轴311可以保证本发明的装置内部在密封环境不被破坏的情况下，进行推拉和旋转两个自由度的运动，以实现仅推动样品刮片34和同时推动进样平台33以及样品刮片34两种操作模式。
如图6到图9所示，进样平台33上设有进样平台槽331，推杆主轴第三挡块314能够在进样平台槽331内部转动。样品刮片34呈“回”字形结构，样品刮片34上设有样品第一刮片341和样品第二刮片342，样品第一刮片341和样品第二刮片342的结构相同，均为圆弧状结构且对称布置。样品第一刮片341和样品第二刮片342的圆弧弯曲方向相对，即样品第一刮片341和样品第二刮片342均向样品刮片34内部弯曲。样品第一刮片341和样品第二刮片342位于样品刮片34的同一侧。样品刮片34上设有样品刮片孔343，样品刮片孔343呈“T”字形结构，样品刮片孔343将样品第二刮片342分为两段。样品刮片孔343与进样平台槽331层叠分布，推杆主轴第三挡块314能在样品刮片孔343内转动。通过这种设计，可以实现推杆31仅操控样品刮片34和同时操控进样平台3以及样品刮片34两种操作模式。
进样导轨32包括层叠的进样上层导轨321和进样下层导轨322。进样上层导轨321和进样下层导轨322互相平行且固连为一体状的阶梯结构，进样平台33位于进样下层导轨322上，样品刮片34位于进样上层导轨321上。相邻进样下层导轨322之间放置进样平台33，平行设置的进样下层导轨322能够保证进样平台33在运动时保持水平，能够保证待测样品传送过程的稳定。相邻进样上层导轨321之间放置样品刮片34，进样上层导轨321和进样下层导轨322互相平行，能够使样品刮片34在运动时与进样平台33始终保持平行，进而保证本发明在工作过程中，刮取待测样品过程的平稳可靠。
在本实施例中，进样平台33为薄片结构，进样平台33的底部两侧的棱边做倒角处理，倒角面与进样下层导轨322配合。通过倒角的设置，可以帮助进样平台33更好的对准真空扫描探针显微镜1与进样腔2的中轴线。
进样平台33上设有结构相同的进样平台第一缺口332和进样平台第二缺口333，进样平台第一缺口332和进样平台第二缺口333对称分布在进样平台33的两端。
在本实施例中，进样平台33上设置的进样平台第一缺口332能够很好的贴合真空扫描探针显微镜中的样品台，进样平台第二缺口333能够很好的贴合传样盒凸台42。
推杆31在推动样品刮片34和进样平台33运动过程中，通过进样品台33上的两个圆弧形缺口进行有效的定位，这两个圆弧形缺口可以分别与传样盒4内的传样盒凸台42和真空扫描探针显微镜1中的样品台配合，限制了进样平台33在进样导轨32上的运动范围，确定了进样平台33运动的起始点和终止点，进而保证了传样过程的精确可靠。
样品刮片34为薄片结构，样品第一刮片341和样品第二刮片342均为弹性刮片，弹性刮片由高分子材料制成，弹性刮片用于刮取待测样品。弹性刮片高分子材料包括但不限于聚氨酯、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚醚醚酮等。
在本实施例中，传样盒4包括传样盒盖子41和传样盒凸台42。传样盒盖子41与传样盒凸台42通过螺纹连接配合，传样盒盖子41内部设有一密封圈，保证传样盒内部空间处于密封状态。传样盒凸台42底部有一个“十”字形的凸起结构，该凸起结构与进样腔2底部的“十”字形凹槽配合，使得传样盒凸台不能旋转。传样盒盖子41顶部有两个对称的圆弧形开口，该圆弧形开口用于进样腔顶部的操作杆24打开或关闭传样盒4。
如图10到图13所示，本发明在使用时，可以在真空环境下工作，传送待测样品时，避免了大气中水蒸气、氧气、微颗粒以及有机物等对待测样品表面性质的影响，保证了实验结果的真实性和可靠性。待测样品放置在传样盒4中，在刮取待测样品时，传样盒4与进样平台33间的间隙很小，保证了刮取待测样品过程的可靠。
采用应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置进行待测样品传送的流程如下：开始时，待测样品在真空管道中，把待测样品从真空管道中取出，放到传样盒凸台42上，盖上传样盒盖子41，将传样盒4密封。把传样盒4取出，放入进样腔2中，盖上进样腔上盖25，把整个腔体抽真空。利用进样腔上部的操作杆24打开传样盒盖子41，露出待检测样品。传送待测样品时，先用推杆主轴311操作样品刮片34将待扫描的样品刮到进样平台33上，然后旋转推杆主轴311同时推动样品刮片34和进样平台33，将待测样品移动到真空扫描探针显微镜1的内部，使进样平台33靠近真空扫描探针显微镜的样品台。旋转推杆主轴311，使推杆主轴311仅能带动样品刮片34，将待测样品从进样平台33上刮取到真空扫描探针显微镜的样品台上，即可开始扫描待测样品。扫描完成后，仍可使用上述流程将待测样品传送回进样腔2。
本领域的普通技术人员将会意识到，这里所述的实施例是为了帮助读者理解本发明的原理，应被理解为本发明的保护范围并不局限于这样的特别陈述和实施例。本领域的普通技术人员可以根据本发明公开的这些技术启示做出各种不脱离本发明实质的其它各种具体变形和组合，这些变形和组合仍然在本发明的保护范围内。
Claims (7)
1.一种应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置，其特征在于：包括进样腔(2)、进样机构(3)和传样盒(4)，进样腔(2)通过法兰(12)与真空扫描探针显微镜(1)相连，进样机构(3)穿过进样腔(2)与真空扫描探针显微镜(1)内部相连，在进样腔(2)的侧面分布有进样腔观察窗口(23)，工作人员通过进样腔观察窗口(23)可以看到进样机构(3)在进样腔(2)与真空扫描探针显微镜(1)内部的工作过程；
