JP2002014026A - 走査形プローブ顕微鏡 - Google Patents
走査形プローブ顕微鏡Info
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- JP2002014026A JP2002014026A JP2000198223A JP2000198223A JP2002014026A JP 2002014026 A JP2002014026 A JP 2002014026A JP 2000198223 A JP2000198223 A JP 2000198223A JP 2000198223 A JP2000198223 A JP 2000198223A JP 2002014026 A JP2002014026 A JP 2002014026A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料表面上への霜の付着を防止することがで
きる走査形プローブ顕微鏡を提供すること。 【解決手段】 図４の状態においては、試料９から周り
を見渡したときに、カンチレバ導入用切欠き２８部分の
みを除いて、冷却された冷却カバー２７しか見えない状
態である。このため、試料ホルダ１０を冷却用ホルダ７
に装着したときに、水分子が試料室２５にわずかに残留
していたとしても、試料周辺を直線的な運動を行う水分
子のほとんどは冷却カバー２７にトラップされる。この
結果、従来のように試料表面に霜が付着することはな
く、カンチレバを用いた試料表面の正確な像観察が可能
となる。
きる走査形プローブ顕微鏡を提供すること。 【解決手段】 図４の状態においては、試料９から周り
を見渡したときに、カンチレバ導入用切欠き２８部分の
みを除いて、冷却された冷却カバー２７しか見えない状
態である。このため、試料ホルダ１０を冷却用ホルダ７
に装着したときに、水分子が試料室２５にわずかに残留
していたとしても、試料周辺を直線的な運動を行う水分
子のほとんどは冷却カバー２７にトラップされる。この
結果、従来のように試料表面に霜が付着することはな
く、カンチレバを用いた試料表面の正確な像観察が可能
となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、原子間力顕微鏡
や走査形トンネル顕微鏡などの走査形プローブ顕微鏡に
関する。
や走査形トンネル顕微鏡などの走査形プローブ顕微鏡に
関する。
【０００２】
【従来の技術】 図１は、試料冷却システムを備えた、
従来の走査形プローブ顕微鏡を示したものである。
従来の走査形プローブ顕微鏡を示したものである。
【０００３】図１において、１は円筒状のベースユニッ
トであり、このベースユニット１は除振テーブル２上に
置かれている。
トであり、このベースユニット１は除振テーブル２上に
置かれている。
【０００４】そして、試料ステージ駆動機構３がベース
ユニット１の内側に構成されている。この試料ステージ
駆動機構３は、その上に配置された試料ステージ４を
ｘ，ｙ方向に粗動、およびｚ方向に粗動と微動させるも
のである。
ユニット１の内側に構成されている。この試料ステージ
駆動機構３は、その上に配置された試料ステージ４を
ｘ，ｙ方向に粗動、およびｚ方向に粗動と微動させるも
のである。
【０００５】また、図中５は試料スキャナであり、試料
スキャナ５は前記試料ステージ４上に配置されている。
この試料スキャナ５は、圧電体で作製されたチューブス
キャナ６を備えており、チューブスキャナ６はｘ，ｙお
よびｚ方向に微動可能に構成されている。また、試料ス
キャナ５においては、冷却用ホルダ７が熱絶縁部材８を
介してチューブスキャナ６に固定されている。
スキャナ５は前記試料ステージ４上に配置されている。
この試料スキャナ５は、圧電体で作製されたチューブス
キャナ６を備えており、チューブスキャナ６はｘ，ｙお
よびｚ方向に微動可能に構成されている。また、試料ス
