JP2003050191A - 冷却加熱用試料ホルダおよび試料観察装置 - Google Patents
冷却加熱用試料ホルダおよび試料観察装置Info
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- JP2003050191A JP2003050191A JP2001238725A JP2001238725A JP2003050191A JP 2003050191 A JP2003050191 A JP 2003050191A JP 2001238725 A JP2001238725 A JP 2001238725A JP 2001238725 A JP2001238725 A JP 2001238725A JP 2003050191 A JP2003050191 A JP 2003050191A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料を効率よく一様に冷却できる冷却加熱用
試料ホルダおよび試料観察装置を提供すること。 【解決手段】 試料２２を冷却する場合には、冷却手段
１７により、ヒートコンダクタ１６を介して試料ホルダ
固定部１５が冷却される。こうして冷却された試料ホル
ダ固定部１５の熱は、熱伝導性の高い試料ホルダベース
１９を介して試料２２に伝わり、試料２２は冷却され
る。このように本発明の冷却加熱用試料ホルダにおいて
は、試料２２は試料ホルダベース１９上に直接セットさ
れ、試料２２の裏面全体が試料ホルダベース１９に接し
ているので、従来に比べ、試料を効率よく一様に冷却す
ることができる。
試料ホルダおよび試料観察装置を提供すること。 【解決手段】 試料２２を冷却する場合には、冷却手段
１７により、ヒートコンダクタ１６を介して試料ホルダ
固定部１５が冷却される。こうして冷却された試料ホル
ダ固定部１５の熱は、熱伝導性の高い試料ホルダベース
１９を介して試料２２に伝わり、試料２２は冷却され
る。このように本発明の冷却加熱用試料ホルダにおいて
は、試料２２は試料ホルダベース１９上に直接セットさ
れ、試料２２の裏面全体が試料ホルダベース１９に接し
ているので、従来に比べ、試料を効率よく一様に冷却す
ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、試料を冷却およ
び加熱するための冷却加熱用試料ホルダ、および、この
冷却加熱用試料ホルダを備えた走査プローブ顕微鏡など
の試料観察装置に関する。
び加熱するための冷却加熱用試料ホルダ、および、この
冷却加熱用試料ホルダを備えた走査プローブ顕微鏡など
の試料観察装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】 原子間力顕微鏡などの走査プローブ顕
微鏡は、現在、試料表面を高分解能で観察できる装置と
して注目されている。そして、この走査プローブ顕微鏡
においては、試料は、冷却されたり加熱されたりして観
察される場合がある。
微鏡は、現在、試料表面を高分解能で観察できる装置と
して注目されている。そして、この走査プローブ顕微鏡
においては、試料は、冷却されたり加熱されたりして観
察される場合がある。
【０００３】このように試料を冷却する目的は、冷却に
よる試料表面の組成変化を観察したり、試料中の原子の
振動を止めて像観察を行ったりするためである。一方、
試料を加熱する目的は、加熱による試料表面の組成変化
を観察したり、試料の清浄面を出すためである。
よる試料表面の組成変化を観察したり、試料中の原子の
振動を止めて像観察を行ったりするためである。一方、
試料を加熱する目的は、加熱による試料表面の組成変化
を観察したり、試料の清浄面を出すためである。
【０００４】図１は、従来の、走査プローブ顕微鏡にお
ける冷却加熱用試料ホルダを示した図である。
ける冷却加熱用試料ホルダを示した図である。
【０００５】図１に示すように、冷却加熱用試料ホルダ
１の試料ホルダベース２は、走査プローブ顕微鏡の試料
室に配置された試料ホルダ固定部３に装着されている。
そして、電極ベース４ａと４ｂが前記試料ホルダベース
２に固定されている。この試料ホルダベース２は、電気
絶縁性が高く、かつ熱伝導性が高い性質の材料で形成さ
