JPH03156847A - 対象物保持器 - Google Patents
対象物保持器Info
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- JPH03156847A JPH03156847A JP2297338A JP29733890A JPH03156847A JP H03156847 A JPH03156847 A JP H03156847A JP 2297338 A JP2297338 A JP 2297338A JP 29733890 A JP29733890 A JP 29733890A JP H03156847 A JPH03156847 A JP H03156847A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、荷電粒子ビーム装置で対象物を支持する機能
を有し、加熱素子を有する対象物保持器に関する。
を有し、加熱素子を有する対象物保持器に関する。
本発明は、更に対象物保持器に使用するための対象物キ
ャリアに関する。
ャリアに関する。
（従来の技術）
上述の対象物保持器は、１９７２年の第５回電子顕微鏡
欧州会議の会報の３１７頁から３２１頁の”試料段階に
ついての一般的考察”から既知である。
欧州会議の会報の３１７頁から３２１頁の”試料段階に
ついての一般的考察”から既知である。
引用の文献は、例えば加熱コイルを備える回転式対称加
熱炉により透過電子顕微鏡（ＴＥＭ） 、走査電子顕微
鏡（ＳＥＭ） 、又は走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）
において対象物を加熱するのに適当な対象物保持器を記
載している。エレクトロマイグレーション研究等の薄い
フィルム研究にとり、高い温度の外部から対象物の電流
又は電圧を測定することは、一般に望ましいことである
。これは、既知の対象物保持器では容易ではない。
熱炉により透過電子顕微鏡（ＴＥＭ） 、走査電子顕微
鏡（ＳＥＭ） 、又は走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）
において対象物を加熱するのに適当な対象物保持器を記
載している。エレクトロマイグレーション研究等の薄い
フィルム研究にとり、高い温度の外部から対象物の電流
又は電圧を測定することは、一般に望ましいことである
。これは、既知の対象物保持器では容易ではない。
（発明が解決しようとする課題）
本発明の目的は、加熱中荷電粒子ビームの中に存在する
対象物の電気的状態を観察し、又はその対象物の電気的
状態に影響を与えるのに適する対象物保持器を提供する
ことである。
対象物の電気的状態を観察し、又はその対象物の電気的
状態に影響を与えるのに適する対象物保持器を提供する
ことである。
（課題を解決するだめの手段）
上記の目的は、本発明に係る次の特徴を有する構成によ
り達成される。即ち、加熱素子と協働し、かつ支持面と
孔とを有する電気的絶縁部材を備える対象物キャリアを
備え、孔は、支持面まで延び、かつ荷電粒子ビームを伝
送する機能を有し、少なくとも二個の導電接点部分は、
絶縁部材に接続され、接点は、対象物が支持面に配置さ
れている場合に対象物に接触している、構成である。
り達成される。即ち、加熱素子と協働し、かつ支持面と
孔とを有する電気的絶縁部材を備える対象物キャリアを
備え、孔は、支持面まで延び、かつ荷電粒子ビームを伝
送する機能を有し、少なくとも二個の導電接点部分は、
絶縁部材に接続され、接点は、対象物が支持面に配置さ
れている場合に対象物に接触している、構成である。
支持面の上の対象物を接触部に接触させたとき、電流は
、接触部を介して対象物を貫通し、対象物を横切る電圧
を高い温度で測定できる。高い温度は、物理的変化を促
進するので、試験の期間を短縮する。
、接触部を介して対象物を貫通し、対象物を横切る電圧
を高い温度で測定できる。高い温度は、物理的変化を促
進するので、試験の期間を短縮する。
本発明に係る対象物保持器の好適実施例は、絶縁部材は
、二個の副部材を備え、その各々は接触面を有し、接触
部分は接触面の間に挾まれる、ことを特徴とする。
、二個の副部材を備え、その各々は接触面を有し、接触
部分は接触面の間に挾まれる、ことを特徴とする。
接触部が接触面の間に挟まれると、接触部は、絶縁部材
に対し正確に位置決めされる。これは、例えば３ｍｍの
