JPH10185781A - 電子顕微鏡用試料ホルダおよびその製法 - Google Patents
電子顕微鏡用試料ホルダおよびその製法Info
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- JPH10185781A JPH10185781A JP8345174A JP34517496A JPH10185781A JP H10185781 A JPH10185781 A JP H10185781A JP 8345174 A JP8345174 A JP 8345174A JP 34517496 A JP34517496 A JP 34517496A JP H10185781 A JPH10185781 A JP H10185781A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料へのワイヤボンディングなどの難しい加
工および調整を必要とせず、電子顕微鏡内におけるその
場通電観察を可能とする電子顕微鏡用試料ホルダおよび
その製法を提供する。 【解決手段】 表面に電極パッド2が形成された試料1
を載置するための試料台4と該試料台4を保持するため
の試料ホルダ本体3とからなり、前記試料台4の上面に
は、前記試料1の電極パッド2と電気的接触を担うため
の通電用端子6a、6b、および該通電用端子6a、6
bを前記試料台4および試料ホルダ本体3から絶縁する
ための絶縁コート7a、7bが設けられ、前記試料1の
電極パッド2が前記試料台4の通電用端子6a、6bに
直接電気的接触しうることを特徴とする電子顕微鏡用試
料ホルダ。
工および調整を必要とせず、電子顕微鏡内におけるその
場通電観察を可能とする電子顕微鏡用試料ホルダおよび
その製法を提供する。 【解決手段】 表面に電極パッド2が形成された試料1
を載置するための試料台4と該試料台4を保持するため
の試料ホルダ本体3とからなり、前記試料台4の上面に
は、前記試料1の電極パッド2と電気的接触を担うため
の通電用端子6a、6b、および該通電用端子6a、6
bを前記試料台4および試料ホルダ本体3から絶縁する
ための絶縁コート7a、7bが設けられ、前記試料1の
電極パッド2が前記試料台4の通電用端子6a、6bに
直接電気的接触しうることを特徴とする電子顕微鏡用試
料ホルダ。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は電子顕微鏡用試料ホ
ルダおよびその製法に関する。さらに詳しくは、電子顕
微鏡を用いた観察において、試料へのワイヤボンディン
グを必要とせずに試料への通電、および4端子法による
抵抗値測定が可能な試料ホルダに関する。また、本発明
は、試料台の着脱を可能とすることにより、1つの試料
ホルダで複数のその場観察実験が可能な電子顕微鏡用試
料ホルダに関する。さらに、本発明は、試料への通電、
および4端子法による抵抗値測定を行なう端子を、導電
体などからなる試料台および試料ホルダと絶縁し、かつ
電子線による帯電を抑制または完全に除去することがで
きる電子顕微鏡用試料ホルダの製法に関する。
ルダおよびその製法に関する。さらに詳しくは、電子顕
微鏡を用いた観察において、試料へのワイヤボンディン
グを必要とせずに試料への通電、および4端子法による
抵抗値測定が可能な試料ホルダに関する。また、本発明
は、試料台の着脱を可能とすることにより、1つの試料
ホルダで複数のその場観察実験が可能な電子顕微鏡用試
料ホルダに関する。さらに、本発明は、試料への通電、
および4端子法による抵抗値測定を行なう端子を、導電
体などからなる試料台および試料ホルダと絶縁し、かつ
電子線による帯電を抑制または完全に除去することがで
きる電子顕微鏡用試料ホルダの製法に関する。
【0002】
【従来の技術】電子顕微鏡は物質の構造を高い分解能で
観察することができるため、材料研究に不可欠な分析装
置となっている。材料研究においては試料の加熱、冷
却、通電、エネルギー粒子線照射、応力印加などの外因
の状態下での材料の構造に関する知見が、その材料の特
性向上に重要な役割を果たすことが多い。そのため、主
々の外因を材料に印加しながら構造の変化を観察する方
法、すなわちその場観察法が従来から広く行なわれてい
る。その中でも加熱や通電下での材料の構造変化に関す
る知見は、半導体などの分野における材料劣化のメカニ
ズムの解明、劣化特性の向上に非常に重要である。
観察することができるため、材料研究に不可欠な分析装
置となっている。材料研究においては試料の加熱、冷
却、通電、エネルギー粒子線照射、応力印加などの外因
の状態下での材料の構造に関する知見が、その材料の特
性向上に重要な役割を果たすことが多い。そのため、主
々の外因を材料に印加しながら構造の変化を観察する方
法、すなわちその場観察法が従来から広く行なわれてい
る。その中でも加熱や通電下での材料の構造変化に関す
る知見は、半導体などの分野における材料劣化のメカニ
ズムの解明、劣化特性の向上に非常に重要である。
