CN113740108A - 用于设备真空环境的颗粒取样装置、分析系统及取样方法 - Google Patents
用于设备真空环境的颗粒取样装置、分析系统及取样方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113740108A CN113740108A CN202110993286.8A CN202110993286A CN113740108A CN 113740108 A CN113740108 A CN 113740108A CN 202110993286 A CN202110993286 A CN 202110993286A CN 113740108 A CN113740108 A CN 113740108A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- vacuum
- sample
- sampling
- vacuum environment
- rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005070 sampling Methods 0.000 title claims abstract description 68
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 67
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 65
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 8
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 3
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 claims description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 claims description 3
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 claims description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 3
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 claims description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 claims description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000001900 extreme ultraviolet lithography Methods 0.000 abstract description 9
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 44
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 description 3
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 3
- DCRGHMJXEBSRQG-UHFFFAOYSA-N 1-[1-(cyclooctylmethyl)-5-(hydroxymethyl)-3,6-dihydro-2H-pyridin-4-yl]-3-ethyl-2-benzimidazolone Chemical compound O=C1N(CC)C2=CC=CC=C2N1C(CC1)=C(CO)CN1CC1CCCCCCC1 DCRGHMJXEBSRQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000007431 microscopic evaluation Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 2
- 238000010943 off-gassing Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000013065 commercial product Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 238000003921 particle size analysis Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/10—Devices for withdrawing samples in the liquid or fluent state
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/10—Devices for withdrawing samples in the liquid or fluent state