直径を有する絶縁部材に比較的小さい接触部を連結する
ことを簡単にする。
に対し正確に位置決めされる。これは、例えば３ｍｍの
直径を有する絶縁部材に比較的小さい接触部を連結する
ことを簡単にする。
本発明に係る対象物保持器の別の実施例は、接触面は、
支持面を交差する方向に延びる、ことを特徴とする。
支持面を交差する方向に延びる、ことを特徴とする。
接触部を第１副部材と第１副部材により閉囲された第２
副部材との間で挟むとき、接触部の位置決めが容易であ
る。
副部材との間で挟むとき、接触部の位置決めが容易であ
る。
本発明に係る対象物保持器の別の実施例は、接触面は、
支持面にほぼ平行に延びる、ことを特徴とする 接触部を、二個の例えば環状副部材の間に挟む時、簡単
な対象物キャリア構成を達成できる。
支持面にほぼ平行に延びる、ことを特徴とする 接触部を、二個の例えば環状副部材の間に挟む時、簡単
な対象物キャリア構成を達成できる。
本発明に係る対象物保持器の別の実施例は、４個の接触
部は部材に連結され、接触部は、相互にほぼ９０°の角
度で配置されている、ことを特徴とする。
部は部材に連結され、接触部は、相互にほぼ９０°の角
度で配置されている、ことを特徴とする。
対で対向して位置する４個の接触部が部材には設けであ
るので、第１の対の接触部を使用して対象物を横切る電
圧を印加し又は測定することができ、第２の対の接触部
を使用して対象物を横切る電流を供給し、又は測定する
ことができる。
るので、第１の対の接触部を使用して対象物を横切る電
圧を印加し又は測定することができ、第２の対の接触部
を使用して対象物を横切る電流を供給し、又は測定する
ことができる。
本発明に係る対象物保持器の別の実施例は、接触部は、
モリブデンを含有することを特徴とする。
モリブデンを含有することを特徴とする。
耐熱性及び弾性のため、モリブデンは本発明に係る対象
物保持器の接触部に使用するのに特に適している。絶縁
部材は、好適にはセラミックス材料を含有し、一方接触
部は、例えば接着剤により絶縁部材に固定されている。
物保持器の接触部に使用するのに特に適している。絶縁
部材は、好適にはセラミックス材料を含有し、一方接触
部は、例えば接着剤により絶縁部材に固定されている。
接着剤がＳｉＯ□、Ａｌ２Ｏ３、及びＭｎＯ□等の成分
を含有する粉末状混合物により形成されている場合、接
着材は、所謂溶融セラミックスを含有すると理解されて
いる。その融点まで加熱した後、冷却すると、この粉末
は、約８５０℃の高温に対して耐熱性を有する固定され
た構造となる。
を含有する粉末状混合物により形成されている場合、接
着材は、所謂溶融セラミックスを含有すると理解されて
いる。その融点まで加熱した後、冷却すると、この粉末
は、約８５０℃の高温に対して耐熱性を有する固定され
た構造となる。
本発明に係る対象物保持器の別の実施例は、加熱素子は
、荷電粒子ビームを伝送するための孔と、かつ内部支持
縁部とが設けられた容器を備え、対象物保持器は、支持
縁部に支持されている間容器に位置する、ことを特徴と
する。
、荷電粒子ビームを伝送するための孔と、かつ内部支持
縁部とが設けられた容器を備え、対象物保持器は、支持
縁部に支持されている間容器に位置する、ことを特徴と
する。
そのような構成を使用すると、加熱対象物保持器を接触
部を有する部材を容器の中に配置すること多こより、対
象物の電気的挙動を試験するのに適するようにすること
がきる。
部を有する部材を容器の中に配置すること多こより、対
象物の電気的挙動を試験するのに適するようにすること
がきる。
実施例に基づき添付図面を参照して、本発明を以下によ
り詳細に説明する。
り詳細に説明する。
（実施例）
第１図は、透過電子顕微鏡、例えばフィリプス型式ＥＭ
４００に使用する対象物保持器Ｉを示す。対象物保持
器ｌは、破線で示す壁２ａを介して電子顕微鏡の真空空
間に入り、かつ球形軸受２により壁２ａに可動で連結さ
れている。対象物キャリア５を対象物保持器ｌを介して
電子顕微鏡に導入することができる。真空空間において
、対象物保持器は、長手方向の対称軸の回りに回転自在
で、図面の面に傾斜して電子顕微鏡の中で対象物保持器
により支持された対象物を位置決めすることができる。
４００に使用する対象物保持器Ｉを示す。対象物保持
器ｌは、破線で示す壁２ａを介して電子顕微鏡の真空空
間に入り、かつ球形軸受２により壁２ａに可動で連結さ