れているので、２つの電極ベース４ａ，４ｂは電気的に
絶縁されている。
１の試料ホルダベース２は、走査プローブ顕微鏡の試料
室に配置された試料ホルダ固定部３に装着されている。
そして、電極ベース４ａと４ｂが前記試料ホルダベース
２に固定されている。この試料ホルダベース２は、電気
絶縁性が高く、かつ熱伝導性が高い性質の材料で形成さ
れているので、２つの電極ベース４ａ，４ｂは電気的に
絶縁されている。
【０００６】試料５は、電極ベース４ａ，４ｂ間を橋渡
しするように、電極ベース４ａ，４ｂ上にセットされて
いる。この試料５は、試料押さえ６ａ，６ｂで電極ベー
ス４ａ，４ｂに押しつけられており、それらの試料押さ
え６ａ，６ｂは固定ねじ７ａ，７ｂで電極ベース４ａ，
４ｂにそれぞれ取り付けられている。
しするように、電極ベース４ａ，４ｂ上にセットされて
いる。この試料５は、試料押さえ６ａ，６ｂで電極ベー
ス４ａ，４ｂに押しつけられており、それらの試料押さ
え６ａ，６ｂは固定ねじ７ａ，７ｂで電極ベース４ａ，
４ｂにそれぞれ取り付けられている。
【０００７】また、図１において、８ａと８ｂは板バネ
である。これらの板バネ８ａ，８ｂは前記試料ホルダ固
定部３に取り付けられており、試料ホルダ１の試料ホル
ダ固定部３への装着によって、板バネ８ａ，８ｂは前記
電極ベース４ａ，４ｂにそれぞれ接触するようになって
いる。
である。これらの板バネ８ａ，８ｂは前記試料ホルダ固
定部３に取り付けられており、試料ホルダ１の試料ホル
ダ固定部３への装着によって、板バネ８ａ，８ｂは前記
電極ベース４ａ，４ｂにそれぞれ接触するようになって
いる。
【０００８】９はヒートコンダクタであり、ヒートコン
ダクタ９の一端は前記試料ホルダ固定部３に接続され、
その他端は、冷媒容器または冷却装置（図示せず）に接
続されている。
ダクタ９の一端は前記試料ホルダ固定部３に接続され、
その他端は、冷媒容器または冷却装置（図示せず）に接
続されている。
【０００９】このような構成において、試料５を加熱す
る場合には、板バネ８ａ，８ｂに接続された通電加熱電
源（図示せず）が制御されて、板バネ８ａ，８ｂと電極
ベース４ａ，４ｂを介して試料５に電流が流される。こ
の通電により、試料５は高温に加熱される。
る場合には、板バネ８ａ，８ｂに接続された通電加熱電
源（図示せず）が制御されて、板バネ８ａ，８ｂと電極
ベース４ａ，４ｂを介して試料５に電流が流される。こ
の通電により、試料５は高温に加熱される。
【００１０】一方、試料５を冷却する場合には、前記冷
媒または冷却装置により、ヒートコンダクタ９を介して
試料ホルダ固定部３が冷却される。こうして冷却された
試料ホルダ固定部３の熱は、試料ホルダベース２と電極
ベース４ａ，４ｂを介して試料５に伝わり、試料５は冷
却される。
媒または冷却装置により、ヒートコンダクタ９を介して
試料ホルダ固定部３が冷却される。こうして冷却された
試料ホルダ固定部３の熱は、試料ホルダベース２と電極
ベース４ａ，４ｂを介して試料５に伝わり、試料５は冷
却される。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】 上述したように、図
１の冷却加熱用試料ホルダ１においては、試料５と、冷
媒などによって冷却される試料ホルダ固定部３との間に
は、試料ホルダベース２と電極ベース４ａ，４ｂが介在
している。さらに、電極ベース４ａ，４ｂと接触する試
料面は、試料面の極く一部である。このため、従来の冷
却加熱用試料ホルダにおいては、試料５を効率よく一様
に冷却することはできなかった。
１の冷却加熱用試料ホルダ１においては、試料５と、冷
媒などによって冷却される試料ホルダ固定部３との間に
は、試料ホルダベース２と電極ベース４ａ，４ｂが介在
している。さらに、電極ベース４ａ，４ｂと接触する試
料面は、試料面の極く一部である。このため、従来の冷
却加熱用試料ホルダにおいては、試料５を効率よく一様
に冷却することはできなかった。
【００１２】本発明はこのような点に鑑みて成されたも
ので、その目的は、試料を効率よく一様に冷却できる冷
却加熱用試料ホルダおよび試料観察装置を提供すること
にある。
ので、その目的は、試料を効率よく一様に冷却できる冷
却加熱用試料ホルダおよび試料観察装置を提供すること