- G01N2001/1006—Dispersed solids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/10—Devices for withdrawing samples in the liquid or fluent state
- G01N2001/1031—Sampling from special places
Abstract
一种用于设备真空环境的颗粒取样装置、分析系统及取样方法，包括：静电捕集头，所述静电捕集头包括正极板和负极板、电极接线柱、绝缘底座，所述正极板和负极板间隔平行设置，所述绝缘底座与第一磁力杆的传样杆连接，所述电极接线柱一端与对应的正极板和负极板连接，另一端连接在所述绝缘底座上用于与电源连接，第一磁力杆，包括传样杆和驱动所述传样杆直线移动的磁力驱动部。本发明可以完成对极紫外光刻机真空环境中颗粒物的收集，然后将样品从真空环境中转移出来进行分析。从而可以应用扫描电子显微镜、扫描隧道显微镜等高分辨显微技术，分析粒径从几纳米到微米级颗粒物。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造工艺技术领域，具体地说，涉及一种用于设备真空环境的颗粒取样装置、分析系统及取样方法。
背景技术
极紫外光刻机(EUVL)采用波长为13.5nm的极紫外光(EUV)作为曝光光源，可以完成特征线宽为7nm以下的芯片的光刻。由于极紫外光(EUV)的波长很短、光子能量很大，极易被光路中碰撞的各种物质吸收，比如气体分子，颗粒物等，因此EUVL的光刻过程必须在真空环境中进行。EUVL曝光时颗粒带来的更大的危害是掉落或吸附在晶圆表面的任何颗粒都会影响该处的曝光质量，从而产生缺陷，降低产品良率。EUVL的真空环境中的颗粒通常来源于残余气体中的尘埃、曝光时EUV照射光刻胶后产生的颗粒物、材料表面析出的颗粒、运动部件相互摩擦产生的颗粒，等等。由于真空环境的气体分子密度小，气体分子由于热运动提供给颗粒的碰撞动能有限，所以粒径较大、重量较大的颗粒无法通过气体分子的热运动而飘散在空间环境，比较容易捕捉取样，但是一些粒径小、重量轻的纳米级的颗粒有可能在真空环境中进行随机运动。目前对于气体或液体环境中的颗粒的粒径的检测大多采用光学方法，光学方法受衍射效应的限制，可测尺寸下限通常较大，商用型设备可检范围下限多为0.5微米。显然这类设备不适合用于检测真空环境中的颗粒尺寸。而检测纳米尺度材料的尺寸通常需要以波长更短的电子为探针的设备，比如扫描电子显微镜、透射电子显微镜，或者以物体间相互作用力为探针的设备，比如原子力显微镜、扫描探针显微镜等。但这些设备都不能进行在线测量，只能取样后进行离线测试。由此，需要一种能够捕捉取样上述在真空环境中的粒径小、重量轻的纳米级的颗粒的方法和设备。
发明内容
本发明考虑到悬浮在空气中的颗粒物适合采用静电吸附的方式来进行取样。由此提供一种捕获真空环境中的颗粒物样品，用于颗粒物的粒径分析。
所采用的技术方案如下：
一种用于设备真空环境的颗粒取样装置，包括：
静电捕集头，所述静电捕集头包括正极板和负极板、电极接线柱、绝缘底座，所述正极板和负极板间隔平行设置，所述绝缘底座与第一磁力杆的传样杆连接，所述电极接线柱一端与对应的正极板和负极板连接，另一端连接在所述绝缘底座上用于与电源连接，
第一磁力杆，包括传样杆和驱动所述传样杆直线移动的磁力驱动部。
可选地，还包括传样杆套筒和法兰，所述法兰连接在传样杆套筒的一端，用于将第一磁力杆固定在设备上，
所述传样杆穿过该传样杆套筒、法兰，与所述传样杆套筒滑动密封，所述传样杆套筒另一端封闭。
可选地，所述正极板和负极板的电压值的大小使得在所述真空环境中不出现击穿空气打火现象。
可选地，所述绝缘底座通过与其固定连接的转接柱与传样杆可拆卸的连接。
可选地，正极板和负极板采用铜、银、铝、铂、金中的一种材料制成。
可选地，所述绝缘底座采用陶瓷、特氟龙、聚苯硫醚、聚酰亚胺材料中的一种。
本发明还提供一种用于设备真空环境的颗粒取样分析系统，包括扫描电子显微镜以及以上所述的取样装置，还包括：
与所述设备真空环境连通的中转腔室，在所述中转腔室和所述真空环境之间连接有第一真空阀，在所述中转腔室上连通有真空泵和氮气充入设备，其中，所述真空泵用于在将静电捕集头推入所述真空环境的取样位置之前，将中转腔室抽至所需真空度，
所述氮气充入设备用于在使用导电碳带从极板表面将收集的颗粒物粘下来之前，采用纯度大于等于99.99％的氮气对中转腔室充气至大气压，并保持氮气持续充入状态。
本发明还提供一种用于设备真空环境的颗粒取样分析系统，包括以上所述的取样装置，还包括：
所述正极板和负极板均为旗型，还包括与所述设备真空环境连通的中转腔室，以及与所述中转腔室连通的扫描隧道显微镜的真空腔室，
在所述中转腔室和所述真空环境之间连接有第一真空阀，在所述中转腔室与扫描隧道显微镜的真空腔室之间设置有第二真空阀，在所述中转腔室上连通有真空泵，在所述扫描隧道显微镜的真空腔室内设置有样品台，
其中，所述真空泵用于在将静电捕集头推入所述真空环境的取样位置之前，将中转腔室抽至所需真空度。
本发明还提供一种设备真空环境的颗粒取样方法，采用以上所述的颗粒取样分析系统，进行以下步骤：
用真空泵将中转腔室抽至所需真空度，然后打开第一真空阀，通过磁力驱动部驱动传样杆直线运动，使得静电捕集头推入取样位置；
向静电捕集头的极板加载电压进行取样，取样完成后通过磁力驱动部驱动传样杆直线运动，将静电捕集头撤回中转腔室，关闭第一真空阀；
采用纯度大于等于99.99％的氮气对中转腔室充气至大气压，然后在保持氮气持续充入的情况下，使用导电碳带从极板表面将收集的颗粒物粘下来，放入样品存放盒里。
