JPH10172487A - 試料加熱装置 - Google Patents
試料加熱装置Info
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- JPH10172487A JPH10172487A JP8333400A JP33340096A JPH10172487A JP H10172487 A JPH10172487 A JP H10172487A JP 8333400 A JP8333400 A JP 8333400A JP 33340096 A JP33340096 A JP 33340096A JP H10172487 A JPH10172487 A JP H10172487A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 コンパクトで高温加熱可能な試料加熱装置を
提供する。 【解決手段】 環境制御型走査型電子顕微鏡で用いられ
る試料加熱装置において、試料１を保持する試料ホルダ
２を熱伝導率の高い材料で構成し、ヒータ構造材３を熱
伝導率の低い材料で構成する。又、ヒータ構造材３を中
空構造とし、その中空部分に充填された充填材５に凹部
を設け、その凹部に試料ホルダ２の底部外面が嵌め込ま
れる構造とする。
提供する。 【解決手段】 環境制御型走査型電子顕微鏡で用いられ
る試料加熱装置において、試料１を保持する試料ホルダ
２を熱伝導率の高い材料で構成し、ヒータ構造材３を熱
伝導率の低い材料で構成する。又、ヒータ構造材３を中
空構造とし、その中空部分に充填された充填材５に凹部
を設け、その凹部に試料ホルダ２の底部外面が嵌め込ま
れる構造とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、環境制御型の走査
型電子顕微鏡で用いられる、試料加熱用の高温加熱装置
に関する。
型電子顕微鏡で用いられる、試料加熱用の高温加熱装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、種々の物質を様々な環境下でしか
も高倍率で観察したいという要求が高まっている。環境
制御型走査型電子顕微鏡（Environmental Scanning Ele
ctronMicroscope：以下、ＥＳＥＭと称する）はこの要
求を満たす観察装置である。ＥＳＥＭは、試料室に導入
するガスの種類を変えることによって様々な環境を作れ
る。又、試料室内に加熱装置や冷却装置を設けることに
よって、制御された温度の下での観察が可能である。通
常は、加熱装置や冷却装置は、試料室内の可動ステージ
の上にネジ止めされている。
も高倍率で観察したいという要求が高まっている。環境
制御型走査型電子顕微鏡（Environmental Scanning Ele
ctronMicroscope：以下、ＥＳＥＭと称する）はこの要
求を満たす観察装置である。ＥＳＥＭは、試料室に導入
するガスの種類を変えることによって様々な環境を作れ
る。又、試料室内に加熱装置や冷却装置を設けることに
よって、制御された温度の下での観察が可能である。通
常は、加熱装置や冷却装置は、試料室内の可動ステージ
の上にネジ止めされている。
【０００３】図３は、従来の試料加熱装置の主要部を示
す部分断面図である。試料１は、皿状の試料ホルダ２に
セットされ、試料ホルダ２は、ヒータ構造材３の上に載
っている。試料ホルダ２及びヒータ構造材３は、熱的に
安定なアルミナ（Ａl2Ｏ3)製が多い。ヒータ構造材３の
内部には、ヒータ材４と温度測定用の熱電対６が配置さ
れている。すなわち、試料ホルダ２は下方から加熱され
る構造となっている。
す部分断面図である。試料１は、皿状の試料ホルダ２に
セットされ、試料ホルダ２は、ヒータ構造材３の上に載
っている。試料ホルダ２及びヒータ構造材３は、熱的に
安定なアルミナ（Ａl2Ｏ3)製が多い。ヒータ構造材３の
内部には、ヒータ材４と温度測定用の熱電対６が配置さ
れている。すなわち、試料ホルダ２は下方から加熱され
る構造となっている。
【０００４】ヒータ構造材３の側面の周辺には断熱材７
が設けられ、ヒータ構造材３の上方には防熱板８が設け
られ、これらによって試料加熱時に輻射される熱の伝播
を防止する。断熱材７は、試料室の内壁や可動ステージ