キャナ５においては、冷却用ホルダ７が熱絶縁部材８を
介してチューブスキャナ６に固定されている。
【０００６】図２は冷却用ホルダ７の斜視図を示したも
のであり、冷却用ホルダ７は、試料９を保持した試料ホ
ルダ１０をセットするための試料ホルダ取付部１１を有
している。また、ヒートコンダクタ１２の一端が冷却用
ホルダ７に取り付けられている。
のであり、冷却用ホルダ７は、試料９を保持した試料ホ
ルダ１０をセットするための試料ホルダ取付部１１を有
している。また、ヒートコンダクタ１２の一端が冷却用
ホルダ７に取り付けられている。
【０００７】図２に示したように、ヒートコンダクタ１
２の一端は冷却用ホルダ７に取り付けられているが、そ
のヒートコンダクタ１２の他端は、図１に示すように、
一端が冷媒タンク１３に接続された熱伝導棒１４の他端
に取り付けられている。このように、冷却用ホルダ７
は、ヒートコンダクタ１２および熱伝導棒１４を介して
冷媒タンク１３に熱的に接続されている。
２の一端は冷却用ホルダ７に取り付けられているが、そ
のヒートコンダクタ１２の他端は、図１に示すように、
一端が冷媒タンク１３に接続された熱伝導棒１４の他端
に取り付けられている。このように、冷却用ホルダ７
は、ヒートコンダクタ１２および熱伝導棒１４を介して
冷媒タンク１３に熱的に接続されている。
【０００８】そして、液体窒素１４’が冷媒タンク１３
に注入されると、その液体窒素による熱は熱伝導棒１４
およびヒートコンダクタ１２を介して冷却用ホルダ７に
伝わり、冷却用ホルダ７は低温に冷却される。この冷却
用ホルダ７の冷却により、冷却用ホルダ７に取り付けら
れた試料ホルダ１０は冷却されて、試料９は冷却され
る。なお、図１において、１５は保護容器であり、冷媒
タンク１３を収納した保護容器１５は前記ベースユニッ
ト１に取り付けられている。
に注入されると、その液体窒素による熱は熱伝導棒１４
およびヒートコンダクタ１２を介して冷却用ホルダ７に
伝わり、冷却用ホルダ７は低温に冷却される。この冷却
用ホルダ７の冷却により、冷却用ホルダ７に取り付けら
れた試料ホルダ１０は冷却されて、試料９は冷却され
る。なお、図１において、１５は保護容器であり、冷媒
タンク１３を収納した保護容器１５は前記ベースユニッ
ト１に取り付けられている。
【０００９】また、図１において１６はＳＰＭヘッドで
あり、ＳＰＭヘッド１６は、ベースユニット１のヘッド
取付部１７に取り付けられている。このＳＰＭヘッド１
６には、カンチレバ１８を保持したカンチレバホルダ１
９が取り付けられており、カンチレバ１８の先端に固定
された探針２０は前記試料９に対向している。
あり、ＳＰＭヘッド１６は、ベースユニット１のヘッド
取付部１７に取り付けられている。このＳＰＭヘッド１
６には、カンチレバ１８を保持したカンチレバホルダ１
９が取り付けられており、カンチレバ１８の先端に固定
された探針２０は前記試料９に対向している。
【００１０】また、ＳＰＭヘッド１６は、カンチレバ１
８の変位を測定するための変位測定手段を備えており、
この変位測定手段は、レーザ光源２１とミラー２２と光
検出器２３で構成されている。図３は、ＳＰＭヘッド１
６がヘッド取付部１７に取り付けられたときの、ＳＰＭ
ヘッド１６の斜視図を示したものである。
８の変位を測定するための変位測定手段を備えており、
この変位測定手段は、レーザ光源２１とミラー２２と光
検出器２３で構成されている。図３は、ＳＰＭヘッド１
６がヘッド取付部１７に取り付けられたときの、ＳＰＭ
ヘッド１６の斜視図を示したものである。
【００１１】そして、図１において、２４はベースユニ
ット１に取り付けられたガラスベルジャーであり、試料
室２５はガラスベルジャー２４によって密閉されてい
る。２６は排気装置であり、ベースユニット１に取り付
けられた排気装置２６は、試料室２５を排気するための
ものである。
ット１に取り付けられたガラスベルジャーであり、試料
室２５はガラスベルジャー２４によって密閉されてい