【0003】従来の電子顕微鏡によるその場通電観察で
は、一般的には、試料に導通するための、絶縁被覆が施
された通電用ワイヤが導電体などからなる試料支持台付
近に設けられてなる試料ホルダが用いられ、ワイヤの試
料への取付けにはワイヤボンディングなどの加工が必要
である。
は、一般的には、試料に導通するための、絶縁被覆が施
された通電用ワイヤが導電体などからなる試料支持台付
近に設けられてなる試料ホルダが用いられ、ワイヤの試
料への取付けにはワイヤボンディングなどの加工が必要
である。
【0004】さらに従来のその場観察用試料ホルダは、
試料支持台が試料ホルダと一体であり1つのホルダで実
施できる実験が限られている。
試料支持台が試料ホルダと一体であり1つのホルダで実
施できる実験が限られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、通電用
端子からの試料へのワイヤボンディングなどの加工は、
試料が小さいばあい、非常に困難となるばあいが多い。
また、透過電子顕微鏡観察用の薄膜試料は1μm以下の
厚さであることが必要であるため、試料へのワイヤボン
ディングが不可能となるばあいもある。これらの困難性
により、その場通電観察実験を実施することをあきらめ
ざるをえなかったり、また対象とする試料が制限された
りするばあいが多い。
端子からの試料へのワイヤボンディングなどの加工は、
試料が小さいばあい、非常に困難となるばあいが多い。
また、透過電子顕微鏡観察用の薄膜試料は1μm以下の
厚さであることが必要であるため、試料へのワイヤボン
ディングが不可能となるばあいもある。これらの困難性
により、その場通電観察実験を実施することをあきらめ
ざるをえなかったり、また対象とする試料が制限された
りするばあいが多い。
【0006】さらに従来のその場観察用試料ホルダは、
ある1つの外因のみを試料に印加するためのものであっ
たり、多くても2つの外因(たとえば通電しながら加熱
する)を試料に印加するためのもので、複数のその場観
察実験には複数の試料ホルダを用意することが必要であ
った。
ある1つの外因のみを試料に印加するためのものであっ
たり、多くても2つの外因(たとえば通電しながら加熱
する)を試料に印加するためのもので、複数のその場観
察実験には複数の試料ホルダを用意することが必要であ
った。
【0007】本発明はかかる問題を解消するためになさ
れたものであり、試料へのワイヤボンディングなどの難
しい加工および調整を必要とせず、電子顕微鏡内におけ
るその場通電観察を可能とする電子顕微鏡用試料ホルダ
を提供することを目的とする。また、本発明は1つの試
料ホルダ本体で複数のその場観察実験を可能とする試料
ホルダを提供することを目的とする。さらに、導電体な
どからなる試料ホルダから絶縁した端子を有する電子顕
微鏡用ホルダの製法を提供することを目的とする。
れたものであり、試料へのワイヤボンディングなどの難
しい加工および調整を必要とせず、電子顕微鏡内におけ
るその場通電観察を可能とする電子顕微鏡用試料ホルダ
を提供することを目的とする。また、本発明は1つの試
料ホルダ本体で複数のその場観察実験を可能とする試料
ホルダを提供することを目的とする。さらに、導電体な
どからなる試料ホルダから絶縁した端子を有する電子顕
微鏡用ホルダの製法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の電子顕微鏡用試
料ホルダは、表面に電極が形成された試料を載置するた
めの試料台と、該試料台を保持するための試料ホルダ本
体とからなり、前記試料台の上面には、前記試料の電極
と電気的接触を担うための端子、および該端子を前記試
料台および試料ホルダ本体から絶縁するための絶縁コー
トが設けられ、前記試料の電極が前記試料台の端子に直
接電気的接触しうることを特徴としている。
料ホルダは、表面に電極が形成された試料を載置するた
めの試料台と、該試料台を保持するための試料ホルダ本
体とからなり、前記試料台の上面には、前記試料の電極
と電気的接触を担うための端子、および該端子を前記試
料台および試料ホルダ本体から絶縁するための絶縁コー
トが設けられ、前記試料の電極が前記試料台の端子に直
接電気的接触しうることを特徴としている。
【0009】前記端子が前記試料台の開口部内側に設け
られてなるのが好ましい。
られてなるのが好ましい。
【0010】前記端子が前記試料台の開口部の内側側壁
に埋め込まれるとともに先端部が開口部内部に突出して
形成されてなるのが好ましい。
に埋め込まれるとともに先端部が開口部内部に突出して
形成されてなるのが好ましい。
【0011】その他にも前記端子が前記試料台の内部に
埋め込まれ、かつ前記端子の上端面が前記試料台の上面
よりも高くなるようにされてなるのが好ましい。
埋め込まれ、かつ前記端子の上端面が前記試料台の上面
よりも高くなるようにされてなるのが好ましい。
【0012】前記絶縁コートの厚さが0.1〜0.2m
m程度であるのが好ましい。
m程度であるのが好ましい。