にある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】 この目的を達成する本
発明の冷却加熱用試料ホルダは、冷却され、試料が直接
載せられる試料ホルダベースと、前記試料ホルダベース
上に設けられた試料加熱用電極を備えている。
発明の冷却加熱用試料ホルダは、冷却され、試料が直接
載せられる試料ホルダベースと、前記試料ホルダベース
上に設けられた試料加熱用電極を備えている。
【００１４】
【発明の実施の形態】 以下、図面を用いて本発明の実
施の形態について説明する。
施の形態について説明する。
【００１５】図２は、本発明の冷却加熱用試料ホルダの
一例を示した図であり、その冷却加熱用試料ホルダを備
えた走査プローブ顕微鏡を示した図である。
一例を示した図であり、その冷却加熱用試料ホルダを備
えた走査プローブ顕微鏡を示した図である。
【００１６】図２において、１１は真空容器である。こ
の真空容器１１の内部、すなわち試料室１２は、図示し
ていない排気装置により排気されている。
の真空容器１１の内部、すなわち試料室１２は、図示し
ていない排気装置により排気されている。
【００１７】１３はスキャナであり、試料室１２に配置
されたスキャナ１３は、ｘｙおよびｚ方向に移動可能に
構成されている。スキャナ１３上には、熱絶縁部材１４
を介して試料ホルダ固定部１５が取り付けられている。
されたスキャナ１３は、ｘｙおよびｚ方向に移動可能に
構成されている。スキャナ１３上には、熱絶縁部材１４
を介して試料ホルダ固定部１５が取り付けられている。
【００１８】前記試料ホルダ固定部１５は、熱伝導性が
高い材料、たとえば銅で形成されている。そして、試料
ホルダ固定部１５は、ヒートコンダクタ１６を介して、
真空容器外の冷却手段１７に接続されている。冷却手段
１７としては、液体窒素などを封入した冷媒容器や、極
低温冷凍機などが用いられる。
高い材料、たとえば銅で形成されている。そして、試料
ホルダ固定部１５は、ヒートコンダクタ１６を介して、
真空容器外の冷却手段１７に接続されている。冷却手段
１７としては、液体窒素などを封入した冷媒容器や、極
低温冷凍機などが用いられる。
【００１９】そして、本発明の冷却加熱用試料ホルダ１
８が前記試料ホルダ固定部１５に装着されている。
８が前記試料ホルダ固定部１５に装着されている。
【００２０】冷却加熱用試料ホルダ１８について詳しく
説明すると、１９は試料ホルダベースであり、試料ホル
ダベース１９は試料ホルダ固定部１５に装着されてい
る。この試料ホルダベース１９は、その上面に凸部２０
が形成されるように加工されており、図３は試料ホルダ
ベース１９の上面図である。試料ホルダベース１９は、
電気絶縁性が高く、かつ熱伝導性が高い性質の材料、た
とえばアルミナやサファイアなどで形成されている。
説明すると、１９は試料ホルダベースであり、試料ホル
ダベース１９は試料ホルダ固定部１５に装着されてい
る。この試料ホルダベース１９は、その上面に凸部２０
が形成されるように加工されており、図３は試料ホルダ
ベース１９の上面図である。試料ホルダベース１９は、
電気絶縁性が高く、かつ熱伝導性が高い性質の材料、た
とえばアルミナやサファイアなどで形成されている。
【００２１】また、冷却加熱用試料ホルダ１８におい
て、電極ベース２１ａと２１ｂが、前記凸部２０の両側
に分かれて、前記試料ホルダベース１９上に固定されて
いる。これらの電極ベース２１ａ，２１ｂは、電気伝導
性を有し、かつ融点の高い性質の材料、たとえばタンタ
ルやモリブデンなどで形成されている。上述したよう
に、試料ホルダベース１９は電気絶縁物なので、２つの
電極ベース２１ａ，２１ｂは電気的に絶縁されている。
て、電極ベース２１ａと２１ｂが、前記凸部２０の両側
に分かれて、前記試料ホルダベース１９上に固定されて
いる。これらの電極ベース２１ａ，２１ｂは、電気伝導
性を有し、かつ融点の高い性質の材料、たとえばタンタ
ルやモリブデンなどで形成されている。上述したよう
に、試料ホルダベース１９は電気絶縁物なので、２つの
電極ベース２１ａ，２１ｂは電気的に絶縁されている。
【００２２】そして、試料２２が、試料ホルダベース１
９の凸部２０上に直接載せられている。試料２２は、試
