JP2011154917A - 試料搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】荷電粒子線を照射して観察及び分析する試料を搬送するための試料搬送装置であって、試料が設置される試料ホルダを内部に収容可能な伸縮部材と、前記試料ホルダを前記伸縮部材の内部で固定する固定部材と、前記伸縮部材内部と接続し試料ホルダが通過する開口部の開閉を行う封止部材を備えたことを特徴とする試料搬送装置を提供する。
【選択図】 図1
Description
2 電子源
3 電子線
4 収束レンズ
5 サイドエントリ型試料ホルダ
6 対物レンズ
7 結像レンズ系
8 電子分光器
9 蛍光板
10 磁場セクタ
11,12 多重極子レンズ
13 二次元検出器
14 画像表示装置
15 試料傾斜装置
16 試料搬送装置
17 試料
18 試料台
20 ドリフトチューブ
30 前面フランジ
31 ガイド棒
32 ベローズ
33 背面シール板
34 ストッパネジ
35 背面カバー
36 背面フランジ
37 ガイド穴
38 ゲートバルブ
39 ベローズ固定冶具
40 ゲートフランジ
41 ゲートバルブ用取っ手
50 試料保持空間
51 ホルダ支持部材
52 サイドエントリ型試料ホルダ後方部
60 排気穴
61 挿入棒
62 予備排気室
Claims (9)
- 荷電粒子線を照射して観察及び分析する試料を搬送するための試料搬送装置であって、
試料が設置される試料ホルダを内部に収容可能な伸縮部材と、前記試料ホルダを前記伸縮部材の内部で固定する固定部材と、前記伸縮部材内部と接続し試料ホルダが通過する開口部の開閉を行う封止部材を備えたことを特徴とする試料搬送装置。 - 請求項1の試料搬送装置において、
前記封止部材は、ゲートバルブであることを特徴とする試料搬送装置。 - 請求項1の試料搬送装置において、
前記封止部材と、前記固定部材は、ガイド棒で連結されており、前記固定部材は、当該ガイド棒に沿って前記封止部材の方向に移動することを特徴とする試料搬送装置。 - 請求項1の試料搬送装置において、
前記伸縮部材はベローズであることを特徴とする試料搬送装置。 - 請求項1の試料搬送装置において、
前記試料ホルダは、荷電粒子線装置に用いられるサイドエントリ型試料ホルダであることを特徴とする試料搬送装置。 - 請求項1の試料搬送装置において、
前記伸縮部材の内部と接続され、真空排気及び/又はガス導入する開口部を備えることを特徴とする試料搬送装置。 - 請求項1の試料搬送装置において、
前記固定部材は、前記試料ホルダを着脱可能であることを特徴とする試料搬送装置。 - 荷電粒子線装置に試料を搬送する試料搬送方法であって、
試料が設置される試料ホルダを内部に収容可能な伸縮部材と、前記試料ホルダを前記伸縮部材の内部で固定する固定部材と、前記伸縮部材内部と接続し試料ホルダが通過する開口部の開閉を行う封止部材を備えた試料搬送装置をグローブボックス内に挿入し、当該グローブボックス内で前記試料を前記試料ホルダに設置し、当該試料ホルダを前記試料搬送装置の伸縮部材内部に固定し、前記封止部材により前記開口部を閉じ、荷電粒子線装置に試料ホルダを搬送することを特徴とする試料搬送方法。 - 請求項8に記載の前記試料搬送方法において、
前記試料搬送装置を前記荷電粒子線装置に設置し、前記開口部を開放し、前記伸縮部材を伸縮することにより前記試料ホルダを前記荷電粒子線装置に設置することを特徴とする試料搬送方法。
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