【0013】前記試料台に前記試料を上方から押圧する
ための試料押さえが設けられ、該試料押さえによって前
記試料が押圧された状態で、前記試料の電極が前記試料
台の端子に直接電気的接触しうるのが好ましい。
ための試料押さえが設けられ、該試料押さえによって前
記試料が押圧された状態で、前記試料の電極が前記試料
台の端子に直接電気的接触しうるのが好ましい。
【0014】前記試料ホルダ本体の側壁から前記試料台
の端子へ、絶縁被覆を施した通電用ワイヤが導かれてな
るのが好ましい。
の端子へ、絶縁被覆を施した通電用ワイヤが導かれてな
るのが好ましい。
【0015】前記試料台の端子が、通電用端子として2
個設けられ、前記試料の電極が前記試料台の端子に直接
電気的接触した状態で、前記試料を通電下でその場観察
しうるのが好ましい。
個設けられ、前記試料の電極が前記試料台の端子に直接
電気的接触した状態で、前記試料を通電下でその場観察
しうるのが好ましい。
【0016】その他にも、前記試料台の端子が、通電用
端子として2個設けられるとともに抵抗測定用端子とし
て2個設けられ、前記試料の電極が前記試料台の端子に
直接電気的接触した状態で、前記試料の通電下でのその
場観察、および四端子法による抵抗測定下でのその場観
察しうるのが好ましい。
端子として2個設けられるとともに抵抗測定用端子とし
て2個設けられ、前記試料の電極が前記試料台の端子に
直接電気的接触した状態で、前記試料の通電下でのその
場観察、および四端子法による抵抗測定下でのその場観
察しうるのが好ましい。
【0017】前記試料台が前記試料ホルダ本体に対して
着脱自在に保持されてなるのが好ましい。
着脱自在に保持されてなるのが好ましい。
【0018】本発明の電子顕微鏡用試料ホルダの製法
は、前記端子を前記試料台および該試料台を保持する試
料ホルダ本体から絶縁されるように、前記試料台の上面
に絶縁コートを介して形成することにより、電子線によ
る帯電を抑制または除去することができることを特徴と
している。
は、前記端子を前記試料台および該試料台を保持する試
料ホルダ本体から絶縁されるように、前記試料台の上面
に絶縁コートを介して形成することにより、電子線によ
る帯電を抑制または除去することができることを特徴と
している。
【0019】本発明のその場観察用電子顕微鏡用試料ホ
ルダは、従来と同様に導電体などからなる試料台に、試
料との電気的接触を担う端子を試料台よび試料ホルダ本
体と絶縁した接点として設け、表面に電極を形成した試
料を押圧するなどして端子に接触させることにより、ワ
イヤボンディングを必要とせず試料と接点との電気的接
触を可能としている。
ルダは、従来と同様に導電体などからなる試料台に、試
料との電気的接触を担う端子を試料台よび試料ホルダ本
体と絶縁した接点として設け、表面に電極を形成した試
料を押圧するなどして端子に接触させることにより、ワ
イヤボンディングを必要とせず試料と接点との電気的接
触を可能としている。
【0020】さらに、請求項4または5記載の電子顕微
鏡用試料ホルダでは、導電体などからなる試料ホルダの
試料台に、試料との電気的接触を担う端子を形成する
際、端子と試料ホルダを絶縁コートにより絶縁し、かつ
絶縁コート部分の露出を小さくする、またはなくすこと
により、電子線の照射による帯電を抑制または完全に除
去している。
鏡用試料ホルダでは、導電体などからなる試料ホルダの
試料台に、試料との電気的接触を担う端子を形成する
際、端子と試料ホルダを絶縁コートにより絶縁し、かつ
絶縁コート部分の露出を小さくする、またはなくすこと
により、電子線の照射による帯電を抑制または完全に除
去している。
【0021】とくに、請求項8または9記載の電子顕微
鏡用試料ホルダは、導電体などからなる試料台に、試料
との電気的接触を担う端子として設けた、試料台および
試料ホルダ本体と絶縁した2個、または4個の接点を試
料への通電用または抵抗測定用端子として用いることに
より、試料へのワイヤボンディングを必要とせずに試料
への通電および四端子法による抵抗測定下でのその場観
察を可能としている。
鏡用試料ホルダは、導電体などからなる試料台に、試料
との電気的接触を担う端子として設けた、試料台および
試料ホルダ本体と絶縁した2個、または4個の接点を試
料への通電用または抵抗測定用端子として用いることに
より、試料へのワイヤボンディングを必要とせずに試料
への通電および四端子法による抵抗測定下でのその場観
察を可能としている。
【0022】さらに、請求項10記載の電子顕微鏡用試
料ホルダは、試料台の着脱を可能とすることにより、1
つの試料ホルダ本体で複数のその場観察実験を可能とし
ている。
料ホルダは、試料台の着脱を可能とすることにより、1
つの試料ホルダ本体で複数のその場観察実験を可能とし
ている。
【0023】
【発明の実施の形態】つぎに、図面を参照しながら本発
明の電子顕微鏡用試料ホルダ(以下、試料ホルダとい
う)およびその製法の実施の形態について詳細に説明す
る。
明の電子顕微鏡用試料ホルダ(以下、試料ホルダとい