を輻射熱から保護するために、防熱板８は、２次電子検
出器や対物レンズを輻射熱から保護するために設けられ
る。
が設けられ、ヒータ構造材３の上方には防熱板８が設け
られ、これらによって試料加熱時に輻射される熱の伝播
を防止する。断熱材７は、試料室の内壁や可動ステージ
を輻射熱から保護するために、防熱板８は、２次電子検
出器や対物レンズを輻射熱から保護するために設けられ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図３に示す従来の試料
加熱装置では、ヒータ材４と試料１との距離が大きく、
ヒータ材４からの熱が効率良く試料１に伝わる構造では
ない。試料ホルダ２の形状が皿状であるために、加熱さ
れる面積が広い反面、熱の発散も大きい。又、試料ホル
ダ２は、それ自身が熱伝導率の高いアルミナ製であり、
同じ材質のヒータ構造材３の上に載置されているので、
ヒータ材４からの熱が試料１に伝わり易い反面、熱の発
散も大きい。
加熱装置では、ヒータ材４と試料１との距離が大きく、
ヒータ材４からの熱が効率良く試料１に伝わる構造では
ない。試料ホルダ２の形状が皿状であるために、加熱さ
れる面積が広い反面、熱の発散も大きい。又、試料ホル
ダ２は、それ自身が熱伝導率の高いアルミナ製であり、
同じ材質のヒータ構造材３の上に載置されているので、
ヒータ材４からの熱が試料１に伝わり易い反面、熱の発
散も大きい。
【０００６】そこで、試料ホルダ２又はヒータ構造材３
の材質として、断熱性の良い（熱伝導性の低い）ものを
使おうとすると、試料１に充分に熱が伝わらず、なかな
か高温が得られないという問題があった。以上の理由に
より、ＥＳＥＭで従来から用いられていた試料加熱装置
による加熱温度は約1000℃が上限であった。
の材質として、断熱性の良い（熱伝導性の低い）ものを
使おうとすると、試料１に充分に熱が伝わらず、なかな
か高温が得られないという問題があった。以上の理由に
より、ＥＳＥＭで従来から用いられていた試料加熱装置
による加熱温度は約1000℃が上限であった。
【０００７】ところで、最近では、より高い温度、例え
ばセラミックの焼結温度で試料を観察したいという要望
が高まっている。高温を得るには、ヒータ材４に供給す
る電力を大きくしなければならないが、発熱量を多くす
るほど熱の放出量も多くなる。例えば、同一寸法のヒー
タ構造材を1000℃とした場合と1300℃とした場合とでヒ
ータ構造材からの熱の逃げ量を計算すると、後者は前者
の約２．３倍にもなってしまう。
ばセラミックの焼結温度で試料を観察したいという要望
が高まっている。高温を得るには、ヒータ材４に供給す
る電力を大きくしなければならないが、発熱量を多くす
るほど熱の放出量も多くなる。例えば、同一寸法のヒー
タ構造材を1000℃とした場合と1300℃とした場合とでヒ
ータ構造材からの熱の逃げ量を計算すると、後者は前者
の約２．３倍にもなってしまう。
【０００８】又、試料加熱装置を大型化することは、Ｅ
ＳＥＭの試料室の大きさに限界があるので困難である。
さらに、試料加熱装置にヒータ材の損傷や断線が起こる
と、一般にはヒータ材とその周辺部品を一括して交換し
ている。しかし、試料加熱装置が可動ステージにネジで
固定されていると、交換に時間がかかり、作業も煩わし
い。本発明は、かかる点に鑑み、ヒータ材からの熱を効
率的に試料に伝えるとともに、試料ホルダやヒータ構造
材からの熱の発散が少ない構造をもつ、高温加熱可能な
試料加熱装置を提供することを目的とする。
ＳＥＭの試料室の大きさに限界があるので困難である。
さらに、試料加熱装置にヒータ材の損傷や断線が起こる
と、一般にはヒータ材とその周辺部品を一括して交換し
ている。しかし、試料加熱装置が可動ステージにネジで
固定されていると、交換に時間がかかり、作業も煩わし
い。本発明は、かかる点に鑑み、ヒータ材からの熱を効
率的に試料に伝えるとともに、試料ホルダやヒータ構造
材からの熱の発散が少ない構造をもつ、高温加熱可能な
試料加熱装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
めに、本発明の請求項１に係るＥＳＥＭ用の試料加熱装
置は、試料室内の可動ステージの上に載置され、試料を
