JP6630684B2 - 高アスペクト比を有する面を検査するための走査プローブ顕微鏡及び方法 - Google Patents
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Description
410 試料
440 カンチレバー
455 測定プローブ
475 反射レーザビーム
Claims (9)
- a.測定先端(530、630、730、830、930、1030)を面(415)にわたって走査するための走査デバイス(420)と、
b.ねじれ領域(545、645、745、845、945、1045)を有して前記測定先端(530、630、730、830、930、1030)のためのものであるカンチレバー(540、640、740、840、940、1040)であって、
c.前記ねじれ領域(545、645、745、845、945、1045)が、制御信号が加えられた時にそれがねじれを受け、それによって前記測定先端(530、630、730、830、930、1030)をピボット回転させるように構成される、
前記カンチレバー(540、640、740、840、940、1040)と、
d.前記測定先端(530、630、730、830、930、1030)が前記面(415)の領域を走査するときに、該領域が、該測定先端(530、630、730、830、930、1030)のピボット回転なしよりもピボット回転させた測定先端(530、630、730、830、930、1030)を用いて、より接近して検査されることができるか否かを決定し、該面(415)の該領域が、該測定先端(530、630、730、830、930、1030)のピボット回転なしよりも該ピボット回転させた測定先端(530、630、730、830、930、1030)を用いて、より接近して検査されることができるという決定に応じて、前記制御信号を出力するための制御デバイス(480)と
を有し、
前記走査デバイス(420)が、z運動に対する距離フィードバックループをz−x運動に拡張するように構成され、x方向が、高速走査方向を示し、z方向は前記面(415)に垂直であり、
前記ねじれ領域(945)は、前記制御信号が加えられた時に配置の第1の部分を実質的に第1の温度に保ち、かつ配置の第2の部分を実質的に第2の温度に保つように構成された配置にある材料を有し、
前記第1及び第2の温度は、異なっている、
走査プローブ顕微鏡(400)。 - 前記制御信号が加えられた時に前記ねじれ領域(545、645、745、845)を局所的に加熱するように構成されたレーザシステム(490)を更に有することを特徴とする請求項1に記載の走査プローブ顕微鏡(400)。
- 前記制御信号が加えられた時に前記ねじれ領域(545、645、745、845)を局所的に加熱するように構成された加熱装置(660、860)を更に有することを特徴とする請求項1に記載の走査プローブ顕微鏡(400)。
- 前記制御デバイス(480)は、前記測定先端(530、530、730、830、930、1030)を励起して振動させるために前記制御信号を変調するように構成されることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の走査プローブ顕微鏡(400)。
- 前記ねじれ領域(545、645、745、845、945、1045)は、前記測定先端(530、530、730、830、930、1030)を±5°の角度範囲でピボット回転させるように構成されることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の走査プローブ顕微鏡(400)。
- 前記カンチレバー(540、640、740、840)及び前記測定先端(530、530、730、830)は、100Hz−5MHzの範囲の共振周波数を有することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の走査プローブ顕微鏡(400)。
- 前記走査デバイス(420)は、z運動の信号をx運動に対する信号に追加するように構成されることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の走査プローブ顕微鏡(400)。
- 前記カンチレバー(540、640、740、840、940、1040)は、前記ねじれ領域(545、645、745、845、945、1045)に至る電気接続(665、865、965、1065、1075)が統合された取り付けユニット(550、550、750、850、950、1050)を有することを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の走査プローブ顕微鏡(400)。
- 前記カンチレバー(540、640、740、840、940、1040)は、前記測定先端(530、630、730、830、930、1030)の前記ピボット回転を決定するための少なくとも1つのセンサを有することを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の走査プローブ顕微鏡(400)。
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