う)およびその製法の実施の形態について詳細に説明す
る。
【0024】実施の形態1 図1は本発明の一実施の形態である通電その場観察用の
試料ホルダを示す斜視説明図である。図1(a)におい
て1は試料、2は電極パッド、3は試料ホルダ本体、4
は開口4aを有する試料台、5は開口5aを有する試料
押さえ、6a、6bは通電用端子、7a、7bは絶縁コ
ート、8a、8bは通電用ワイヤである。さらに詳細に
説明すると、本実施の形態の試料ホルダは、表面に電極
パッド2が形成された試料1を載置するための試料台4
と、該試料台4を保持するための試料ホルダ本体3とか
ら構成され、前記試料台4の上面には、前記試料1の電
極パッド2と電気的接触を担うための通電用端子6a、
6bおよび該端子6a、6bを前記試料台4および試料
ホルダ本体3から絶縁するための絶縁コート7a、7b
が設けられ、前記試料1の電極パッド2が前記試料台4
の通電用端子6a、6bに直接電気的接触しうることを
特徴としている。
試料ホルダを示す斜視説明図である。図1(a)におい
て1は試料、2は電極パッド、3は試料ホルダ本体、4
は開口4aを有する試料台、5は開口5aを有する試料
押さえ、6a、6bは通電用端子、7a、7bは絶縁コ
ート、8a、8bは通電用ワイヤである。さらに詳細に
説明すると、本実施の形態の試料ホルダは、表面に電極
パッド2が形成された試料1を載置するための試料台4
と、該試料台4を保持するための試料ホルダ本体3とか
ら構成され、前記試料台4の上面には、前記試料1の電
極パッド2と電気的接触を担うための通電用端子6a、
6bおよび該端子6a、6bを前記試料台4および試料
ホルダ本体3から絶縁するための絶縁コート7a、7b
が設けられ、前記試料1の電極パッド2が前記試料台4
の通電用端子6a、6bに直接電気的接触しうることを
特徴としている。
【0025】本実施の形態では試料1との電気的接触を
担う2個の通電用端子6a、6bを試料台4に設け、S
USまたはリン青銅などの導電体からなる試料台4との
絶縁をアルミナ(Al2O3)またはシリカ(SiO2)
などの絶縁コート7により施してある。また絶縁被覆を
施した通電用ワイヤ8が試料ホルダ本体3の側壁から通
電用端子6a、6bにそれぞれ導かれている。回転バネ
(図示せず)などにより、閉方向にバネ圧が付勢された
試料押さえ5を用いて試料1を試料台4に押圧し(図1
(b)参照)、これにより試料表面に形成した電極パッ
ド2と通電用端子6a、6bを接触させることができ
る。このとき、絶縁コート7により、電極パット2は、
端子6a、6bに電気的接触するが、試料台4および試
料ホルダ3から絶縁されている。
担う2個の通電用端子6a、6bを試料台4に設け、S
USまたはリン青銅などの導電体からなる試料台4との
絶縁をアルミナ(Al2O3)またはシリカ(SiO2)
などの絶縁コート7により施してある。また絶縁被覆を
施した通電用ワイヤ8が試料ホルダ本体3の側壁から通
電用端子6a、6bにそれぞれ導かれている。回転バネ
(図示せず)などにより、閉方向にバネ圧が付勢された
試料押さえ5を用いて試料1を試料台4に押圧し(図1
(b)参照)、これにより試料表面に形成した電極パッ
ド2と通電用端子6a、6bを接触させることができ
る。このとき、絶縁コート7により、電極パット2は、
端子6a、6bに電気的接触するが、試料台4および試
料ホルダ3から絶縁されている。
【0026】図1のように試料1の表面の電極パッド2
と通電用端子6a、6bの接触を行なった試料ホルダ本
体3は、図8に示されるように電子顕微鏡にセットされ
る。図8はその場観察用試料ホルダを電子顕微鏡内にセ
ットし、通電下でのその場通電観察を実施する方法を示
す説明図であり、電子顕微鏡の断面(図8の(a))お
よび試料ホルダの平面(図8の(b))が示されてい
る。図8において、1は試料、3は試料ホルダ本体、4
は試料台、8a、8bは通電用ワイヤ、16は電子顕微
鏡の鏡体、17は電子銃、18は蛍光板、19は電子
線、20は定電流電源である。
と通電用端子6a、6bの接触を行なった試料ホルダ本
体3は、図8に示されるように電子顕微鏡にセットされ
る。図8はその場観察用試料ホルダを電子顕微鏡内にセ
ットし、通電下でのその場通電観察を実施する方法を示
す説明図であり、電子顕微鏡の断面(図8の(a))お
よび試料ホルダの平面(図8の(b))が示されてい
る。図8において、1は試料、3は試料ホルダ本体、4
は試料台、8a、8bは通電用ワイヤ、16は電子顕微
鏡の鏡体、17は電子銃、18は蛍光板、19は電子
線、20は定電流電源である。
【0027】その場通電観察を行なうばあい、まず、試
料1の位置に電子線19が合うように鏡体16に試料ホ
ルダ本体3を挿入し、前記開口4a、5a(図1参照)
を通して外部に露出した試料1を透過した電子線19が
作る像を蛍光板18で観察する。通電用ワイヤ8a、8
bに接続した定電流電源20から電流を印加する。通電
用ワイヤ8a、8bは前記通電用端子6a、6b(図1