る。２６は排気装置であり、ベースユニット１に取り付
けられた排気装置２６は、試料室２５を排気するための
ものである。
【００１２】さて、このような走査形プローブ顕微鏡に
おいて試料を冷却して観察するときには、試料への霜の
付着を防ぐために、試料ホルダ１０が冷却用ホルダ７に
取り付けられる前に、冷却用ホルダ７が液体窒素により
十分に冷却される。なお、このとき、試料室２５は排気
装置２６によって排気されている。
おいて試料を冷却して観察するときには、試料への霜の
付着を防ぐために、試料ホルダ１０が冷却用ホルダ７に
取り付けられる前に、冷却用ホルダ７が液体窒素により
十分に冷却される。なお、このとき、試料室２５は排気
装置２６によって排気されている。
【００１３】そして、冷却用ホルダ７が十分に冷却され
て、試料室２５に残留した水分子が冷却用ホルダ７に吸
着された後で、オペレータは、図示していない試料交換
機構を用いて、試料室２５の真空を破らずに前記試料ホ
ルダ１０を冷却用ホルダ７に取り付ける。このようにし
て、試料ホルダ１０が冷却用ホルダ７に装着されて試料
９が冷却されると、カンチレバ１８を用いた試料９の像
観察が行われる。
て、試料室２５に残留した水分子が冷却用ホルダ７に吸
着された後で、オペレータは、図示していない試料交換
機構を用いて、試料室２５の真空を破らずに前記試料ホ
ルダ１０を冷却用ホルダ７に取り付ける。このようにし
て、試料ホルダ１０が冷却用ホルダ７に装着されて試料
９が冷却されると、カンチレバ１８を用いた試料９の像
観察が行われる。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】 しかしながら、上述
したような方法でも、完全に試料表面上に付着する霜を
防止することはできず、わずかに試料室に残留した水分
子が像観察中に試料表面上に付着して霜が生じてしま
う。このように試料表面上に霜が付くと、試料表面の正
確な像観察が行われなくなる。
したような方法でも、完全に試料表面上に付着する霜を
防止することはできず、わずかに試料室に残留した水分
子が像観察中に試料表面上に付着して霜が生じてしま
う。このように試料表面上に霜が付くと、試料表面の正
確な像観察が行われなくなる。
【００１５】本発明は以上の点に鑑みて成されたもの
で、その目的は、試料表面上への霜の付着を防止するこ
とができる走査形プローブ顕微鏡を提供することにあ
る。
で、その目的は、試料表面上への霜の付着を防止するこ
とができる走査形プローブ顕微鏡を提供することにあ
る。
【００１６】
【課題を解決するための手段】 この目的を達成する本
発明の走査形プローブ顕微鏡は、試料室に配置された試
料を冷却できるように構成された走査形プローブ顕微鏡
において、試料周りを囲い込むように前記試料室に配置
された冷却カバーと、該冷却カバーを冷却するための手
段を備えたことを特徴とする。
発明の走査形プローブ顕微鏡は、試料室に配置された試
料を冷却できるように構成された走査形プローブ顕微鏡
において、試料周りを囲い込むように前記試料室に配置
された冷却カバーと、該冷却カバーを冷却するための手
段を備えたことを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】 以下、図面を用いて本発明の実
施の形態について説明する。
施の形態について説明する。
【００１８】図４は、試料冷却システムを備えた、本発
明の走査形プローブ顕微鏡の一例を示した図である。図
４において、前記図１の構成要素と同じ構成要素には図
１と同じ番号が付されており、その説明を省略する。
明の走査形プローブ顕微鏡の一例を示した図である。図
４において、前記図１の構成要素と同じ構成要素には図
１と同じ番号が付されており、その説明を省略する。
【００１９】図４の構成において図１の構成と異なる点
は、冷却カバー２７が前記ＳＰＭヘッド１６の内側に取
り付けられている点である。
