FR3075983B1 - Dispositif de nano-manipulation et procede de caracterisation utilisant un tel dispositif - Google Patents

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Abstract

L'invention a pour objet un dispositif de nano-manipulation comprenant deux bras aptes à se mouvoir dans les trois directions de l'espace avec une précision de positionnement nanométrique. Chacun de ces deux bras comprend en outre une platine rotative latérale configurée pour maintenir et mettre en rotation un porte-échantillon, ledit porte-échantillon étant configuré pour recevoir au moins un nano-outil. L'invention a également pour objet un procédé de caractérisation utilisant un tel dispositif de nano-manipulation.
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