参照)を通して試料1の表面に形成された電極パッド2
と電気的に接続されている。したがって、電子線19で
蛍光板18に結像される像の観察をしながら試料1への
通電が可能となる。
料1の位置に電子線19が合うように鏡体16に試料ホ
ルダ本体3を挿入し、前記開口4a、5a(図1参照)
を通して外部に露出した試料1を透過した電子線19が
作る像を蛍光板18で観察する。通電用ワイヤ8a、8
bに接続した定電流電源20から電流を印加する。通電
用ワイヤ8a、8bは前記通電用端子6a、6b(図1
参照)を通して試料1の表面に形成された電極パッド2
と電気的に接続されている。したがって、電子線19で
蛍光板18に結像される像の観察をしながら試料1への
通電が可能となる。
【0028】以上の方法により、試料1へのワイヤボン
ディングを必要とせずに、試料1への通電中のその場電
子顕微鏡観察が可能となる。
ディングを必要とせずに、試料1への通電中のその場電
子顕微鏡観察が可能となる。
【0029】なお、本実施の形態1では、通電用端子6
a、6bの配置および絶縁コート7a、7bの厚さにつ
いては説明されていないが、後述する実施の形態3〜5
において説明されている。
a、6bの配置および絶縁コート7a、7bの厚さにつ
いては説明されていないが、後述する実施の形態3〜5
において説明されている。
【0030】実施の形態2 図2は本発明の他の実施の形態である通電および四端子
法による抵抗測定下でのその場観察用の試料ホルダを示
す斜視説明図である。図2(a)において、1は試料、
2は電極パッド、3は試料ホルダ本体、4は開口4aを
有する試料台、5は開口5aを有する試料押さえ、6
a、6bは通電用端子、7a、7bは絶縁コート、8
a、8bは通電用ワイヤ、9a、9bは抵抗測定用端
子、10a、10bは絶縁コート、11a、11bは抵
抗測定用ワイヤである。本実施の形態では試料1との電
気的接触を担う2個の通電用端子6a、6bと、試料1
との電気的接触を担う2個の抵抗測定用端子9a、9b
を試料台4に設け、前記実施の形態1と同様に導電体な
どからなる試料台4との絶縁を絶縁コート7a、7b、
10a、10bにより施してある。また絶縁被覆を施し
た通電用ワイヤ8a、8bと抵抗測定用ワイヤ11a、
11bが試料ホルダ本体3の側壁から通電用端子6a、
6bと抵抗測定用端子9a、9bに導かれている。前述
と同様に回転バネ(図示せず)などにより、閉方向にバ
ネ圧が付勢された試料押さえ5を用いて試料1を試料台
4に押圧し、これにより試料1の表面に形成された電極
パッド2と通電用端子6a、6bおよび抵抗測定用端子
9a、9bを接触させることができる。
法による抵抗測定下でのその場観察用の試料ホルダを示
す斜視説明図である。図2(a)において、1は試料、
2は電極パッド、3は試料ホルダ本体、4は開口4aを
有する試料台、5は開口5aを有する試料押さえ、6
a、6bは通電用端子、7a、7bは絶縁コート、8
a、8bは通電用ワイヤ、9a、9bは抵抗測定用端
子、10a、10bは絶縁コート、11a、11bは抵
抗測定用ワイヤである。本実施の形態では試料1との電
気的接触を担う2個の通電用端子6a、6bと、試料1
との電気的接触を担う2個の抵抗測定用端子9a、9b
を試料台4に設け、前記実施の形態1と同様に導電体な
どからなる試料台4との絶縁を絶縁コート7a、7b、
10a、10bにより施してある。また絶縁被覆を施し
た通電用ワイヤ8a、8bと抵抗測定用ワイヤ11a、
11bが試料ホルダ本体3の側壁から通電用端子6a、
6bと抵抗測定用端子9a、9bに導かれている。前述
と同様に回転バネ(図示せず)などにより、閉方向にバ
ネ圧が付勢された試料押さえ5を用いて試料1を試料台
4に押圧し、これにより試料1の表面に形成された電極
パッド2と通電用端子6a、6bおよび抵抗測定用端子
9a、9bを接触させることができる。
【0031】図2のように、試料表面の電極パッド2と
通電用端子6a、6bおよび抵抗測定用端子9a、9b
との接触を行なった試料ホルダ本体3は、図9に示され
るように電子顕微鏡にセットされる。図9はその場観察
用試料ホルダを電子顕微鏡内にセットし、通電および四
端子法による抵抗測定下でのその場観察を実施する方法
を示す説明図であり、電子顕微鏡の断面(図9の
(a))および試料ホルダの平面(図9の(b))が示
されている。図9において、1は試料、3は試料ホルダ
本体、4は試料台、8a、8bは通電用ワイヤ、11
a、11bは抵抗測定用ワイヤ、16は電子顕微鏡の鏡
体、17は電子銃、18は蛍光板、19は電子線、20
は定電流電源、21は抵抗測定器である。
通電用端子6a、6bおよび抵抗測定用端子9a、9b
との接触を行なった試料ホルダ本体3は、図9に示され
るように電子顕微鏡にセットされる。図9はその場観察
用試料ホルダを電子顕微鏡内にセットし、通電および四
端子法による抵抗測定下でのその場観察を実施する方法
を示す説明図であり、電子顕微鏡の断面(図9の
(a))および試料ホルダの平面(図9の(b))が示