は、冷却カバー２７が前記ＳＰＭヘッド１６の内側に取
り付けられている点である。
【００２０】図５は、その冷却カバー２７の斜視図を示
したものである。この冷却カバー２７は、銅板を用いて
コの字状に形成されていて、熱伝導を良くするために金
メッキが施されている。
したものである。この冷却カバー２７は、銅板を用いて
コの字状に形成されていて、熱伝導を良くするために金
メッキが施されている。
【００２１】そして、その上面にはカンチレバ導入用切
欠き２８が設けられている。この切欠き２８は、前記カ
ンチレバホルダ１９をＳＰＭヘッド１６に取り付けたと
きに、カンチレバ１８を試料９と対向させるために設け
られている。
欠き２８が設けられている。この切欠き２８は、前記カ
ンチレバホルダ１９をＳＰＭヘッド１６に取り付けたと
きに、カンチレバ１８を試料９と対向させるために設け
られている。
【００２２】また、図５に示すように、ビス穴２９が冷
却カバー２７に開けられてる。このビス穴２９は、図４
に示すビス３０を通すためのものであり、図４に示すよ
うに、冷却カバー２７はビス３０によりＳＰＭヘッド１
６に固定されている。なお、熱絶縁部材３１が冷却カバ
ー２７とＳＰＭヘッド１６の間に配置されており、これ
によって冷却カバー２７とＳＰＭヘッド１６は熱絶縁さ
れている。
却カバー２７に開けられてる。このビス穴２９は、図４
に示すビス３０を通すためのものであり、図４に示すよ
うに、冷却カバー２７はビス３０によりＳＰＭヘッド１
６に固定されている。なお、熱絶縁部材３１が冷却カバ
ー２７とＳＰＭヘッド１６の間に配置されており、これ
によって冷却カバー２７とＳＰＭヘッド１６は熱絶縁さ
れている。
【００２３】また、図５に示す冷却カバー２７におい
て、３２はヒートコンダクタ接続部である。このヒート
コンダクタ接続部３２は、図４に示すヒートコンダクタ
３３の一端に接続されており、そのヒートコンダクタ３
３の他端は、図４に示すように前記熱伝導棒１４に取り
付けられている。このように、冷却カバー２７は、ヒー
トコンダクタ３３および熱伝導棒１４を介して前記冷媒
タンク１３に熱的に接続されている。
て、３２はヒートコンダクタ接続部である。このヒート
コンダクタ接続部３２は、図４に示すヒートコンダクタ
３３の一端に接続されており、そのヒートコンダクタ３
３の他端は、図４に示すように前記熱伝導棒１４に取り
付けられている。このように、冷却カバー２７は、ヒー
トコンダクタ３３および熱伝導棒１４を介して前記冷媒
タンク１３に熱的に接続されている。
【００２４】なお、図６は、冷却カバー２７を備えたＳ
ＰＭヘッド１６がヘッド取付部１７に取り付けられたと
きの、ＳＰＭヘッド１６の斜視図を示したものである。
ＰＭヘッド１６がヘッド取付部１７に取り付けられたと
きの、ＳＰＭヘッド１６の斜視図を示したものである。
【００２５】このような構成の走査形プローブ顕微鏡に
おいて、液体窒素１４’が冷媒タンク１３に注入される
と、上述したように、その液体窒素による熱は熱伝導棒
１４およびヒートコンダクタ１２を介して冷却用ホルダ
７に伝わり、冷却用ホルダ７は低温に冷却される。さら
に、液体窒素による熱は、熱伝導棒１４およびヒートコ
ンダクタ３３を介して冷却カバー２７に伝わり、冷却カ
バー２７も低温に冷却される。
おいて、液体窒素１４’が冷媒タンク１３に注入される
と、上述したように、その液体窒素による熱は熱伝導棒
１４およびヒートコンダクタ１２を介して冷却用ホルダ
７に伝わり、冷却用ホルダ７は低温に冷却される。さら
に、液体窒素による熱は、熱伝導棒１４およびヒートコ
ンダクタ３３を介して冷却カバー２７に伝わり、冷却カ
バー２７も低温に冷却される。
【００２６】さて、このような走査形プローブ顕微鏡に
おいて試料を冷却して観察するときには、試料への霜の
付着を防ぐために、試料ホルダ１０が冷却用ホルダ７に
取り付けられる前に、上述したようにして冷却用ホルダ
７と冷却カバー２７が十分に冷却される。なお、このと