料押さえ２３ａ，２３ｂで凸部２０に押しつけられてお
り、それらの試料押さえ２３ａ，２３ｂは固定ねじ２４
ａ，２４ｂで電極ベース２１ａ，２１ｂにそれぞれ取り
付けられている。これらの試料押さえ２３ａ，２３ｂ
は、電気伝導性を有し、かつ融点の高い性質の材料、た
とえばタンタルやモリブデンなどで形成されている。な
お、図２の冷却加熱用試料ホルダ１８においては、前記
電極ベース２１ａ，２１ｂと前記試料押さえ２３ａ，２
３ｂで、本発明における試料加熱用電極が構成されてい
る。
９の凸部２０上に直接載せられている。試料２２は、試
料押さえ２３ａ，２３ｂで凸部２０に押しつけられてお
り、それらの試料押さえ２３ａ，２３ｂは固定ねじ２４
ａ，２４ｂで電極ベース２１ａ，２１ｂにそれぞれ取り
付けられている。これらの試料押さえ２３ａ，２３ｂ
は、電気伝導性を有し、かつ融点の高い性質の材料、た
とえばタンタルやモリブデンなどで形成されている。な
お、図２の冷却加熱用試料ホルダ１８においては、前記
電極ベース２１ａ，２１ｂと前記試料押さえ２３ａ，２
３ｂで、本発明における試料加熱用電極が構成されてい
る。
【００２３】また、図２において、２５ａと２５ｂは板
バネである。これらの板バネ２５ａ，２５ｂは、電気絶
縁物２６を介して前記試料ホルダ固定部１５に取り付け
られており、冷却加熱用試料ホルダ１８の試料ホルダ固
定部１５への装着によって、板バネ２５ａ，２５ｂは前
記電極ベース２１ａ，２１ｂにそれぞれ接触するように
なっている。
バネである。これらの板バネ２５ａ，２５ｂは、電気絶
縁物２６を介して前記試料ホルダ固定部１５に取り付け
られており、冷却加熱用試料ホルダ１８の試料ホルダ固
定部１５への装着によって、板バネ２５ａ，２５ｂは前
記電極ベース２１ａ，２１ｂにそれぞれ接触するように
なっている。
【００２４】また、図２において、２７はＳＰＭヘッド
である。カンチレバを備えたＳＰＭヘッド２７は、試料
上に配置されたカンチレバの変位を検出して試料表面情
報を検出するものである。２８は通電加熱電源（加熱手
段）であり、通電加熱電源２８は、前記板バネ２５ａ，
２５ｂに電気的に接続されている。
である。カンチレバを備えたＳＰＭヘッド２７は、試料
上に配置されたカンチレバの変位を検出して試料表面情
報を検出するものである。２８は通電加熱電源（加熱手
段）であり、通電加熱電源２８は、前記板バネ２５ａ，
２５ｂに電気的に接続されている。
【００２５】このような構成において、試料２２を冷却
する場合には、前記冷却手段１７により、ヒートコンダ
クタ１６を介して試料ホルダ固定部１５が冷却される。
こうして冷却された試料ホルダ固定部１５の熱は、熱伝
導性の高い試料ホルダベース１９を介して試料２２に伝
わり、試料２２は冷却される。
する場合には、前記冷却手段１７により、ヒートコンダ
クタ１６を介して試料ホルダ固定部１５が冷却される。
こうして冷却された試料ホルダ固定部１５の熱は、熱伝
導性の高い試料ホルダベース１９を介して試料２２に伝
わり、試料２２は冷却される。
【００２６】このように本発明の冷却加熱用試料ホルダ
においては、試料２２は試料ホルダベース１９上に直接
セットされ、試料２２の裏面全体が試料ホルダベース１
９に接しているので、従来に比べ、試料を効率よく一様
に冷却することができる。
においては、試料２２は試料ホルダベース１９上に直接
セットされ、試料２２の裏面全体が試料ホルダベース１
９に接しているので、従来に比べ、試料を効率よく一様
に冷却することができる。
【００２７】一方、試料２２を加熱する場合には、通電
加熱電源２８が制御されて、板バネ２５ａ，２５ｂと電
極ベース２１ａ，２１ｂと試料押さえ２３ａ，２３ｂを
介して試料２２に電流が流される。この通電により、試
料２２は加熱される。
加熱電源２８が制御されて、板バネ２５ａ，２５ｂと電
極ベース２１ａ，２１ｂと試料押さえ２３ａ，２３ｂを
介して試料２２に電流が流される。この通電により、試
料２２は加熱される。
【００２８】以上、本発明の一例を説明したが、次に、
本発明の他の例を図を用いて説明する。
本発明の他の例を図を用いて説明する。
【００２９】図４は、本発明の冷却加熱用試料ホルダの
他の例を示した図である。図４において、図２と同じ構