されている。図9において、1は試料、3は試料ホルダ
本体、4は試料台、8a、8bは通電用ワイヤ、11
a、11bは抵抗測定用ワイヤ、16は電子顕微鏡の鏡
体、17は電子銃、18は蛍光板、19は電子線、20
は定電流電源、21は抵抗測定器である。
【0032】その場通電観察を行なうばあい、まず、試
料1の位置に電子線19が合うように鏡体16に試料ホ
ルダ本体3を挿入し、前述と同様に試料1を透過した電
子線19が作る像を蛍光板18で観察する。通電用ワイ
ヤ8a、8bに接続した定電流電源20から電流を印加
し、抵抗測定用ワイヤ11a、11bに接続した抵抗測
定器21で抵抗を測定する。通電用ワイヤ8a、8bは
前記通電用端子6a、6b(図2参照)を通して、抵抗
測定用ワイヤ11a、11bは前記抵抗測定用端子9
a、9b(図2参照)を通して試料1の表面に形成され
た電極パッド2と電気的に接触している。したがって、
電子線19で蛍光板18に結像される像の観察をしなが
ら試料1への通電および四端子法による抵抗の測定が可
能となる。
料1の位置に電子線19が合うように鏡体16に試料ホ
ルダ本体3を挿入し、前述と同様に試料1を透過した電
子線19が作る像を蛍光板18で観察する。通電用ワイ
ヤ8a、8bに接続した定電流電源20から電流を印加
し、抵抗測定用ワイヤ11a、11bに接続した抵抗測
定器21で抵抗を測定する。通電用ワイヤ8a、8bは
前記通電用端子6a、6b(図2参照)を通して、抵抗
測定用ワイヤ11a、11bは前記抵抗測定用端子9
a、9b(図2参照)を通して試料1の表面に形成され
た電極パッド2と電気的に接触している。したがって、
電子線19で蛍光板18に結像される像の観察をしなが
ら試料1への通電および四端子法による抵抗の測定が可
能となる。
【0033】以上の方法により、試料1へのワイヤボン
ディングを必要とせずに、試料1への通電および四端子
法による抵抗測定中のその場電子顕微鏡観察が可能とな
る。
ディングを必要とせずに、試料1への通電および四端子
法による抵抗測定中のその場電子顕微鏡観察が可能とな
る。
【0034】実施の形態3 図3(a)〜(b)は本発明のさらに他の実施の形態で
ある通電その場観察用の試料ホルダの製法を示す平面説
明図と試料が載置された状態のIII−III線断面図であ
る。図3において1は試料、2は電極パッド、3は試料
ホルダ本体、4は開口4aを有する試料台、6a、6b
は通電用端子、7a、7bは絶縁コート、8a、8bは
通電用ワイヤである。なお、試料押さえは簡単のため図
示を省略している。本実施の形態では、試料1との電気
的接触を担う2個の通電用端子6a、6bを試料台4の
端部(図3では、開口4aの内側側壁)に形成し、前述
と同様に導電体などからなる試料台4との絶縁を薄い絶
縁コート7a、7bを施すことにより達成している。通
電用端子6a、6bを試料台4の端部に形成することに
より、通電用端子6a、6bと接触した試料1の表面の
電極パッド2が、導電体などからなる試料台4と接触す
ることを避けることができる。
ある通電その場観察用の試料ホルダの製法を示す平面説
明図と試料が載置された状態のIII−III線断面図であ
る。図3において1は試料、2は電極パッド、3は試料
ホルダ本体、4は開口4aを有する試料台、6a、6b
は通電用端子、7a、7bは絶縁コート、8a、8bは
通電用ワイヤである。なお、試料押さえは簡単のため図
示を省略している。本実施の形態では、試料1との電気
的接触を担う2個の通電用端子6a、6bを試料台4の
端部(図3では、開口4aの内側側壁)に形成し、前述
と同様に導電体などからなる試料台4との絶縁を薄い絶
縁コート7a、7bを施すことにより達成している。通
電用端子6a、6bを試料台4の端部に形成することに
より、通電用端子6a、6bと接触した試料1の表面の
電極パッド2が、導電体などからなる試料台4と接触す
ることを避けることができる。
【0035】また、試料1で散乱された散乱電子が絶縁
コート7a、7bに当たって帯電を引き起こし、それに
より引き起こされる像への影響を抑制するために、試料
台4の開口4aの内側から露出している絶縁コート7の
厚さは0.1〜0.2mm程度としている。また、絶縁
被覆した通電用ワイヤ8a、8bは、試料ホルダ本体3
の側壁から通電端子6a、6bに導かれている。表面に
電極パッド2が形成された試料1を試料台4に載置する
ことにより、電極パッド2と通電用端子6a、6bとの
電気的接触が達成され、通電用ワイヤ8a、8bを通じ
て、試料1への通電が可能となる。試料1を安定に保持
する点から、通電用端子6a、6bは試料台4と同じ高
さであることが好ましい。
コート7a、7bに当たって帯電を引き起こし、それに
より引き起こされる像への影響を抑制するために、試料
台4の開口4aの内側から露出している絶縁コート7の
厚さは0.1〜0.2mm程度としている。また、絶縁
被覆した通電用ワイヤ8a、8bは、試料ホルダ本体3
の側壁から通電端子6a、6bに導かれている。表面に