本发明还提供一种设备真空环境的颗粒取样方法，采用以上所述的颗粒取样分析系统，进行以下步骤：
用真空泵将中转腔室抽至所需真空度，然后打开第一真空阀，通过磁力驱动部驱动传样杆直线运动，使得静电捕集头推入取样位置；
向静电捕集头的极板加载电压进行取样，取样完成后通过磁力驱动部驱动传样杆直线运动，将静电捕集头撤回中转腔室，关闭第一真空阀；
在扫描隧道显微镜的真空腔室的真空度低于要求值时打开第二真空阀，用第二磁力杆将极板从中转腔室转移到扫描隧道显微镜的真空腔室内的样品台上，然后关闭第二真空阀。本发明所提供的取样装置可以完成对极紫外光刻机真空环境中颗粒样品的收集，然后将样品从真空环境中转移出来进行分析。从而可以应用扫描电子显微镜、扫描隧道显微镜等高分辨显微技术，分析粒径从几纳米到微米级颗粒物。
附图说明
通过结合下面附图对其实施例进行描述，本发明的上述特征和技术优点将会变得更加清楚和容易理解。
图1a是表示本发明的静电捕集头的装配示意图；
图1b是表示本发明的静电捕集头的爆炸视图；
图1c是表示本发明的取样装置的装配示意图；
图2是表示本发明实施例的取样装置在实施例一的应用场景；
图3是表示本发明实施例的取样装置在实施例二的应用场景。
具体实施方式
下面将参考附图来描述本发明所述的实施例。本领域的普通技术人员可以认识到，在不偏离本发明的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式或其组合对所描述的实施例进行修正。因此，附图和描述在本质上是说明性的，而不是用于限制权利要求的保护范围。此外，在本说明书中，附图未按比例画出，并且相同的附图标记表示相同的部分。
本实施例的用于设备真空环境的颗粒取样装置10，包括静电捕集头101和第一磁力杆110。所述静电捕集头101包括两个极板102，其中一个是正极板，一个是负极板，所述正极板和负极板间隔平行设置。所述静电捕集头101还包括电极接线柱103、绝缘底座104、转接柱105，对应每个极板都具有两根电极接线柱103，电极接线柱103的一端与对应的极板固定连接，另一端则将极板连接在绝缘底座104上，使得极板102以垂直于绝缘底座104的形式固定在绝缘底座104上，通过电极接线柱103另一端与电源连接，可以向极板施加电压，电压值的大小应使得在所述真空环境中不出现击穿腔室内空气而出现打火。转接柱105固定在所述绝缘底座104的与极板102相对的一面，用于与第一磁力杆110的传样杆106连接。
所述第一磁力杆110包括传样杆106、第一法兰107、传样杆套筒108和磁力驱动部109(磁力驱动器可选用商用产品)，所述第一法兰107固定在所述传样杆套筒108的一端，用于将第一磁力杆固定在所述设备上，所述传样杆106穿过传样杆套筒108和第一法兰107延伸出来，与所述传样杆套筒滑动密封。所述磁力驱动部109套设在传样杆套筒108的外周，通过磁力驱动部109可以驱动传样杆106直线运动，从而带动静电捕集头101直线运动。通过驱动静电捕集头101移动至设备的待测真空环境中，在极板102上施加一定电压，从而在极板102之间产生高压电场，通过电场区域的真空环境内气体分子被电离为正离子和电子，电子奔向正极过程中与颗粒物发生碰撞，使颗粒物带负电吸附到正极被收集；正离子在电场作用下向负极移动过程中与颗粒物结合，使颗粒物带正电被吸附到负极而被收集。
为了避免取样装置自身对真空环境的影响，极板102选用具有高电导率、低释气率、低饱和蒸气压的材料，例如铜、银、铝、铂、金等；绝缘底座选用低发尘量、低释气率的绝缘材料，比如陶瓷、特氟龙、聚苯硫醚、聚酰亚胺等材料。极板的形状可根据所选择的测试手段进行特殊设计。
使用该取样装置时，首先将图1c所示取样装置通过第一法兰107安装到待测设备上，然后用传样杆106将静电捕集头101推动至指定位置，然后在两个极板102上施加一定的电压进行取样。待取样时间足够长后，两个极板102上会吸附一定量的颗粒物，将静电捕集头101从待测设备的真空环境中转移出来。由此完成被测真空环境内的颗粒物收集。根据不同的颗粒分析手段，对获得的样品进行区别处理。
下面结合不同的分析仪器来说明本发明的取样装置如何应用。
实施例一
图2所示为从极紫外光刻机真空环境中提取颗粒样品后将用扫描电子显微镜分析颗粒粒径的应用。设备真空腔室201的第一真空阀202与中转腔室204通过法兰连接，中转腔室204用来安装取样装置10。在所述中转腔室204上连通有真空泵和氮气充入设备(未示出)，其中，真空泵通过第二法兰203与中转腔室204连接，氮气充入设备通过第三法兰206与中转腔室204连接。不需要进行取样时，第一真空阀202处于关闭状态。当需要进行取样时，首先用真空泵通过第二法兰203将中转腔室204抽至所需真空度，然后打开第一真空阀202，通过磁力驱动部109驱动传样杆106直线运动，使得静电捕集头101推入取样位置。静电捕集头101的极板通过电馈通法兰205与直流高压电源连通。加载一定的电压即可开始进行取样，取样完成后通过磁力驱动部109驱动传样杆106直线运动，将静电捕集头101撤回中转腔室204，关闭第一真空阀202。为了避免收集到的样品受到外界大气环境中颗粒物的影响，采用超高纯的氮气(99.99％)对中转腔室204充气至大气压，然后在保持氮气持续充入的情况下，由于扫描电子显微镜通常需要样品有一定的导电能力，可以使用导电碳带从极板表面将收集的颗粒物粘下来，粘的过程要有充分的绝缘保护，防止触电和造成短路，然后放入样品存放盒里。这样就获得了一个可以用扫描电子显微镜来观察真空环境中的颗粒物的样品。从而可以分析粒径从几纳米到微米级颗粒物，还可以结合扫描电子显微镜的能谱分析功能，对颗粒物的成分进行分析，在此不做详述。