き、試料室２５は排気装置２６によって排気されてい
る。
おいて試料を冷却して観察するときには、試料への霜の
付着を防ぐために、試料ホルダ１０が冷却用ホルダ７に
取り付けられる前に、上述したようにして冷却用ホルダ
７と冷却カバー２７が十分に冷却される。なお、このと
き、試料室２５は排気装置２６によって排気されてい
る。
【００２７】このように冷却カバー２７と冷却用ホルダ
７が液体窒素によって冷却されると、試料室２５に残留
した水分子のうち、冷却カバー２７または冷却用ホルダ
７に衝突した水分子はそれらに吸着し、また、その吸着
した水分子がそこから離脱することはない。その後、オ
ペレータは、図示していない試料交換機構を用いて、試
料室２５の真空を破らずに試料ホルダ１０を冷却用ホル
ダ７に取り付ける。
７が液体窒素によって冷却されると、試料室２５に残留
した水分子のうち、冷却カバー２７または冷却用ホルダ
７に衝突した水分子はそれらに吸着し、また、その吸着
した水分子がそこから離脱することはない。その後、オ
ペレータは、図示していない試料交換機構を用いて、試
料室２５の真空を破らずに試料ホルダ１０を冷却用ホル
ダ７に取り付ける。
【００２８】ところで、試料室２５は排気装置２６によ
って排気されるが、たとえばターボ分子ポンプで真空排
気を行った場合、試料室２５の真空度は通常１０-4Ｐa
程度となる。このような真空度の領域では、試料室２５
に残留している水分子を含む気体分子は分子流領域に入
っており、ほとんどの水分子は他の気体分子に衝突せず
直線的な運動を行う。
って排気されるが、たとえばターボ分子ポンプで真空排
気を行った場合、試料室２５の真空度は通常１０-4Ｐa
程度となる。このような真空度の領域では、試料室２５
に残留している水分子を含む気体分子は分子流領域に入
っており、ほとんどの水分子は他の気体分子に衝突せず
直線的な運動を行う。
【００２９】そして、図４の走査プローブ顕微鏡におけ
る状態においては、試料９から周りを見渡したときに、
前記カンチレバ導入用切欠き２８部分のみを除いて、冷
却された冷却カバー２７しか見えない状態である。この
ため、試料ホルダ１０を冷却用ホルダ７に装着したとき
に、水分子が試料室２５にわずかに残留していたとして
も、試料周辺を直線的な運動を行う水分子のほとんどは
冷却カバー２７にトラップされる。この結果、従来のよ
うに試料表面に霜が付着することはなく、カンチレバを
用いた試料表面の正確な像観察が可能となる。
る状態においては、試料９から周りを見渡したときに、
前記カンチレバ導入用切欠き２８部分のみを除いて、冷
却された冷却カバー２７しか見えない状態である。この
ため、試料ホルダ１０を冷却用ホルダ７に装着したとき
に、水分子が試料室２５にわずかに残留していたとして
も、試料周辺を直線的な運動を行う水分子のほとんどは
冷却カバー２７にトラップされる。この結果、従来のよ
うに試料表面に霜が付着することはなく、カンチレバを
用いた試料表面の正確な像観察が可能となる。
【００３０】以上、図４〜６を用いて本発明の一例を説
明したが、以下、本発明の他の例を説明する。
明したが、以下、本発明の他の例を説明する。
【００３１】上述した本発明の例においては、冷却カバ
ーがＳＰＭヘッドに取り付けられているが、この冷却カ
バーを試料ホルダに構成するようにしてもよい。図７は
その一例を示したものであり、この場合には、走査形プ
ローブ顕微鏡本体として、図１に示した装置が用いられ
る。
ーがＳＰＭヘッドに取り付けられているが、この冷却カ
バーを試料ホルダに構成するようにしてもよい。図７は
その一例を示したものであり、この場合には、走査形プ
ローブ顕微鏡本体として、図１に示した装置が用いられ
る。
【００３２】図７に示す本発明の試料ホルダ３４におい
て、３５は台座であり、その形状は図２に示した試料ホ
ルダ１０の形状と同じであり、図２に示した冷却用ホル
ダ７の取付部１１に着脱可能に形成されている。