成要素には図２と同じ番号が付けられており、その説明
を省略する。
他の例を示した図である。図４において、図２と同じ構
成要素には図２と同じ番号が付けられており、その説明
を省略する。
【００３０】図４に示す本発明の冷却加熱用試料ホルダ
２９において、３０は試料ホルダベースであり、試料ホ
ルダベース３０は試料ホルダ固定部１５に装着されてい
る。この試料ホルダベース３０は、円盤状に形成されて
いる。そして、試料ホルダベース３０は、電気絶縁性が
高く、かつ熱伝導性が高い性質の材料、たとえばアルミ
ナやサファイアなどで形成されている。
２９において、３０は試料ホルダベースであり、試料ホ
ルダベース３０は試料ホルダ固定部１５に装着されてい
る。この試料ホルダベース３０は、円盤状に形成されて
いる。そして、試料ホルダベース３０は、電気絶縁性が
高く、かつ熱伝導性が高い性質の材料、たとえばアルミ
ナやサファイアなどで形成されている。
【００３１】また、前記電極ベース２１ａと２１ｂが、
前記試料ホルダベース３０上に固定されている。
前記試料ホルダベース３０上に固定されている。
【００３２】そして、熱伝導板３１が試料ホルダベース
３０上に置かれており、その熱伝導板３１の上に、前記
試料２２が載せられている。この熱伝導板３１は、電気
絶縁性が高く、かつ熱伝導性が高い性質の材料、たとえ
ばアルミナやサファイアなどで形成されている。
３０上に置かれており、その熱伝導板３１の上に、前記
試料２２が載せられている。この熱伝導板３１は、電気
絶縁性が高く、かつ熱伝導性が高い性質の材料、たとえ
ばアルミナやサファイアなどで形成されている。
【００３３】前記試料２２は、試料押さえ２３ａ，２３
ｂで熱伝導板３１に押しつけられている。このように、
試料２２と熱伝導板３１は、試料押さえ２３ａ，２３ｂ
と試料ホルダベース３０で挟まれて一緒に固定されてい
る。
ｂで熱伝導板３１に押しつけられている。このように、
試料２２と熱伝導板３１は、試料押さえ２３ａ，２３ｂ
と試料ホルダベース３０で挟まれて一緒に固定されてい
る。
【００３４】このような構成において、試料２２を冷却
する場合には、前記冷却手段１７により、ヒートコンダ
クタ１６を介して試料ホルダ固定部１５が冷却される。
こうして冷却された試料ホルダ固定部１５の熱は、熱伝
導性の高い試料ホルダベース３０と熱伝導板３１を介し
て試料２２に伝わり、試料２２は冷却される。
する場合には、前記冷却手段１７により、ヒートコンダ
クタ１６を介して試料ホルダ固定部１５が冷却される。
こうして冷却された試料ホルダ固定部１５の熱は、熱伝
導性の高い試料ホルダベース３０と熱伝導板３１を介し
て試料２２に伝わり、試料２２は冷却される。
【００３５】このように図４の冷却加熱用試料ホルダに
おいては、試料２２は、熱伝導性の高い熱伝導板３１上
に直接セットされ、試料２２の裏面全体が熱伝導板３１
に接しているので、従来に比べ、試料を効率よく一様に
冷却することができる。
おいては、試料２２は、熱伝導性の高い熱伝導板３１上
に直接セットされ、試料２２の裏面全体が熱伝導板３１
に接しているので、従来に比べ、試料を効率よく一様に
冷却することができる。
【００３６】また、厚さの厚い試料２２を観察する場合
には、図５に示すように、図４の熱伝導板よりも厚さの
薄い熱伝導板３１を使用することで、試料表面の高さ調
整（観察面の高さ調整）のために試料表面の高さを大き
く変化させる必要はなく、容易に試料観察を行うことが
できる。
には、図５に示すように、図４の熱伝導板よりも厚さの
薄い熱伝導板３１を使用することで、試料表面の高さ調
整（観察面の高さ調整）のために試料表面の高さを大き
く変化させる必要はなく、容易に試料観察を行うことが
できる。
【００３７】逆に、厚さの薄い試料を観察する場合に
は、厚さの厚い熱伝導板３１を使用することで、試料を
しっかりと、試料押さえと熱伝導板の間に固定すること
ができる。さらに、この場合も、試料表面の高さ調整の
ために試料表面の高さを大きく変化させる必要はなく、
容易に試料観察を行うことができる。
は、厚さの厚い熱伝導板３１を使用することで、試料を
しっかりと、試料押さえと熱伝導板の間に固定すること
ができる。さらに、この場合も、試料表面の高さ調整の
ために試料表面の高さを大きく変化させる必要はなく、