電極パッド2が形成された試料1を試料台4に載置する
ことにより、電極パッド2と通電用端子6a、6bとの
電気的接触が達成され、通電用ワイヤ8a、8bを通じ
て、試料1への通電が可能となる。試料1を安定に保持
する点から、通電用端子6a、6bは試料台4と同じ高
さであることが好ましい。
【0036】以上の方法により、導電体などからなる試
料台4に試料1との電気的接触を担う通電用端子6a、
6bを試料ホルダ本体3および試料台4と絶縁して形成
し、かつ試料1で散乱される散乱電子線が絶縁物に当た
ることにより引き起こされる帯電と、それにより引き起
こされる像への影響を抑制することが可能となる。
料台4に試料1との電気的接触を担う通電用端子6a、
6bを試料ホルダ本体3および試料台4と絶縁して形成
し、かつ試料1で散乱される散乱電子線が絶縁物に当た
ることにより引き起こされる帯電と、それにより引き起
こされる像への影響を抑制することが可能となる。
【0037】実施の形態4 図4(a)〜(b)は本発明の他の実施の形態である通
電その場観察用の試料ホルダの平面説明図と試料が載置
された状態のIV−IV線断面図である。図4において1は
試料、2は電極パッド、3は試料ホルダ本体、4は開口
4aを有する試料台、6a、6bは通電用端子、7a、
7bは絶縁コート、8a、8bは通電用ワイヤである。
なお、試料押さえは図から省略してある。本実施の形態
では、試料1との電気的接触を担う2個の通電用端子6
a、6bを試料台4に埋め込んで形成し、前述と同様に
導電体などからなる試料台4との絶縁を、絶縁コート7
a、7bを施すことにより達成している。通電用端子6
a、6bを導電体などからなる試料台4に埋め込むこと
により、試料台4の開口4aの内側に露出する絶縁コー
ト7a、7bをなくすことが可能となり、試料1で散乱
された散乱電子が絶縁コート7に当たって引き起こす帯
電と、それにより引き起こされる像への影響を完全に除
去することができる。通電用端子6a、6bと接触した
試料1の表面の電極パッド2が、導電体などからなる試
料台4と接触することを避けるため、通電用端子6a、
6bは試料台4に埋め込み、かつ埋め込んだ通電用端子
6a、6bの上面が導電体などからなる試料台4の上面
より高くなるようにする。また、絶縁被覆した通電用ワ
イヤ8a、8bは、試料ホルダ本体3の側壁から通電用
端子6a、6bに導かれている。表面に電極パッド2が
形成された試料1を通電用端子6a、6bとの電気的接
触が達成され、通電用ワイヤ8a、8bを通じて、試料
1への通電が可能となる。
電その場観察用の試料ホルダの平面説明図と試料が載置
された状態のIV−IV線断面図である。図4において1は
試料、2は電極パッド、3は試料ホルダ本体、4は開口
4aを有する試料台、6a、6bは通電用端子、7a、
7bは絶縁コート、8a、8bは通電用ワイヤである。
なお、試料押さえは図から省略してある。本実施の形態
では、試料1との電気的接触を担う2個の通電用端子6
a、6bを試料台4に埋め込んで形成し、前述と同様に
導電体などからなる試料台4との絶縁を、絶縁コート7
a、7bを施すことにより達成している。通電用端子6
a、6bを導電体などからなる試料台4に埋め込むこと
により、試料台4の開口4aの内側に露出する絶縁コー
ト7a、7bをなくすことが可能となり、試料1で散乱
された散乱電子が絶縁コート7に当たって引き起こす帯
電と、それにより引き起こされる像への影響を完全に除
去することができる。通電用端子6a、6bと接触した
試料1の表面の電極パッド2が、導電体などからなる試
料台4と接触することを避けるため、通電用端子6a、
6bは試料台4に埋め込み、かつ埋め込んだ通電用端子
6a、6bの上面が導電体などからなる試料台4の上面
より高くなるようにする。また、絶縁被覆した通電用ワ
イヤ8a、8bは、試料ホルダ本体3の側壁から通電用
端子6a、6bに導かれている。表面に電極パッド2が
形成された試料1を通電用端子6a、6bとの電気的接
触が達成され、通電用ワイヤ8a、8bを通じて、試料
1への通電が可能となる。
【0038】以上の方法により、導電体などからなる試
料台4に試料1との電気的接触を担う通電用端子6a、
6bを試料ホルダ本体3および試料台4と絶縁して形成
し、かつ試料1で散乱される散乱電子線が絶縁物に当た
ることにより引き起こされる帯電と、それにより引き起
こされる像への影響を抑制することが可能となる。
料台4に試料1との電気的接触を担う通電用端子6a、
6bを試料ホルダ本体3および試料台4と絶縁して形成
し、かつ試料1で散乱される散乱電子線が絶縁物に当た
ることにより引き起こされる帯電と、それにより引き起
こされる像への影響を抑制することが可能となる。
【0039】実施の形態5 図5は(a)〜(b)は本発明のさらに他の実施の形態
である通電その場観察用の試料ホルダの平面説明図と試
料が載置された状態のV−V線断面図である。図5にお
いて1は試料、2は電極パッド、3は試料ホルダ本体、