保持する試料ホルダと、ヒータ材と、該ヒータ材を内包
するヒータ構造材と、を含み、試料ホルダを熱伝導率の
高い材料で構成し、ヒータ構造材を熱伝導率の低い材料
で構成した。
めに、本発明の請求項１に係るＥＳＥＭ用の試料加熱装
置は、試料室内の可動ステージの上に載置され、試料を
保持する試料ホルダと、ヒータ材と、該ヒータ材を内包
するヒータ構造材と、を含み、試料ホルダを熱伝導率の
高い材料で構成し、ヒータ構造材を熱伝導率の低い材料
で構成した。
【００１０】又、前記ヒータ構造材を中空構造とし、そ
の中空部分に充填された充填材に凹部を設け、その凹部
に試料ホルダの底部外面が嵌め込まれる構造とした（請
求項２）。さらに、試料加熱装置を可動ステージに対し
て着脱可能な構造とした（請求項３）。
の中空部分に充填された充填材に凹部を設け、その凹部
に試料ホルダの底部外面が嵌め込まれる構造とした（請
求項２）。さらに、試料加熱装置を可動ステージに対し
て着脱可能な構造とした（請求項３）。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の試料加熱装置は、試料ホ
ルダ及びヒータ構造材の材質、形状の最適化を図ること
によって、ヒータ材から試料に効率良く熱を伝達できる
とともに、熱の発散を極力抑制したものである。すなわ
ち、試料を載せる試料ホルダを熱伝導率の高い材質で作
製し、ヒータ構造材を熱伝導率の低い材質で作製した。
加えて、試料ホルダをヒータ材に近づけて、ヒータ材の
熱を有効に利用できるようにした。又、熱を受ける部分
の面積を大きく、熱が逃げる部分の面積を小さくするよ
うに、試料ホルダの形状を変えた。以下、図１と２を参
照して、さらに詳しく説明する。尚、図１と２におい
て、上述した図３と共通する部分には同一符号を付け、
説明を省略する。
ルダ及びヒータ構造材の材質、形状の最適化を図ること
によって、ヒータ材から試料に効率良く熱を伝達できる
とともに、熱の発散を極力抑制したものである。すなわ
ち、試料を載せる試料ホルダを熱伝導率の高い材質で作
製し、ヒータ構造材を熱伝導率の低い材質で作製した。
加えて、試料ホルダをヒータ材に近づけて、ヒータ材の
熱を有効に利用できるようにした。又、熱を受ける部分
の面積を大きく、熱が逃げる部分の面積を小さくするよ
うに、試料ホルダの形状を変えた。以下、図１と２を参
照して、さらに詳しく説明する。尚、図１と２におい
て、上述した図３と共通する部分には同一符号を付け、
説明を省略する。
【００１２】図１は、本発明の実施形態に係る、ＥＳＥ
Ｍ用の試料加熱装置の主要部の断面図である。すなわ
ち、試料ホルダ２を熱伝導率の高い材質で作製し、ヒー
タ構造材３を熱伝導率の低い材質で作製した（請求項
１）。これに加えて、ヒータ構造材３を中空構造とし、
その中空部分にヒータ材４を取り囲むように充填材８を
充填し、充填材８の上部に凹部を設け、その凹部に試料
ホルダ２を落とし込む構造とした（請求項２）。
Ｍ用の試料加熱装置の主要部の断面図である。すなわ
ち、試料ホルダ２を熱伝導率の高い材質で作製し、ヒー
タ構造材３を熱伝導率の低い材質で作製した（請求項
１）。これに加えて、ヒータ構造材３を中空構造とし、
その中空部分にヒータ材４を取り囲むように充填材８を
充填し、充填材８の上部に凹部を設け、その凹部に試料
ホルダ２を落とし込む構造とした（請求項２）。
【００１３】図１が図３の従来例と比べて形状・構造が
大きく異なるところは、試料ホルダ２の深さが深く、
露出面積（雰囲気ガスに接している面積）が小さいこと
と、試料ホルダ２と充填材８とが直接接していること
の２点である。すなわち試料ホルダ２は、ヒータ材４か
らの熱を側面からも受けることができるだけでなく、露
出面積が図３の従来例と比べて小さいので熱の発散も少
ない。又、試料ホルダ２と充填材８との間には、断熱性
のヒータ構造材３の天井部分がなく、試料ホルダ２と充
填材８とが直に接触しているため、ヒータ材４からの熱
が試料ホルダ２へ効率良く伝わる。その結果、従来の装
置で試料温度を1000℃に上げるのとほぼ同じ電力で試料
１の温度を1300℃とすることができた。
大きく異なるところは、試料ホルダ２の深さが深く、
露出面積（雰囲気ガスに接している面積）が小さいこと
と、試料ホルダ２と充填材８とが直接接していること