て、３５は台座であり、その形状は図２に示した試料ホ
ルダ１０の形状と同じであり、図２に示した冷却用ホル
ダ７の取付部１１に着脱可能に形成されている。
【００３３】また、図７において、３６は冷却カバーで
あり、冷却カバー３６は台座３５に固定されている。こ
の冷却カバー３６は、銅板を用いてコの字状に形成され
ていて、熱伝導を良くするために金メッキが施されてい
る。
あり、冷却カバー３６は台座３５に固定されている。こ
の冷却カバー３６は、銅板を用いてコの字状に形成され
ていて、熱伝導を良くするために金メッキが施されてい
る。
【００３４】そして、冷却カバー３６の上面には切欠き
３７が設けられている。この切欠き３７は、試料ホルダ
３４を冷却用ホルダ７に取り付けたときに、試料９を前
記カンチレバ１８と対向させるために設けられており、
また、この切欠き３７は、試料ホルダ３４を冷却用ホル
ダ７に装着するときに、冷却カバー３６が前記カンチレ
バ１８にぶつからないように形成されている。
３７が設けられている。この切欠き３７は、試料ホルダ
３４を冷却用ホルダ７に取り付けたときに、試料９を前
記カンチレバ１８と対向させるために設けられており、
また、この切欠き３７は、試料ホルダ３４を冷却用ホル
ダ７に装着するときに、冷却カバー３６が前記カンチレ
バ１８にぶつからないように形成されている。
【００３５】さて、このような試料ホルダ３４を用い、
前記図１に示した走査形プローブ顕微鏡において試料を
冷却して観察するときには、試料への霜の付着を防ぐた
めに、試料ホルダ３４が冷却用ホルダ７に取り付けられ
る前に、冷却用ホルダ７が液体窒素１４’により十分に
冷却される。なお、このとき、試料室２５は排気装置２
６によって排気される。
前記図１に示した走査形プローブ顕微鏡において試料を
冷却して観察するときには、試料への霜の付着を防ぐた
めに、試料ホルダ３４が冷却用ホルダ７に取り付けられ
る前に、冷却用ホルダ７が液体窒素１４’により十分に
冷却される。なお、このとき、試料室２５は排気装置２
６によって排気される。
【００３６】そして、冷却用ホルダ７が十分に冷却され
て、試料室２５に残留した水分子が冷却用ホルダ７に吸
着された後で、オペレータは、図示していない試料交換
機構を用いて、試料室２５の真空を破らずに前記試料ホ
ルダ３４を冷却用ホルダ７に取り付ける。この試料ホル
ダ３４の冷却用ホルダ７への取り付けにより、試料ホル
ダ３４の台座３５および冷却カバー３６は冷却され、そ
して試料９も冷却される。
て、試料室２５に残留した水分子が冷却用ホルダ７に吸
着された後で、オペレータは、図示していない試料交換
機構を用いて、試料室２５の真空を破らずに前記試料ホ
ルダ３４を冷却用ホルダ７に取り付ける。この試料ホル
ダ３４の冷却用ホルダ７への取り付けにより、試料ホル
ダ３４の台座３５および冷却カバー３６は冷却され、そ
して試料９も冷却される。
【００３７】ところで、上述したように、試料室２５を
たとえばターボ分子ポンプで排気した場合、試料室２５
の真空度は１０-4Ｐａ程度となって、試料室２５に残留
しているほとんどの水分子は他の気体分子に衝突せずに
直線的な運動を行う。
たとえばターボ分子ポンプで排気した場合、試料室２５
の真空度は１０-4Ｐａ程度となって、試料室２５に残留
しているほとんどの水分子は他の気体分子に衝突せずに
直線的な運動を行う。
【００３８】そして、図７に示した試料ホルダ３４を用
いれば、試料９は、前記切欠き３７部分のみを除いて、
冷却された冷却カバー３６で囲い込まれている。このた
め、試料ホルダ３４を冷却用ホルダ７に装着したとき
に、水分子が試料室２５にわずかに残留していたとして
も、試料９に向けて直線的な運動を行って入射してくる
水分子のほとんどは冷却カバー３６にトラップされる。
この結果、従来のように試料表面に霜が付着することは
なく、カンチレバを用いた試料表面の正確な像観察が可
能となる。
いれば、試料９は、前記切欠き３７部分のみを除いて、
