JP2016521853A - ナノインデンテーション器具用測定ヘッド及び測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
第1のアクチュエータによって加えられた力を検出するように適合された力検知システムと、
フレームに取り付けられた参照サブシステムであって、この参照サブシステムは、第2のアクチュエータ、第2のアクチュエータと動作可能に接続された参照構造体、及び参照構造体と試料表面との所定の間隔を決定する距離検出器を備えた、参照サブシステムをさらに有する。
「の上に(above)」は、測定ヘッドのアクチュエータに向かっていることを意味すると解釈すべきである。
「の下に(downward及びbeneath)」は、測定すべき試料に向かっていることを意味すると解釈すべきである。
従来技術による圧子の他の例が、米国特許出願公開第2008/028840号に記載されている。この文献は、原子間力顕微鏡をインデンテーション測定の参照センサの一部として使用することを記載している。さらに、欧州特許第1482297号に走査型プローブ顕微鏡が記載されている。
Claims (15)
- ナノインデンテーション器具用の測定ヘッドであって、
前記ナノインデンテーション器具は、前記測定ヘッドに対して試料を位置付けるように配置された位置付けシステムを備え、
前記測定ヘッドは、
前記ナノインデンテーション器具に接続するように適合されたフレーム(1)に取り付けられた測定サブシステム(2)であって、該測定サブシステム(2)は、第1のアクチュエータ(20)、及び前記第1のアクチュエータ(20)によって圧子(26)に対して加えられる力の加圧下で前記試料の表面に圧痕付けするように適合された前記圧子(26)を含み、前記測定サブシステム(2)は、前記第1のアクチュエータ(20)によって加えられた力を検出するように適合された力検知システムをさらに備える、前記測定サブシステム(2)と、
前記フレームに取り付けられた参照サブシステム(3)であって、該参照サブシステム(3)は、第2のアクチュエータ(30)、前記第2のアクチュエータ(30)と動作可能に接続された参照構造体(33)、及び前記参照構造体(33)と前記試料の表面の所定の間隔を決定するように適合された距離検出器を備える、前記参照サブシステム(3)と
を備えた測定ヘッドにおいて、
前記測定ヘッドが、
前記圧子(26)と前記参照構造体(33)との相対位置を決定するように適合された相対位置検知システムと、
前記相対位置検知システムの出力に少なくとも部分的に基づき、前記試料の表面への前記圧子の押し込み深さを決定するための手段とをさらに備えることを特徴とし、
前記距離検出器は、前記参照構造体(33)から突き出て前記試料の表面に接触するように配置されたトポグラフィ先端具(36)を備えることをさらに特徴とする、測定ヘッド。 - 前記トポグラフィ先端具(36)が、弾性片持ち梁(37)に配置され、
前記弾性片持ち梁は、前記トポグラフィ先端具(36)と前記試料との接触を検出するように適合された接触検出器と動作可能に接続されている、請求項1に記載された測定ヘッド。 - 前記トポグラフィ先端具(36)は、原子間力顕微鏡の先端具である、請求項1又は請求項2に記載された測定ヘッド。
- 前記原子間力顕微鏡の先端具(36)が、所定の周波数で振動するように構成され、
前記接触検出装置は、前記原子間力顕微鏡の先端具(36)が前記試料の前記表面に接触状態に入ったときに、前記原子間力顕微鏡の先端具(36)の前記所定の周波数からの振動周波数の変化を検出するように適合されている、請求項2及び請求項3に記載された測定ヘッド。 - 前記原子間力顕微鏡の先端具(36)が、所定の振幅で振動するように調整され、
前記接触検出装置は、前記原子間力顕微鏡の先端具(36)が前記試料の前記表面に接触状態に入ったときに、前記原子間力顕微鏡の先端具(36)の前記所定の振幅からの振幅の変化を検出するように適合されている、請求項2及び請求項3に記載された測定ヘッド。 - 前記相対位置検知システムが、容量センサ(34、35)を備える、請求項1から請求項5までのいずれか一項に記載された測定ヘッド。
- 前記容量センサが、差動容量センサを備える、請求項6に記載された測定ヘッド。
- 前記圧子(26)によって前記試料に加えられる力を制御するために、サーボ制御回路が前記第1のアクチュエータ(20)に接続されている、請求項1から請求項7までのいずれか一項に記載された測定ヘッド。
- 前記第1のアクチュエータ(20)及び前記第2のアクチュエータ(30)の少なくとも1つが、圧電アクチュエータを含む、請求項1から請求項8までのいずれか一項に記載された測定ヘッド。
- 少なくとも1つの光学的視覚システムが、前記測定ヘッドに配置され、前記原子間力顕微鏡の先端具(36)の接触領域及び/又は前記圧子(26)の接触領域の画像を記録するように配置されている、請求項1から請求項9までのいずれか一項に記載された測定ヘッド。
- 試料への圧子の押し込み深さを測定する方法において、該方法が、
請求項1から請求項10までのいずれか一項に記載された測定ヘッドを備えたナノインデンテーション器具を準備するステップと、
前記測定ヘッドの下方に試料を位置付けるステップと、
前記トポグラフィ先端具(36)が前記試料と接触状態になるように、前記参照構造体(33)を位置付けるステップと、
前記圧子(26)を前記試料に接触している状態にさせるステップと、
所定時間の間、前記圧子(26)に所定の力を加えるステップと、
前記所定時間が終了したときに、前記圧子(26)と前記参照構造体(33)との相対位置を決定するステップと、
前記圧子(26)と前記参照構造体(33)との前記相対位置の決定に少なくとも部分的に基づき、前記試料への前記圧子(26)の押し込み深さを決定するステップとを含む、方法。 - 前記圧子(26)を前記試料に接触している状態にさせる前に、前記トポグラフィ先端具(36)を使用することによって、前記試料の表面を走査して、前記試料の表面のトポグラフィ画像を作成する、請求項11に記載された方法。
- 前記圧子(26)が前記試料に接触しているときに、前記圧子(26)と前記参照構造体(33)との相対位置を決定するステップをさらに含み、
前記試料への前記圧子の押し込み深さは、前記圧子(26)が前記試料に接触しているときの前記圧子(26)と前記参照構造体(33)との相対位置の決定、及び前記所定時間が終了したときの前記圧子(26)と前記参照構造体(33)との相対位置の決定に少なくとも部分的に基づく、請求項10から請求項12までのいずれか一項に記載された方法。 - 前記圧子(26)による圧痕付けの後、前記トポグラフィ先端具(36)を、前記圧子(26)によって生じた前記圧痕の上方に位置付け、
前記圧痕の深さを、前記トポグラフィ先端具が前記圧痕の表面に接触するまで、前記トポグラフィ先端具を降下させることによって決定する、請求項10から請求項13までのいずれか一項に記載された方法。 - 複数の圧痕を形成して、その後、前記トポグラフィ先端具(36)を、前記複数の圧痕上を走査させ、前記複数の圧痕の深さプロフィールの画像を作成する、請求項10から請求項14までのいずれか一項に記載された方法。
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