の２点である。すなわち試料ホルダ２は、ヒータ材４か
らの熱を側面からも受けることができるだけでなく、露
出面積が図３の従来例と比べて小さいので熱の発散も少
ない。又、試料ホルダ２と充填材８との間には、断熱性
のヒータ構造材３の天井部分がなく、試料ホルダ２と充
填材８とが直に接触しているため、ヒータ材４からの熱
が試料ホルダ２へ効率良く伝わる。その結果、従来の装
置で試料温度を1000℃に上げるのとほぼ同じ電力で試料
１の温度を1300℃とすることができた。
【００１４】断熱材７は、熱の外部への伝達を防ぐ作用
があるが、断熱材７の内壁に反射鏡として耐熱性の金属
板を張れば防止効果は一層増大する。試料ホルダ２の材
質としては、例えば、熱伝導率0.07cal/cm sec ℃のア
ルミナや0.11cal/cm sec ℃の窒化硼素が適切である。
又、ヒータ構造材３の材質としては、例えば、熱伝導率
0.004cal/cm sec ℃のジルコニアや0.0028cal/cm sec℃
のローテック−ＴＭ（旭化成（株）の商品名）が適切で
ある。つまり、試料ホルダ２は熱伝導性が高く、ヒータ
構造材３は熱伝導性が低い。充填材８は、高温用の無機
系接着剤であり、耐熱性が高いだけではなく、熱伝導性
が高く電気絶縁性が大きい。
があるが、断熱材７の内壁に反射鏡として耐熱性の金属
板を張れば防止効果は一層増大する。試料ホルダ２の材
質としては、例えば、熱伝導率0.07cal/cm sec ℃のア
ルミナや0.11cal/cm sec ℃の窒化硼素が適切である。
又、ヒータ構造材３の材質としては、例えば、熱伝導率
0.004cal/cm sec ℃のジルコニアや0.0028cal/cm sec℃
のローテック−ＴＭ（旭化成（株）の商品名）が適切で
ある。つまり、試料ホルダ２は熱伝導性が高く、ヒータ
構造材３は熱伝導性が低い。充填材８は、高温用の無機
系接着剤であり、耐熱性が高いだけではなく、熱伝導性
が高く電気絶縁性が大きい。
【００１５】次に、本発明の試料加熱装置の主要部の製
造方法について述べる。ヒータ構造材３の上部に、試料
ホルダ２と同一形状のダミーを取り付け、ヒータ構造材
３の内部に、ヒータ材４と熱電対６をセットした後に、
全体を上下反転させる。粉体状の無機系接着剤を溶剤に
溶かし、この液体をヒータ構造材３の内部に流し込み、
無機系接着剤が固化する直前に再反転してダミーを取り
去る。このようにして図１に示す試料加熱装置の主要部
が完成する。
造方法について述べる。ヒータ構造材３の上部に、試料
ホルダ２と同一形状のダミーを取り付け、ヒータ構造材
３の内部に、ヒータ材４と熱電対６をセットした後に、
全体を上下反転させる。粉体状の無機系接着剤を溶剤に
溶かし、この液体をヒータ構造材３の内部に流し込み、
無機系接着剤が固化する直前に再反転してダミーを取り
去る。このようにして図１に示す試料加熱装置の主要部
が完成する。
【００１６】図２は、本発明の実施形態に係る、ＥＳＥ
Ｍ用の試料加熱装置の全体を示す断面図である。試料ホ
ルダ、ヒータ材、ヒータ構造材及び断熱材等から成る主
要部９を取り囲むように金属ケース１２が設けられ、該
金属ケース１２には冷却水管１３が配設され、断熱材７
や防熱板８を強制的に冷却している。又、金属ケース１
２には、ヒータ材４へ電力を供給するためのヒータ用コ
ネクタ１０や熱電対６から熱起電力を取り出すための熱
電対用コネクタ１１が付設されている。尚、この熱起電
力の値は、ヒータ用電源の電圧（電流）制御部（不図
示）へフィードバックされて、常に設定温度を保持す
る。
Ｍ用の試料加熱装置の全体を示す断面図である。試料ホ
ルダ、ヒータ材、ヒータ構造材及び断熱材等から成る主
要部９を取り囲むように金属ケース１２が設けられ、該
金属ケース１２には冷却水管１３が配設され、断熱材７
や防熱板８を強制的に冷却している。又、金属ケース１
２には、ヒータ材４へ電力を供給するためのヒータ用コ
ネクタ１０や熱電対６から熱起電力を取り出すための熱
電対用コネクタ１１が付設されている。尚、この熱起電
力の値は、ヒータ用電源の電圧（電流）制御部（不図
示）へフィードバックされて、常に設定温度を保持す
る。
【００１７】金属ケース１２の下面にはクイックカップ
リング１４が設けられ、可動ステージ１５の上面にはク