容易に試料観察を行うことができる。
【００３８】以上、例をあげて本発明を説明したが、本
発明は上述した例に限定されるものではない。
発明は上述した例に限定されるものではない。
【００３９】たとえば、本発明は走査プローブ顕微鏡に
限らず、走査電子顕微鏡や、試料分析を行う試料観察装
置などにも適用することができる。
限らず、走査電子顕微鏡や、試料分析を行う試料観察装
置などにも適用することができる。
【図１】 従来の冷却加熱用試料ホルダを示した図であ
る。
る。
【図２】 本発明の冷却加熱用試料ホルダの一例を示し
た図である。
た図である。
【図３】 図２の試料ホルダベース１９の上面図であ
る。
る。
【図４】 本発明の冷却加熱用試料ホルダの他の例を示
した図である。
した図である。
【図５】 本発明の冷却加熱用試料ホルダの他の例を示
した図である。
した図である。
１…冷却加熱用試料ホルダ、２…試料ホルダベース、３
…試料ホルダ固定部、４ａ，４ｂ…電極ベース、５…試
料、６ａ，６ｂ…試料押さえ、７ａ，７ｂ…固定ねじ、
８ａ，８ｂ…板バネ、９…ヒートコンダクタ、１１…真
空容器、１２…試料室、１３…スキャナ、１４…熱絶縁
部材、１５…試料ホルダ固定部、１６…ヒートコンダク
タ、１７…冷却手段、１８…冷却加熱用試料ホルダ、１
９…試料ホルダベース、２０…凸部、２１ａ，２１ｂ…
電極ベース、２２…試料、２３ａ，２３ｂ…試料押さ
え、２４ａ，２４ｂ…固定ねじ、２５ａ，２５ｂ…板バ
ネ、２６…電気絶縁物、２７…ＳＰＭヘッド、２８…通
電加熱電源、２９…冷却加熱用試料ホルダ、３０…試料
ホルダベース、３１…熱伝導板
…試料ホルダ固定部、４ａ，４ｂ…電極ベース、５…試
料、６ａ，６ｂ…試料押さえ、７ａ，７ｂ…固定ねじ、
８ａ，８ｂ…板バネ、９…ヒートコンダクタ、１１…真
空容器、１２…試料室、１３…スキャナ、１４…熱絶縁
部材、１５…試料ホルダ固定部、１６…ヒートコンダク
タ、１７…冷却手段、１８…冷却加熱用試料ホルダ、１
９…試料ホルダベース、２０…凸部、２１ａ，２１ｂ…
電極ベース、２２…試料、２３ａ，２３ｂ…試料押さ
え、２４ａ，２４ｂ…固定ねじ、２５ａ，２５ｂ…板バ
ネ、２６…電気絶縁物、２７…ＳＰＭヘッド、２８…通
電加熱電源、２９…冷却加熱用試料ホルダ、３０…試料
ホルダベース、３１…熱伝導板
Claims (6)
- 【請求項１】 冷却され、試料が直接載せられる試料ホ
ルダベースと、前記試料ホルダベース上に設けられた試
料加熱用電極を備えたことを特徴とする冷却加熱用試料
ホルダ。 - 【請求項２】 前記試料は、前記試料加熱用電極により
試料ホルダベースに押しつけられることを特徴とする請
求項１記載の冷却加熱用試料ホルダ。 - 【請求項３】 冷却される試料ホルダベースと、前記試
料ホルダベース上に載置され、試料が載せられる熱伝導
板と、前記試料ホルダベース上に設けられた試料加熱用
電極を備えたことを特徴とする冷却加熱用試料ホルダ。 - 【請求項４】 前記試料は、前記試料加熱用電極により
熱伝導板に押しつけられることを特徴とする請求項３記
載の冷却加熱用試料ホルダ。 - 【請求項５】 次の(a)(b)の構成を有する冷却加熱用試
料ホルダと、 (a)冷却され、試料が直接載せられる試料ホルダベース (b)前記試料ホルダベース上に設けられた試料加熱用電
極 試料室に配置され、前記試料ホルダベースが装着される
試料ホルダ固定部と、前記試料ホルダ固定部を冷却する
ための冷却手段と、前記試料加熱用電極に電気的に接続
された加熱手段を備えたことを特徴とする試料観察装
置。 - 【請求項６】 次の(a)(b)(c)の構成を有する冷却加熱
用試料ホルダと、(a)冷却される試料ホルダベースと、
(b)前記試料ホルダベース上に載置され、試料が載せら
れる熱伝導板と、(c)前記試料ホルダベース上に設けら
れた試料加熱用電極試料室に配置され、前記試料ホルダ
ベースが装着される試料ホルダ固定部と、前記試料ホル
ダ固定部を冷却するための冷却手段と、前記試料加熱用
電極に電気的に接続された加熱手段を備えたことを特徴