れている。対象物キャリア５を対象物保持器ｌを介して
電子顕微鏡に導入することができる。真空空間において
、対象物保持器は、長手方向の対称軸の回りに回転自在
で、図面の面に傾斜して電子顕微鏡の中で対象物保持器
により支持された対象物を位置決めすることができる。
対象物保持器の先端３は、加熱素子４とその中に配置さ
れた対象物キャリア５とを備える。対象物キャリア５は
、例えば第２図に示す４個の導電性接触部６を備える円
筒形絶縁部材を有する。一方の側で接触部６に接続され
、他方の側で接続ソケット１１に接続された電気的リー
ド９が、対象物保持器ｌの部材７を横切っている。加熱
素子４に電力を与えるリードは、部材７を貫通して延び
ている。接続ソケット１１は、電子顕微鏡の真空空間の
外側に位置する対象物保持器ｌの部分１３に位置してい
る。電流又は電圧源又は計器を接続ソケット１１に接続
することができる。
れた対象物キャリア５とを備える。対象物キャリア５は
、例えば第２図に示す４個の導電性接触部６を備える円
筒形絶縁部材を有する。一方の側で接触部６に接続され
、他方の側で接続ソケット１１に接続された電気的リー
ド９が、対象物保持器ｌの部材７を横切っている。加熱
素子４に電力を与えるリードは、部材７を貫通して延び
ている。接続ソケット１１は、電子顕微鏡の真空空間の
外側に位置する対象物保持器ｌの部分１３に位置してい
る。電流又は電圧源又は計器を接続ソケット１１に接続
することができる。
第２図は、調査すべき対象物を配置できる支持面８を有
する対象物キャリア５を示す。金属製膜の形状の接触部
６は、例えば接着により二個の同軸中空円筒形副部材１
５と１７との間に固定されている。記載の実施例では、
接触面は、円筒形副部材１５と１７の閉囲面により形成
されている。閉囲面は、支持面８を横切る方向に延びて
いる。第３図は、加熱素子４の断面図で、対象物キャリ
ア５は加熱素子４の中で内部支持縁１０に支持されてい
る。加熱素子４は、対象物キャリアに配置された対象物
を加熱するタングステンフィラメント１２を有している
。
する対象物キャリア５を示す。金属製膜の形状の接触部
６は、例えば接着により二個の同軸中空円筒形副部材１
５と１７との間に固定されている。記載の実施例では、
接触面は、円筒形副部材１５と１７の閉囲面により形成
されている。閉囲面は、支持面８を横切る方向に延びて
いる。第３図は、加熱素子４の断面図で、対象物キャリ
ア５は加熱素子４の中で内部支持縁１０に支持されてい
る。加熱素子４は、対象物キャリアに配置された対象物
を加熱するタングステンフィラメント１２を有している
。
第４ａ図と第４ｂ図は、副部材１５と１７の接触面が支
持面８にほぼ平行に延びている対象物キャリア５の実施
例を示している。接触部６は、二個の副部材１５と１７
の平坦な側の間に挟まれている。接触部６は、モリブデ
ンの板から例えばレーザにより切断される。接触部は、
その板の中央部で相互接続されたままである。続いて、
相互に接続された接触部は、環状副部材１５と１７との
間に締めつけられ、かつ固定される。次いで、モリブデ
ン板の中央部は切断され、４個の正確に位置決めされた
別個の接触部が形成される。接触部は、それらが支持面
８を僅かに越えて延びるまで曲げられて、対象物が支持
面に位置決めされたとき、接触部は対象物と適当な接触
を行う。リード９は、スポット半田付け、スポット溶接
、又はレーザビーム溶接により接触部６に接続される。
持面８にほぼ平行に延びている対象物キャリア５の実施
例を示している。接触部６は、二個の副部材１５と１７
の平坦な側の間に挟まれている。接触部６は、モリブデ
ンの板から例えばレーザにより切断される。接触部は、
その板の中央部で相互接続されたままである。続いて、
相互に接続された接触部は、環状副部材１５と１７との
間に締めつけられ、かつ固定される。次いで、モリブデ
ン板の中央部は切断され、４個の正確に位置決めされた
別個の接触部が形成される。接触部は、それらが支持面
８を僅かに越えて延びるまで曲げられて、対象物が支持
面に位置決めされたとき、接触部は対象物と適当な接触
を行う。リード９は、スポット半田付け、スポット溶接
、又はレーザビーム溶接により接触部６に接続される。
第５図は、第４ｂ図の線Ａ−Ａに沿った対象物キャリア
５の断面図である。対象物キャリアの直径Ｃは、例えば
３ｍｍで、副部材１５と１７の幅は、例えば０．５ｍｍ
、接触部６の寸法すは、例えば１ｍｍである。熱の対称