イックカップリング１４と係合するカップリング部１６
が設けられている。クイックカップリング１４をカップ
リング部１６に取り付けるときは、可動ステージ１５を
下方（Ｚ方向）に移動させ、クイックカップリング１４
をカップリング部１６に挿入するだけでよい。逆に、取
り外すときは、試料加熱装置全体を上方に引き上げれば
よい。
リング１４が設けられ、可動ステージ１５の上面にはク
イックカップリング１４と係合するカップリング部１６
が設けられている。クイックカップリング１４をカップ
リング部１６に取り付けるときは、可動ステージ１５を
下方（Ｚ方向）に移動させ、クイックカップリング１４
をカップリング部１６に挿入するだけでよい。逆に、取
り外すときは、試料加熱装置全体を上方に引き上げれば
よい。
【００１８】このように、簡便に試料加熱装置を可動ス
テージ１５に対し着脱できるので、試料加熱装置の交換
作業は極めて容易であり、短時間で済む。
テージ１５に対し着脱できるので、試料加熱装置の交換
作業は極めて容易であり、短時間で済む。
【００１９】
【発明の効果】本発明の試料加熱装置は、試料ホルダ及
びヒータ構造材の材質と、加熱装置の主要部の構造とを
最適化することによって、ヒータ材から試料に効率良く
熱を伝達させるとともに、熱の発散を極力抑制したもの
である。その結果、従来の試料加熱装置と同じ電力をヒ
ータ材に供給した場合でも、試料温度をより一層高くす
ることができる。
びヒータ構造材の材質と、加熱装置の主要部の構造とを
最適化することによって、ヒータ材から試料に効率良く
熱を伝達させるとともに、熱の発散を極力抑制したもの
である。その結果、従来の試料加熱装置と同じ電力をヒ
ータ材に供給した場合でも、試料温度をより一層高くす
ることができる。
【００２０】又、試料加熱装置の寸法を大きくすること
なく高温を達成できるので、試料室や可動ステージを改
造する必要もなく、２次電子検出器に対し熱による悪影
響を及ぼすこともない。さらに、簡便に試料加熱装置を
可動ステージに対して着脱できるので、試料加熱装置の
交換作業は極めて容易であり、短時間で済む。
なく高温を達成できるので、試料室や可動ステージを改
造する必要もなく、２次電子検出器に対し熱による悪影
響を及ぼすこともない。さらに、簡便に試料加熱装置を
可動ステージに対して着脱できるので、試料加熱装置の
交換作業は極めて容易であり、短時間で済む。
【図１】本発明の実施の形態に係る試料加熱装置の主要
部の概略構成を示す縦断面図。
部の概略構成を示す縦断面図。
【図２】本発明の実施形態に係る試料加熱装置の概略構
成を示す縦断面図。
成を示す縦断面図。
【図３】従来の高温加熱装置の主要部の概略構成を示す
縦断面図。
縦断面図。
１・・・・・試料 ２・・・・・試料ホルダ ３・・・・・ヒータ構造材 ４・・・・・ヒータ材 ５・・・・・充填材 ６・・・・・熱電対 ７・・・・・断熱材 ８・・・・・防熱板 ９・・・・・主要部 １２・・・・金属ケース １４・・・・クイックカップリング １５・・・・可動ステージ １６・・・・カップリング部
Claims (3)
- 【請求項１】 電子線源を収納する室と該電子線源から
発生する１次電子を通過させる通路とからなる真空室
と、前記真空室に対して圧力制限開口を介して連結さ
れ、低真空のガス雰囲気中に試料を収納する試料室とを
有し、前記１次電子を前記試料に照射し、試料から発生
した２次電子を前記ガス雰囲気中でガス増幅し、増幅さ
れた２次電子を２次電子検出器に取り込む環境制御型の
走査型電子顕微鏡に用いられ、 前記試料室内の可動ステージの上に載置され、前記試料
を保持する試料ホルダと、ヒータ材と、該ヒータ材を内
包するヒータ構造材と、を含む試料加熱装置において、 前記試料ホルダを熱伝導率の高い材料で構成し、前記ヒ
ータ構造材を熱伝導率の低い材料で構成したことを特徴
とする試料加熱装置。 - 【請求項２】 前記ヒータ構造材は中空構造を有し、前
記ヒータ構造材の中空部分に充填された充填材に設けら
れた凹部に、前記試料ホルダの底部外面が嵌め込まれた
構造を有することを特徴とする、請求項１に記載の試料
加熱装置。 - 【請求項３】 前記試料加熱装置は、前記可動ステージ
の上に着脱可能に載置される構造を有することを特徴と