冷却された冷却カバー３６で囲い込まれている。このた
め、試料ホルダ３４を冷却用ホルダ７に装着したとき
に、水分子が試料室２５にわずかに残留していたとして
も、試料９に向けて直線的な運動を行って入射してくる
水分子のほとんどは冷却カバー３６にトラップされる。
この結果、従来のように試料表面に霜が付着することは
なく、カンチレバを用いた試料表面の正確な像観察が可
能となる。
【００３９】以上、本発明の例について述べたが、本発
明はこれらに限定されるものではない。
明はこれらに限定されるものではない。
【００４０】たとえば、上記例では、ＳＰＭヘッドにカ
ンチレバホルダが装着されたが、これに代えて、走査ト
ンネル顕微鏡用探針を保持した探針ホルダをＳＰＭヘッ
ドに装着するようにしてもよい。そうすれば、カンチレ
バを用いた原子間力顕微鏡像などに代わって、走査トン
ネル顕微鏡像を観察することができる。
ンチレバホルダが装着されたが、これに代えて、走査ト
ンネル顕微鏡用探針を保持した探針ホルダをＳＰＭヘッ
ドに装着するようにしてもよい。そうすれば、カンチレ
バを用いた原子間力顕微鏡像などに代わって、走査トン
ネル顕微鏡像を観察することができる。
【図１】 試料冷却システムを備えた、従来の走査形プ
ローブ顕微鏡を示したものである。
ローブ顕微鏡を示したものである。
【図２】 冷却用ホルダの斜視図である。
【図３】 ＳＰＭヘッドの斜視図である。
【図４】 試料冷却システムを備えた、本発明の走査形
プローブ顕微鏡の一例を示したものである。
プローブ顕微鏡の一例を示したものである。
【図５】 冷却カバーの斜視図である。
【図６】 冷却カバーを備えたＳＰＭヘッドの斜視図で
ある。
ある。
【図７】 冷却カバーを備えた試料ホルダの斜視図であ
る。
る。
１…ベースユニット、２…除振テーブル、３…試料ステ
ージ駆動機構、４…試料ステージ、５…試料スキャナ、
６…チューブスキャナ、７…冷却用ホルダ、８、３１…
熱絶縁部材、９…試料、１０、３４…試料ホルダ、１１
…試料ホルダ取付部、１２、３３…ヒートコンダクタ、
１３…冷媒タンク、１４…熱伝導棒、１４’…液体窒
素、１５…保護容器、１６…ＳＰＭヘッド、１７…ヘッ
ド取付部、１８…カンチレバ、１９…カンチレバホル
ダ、２０…探針、２１…レーザ光源、２２…ミラー、２
３…光検出器、２４…ガラスベルジャー、２５…試料
室、２６…排気装置、２７、３６…冷却カバー、２８…
カンチレバ導入用切欠き、２９…ビス穴、３０…ビス、
３２…ヒートコンダクタ接続部、３５…台座、３７…切
欠き
ージ駆動機構、４…試料ステージ、５…試料スキャナ、
６…チューブスキャナ、７…冷却用ホルダ、８、３１…
熱絶縁部材、９…試料、１０、３４…試料ホルダ、１１
…試料ホルダ取付部、１２、３３…ヒートコンダクタ、
１３…冷媒タンク、１４…熱伝導棒、１４’…液体窒
素、１５…保護容器、１６…ＳＰＭヘッド、１７…ヘッ
ド取付部、１８…カンチレバ、１９…カンチレバホル
ダ、２０…探針、２１…レーザ光源、２２…ミラー、２
３…光検出器、２４…ガラスベルジャー、２５…試料
室、２６…排気装置、２７、３６…冷却カバー、２８…
カンチレバ導入用切欠き、２９…ビス穴、３０…ビス、
３２…ヒートコンダクタ接続部、３５…台座、３７…切
欠き
Claims (4)
- 【請求項１】 試料室に配置された試料を冷却できるよ
うに構成された走査形プローブ顕微鏡において、試料周
りを囲い込むように前記試料室に配置された冷却カバー
と、該冷却カバーを冷却するための手段を備えたことを
特徴とする走査形プローブ顕微鏡。 - 【請求項２】 前記冷却カバーは、探針を保持するため
のヘッドに取り付けられていることを特徴とする請求項
１記載の走査形プローブ顕微鏡。 - 【請求項３】 前記冷却カバーは、試料を保持するため
の試料ホルダに取り付けられていることを特徴とする請
求項１記載の走査形プローブ顕微鏡。 - 【請求項４】 前記冷却カバーには切欠きが形成されて