的伝導のため、対象物キャリアは、円筒形の構造を有す
る。しかし、本発明は、円筒形に限定されるものではな
く、対象物キャリアの多角形の実施例をもその範囲とす
る。
５の断面図である。対象物キャリアの直径Ｃは、例えば
３ｍｍで、副部材１５と１７の幅は、例えば０．５ｍｍ
、接触部６の寸法すは、例えば１ｍｍである。熱の対称
的伝導のため、対象物キャリアは、円筒形の構造を有す
る。しかし、本発明は、円筒形に限定されるものではな
く、対象物キャリアの多角形の実施例をもその範囲とす
る。
第１図は、本発明に係る対象物キャリアを有する対象物
保持器の平面図； 第２図は、本発明に係る対象物キャリアの実施例を示す
； 第３図は、加熱素子に包囲された第２図に示す実施例の
対象物キャリアの横断面図； 第４ａ図、第４ｂ図は、本発明に係る対象物キャリアの
別の実施例の正面図と溝断面図； 第５図は、第４ａ図、第４ｂ図に示す対象物キャリアの
実施例の断面図である。 ■・・・対象物保持器 ２・・・球形軸受 ２ａ・・・壁 ３・・・先端 ４・・・加熱素子 ５・・・対象物キャリア ６・・・接触部 ７・・・部材 ８・・・支持面 ９・・・電気的リード線 ＩＩ・・・接続ソケット １３・・・対象物保持器の部分 １５．１７・・・副部材
保持器の平面図； 第２図は、本発明に係る対象物キャリアの実施例を示す
； 第３図は、加熱素子に包囲された第２図に示す実施例の
対象物キャリアの横断面図； 第４ａ図、第４ｂ図は、本発明に係る対象物キャリアの
別の実施例の正面図と溝断面図； 第５図は、第４ａ図、第４ｂ図に示す対象物キャリアの
実施例の断面図である。 ■・・・対象物保持器 ２・・・球形軸受 ２ａ・・・壁 ３・・・先端 ４・・・加熱素子 ５・・・対象物キャリア ６・・・接触部 ７・・・部材 ８・・・支持面 ９・・・電気的リード線 ＩＩ・・・接続ソケット １３・・・対象物保持器の部分 １５．１７・・・副部材
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、荷電粒子ビーム装置で対象物を支持する機能を有し
て、加熱素子を有する対象物保持器におい、加熱素子と
協働し、かつ支持面と、前記支持面まで延び、かつ荷電
粒子ビームを伝送する機能を有する孔とを有する電気的
絶縁部材を備える対象物キャリアを備え、少なくとも二
個の導電接点部分は、前記絶縁部材に接続され、前記接
点部分は、対象物が前記支持面に配置されている場合に
前記対象物に接触している、ことを特徴とする対象物保
持器。 ２、前記絶縁部材は、二個の副部材を備え、その各々は
接触面を有し、前記接触部分は前記接触面の間に挟まれ
る、ことを特徴とする請求項１に記載の対象物保持器。 ３、前記接触面は、前記支持面を交差する方向に延びる
、ことを特徴とする請求項２に記載の対象物保持器。 ４、前記接触面は、前記支持面にほぼ平行に延びる、こ
とを特徴とする請求項２に記載の対象物保持器。 ５、４個の接触部は部材に連結され、前記接触部は、相
互にほぼ９０°の角度で配置されている、ことを特徴と
する請求項１から４のうちいずれか１項に記載の対象物
保持器。 ６、前記接触部は、モリブデンを含有することを特徴と
する請求項１から５のうちいずれか１項に記載の対象物
保持器。 ７、絶縁体は、セラミックス材料を含有する、ことを特
徴とする請求項１から６のうちいずれか１項に記載の対
象物保持器。 ８、前記接触部は、接着剤により絶縁部材に固定されて
いる、ことを特徴とする請求項６又は７に記載の対象物
保持器。 ９、加熱素子は、荷電粒子ビームを伝送するための孔と
、かつ内部支持縁部とが設けられた容器を備え、対象物
保持器は、支持縁部に支持されている間容器に位置する
、ことを特徴とする請求項１から３のうちいずれか８項
に記載の対象物保持器。 １０、請求項１から９のうちいずれか１項に記載の対象
物保持器に使用するための対象物キャリア。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL8902727 | 1989-11-06 | ||
| NL8902727A NL8902727A (nl) | 1989-11-06 | 1989-11-06 | Objecthouder voor ondersteuning van een object in een geladen deeltjesbundelsysteem. |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03156847A true JPH03156847A (ja) | 1991-07-04 |