する、請求項１に記載の試料加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8333400A JPH10172487A (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 試料加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8333400A JPH10172487A (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 試料加熱装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10172487A true JPH10172487A (ja) | 1998-06-26 |
Family
ID=18265700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8333400A Pending JPH10172487A (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 試料加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10172487A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110031394A1 (en) * | 2007-02-06 | 2011-02-10 | Fei Company | High pressure charged particle beam system |
| JP2016054120A (ja) * | 2014-09-04 | 2016-04-14 | 新日鐵住金株式会社 | 結晶観察システムおよび結晶観察方法 |
| JP2016096140A (ja) * | 2014-11-12 | 2016-05-26 | エフ イー アイ カンパニＦｅｉ Ｃｏｍｐａｎｙ | 荷電粒子顕微鏡における非接触温度測定 |
| CN106252186A (zh) * | 2016-10-08 | 2016-12-21 | 浙江大学 | 一种应用于扫描电镜中的加热装置 |
| US9679741B2 (en) | 2010-11-09 | 2017-06-13 | Fei Company | Environmental cell for charged particle beam system |
-
1996
- 1996-12-13 JP JP8333400A patent/JPH10172487A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110031394A1 (en) * | 2007-02-06 | 2011-02-10 | Fei Company | High pressure charged particle beam system |
| US8921811B2 (en) * | 2007-02-06 | 2014-12-30 | Fei Company | High pressure charged particle beam system |
| US9679741B2 (en) | 2010-11-09 | 2017-06-13 | Fei Company | Environmental cell for charged particle beam system |
| JP2016054120A (ja) * | 2014-09-04 | 2016-04-14 | 新日鐵住金株式会社 | 結晶観察システムおよび結晶観察方法 |
| JP2016096140A (ja) * | 2014-11-12 | 2016-05-26 | エフ イー アイ カンパニＦｅｉ Ｃｏｍｐａｎｙ | 荷電粒子顕微鏡における非接触温度測定 |
| CN106252186A (zh) * | 2016-10-08 | 2016-12-21 | 浙江大学 | 一种应用于扫描电镜中的加热装置 |
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