所述进样机构(3)包括推杆(31)、进样导轨(32)、进样平台(33)和样品刮片(34)，进样导轨(32)的数量为二且互相平行，进样导轨(32)的一端位于进样腔(2)内部，进样导轨(32)的另一端位于真空扫描探针显微镜(1)的内部；进样导轨(32)包括层叠的进样上层导轨(321)和进样下层导轨(322)，进样平台(33)位于相邻进样导轨(32)之间，安装在进样下层导轨(322)；样品刮片(34)位于进样平台(33)上方，安装在进样上层导轨(321)；推杆(31)包括推杆主轴(311)、推杆主轴第一挡块(312)、推杆主轴第二挡块(313)和推杆主轴第三挡块(314)，推杆主轴第一挡块(312)位于推杆主轴(311)的端部，推杆主轴第三挡块(314)位于推杆主轴(311)的另一端，推杆主轴第二挡块(313)套设在推杆主轴(311)上，推杆主轴(311)呈阶梯式的柱状体结构，推杆主轴第三挡块(314)为半圆柱体结构，推杆主轴(311)中直径较小的端部与推杆主轴第三挡块(314)的半圆柱体结构的直线部分固连；进样平台(33)上设有进样平台槽(331)，推杆主轴第三挡块(314)能够在进样平台槽(331)内部转动；样品刮片(34)呈“回”字形结构，样品刮片(34)上设有样品第一刮片(341)和样品第二刮片(342)，样品第一刮片(341)和样品第二刮片(342)的结构相同，均为圆弧状结构且对称布置；样品第一刮片(341)和样品第二刮片(342)的圆弧弯曲方向相对，即样品第一刮片(341)和样品第二刮片(342)均向样品刮片(34)内部弯曲；样品第一刮片(341)和样品第二刮片(342)位于样品刮片(34)的同一侧，样品刮片(34)上设有样品刮片孔(343)，样品刮片孔(343)呈“T”字形结构，样品刮片孔(343)将样品第二刮片(342)分为两段；样品刮片孔(343)与进样平台槽(331)层叠分布，推杆主轴第三挡块(314)能在样品刮片孔(343)内转动。
2.根据权利要求1所述的应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置，其特征在于：所述真空扫描探针显微镜(1)包括真空扫描探针显微镜主体(11)和法兰(12)，真空扫描探针显微镜主体(11)呈圆柱状结构，真空扫描探针显微镜主体(11)与样品台相连，法兰(12)位于真空扫描探针显微镜主体(11)侧面，用于连接真空扫描探针显微镜(1)与进样腔(2)。
3.根据权利要求1所述的应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置，其特征在于：所述进样腔(2)包括进样腔腔体(21)、进样口(22)、进样腔观察窗口(23)、操作杆(24)和进样腔盖子(25)，进样腔腔体(21)为内部中空的长方体结构，进样口(22)位于进样腔腔体(21)的顶部，进样腔观察窗口(23)的数量为二，对称的分布在进样腔腔体(21)的两侧，进样腔盖子(25)与操作杆(24)相连，操作杆(24)的端部设有操作杆凸起，操作杆凸起呈“T”字形结构，用于打开或关闭传样盒(4)。
4.根据权利要求1所述的应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置，其特征在于：所述进样上层导轨(321)和进样下层导轨(322)互相平行且固连为一体状的阶梯结构，进样平台(33)位于进样下层导轨(322)上，样品刮片(34)位于进样上层导轨(321)上。
5.根据权利要求1所述的应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置，其特征在于：所述进样平台(33)上设有结构相同的进样平台第一缺口(332)和进样平台第二缺口(333)，进样平台第一缺口(332)和进样平台第二缺口(333)对称分布在进样平台(33)的两端。
6.根据权利要求1所述的应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置，其特征在于：所述样品刮片(34)为薄片结构，样品第一刮片(341)和样品第二刮片(342)均为弹性刮片，弹性刮片由高分子材料制成；所述弹性刮片高分子材料包括但不限于聚氨酯、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚醚醚酮。
7.根据权利要求1所述的应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置，其特征在于：所述传样盒(4)包括传样盒盖子(41)和传样盒凸台(42)，传样盒盖子(41)与传样盒凸台(42)通过螺纹连接配合，传样盒盖子(41)内部设有一密封圈，保证传样盒内部空间处于密封状态，传样盒凸台(42)底部有一个“十”字形的凸起结构，该凸起结构与进样腔(2)底部的“十”字形凹槽配合，使得传样盒凸台不能旋转，传样盒盖子(41)顶部有两个对称的圆弧形开口，该圆弧形开口用于进样腔顶部操作杆(24)打开或关闭传样盒(4)。
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