实施例二
在众多显微分析技术中，扫描隧道显微镜经常被搭配到其他真空设备上用于样品的形貌分析，其最大的优势在于可以通过传样杆或机械手将样品在不同真空腔室进行转移，保证样品不暴露在大气环境中，从而可以最大程度的避免样品被污染。因此它非常适合用于分析极紫外光刻机的真空环境的颗粒。为了适配扫描隧道显微镜的样品台，可以将极板102设置为扫描隧道显微镜常用的旗型结构。如图3所示，将扫描隧道显微镜的真空腔室303与中转腔室204连通，并在其间安装第二真空阀301。颗粒收集过程跟实施例一基本相同，在取样装置从设备真空腔室201中取样结束后，将取样装置从设备真空腔室201中撤出至中转腔室204，关闭第一真空阀202。然后在扫描隧道显微镜的真空腔室303的真空度低于要求值时打开第二真空阀301，然后用第二磁力杆302将极板102缓慢地从中转腔室204转移到扫描隧道显微镜的真空腔室303内的样品台上，然后关闭第二真空阀301，接下来即可对样品进行显微分析。
以上所述仅为本发明的优选实施例，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种用于设备真空环境的颗粒取样装置，其特征在于，包括：
第一磁力杆，包括传样杆和驱动所述传样杆直线移动的磁力驱动部；
静电捕集头，所述静电捕集头包括正极板和负极板、电极接线柱、绝缘底座，所述正极板和负极板间隔平行设置，所述绝缘底座与第一磁力杆的传样杆连接，所述电极接线柱一端与对应的正极板和负极板连接，另一端连接在所述绝缘底座上用于与电源连接。
2.根据权利要求1所述的用于设备真空环境的颗粒取样装置，其特征在于，还包括传样杆套筒和法兰，所述法兰连接在传样杆套筒的一端，用于将第一磁力杆固定在设备上，所述传样杆穿过该传样杆套筒、法兰，与所述传样杆套筒滑动密封。
3.根据权利要求1所述的用于设备真空环境的颗粒取样装置，其特征在于，所述正极板和负极板的电压值的大小使得在所述真空环境中不出现击穿空气出现打火现象，不出现辉光放电现象。
4.根据权利要求1所述的用于设备真空环境的颗粒取样装置，其特征在于，所述绝缘底座通过与其固定连接的转接柱与传样杆可拆卸的连接。
5.根据权利要求1所述的用于设备真空环境的颗粒取样装置，其特征在于，正极板和负极板采用铜、银、铝、铂、金中的一种材料制成。
6.根据权利要求1所述的用于设备真空环境的颗粒取样装置，其特征在于，所述绝缘底座采用陶瓷、特氟龙、聚苯硫醚、聚酰亚胺材料中的一种。
7.一种用于设备真空环境的颗粒取样分析系统，其特征在于，包括扫描电子显微镜以及权利要求1至6中任一项所述的取样装置，还包括：
与所述设备真空环境连通的中转腔室，在所述中转腔室和所述真空环境之间连接有第一真空阀，在所述中转腔室上连通有真空泵和氮气充入设备，其中，所述真空泵用于在将静电捕集头推入所述真空环境的取样位置之前，将中转腔室抽至所需真空度，
所述氮气充入设备用于在使用导电碳带从极板表面将收集的颗粒物粘下来之前，采用纯度大于等于99.99％的氮气对中转腔室充气至大气压，并保持氮气持续充入状态。
8.一种用于设备真空环境的颗粒取样分析系统，其特征在于，包括权利要求1至6中任一项所述的取样装置，还包括：
所述正极板和负极板均为旗型，还包括与所述设备真空环境连通的中转腔室，以及与所述中转腔室连通的扫描隧道显微镜的真空腔室，
在所述中转腔室和所述真空环境之间连接有第一真空阀，在所述中转腔室与扫描隧道显微镜的真空腔室之间设置有第二真空阀，在所述中转腔室上连通有真空泵，在所述扫描隧道显微镜的真空腔室内设置有样品台，
其中，所述真空泵用于在将静电捕集头推入所述真空环境的取样位置之前，将中转腔室抽至所需真空度。
9.一种设备真空环境的颗粒取样方法，其特征在于，采用权利要求7所述的颗粒取样分析系统，进行以下步骤：
用真空泵将中转腔室抽至所需真空度，然后打开第一真空阀，通过磁力驱动部驱动传样杆直线运动，使得静电捕集头推入取样位置；
向静电捕集头的极板加载电压进行取样，取样完成后通过磁力驱动部驱动传样杆直线运动，将静电捕集头撤回中转腔室，关闭第一真空阀；
采用纯度大于等于99.99％的氮气对中转腔室充气至大气压，然后在保持氮气持续充入的情况下，使用导电碳带从极板表面将收集的颗粒物粘下来，放入样品存放盒里。
10.一种设备真空环境的颗粒取样方法，其特征在于，采用权利要求8所述的颗粒取样分析系统，进行以下步骤：
用真空泵将中转腔室抽至所需真空度，然后打开第一真空阀，通过磁力驱动部驱动传样杆直线运动，使得静电捕集头推入取样位置；
向静电捕集头的极板加载电压进行取样，取样完成后通过磁力驱动部驱动传样杆直线运动，将静电捕集头撤回中转腔室，关闭第一真空阀；
在扫描隧道显微镜的真空腔室的真空度低于要求值时打开第二真空阀，用第二磁力杆将极板从中转腔室转移到扫描隧道显微镜的真空腔室内的样品台上，然后关闭第二真空阀。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110993286.8A CN113740108A (zh) | 2021-08-27 | 2021-08-27 | 用于设备真空环境的颗粒取样装置、分析系统及取样方法 |
