JP4722969B2 - マニピュレータへのサンプル取付け方法 - Google Patents
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Description
サンプルは凍結されたサンプルであり、
少なくともサンプルのマニピュレータに接触する部分に対して、該部分を加熱し、それによりサンプル物質を部分的に相変化させることによって、サンプルはマニピュレータに取り付けられ、
その後、サンプルのマニピュレータに接触する部分をマニピュレータに凍結させ、それによりサンプルとマニピュレータとの間に接合を形成する、
ことを特徴とする。
・加熱された部分がサンプルに接触するとき、氷が昇華する代わりに溶解するのに十分な高さである6mbarを超える非常に局在化された圧力又は圧力バーストが発生する。
・局所的な気化が、サンプルとマニピュレータとの間の隙間内に、このように形成されたガスの再堆積をもたらし、その結果、氷の境界が形成される。
・例えば非晶質の氷から結晶の氷への相変化によってサンプルの取付けがもたらされ、後者の相がサンプルとマニピュレータとの境界を示す。
2 ロッド
3 先端部
4 加熱ワイヤ
5 冷却カバー
6 冷却ワイヤ
7 ステージ
8 絶縁体
9 抵抗ワイヤ
10 マニピュレータ
11 集束ビーム
13 レンズ
14 スイッチ
15 電圧源
16 冷凍シールド
21 コールドフィンガー
23 サンプルキャリア
30、30a、30b ステージ
31 プラテン
40 検出器
50 コントローラ
70 真空チャンバー
82 ガス注入システム
100 SEMカラム
101 電子源
102 電子ビーム
103a、103b、203a、203b レンズ
104、204 偏向器
200 FIBカラム
201 イオン源
202、604 イオンビーム
601 コア
603 銅管
605 薄層
606 サンプル格子
610 流体
611 ガスノズル
612 保護層
Claims (20)
- 基板からサンプルを抽出し、該サンプルをマニピュレータに取り付ける方法であって:
前記基板から前記サンプルを少なくとも部分的に解放する段階、
前記サンプルを前記マニピュレータに接触させる段階、
前記サンプルを前記マニピュレータに取り付ける段階、及び
前記サンプルを前記基板から取り外す段階、
を有し、
前記サンプルは凍結されたサンプルであり、
少なくとも前記サンプルの前記マニピュレータに接触する部分に対して、該部分を加熱し、それにより前記サンプルの物質を部分的に相変化させることによって、前記サンプルは前記マニピュレータに取り付けられ、
その後、前記サンプルの前記マニピュレータに接触する前記部分を前記マニピュレータに凍結させ、それにより前記サンプルと前記マニピュレータとの間に接合を形成する、
ことを特徴とする方法。 - 前記サンプルは水を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記サンプルはガラス化したサンプルである、請求項1に記載の方法。
- 少なくとも前記サンプルの前記マニピュレータに接触する前記部分に対して、該部分を加熱することによって、前記サンプルを前記マニピュレータから分離する段階、を更に有する請求項1乃至3の何れかに記載の方法。
- 前記加熱は集束光ビームを用いて加熱することによりもたらされる、請求項1乃至4の何れかに記載の方法。
- 前記加熱はエネルギー粒子のビームを用いて加熱することによりもたらされる、請求項1乃至4の何れかに記載の方法。
- 前記サンプルの前記加熱は、前記マニピュレータの前記サンプルに接触する部分の温度によりもたらされ、相変化の瞬間における前記マニピュレータの前記温度は、該相変化が起こる温度より高い、請求項1乃至6の何れかに記載の方法。
- 前記マニピュレータの前記サンプルに接触する部分の温度は、該部分の電気的な加熱によって変化させられる、請求項7に記載の方法。
- 前記マニピュレータの一部の温度は、前記サンプルの物質の凝固点より低い温度に保たれる、請求項1乃至8の何れかに記載の方法。
- 真空中で行われる請求項1乃至9の何れかに記載の方法。
- 荷電粒子のエネルギービームを用いて前記サンプルを検査且つ/或いは分析する段階、を更に有する請求項1乃至10の何れかに記載の方法。
- 前記サンプルの前記相変化は、前記サンプルのうち、検査且つ/或いは分析される領域の外側の領域に制限される、請求項11に記載の方法。
- 前記サンプルを解放する段階は集束イオンビームミリングを含む、請求項1乃至12の何れかに記載の方法。
- 前記サンプルを解放する段階は、凍結されたコアから、該コアの断面に相当する薄層を切り取ることを有する、請求項13に記載の方法。
- 前記コアから前記薄層を切り取ることに先立って、前記コアは保護層で覆われる、請求項14に記載の方法。
- 前記コアは、前記コアにガスの噴流を導きながら前記コアを前記ガスの噴流に対して回転させることによって、前記保護層で覆われる、請求項15に記載の方法。
- 前記コアは、含水物質の高圧凍結によりガラス質のコアを生じさせることによって形成される、請求項14乃至16の何れかに記載の方法。
- 極低温の含水基板からサンプルを形成し、該サンプルをマニピュレータに取り付ける装置であって:
サンプル位置に集束イオンビームを生成するカラム、
前記基板を位置決めするように備えられた前記基板を保持するステージであり、少なくとも該ステージのうち前記基板に接触する部分は極低温まで冷却されるステージ、及び
先端部にサンプルが取り付けられるマニピュレータであり、該マニピュレータの前記先端部は極低温に保持されるマニピュレータ、
を有し、
前記マニピュレータの前記先端部が水の融点又は昇華点より高い温度まで加熱されるとき、前記マニピュレータの別の部分は極低温に保持される、
ことを特徴とする装置。 - 前記サンプル位置にガスの噴流を導くガス注入システム、を更に有する請求項18に記載の装置。
- 前記基板はコアであり、当該装置は更にプログラム可能制御ユニットを備え、該プログラム可能制御ユニットは当該装置が自動的に:
前記コアを切り取り位置に位置決めし、
前記コアに流体の噴流を導くことによって前記コアを保護層で覆い、
前記コアを薄く切り取り、それにより、前記コアから薄層を形成し、
前記マニピュレータの前記先端部を前記薄層に接続して、前記薄層をサンプルキャリアへと移送し、且つ
前記薄層を前記サンプルキャリア上に解放する、
ように当該装置を制御する、
請求項18又は19に記載の装置。
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EP2487703A1 (en) | 2011-02-14 | 2012-08-15 | Fei Company | Detector for use in charged-particle microscopy |
EP3594733B1 (en) | 2011-04-04 | 2021-03-03 | Oxford Instruments America, Inc. | Method for attaching a frozen specimen to an object and apparatus for forming specimen assemblies from frozen sample |