とする試料観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001238725A JP2003050191A (ja) | 2001-08-07 | 2001-08-07 | 冷却加熱用試料ホルダおよび試料観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001238725A JP2003050191A (ja) | 2001-08-07 | 2001-08-07 | 冷却加熱用試料ホルダおよび試料観察装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003050191A true JP2003050191A (ja) | 2003-02-21 |
Family
ID=19069598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001238725A Pending JP2003050191A (ja) | 2001-08-07 | 2001-08-07 | 冷却加熱用試料ホルダおよび試料観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003050191A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006030144A (ja) * | 2004-07-21 | 2006-02-02 | Kajikkusu Trading:Kk | 試料管保温トレー及びマルチウエルプレート用保温箱 |
| WO2010027054A1 (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-11 | 国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 | カンチレバー加熱機構、それを用いたカンチレバーホルダ、及び、カンチレバー加熱方法 |
| KR101160003B1 (ko) | 2010-09-29 | 2012-06-25 | 현대제철 주식회사 | 큐어링 기능을 갖는 냉간 진공 성형 홀더 및 이를 구비한 냉간 진공 성형 장치 |
| WO2015128679A1 (en) * | 2014-02-28 | 2015-09-03 | Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited | Sample holding system |
-
2001
- 2001-08-07 JP JP2001238725A patent/JP2003050191A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006030144A (ja) * | 2004-07-21 | 2006-02-02 | Kajikkusu Trading:Kk | 試料管保温トレー及びマルチウエルプレート用保温箱 |
| WO2010027054A1 (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-11 | 国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 | カンチレバー加熱機構、それを用いたカンチレバーホルダ、及び、カンチレバー加熱方法 |
| KR101160003B1 (ko) | 2010-09-29 | 2012-06-25 | 현대제철 주식회사 | 큐어링 기능을 갖는 냉간 진공 성형 홀더 및 이를 구비한 냉간 진공 성형 장치 |
| WO2015128679A1 (en) * | 2014-02-28 | 2015-09-03 | Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited | Sample holding system |
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Legal Events
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061212 |
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