JP5914578B2 - 凍結含水試料をマイクロプローブへ結合する方法 - Google Patents
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Description
− 前記試料を供する段階、
− 先端部を有するマイクロプローブを供する段階、
− 接触するまで前記先端部を前記試料へ向けて動かす段階、
− 前記試料の一部を固化した状態を維持しながら前記試料を局所的に融解する段階、及び、
− 前記の局所的に融解した試料を凍結させて前記先端部に取り付ける段階、
を有する。
101 電子ビーム鏡筒
102 イオンビーム鏡筒
103 試料チャンバ
104 試料
105 台
106 交差位置
110 電子源
112 電子ビーム
114 電子光学収束レンズ
116 対物レンズ
118 偏向コイル
120 イオン源
122 イオンビーム
124 イオン光学収束レンズ
126 対物レンズ
128 偏向器
130 システム制御装置
134 電源
140 電子検出器
141 筐体内検出器
142 気体注入系(GIS)
143 調節可能バルブ
144 ニードル
145 マイクロマニピュレータ
146 先端部
Claims (19)
- マイクロプローブへ試料を結合する方法であって:
前記試料を供する段階;
先端部を有するマイクロプローブを供する段階;
接触するまで前記先端部を前記試料へ向けて動かす段階;
前記試料の一部を固化した状態を維持しながら前記試料を局所的に融解する段階;及び、
前記の局所的に融解した試料を凍結させて前記先端部に取り付ける段階、
を有し、
前記局所的に融解する段階が前記先端部の振動によって実現され、かつ、前記の局所的に融解した試料は、前記振動が止まったときに凍結して前記先端部に結合する、
ことを特徴とする方法。 - 前記試料が、凍結含水試料、ガラス化試料、又はポリマーである、請求項1に記載の方法。
- 前記試料はガラス化含水試料又はガラス化ポリマーで、
前記試料は前記試料のガラス転移温度よりも低い温度で供され、かつ、
前記試料の一部は当該方法を実施する間中前記試料材料のガラス転移温度より低い温度に保たれ、その結果前記試料の一部はガラス化したままである、
請求項1に記載の方法。 - 前記先端部が金属先端部である、請求項1に記載の方法。
- 前記先端部が、接触している間に振動している、請求項1に記載の方法。
- 前記振動の周波数は1乃至100kHzである、請求項1に記載の方法。
- 前記振動の振幅は10nm乃至200nmである、請求項1に記載の方法。
- 前記先端部が、前記試料の表面に平行な面内で振動する、請求項1に記載の方法。
- 前記結合は排気されたチャンバ内、より具体的には荷電粒子装置の試料チャンバ内で行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記荷電粒子装置が電子鏡筒及び/又は集束イオンビーム鏡筒を有する、請求項1に記載の方法。
- 荷電粒子装置と併用されるマイクロプローブであって、
前記荷電粒子装置は試料保持するように構成された試料位置を有し、
前記マイクロプローブは先端部を有し、
前記マイクロプローブは、前記先端部を前記試料に接触させる位置設定手段を備え、
前記先端部は振動するように構成され、
前記先端部は、振動するときに前記試料を局所的に融解させ、
前記の局所的に融解した試料は、前記振動が止まったときに凍結して前記先端部に結合し、
前記先端部が−50℃よりも低い温度に冷却されるように構成される、
ことを特徴とするマイクロプローブ。 - 集束イオンビーム鏡筒及び/又は電子ビーム鏡筒を備える荷電粒子装置であって、
試料位置が極低温でガラス化した生体試料を保持するように構成され、
先端部を有するマイクロプローブを備え、
前記マイクロプローブは、前記先端部と前記試料とを接触させる位置設定手段を備え、
前記先端部は、振動時に前記試料を局所的に融解するように振動する、
荷電粒子装置。 - 前記試料を−50℃よりも低い温度に保つように構成される請求項12に記載の荷電粒子装置であって、
前記マイクロプローブが請求項11に記載のマイクロプローブである、
荷電粒子装置。 - システム制御装置をさらに有する請求項12に記載の荷電粒子装置であって、
前記システム制御装置は:
前記試料を供する命令;
先端部を有するマイクロプローブを供する命令;
接触するまで前記先端部を前記試料へ向けて動かす命令;
前記試料の一部を固化した状態を維持しながら前記試料を局所的に融解する命令;及び、
前記の局所的に融解した試料を凍結させて前記先端部に取り付ける命令、
を有し、
前記局所的に融解する段階が前記先端部の振動によって実現され、かつ、前記の局所的に融解した試料は、前記振動が止まったときに凍結して前記先端部に結合する、
荷電粒子装置。 - 前記試料はガラス化含水試料又はガラス化ポリマーで、
前記試料は前記試料のガラス転移温度よりも低い温度で供され、かつ、
前記試料の一部は当該方法を実施する間中前記試料材料のガラス転移温度より低い温度に保たれ、その結果前記試料の一部はガラス化したままである、
請求項14に記載の荷電粒子装置。 - 前記先端部が金属先端部である、請求項12に記載の荷電粒子装置。
- 前記先端部が、接続されている間に振動する、請求項14に記載の荷電粒子装置。
- 前記先端部が、前記試料の表面に対して平行な面内で振動する、請求項14に記載の荷電粒子装置。
- 請求項14に記載の荷電粒子装置であって、
結合が当該荷電粒子装置の真空チャンバ内で行われる、
荷電粒子装置。
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