JP4711067B2 - 低温型硬度計 - Google Patents
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Description
図1は請求項1に係る発明の実施の形態の要部構成図であり、機械的構成並びに配置を表す概略図と冷媒配管およびガス配管の概略を表す配管図を併記して示す図である。また、図2はこの実施の形態の正面図で、図3はその試料台10の上部構造の拡大斜視図である。
10 試料台
11 Zステージ
12 XYステージ
13 圧子
14 負荷機構
15 顕微鏡
16 低温炉
17 固定用バンド
18 CCDカメラ
2 低温制御装置
3 切替バルブユニット
4 ガス置換用簡易グローブボックス
5 Arガス源
6 ノズル
7 ガス低温制御装置
8 温度センサ
W 試料
Claims (2)
- 試料が固定具により固定される試料台と、その試料台上の試料に対して圧子を押し付ける負荷機構と、試料の表面を観察する光学顕微鏡と、上記圧子の押し付けにより試料表面に生じたくぼみを測長する測長機構を備えるとともに、上記試料台上の試料を冷却する冷却部を備えた低温型硬度計において、
上記試料台上に固定されている試料に向けて、当該試料温度よりも露点温度の低い高純度ガスを供給するガス供給手段と、当該硬度計全体を覆って内部に高純度ガスを充満させるための密閉されていないガス置換用簡易ケースを備え、上記ガス供給手段は、上記ガス置換用簡易ケース内に引き込まれ、かつ、その先端には上記試料台に固定されている試料に向けて開口するノズルが装着されたガス供給管を含み、上記高純度ガスが試料の表面に吹き付けられるように構成されていることを特徴とする低温型硬度計。 - 試料が固定具により固定される試料台と、その試料台上の試料に対して圧子を押し付ける負荷機構と、試料の表面を観察する光学顕微鏡と、上記圧子を所定の荷重で押し付けたときの圧子の試料表面に対する押し込み量を測定する押し込み量測定機構を備えるとともに、上記試料台上の試料を冷却する冷却部を備えた低温型硬度計において、
上記試料台上に固定されている試料に向けて、当該試料温度よりも露点温度の低い高純度ガスを供給するガス供給手段と、当該硬度計全体を覆って内部に高純度ガスを充満させるための密閉されていないガス置換用簡易ケースを備え、上記ガス供給手段は、上記ガス置換用簡易ケース内に引き込まれ、かつ、その先端には上記試料台に固定されている試料に向けて開口するノズルが装着されたガス供給管を含み、上記高純度ガスが試料の表面に吹き付けられるように構成されていることを特徴とする低温型硬度計。
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