EP2509097A1 (en) | 2011-04-07 | 2012-10-10 | FEI Company | Method of protecting a radiation detector in a charged particle instrument |
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US8604446B2 (en) * | 2011-08-08 | 2013-12-10 | The State Of Oregon Acting By And Through The State Board Of Higher Education On Behalf Of The University Of Oregon | Devices and methods for cryo lift-out with in situ probe |
US20130050431A1 (en) * | 2011-08-29 | 2013-02-28 | Shiseido Company, Ltd. | Method of observing cross-section of cosmetic material |
WO2013033325A1 (en) * | 2011-08-31 | 2013-03-07 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Systems and methods for a sample exchange refrigerator |
EP2579575A1 (en) | 2011-10-06 | 2013-04-10 | FEI Company | Method for acquiring data with an image sensor |
DE102011122607B4 (de) | 2011-12-30 | 2013-08-29 | Stiftung Caesar Center Of Advanced European Studies And Research | Verfahren zum Extrahieren einer Probe aus einem tiefgeforenen Substrat und Befestigen der Probe an einem Probenhalter in einem Elektronenmikroskop |
EP2626885A1 (en) * | 2012-02-13 | 2013-08-14 | FEI Company | Forming a vitrified sample for an electron microscopy |
US8884248B2 (en) * | 2012-02-13 | 2014-11-11 | Fei Company | Forming a vitrified sample for electron microscopy |
EP2685233A1 (en) * | 2012-07-13 | 2014-01-15 | Fei Company | Forming an electron microscope sample from high-pressure frozen material |
EP2706342B1 (en) * | 2012-09-11 | 2015-07-08 | Fei Company | Cooperating capillary and cap for use in a high-pressure freezer |
DE102012217761B4 (de) * | 2012-09-28 | 2020-02-06 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zur Vermeidung von Artefakten beim Serial Block Face Imaging |
EP2765591B1 (en) * | 2013-02-08 | 2016-07-13 | FEI Company | Sample preparation stage |
US8872105B2 (en) * | 2013-02-19 | 2014-10-28 | Fei Company | In situ reactivation of fluorescence marker |
EP2813835B1 (en) * | 2013-06-14 | 2016-09-07 | Fei Company | Method of welding a frozen aqueous sample to a microprobe |
US9429560B2 (en) | 2013-09-06 | 2016-08-30 | IonOptix LLC | Cell grabber with unitary construction |
KR101480379B1 (ko) * | 2013-11-20 | 2015-01-09 | 한국표준과학연구원 | 상변화 기반의 온습도계 점검장치 및 그 제어방법과 그 점검방법 |
CN103868769A (zh) * | 2014-02-21 | 2014-06-18 | 上海华力微电子有限公司 | 一种平面透射电镜样品及其制备方法 |
WO2016084162A1 (ja) * | 2014-11-26 | 2016-06-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンビーム装置 |
US10531657B2 (en) | 2015-12-07 | 2020-01-14 | Coopersurgical, Inc. | Low temperature specimen carriers and related methods |
FR3075983B1 (fr) * | 2017-12-22 | 2021-07-23 | Univ Des Antilles | Dispositif de nano-manipulation et procede de caracterisation utilisant un tel dispositif |
NL2024445B1 (en) * | 2019-12-12 | 2021-09-01 | Delmic Ip B V | Method and manipulation device for handling samples |
WO2021120167A1 (en) * | 2019-12-20 | 2021-06-24 | Jiangsu Jitri Micro-Nano Automation Institute Co., Ltd. | Method and apparatus for manipulating micro-nanometer sized samples and uses thereof |