Family
ID=19855566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2297338A Pending JPH03156847A (ja) | 1989-11-06 | 1990-11-05 | 対象物保持器 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5091651A (ja) |
| EP (1) | EP0427326A1 (ja) |
| JP (1) | JPH03156847A (ja) |
| NL (1) | NL8902727A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008288161A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Hitachi High-Technologies Corp | マイクロサンプル加熱用試料台 |
| JP2015216120A (ja) * | 2009-09-24 | 2015-12-03 | プロトチップス，インコーポレイテッド | 電子顕微鏡において温度制御デバイスを用いる方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US6025592A (en) * | 1995-08-11 | 2000-02-15 | Philips Electronics North America | High temperature specimen stage and detector for an environmental scanning electron microscope |
| DE19533216C2 (de) * | 1995-09-08 | 1998-01-22 | Forschungszentrum Juelich Gmbh | Probenhalter für Transmissions-Elektronenmikroskop |
| US5898177A (en) * | 1996-08-08 | 1999-04-27 | Hitachi, Ltd. | Electron microscope |
| US20050070504A1 (en) * | 2001-12-21 | 2005-03-31 | The Procter & Gamble Co. | Risedronate compositions and their methods of use |
| TWI349553B (en) * | 2001-12-21 | 2011-10-01 | Procter & Gamble | Kit and use of bisphosphonate for treating high bone turnover |
| NL1027025C2 (nl) * | 2004-09-13 | 2006-03-14 | Univ Delft Tech | Microreactor voor een transmissie elektronenmicroscoop en verwarmingselement en werkwijze voor vervaardiging daarvan. |
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| US8058627B2 (en) * | 2008-08-13 | 2011-11-15 | Wisys Technology Foundation | Addressable transmission electron microscope grid |
| EP2278306A1 (en) | 2009-07-13 | 2011-01-26 | Fei Company | Method for inspecting a sample |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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