| PCT/CN2021/128664 WO2023024265A1 (zh) | 2021-08-27 | 2021-11-04 | 用于设备真空环境的颗粒取样装置、分析系统及取样方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110993286.8A CN113740108A (zh) | 2021-08-27 | 2021-08-27 | 用于设备真空环境的颗粒取样装置、分析系统及取样方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113740108A true CN113740108A (zh) | 2021-12-03 |
Family
ID=78733264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202110993286.8A Pending CN113740108A (zh) | 2021-08-27 | 2021-08-27 | 用于设备真空环境的颗粒取样装置、分析系统及取样方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN113740108A (zh) |
| WO (1) | WO2023024265A1 (zh) |
Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0424532A (ja) * | 1990-05-21 | 1992-01-28 | Mitsubishi Electric Corp | トランスファ・ベッセル装置 |
| CN105363554A (zh) * | 2015-11-25 | 2016-03-02 | 佛山市城市森林净化科技有限公司 | 一种静电集尘结构 |
| CN105628978A (zh) * | 2014-11-04 | 2016-06-01 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 超高真空样品转移设备及转移方法 |
| CN206638456U (zh) * | 2017-04-12 | 2017-11-14 | 河北邯峰发电有限责任公司 | 燃煤锅炉枪式飞灰采样器 |
| CN107677844A (zh) * | 2017-09-06 | 2018-02-09 | 清华大学 | 一种传样装置和超高真空测量系统 |
| CN208432627U (zh) * | 2018-07-17 | 2019-01-25 | 苏州华杨赛斯真空设备有限公司 | 便携式超高真空样品转移装置 |
| CN208965026U (zh) * | 2018-10-16 | 2019-06-11 | 南京欧德工程技术有限公司 | 一种磁力传递杆组件 |
| CN110726746A (zh) * | 2019-10-14 | 2020-01-24 | 中国科学院金属研究所 | 一种用于跨平台连接的样品密封和真空转移装置 |
| CN210823656U (zh) * | 2019-11-11 | 2020-06-23 | 南方科技大学 | 一种新型超高真空多样品转移装置 |
| CN112299018A (zh) * | 2019-08-02 | 2021-02-02 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 一种传样杆 |
| CN213337678U (zh) * | 2020-08-25 | 2021-06-01 | 国成仪器(常州)有限公司 | 一种超高真空样品转移腔 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8167986B2 (en) * | 2008-07-23 | 2012-05-01 | Board Of Supervisors Of Louisiana State University And Agricultural And Mechanical College | Airborne particulate sampler |
| CN109013061B (zh) * | 2018-07-10 | 2020-05-12 | 合肥工业大学 | 一种利用电离法实现颗粒物静电收集的装置 |
| CN111257598B (zh) * | 2020-02-13 | 2021-01-05 | 西南交通大学 | 应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置 |
-
2021
- 2021-08-27 CN CN202110993286.8A patent/CN113740108A/zh active Pending
- 2021-11-04 WO PCT/CN2021/128664 patent/WO2023024265A1/zh unknown
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0424532A (ja) * | 1990-05-21 | 1992-01-28 | Mitsubishi Electric Corp | トランスファ・ベッセル装置 |
| CN105628978A (zh) * | 2014-11-04 | 2016-06-01 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 超高真空样品转移设备及转移方法 |
| CN105363554A (zh) * | 2015-11-25 | 2016-03-02 | 佛山市城市森林净化科技有限公司 | 一种静电集尘结构 |