US11808679B2 (en) | 2022-01-27 | 2023-11-07 | Expresslo Llc | Method and apparatus for cryogenic and environmental controlled specimen handling |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1023657A (en) * | 1911-09-01 | 1912-04-16 | Edward R King | Reclining porch-swing. |
US5009743A (en) | 1989-11-06 | 1991-04-23 | Gatan Incorporated | Chemically-assisted ion beam milling system for the preparation of transmission electron microscope specimens |
JP2774884B2 (ja) | 1991-08-22 | 1998-07-09 | 株式会社日立製作所 | 試料の分離方法及びこの分離方法で得た分離試料の分析方法 |
JPH09201783A (ja) * | 1996-01-26 | 1997-08-05 | Fumito Arai | マイクロマニピュレータ |
EP0901686A2 (en) * | 1996-12-23 | 1999-03-17 | Fei Company | Particle-optical apparatus including a low-temperature specimen holder |
US6538254B1 (en) | 1997-07-22 | 2003-03-25 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for sample fabrication |
DE69935422T2 (de) * | 1998-12-03 | 2007-11-29 | Daiken Chemical Co. Ltd. | Oberflächen-signal-kommando-sonde eines elektronischen gerätes und verfahren zu ihrer herstellung |
WO2002095378A1 (en) | 2000-05-22 | 2002-11-28 | Moore Thomas M | Method for sample separation and lift-out |
US6686598B1 (en) | 2000-09-01 | 2004-02-03 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Wafer clamping apparatus and method |
JP4178741B2 (ja) | 2000-11-02 | 2008-11-12 | 株式会社日立製作所 | 荷電粒子線装置および試料作製装置 |
EP1209737B2 (en) | 2000-11-06 | 2014-04-30 | Hitachi, Ltd. | Method for specimen fabrication |
WO2002071031A1 (en) | 2001-03-01 | 2002-09-12 | Moore Thomas M | Total release method for sample extraction from a charged particle instrument |
JP3507820B2 (ja) * | 2001-11-27 | 2004-03-15 | 株式会社エス・シー・エム | ピックアップツール |
JP2004093353A (ja) | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Seiko Instruments Inc | 試料作製装置 |
JP2004286734A (ja) * | 2003-03-06 | 2004-10-14 | Canon Inc | 情報取得方法及び情報取得装置 |
EP1515360B1 (en) | 2003-06-13 | 2011-01-19 | Fei Company | Method and apparatus for manipulating a microscopic sample |
NL1023657C2 (nl) | 2003-06-13 | 2004-12-14 | Fei Co | Werkwijze en apparaat voor het manipuleren van een microscopisch sample. |
JP3887356B2 (ja) | 2003-07-08 | 2007-02-28 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 薄片試料作製方法 |
WO2005031789A2 (en) * | 2003-09-23 | 2005-04-07 | Zyvex Corporation | Method, system and device for microscopic examination employing fib-prepared sample grasping element |
EP1612836B1 (en) | 2004-07-01 | 2010-02-24 | FEI Company | Method for the removal of a microscopic sample from a substrate |
ATE459091T1 (de) * | 2004-07-01 | 2010-03-15 | Fei Co | Methode zum entfernen einer mikroskopischen probe von einem substrat |
US7381971B2 (en) | 2004-07-28 | 2008-06-03 | Omniprobe, Inc. | Method and apparatus for in-situ probe tip replacement inside a charged particle beam microscope |
WO2006036771A2 (en) | 2004-09-24 | 2006-04-06 | Vitrimark, Inc. | Systems and methods of identifying biomarkers for subsequent screening and monitoring of diseases |
US8357913B2 (en) | 2006-10-20 | 2013-01-22 | Fei Company | Method and apparatus for sample extraction and handling |
EP2009421A1 (en) | 2007-06-29 | 2008-12-31 | FEI Company | Method for separating a lamella for TEM inspection from a core sample |
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