おり、前記探針はその切欠きを通して前記試料に対向す
ることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の走
査形プローブ顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000198223A JP2002014026A (ja) | 2000-06-30 | 2000-06-30 | 走査形プローブ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000198223A JP2002014026A (ja) | 2000-06-30 | 2000-06-30 | 走査形プローブ顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002014026A true JP2002014026A (ja) | 2002-01-18 |
Family
ID=18696414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000198223A Pending JP2002014026A (ja) | 2000-06-30 | 2000-06-30 | 走査形プローブ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002014026A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1320349C (zh) * | 2002-11-12 | 2007-06-06 | 上海爱建纳米科技发展有限公司 | 扫描隧道显微镜的扫描装置 |
| JP2007155460A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Shimadzu Corp | 低温型硬度計 |
| JP2008122326A (ja) * | 2006-11-15 | 2008-05-29 | Jeol Ltd | 走査プローブ顕微鏡 |
| KR101104302B1 (ko) * | 2010-10-04 | 2012-01-11 | 한국기초과학지원연구원 | Ｓｅｍ의 시료 스테이지 |
| CN106443075A (zh) * | 2016-12-09 | 2017-02-22 | 南京大学 | 一种用于原子力显微镜的温控样品台和温控系统 |
-
2000
- 2000-06-30 JP JP2000198223A patent/JP2002014026A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1320349C (zh) * | 2002-11-12 | 2007-06-06 | 上海爱建纳米科技发展有限公司 | 扫描隧道显微镜的扫描装置 |
| JP2007155460A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Shimadzu Corp | 低温型硬度計 |
| JP4711067B2 (ja) * | 2005-12-02 | 2011-06-29 | 株式会社島津製作所 | 低温型硬度計 |
| JP2008122326A (ja) * | 2006-11-15 | 2008-05-29 | Jeol Ltd | 走査プローブ顕微鏡 |
| KR101104302B1 (ko) * | 2010-10-04 | 2012-01-11 | 한국기초과학지원연구원 | Ｓｅｍ의 시료 스테이지 |
| CN106443075A (zh) * | 2016-12-09 | 2017-02-22 | 南京大学 | 一种用于原子力显微镜的温控样品台和温控系统 |
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