| CN206638456U (zh) * | 2017-04-12 | 2017-11-14 | 河北邯峰发电有限责任公司 | 燃煤锅炉枪式飞灰采样器 |
| CN107677844A (zh) * | 2017-09-06 | 2018-02-09 | 清华大学 | 一种传样装置和超高真空测量系统 |
| CN208432627U (zh) * | 2018-07-17 | 2019-01-25 | 苏州华杨赛斯真空设备有限公司 | 便携式超高真空样品转移装置 |
| CN208965026U (zh) * | 2018-10-16 | 2019-06-11 | 南京欧德工程技术有限公司 | 一种磁力传递杆组件 |
| CN112299018A (zh) * | 2019-08-02 | 2021-02-02 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 一种传样杆 |
| CN110726746A (zh) * | 2019-10-14 | 2020-01-24 | 中国科学院金属研究所 | 一种用于跨平台连接的样品密封和真空转移装置 |
| CN210823656U (zh) * | 2019-11-11 | 2020-06-23 | 南方科技大学 | 一种新型超高真空多样品转移装置 |
| CN213337678U (zh) * | 2020-08-25 | 2021-06-01 | 国成仪器(常州)有限公司 | 一种超高真空样品转移腔 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2023024265A1 (zh) | 2023-03-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2018032641A (ja) | ガス混合物の質量分析試験のための方法および質量分析計 | |
| US7728253B2 (en) | Nano-particle trap using a microplasma | |
| JP2002141382A (ja) | 荷電粒子線装置および試料作製装置 | |
| US10261049B2 (en) | Aerosol ionizer | |
| WO1992004810A1 (en) | Equipment for neutralizing charged material | |
| US9759685B2 (en) | Aerosol ionizer | |
| JP3294228B2 (ja) | 微粒子計測装置、微粒子捕集装置および微粒子分析装置 | |
| CN113740108A (zh) | 用于设备真空环境的颗粒取样装置、分析系统及取样方法 | |
| JP2008116363A (ja) | 表面分析方法 | |
| JP5435667B2 (ja) | サイクロンセパレータ式質量分析システム | |
| JP2008041464A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
| JP3487729B2 (ja) | 微粒子分析装置およびその方法 | |
| TW202123287A (zh) | 晶圓接地之方法、設備及系統 | |
| US7569112B2 (en) | Scanning probe apparatus with in-situ measurement probe tip cleaning capability | |
| JP2007064893A (ja) | 電気移動度分級装置及び微粒子成分の計測システム | |
| US9962713B2 (en) | Electrostatic collector | |
| JP6460806B2 (ja) | 電子光学装置及び検査装置 | |
| Vaddi et al. | Development of an EHD induced wind driven personal exposure monitor and in-situ analysis of characterization of exposure | |
| US7921465B2 (en) | Nanotip repair and characterization using field ion microscopy | |
| Hayashi et al. | Detection of acetylene dissolved in insulation oil using pt-decorated ZnO gas sensor | |
| JP2002365182A5 (zh) | ||
| JP2014127640A (ja) | 異物除去装置、異物除去方法、および微細構造体の製造方法 | |
| JPH10142400A (ja) | イオン注入装置 | |
| JP2011034741A (ja) | 気体分析装置及びそれを用いた検査装置 | |
| JP2000146780A (ja) | マニピュレータおよびそれを用いたプローブ装置、試料作製装置、試料観察装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20211203 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |