JP4975774B2 - 結露核測定装置及び結露核測定方法 - Google Patents
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d2=d1/cosθ
を用いて補正し、粒径d2を導出する。なお、図8は、図7におけるVIII−VIII線上の露を例示したものである。また、図9に示すように、試料表面が基準平面と一致していれば、粒径d1が補正後の粒径として導出される。なお、図9は、図7におけるIX−IX線上の露を例示したものである。
18 プローブ
20 励振部
22 変位機構
23 X軸変位機構
24 Y軸変位機構
25 Z軸変位機構
29 基台
46 空調制御部
48 冷却機構
50 冷却部
55 水晶振動子
56 信号発生器
60 判定部
61 変位測定部
61a X軸方向測定部
61b Y軸方向測定部
61c Z軸方向測定部
62 境界面測定部
63 相対変位量導出部
64a 粒径処理部
64b 導出処理部
78 参照面
81 光学系
Claims (15)
- 試料表面の付着物であって結露の核となり得るものの大きさを測定する装置であって、
前記試料表面で結露を生じさせる結露誘起手段と、
前記結露誘起手段によって前記試料表面に発生した露の所定方向の幅が時間の経過に伴って変化するときの露の成長度合いを導出するとともに、この導出された成長度合いに基づいて、前記付着物の大きさを導出する導出手段と、が含まれている結露核測定装置。 - 前記結露誘起手段は、前記試料表面を露点以下に冷却する冷却部を含む請求項1に記載の結露核測定装置。
- 前記導出手段は、前記試料表面上の複数の露について成長度合いを導出するとともに、成長度合いの最も小さい露についての成長度合いに対して所定の閾値以上の成長度合いを有する露については、導出対象又は測定結果から除外する請求項1又は2に記載の結露核測定装置。
- 前記露の成長度合いは、所定時間ごとに測定された前記試料表面上の露の粒径の変化割合に基づいている請求項1から3の何れか1項に記載の結露核測定装置。
- 前記粒径は、所定方向の露の幅を複数個所測定したうちの最大幅によって規定される請求項4に記載の結露核測定装置。
- 前記粒径は、前記試料表面が基準平面に対して傾斜している場合に、その傾斜角度に応じて補正される請求項4又は5に記載の結露核測定装置。
- 試料がセットされる試料台と、
撓み変形可能な先端部を有するプローブと、
前記プローブの先端部を振動させる励振部と、
前記プローブの先端部の振動に応じて前記プローブの先端部と前記露又は前記試料との接触又は近接を判定する判定部と、
前記試料台に対する前記プローブの相対的な位置を変えさせる変位機構と、
前記試料台に対する前記プローブの相対変位量を測定する相対変位量導出部と、が含まれ、
前記導出手段は、前記判定部による接触又は近接の有無及び前記相対変位量導出部によって測定された相対変位量に基づいて、前記露の粒径を測定する請求項1から6の何れか1項に記載の結露核測定装置。 - 前記導出手段は、前記露を画面上に拡大表示させ、この拡大表示された画像のデータから前記露の粒径を測定する請求項1から6の何れか1項に記載の結露核測定装置。
- 前記露に照射される測定光と、光路長を可変な状態で参照面に照射される参照光とを干渉させて、この干渉光を検出する光学系を有し、
検出された前記干渉光の強度から算出される測定光及び参照光の位相差と、測定光の波長とから露の表面位置を算出する一方、この試料表面位置を光軸とは直交する方向に複数測定することにより、前記露の粒径を測定する請求項1から6の何れか1項に記載の結露核測定装置。 - 試料表面の付着物であって結露の核となり得るものの大きさを測定する方法であって、
前記試料表面で結露を生じさせる結露誘起ステップと、
前記結露誘起ステップで前記試料表面に発生した露の所定方向の幅が時間の経過に伴って変化するときの露の成長度合いに基づいて、前記付着物の大きさを導出する導出ステップと、が含まれている結露核測定方法。 - 前記結露誘起ステップでは、前記試料表面を露点以下に冷却する請求項10に記載の結露核測定方法。
- 前記導出ステップでは、前記試料表面上の多数の露について成長度合いを導出するとともに、成長度合いの最も小さい露についての成長度合いに対して所定の閾値以上の成長度合いを有する露については導出対象又は測定結果から除外する請求項10又は11に記載の結露核測定方法。
- 前記露の成長度合いは、前記試料表面上の露の粒径を所定時間ごとに測定したときの粒径の変化割合に基づいている請求項10から12の何れか1項に記載の結露核測定方法。
- 前記粒径は、所定方向の露の幅を複数個所測定したうちの最大幅によって規定される請求項13に記載の結露核測定方法。
- 前記粒径は、前記試料表面が基準平面に対して傾斜している場合に、その傾斜角度によって補正される請求項13又は14に記載の結露核測定方法。
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