4は開口4aを有する試料台、6a、6bは通電用端
子、7a、7bは絶縁コート、8a、8bは通電用ワイ
ヤである。なお、試料押さえは簡単のため図示を省略し
ている。本実施の形態では、試料1との電気的接触を担
う2個の通電用端子6a、6bを試料台4の開口4aの
内側側壁に埋め込むとともに先端部が開口4aの内部に
突出して前記試料台4の上面側に露出するように形成
し、前述と同様に導電体などからなる試料台4との絶縁
を、薄い絶縁コート7a、7bを施すことにより達成し
ている。通電用端子6a、6bを試料台4の開口4aの
内側側壁に埋め込んで形成することにより、通電用端子
6a、6bと接触した試料1の表面の電極パッド2が、
導電体などからなる試料台4と接触することを避けるこ
とができる。また、試料1で散乱された散乱電子線が絶
縁コート7a、7bに当たって帯電を引き起こし、それ
により引き起こされる像への影響を抑制するために、試
料台4の開口4aの内側から露出している絶縁コート7
a、7bの厚さは0.1〜0.2mm程度としている。
絶縁被覆した通電用ワイヤ8a、8bが試料ホルダ本体
3の側壁から通電用端子6a、6bに導かれている。表
面に電極パッド2が形成された試料1を通電用端子6
a、6bに載せることにより、電極パッド2と通電用端
子6a、6bとの電気的接触が達成され、通電用ワイヤ
8a、8bを通じて、試料1への通電が可能となる。
である通電その場観察用の試料ホルダの平面説明図と試
料が載置された状態のV−V線断面図である。図5にお
いて1は試料、2は電極パッド、3は試料ホルダ本体、
4は開口4aを有する試料台、6a、6bは通電用端
子、7a、7bは絶縁コート、8a、8bは通電用ワイ
ヤである。なお、試料押さえは簡単のため図示を省略し
ている。本実施の形態では、試料1との電気的接触を担
う2個の通電用端子6a、6bを試料台4の開口4aの
内側側壁に埋め込むとともに先端部が開口4aの内部に
突出して前記試料台4の上面側に露出するように形成
し、前述と同様に導電体などからなる試料台4との絶縁
を、薄い絶縁コート7a、7bを施すことにより達成し
ている。通電用端子6a、6bを試料台4の開口4aの
内側側壁に埋め込んで形成することにより、通電用端子
6a、6bと接触した試料1の表面の電極パッド2が、
導電体などからなる試料台4と接触することを避けるこ
とができる。また、試料1で散乱された散乱電子線が絶
縁コート7a、7bに当たって帯電を引き起こし、それ
により引き起こされる像への影響を抑制するために、試
料台4の開口4aの内側から露出している絶縁コート7
a、7bの厚さは0.1〜0.2mm程度としている。
絶縁被覆した通電用ワイヤ8a、8bが試料ホルダ本体
3の側壁から通電用端子6a、6bに導かれている。表
面に電極パッド2が形成された試料1を通電用端子6
a、6bに載せることにより、電極パッド2と通電用端
子6a、6bとの電気的接触が達成され、通電用ワイヤ
8a、8bを通じて、試料1への通電が可能となる。
【0040】以上の方法により、導電体などからなる試
料台4に試料1との電気的接触を担う通電用端子6a、
6bを試料ホルダ本体3および試料台4と絶縁して形成
され、かつ試料1で散乱される散乱電子線が絶縁物に当
たることにより引き起こされる帯電と、それにより引き
起こされる像への影響を抑制することが可能となる。
料台4に試料1との電気的接触を担う通電用端子6a、
6bを試料ホルダ本体3および試料台4と絶縁して形成
され、かつ試料1で散乱される散乱電子線が絶縁物に当
たることにより引き起こされる帯電と、それにより引き
起こされる像への影響を抑制することが可能となる。
【0041】実施の形態6 図6は本発明の他の実施の形態である、試料台を着脱可
能とすることにより1つの試料ホルダ本体で複数のその
場観察を可能とする電子顕微鏡用試料ホルダを示す斜視
説明図である。図6において、1は試料、2は電極パッ
ド、3は試料ホルダ本体、24は開口24aを有する取
替式の試料台、5は開口5aを有する試料押さえ、6
a、6bは通電用端子、7a、7bは絶縁コート、8
a、8bは通電用ワイヤ、12a、12bは試料台側接
点、13a、13bは試料台側通電ワイヤ、14a、1
4bは試料ホルダ側接点である。本実施の形態では試料
台24に試料1との電気的接触を担う通電用端子6a、
6bが形成され、通電用端子6a、6bから試料台側通
電ワイヤ13a、13bを試料台24の側壁の試料台側
接点12a、12bに導いている。試料ホルダ本体3
は、通電用ワイヤ8a、8bを当該試料ホルダ本体3内
側側壁の試料ホルダ側接点14a、14bに導いてい
る。試料台24を試料台24の外側側壁および試料ホル
ダ3の内側側壁にそれぞれ形成された凹部25および凸
部26により位置決めしながら試料ホルダ本体3にはめ
込み、試料台側接点12a、12bと試料ホルダ側接点
14a、14bを接触させることにより、通電用ワイヤ
8a、8bと通電用端子6a、6bとの電気的な導通が
可能となる。試料1への通電とその場観察方法は、前記
実施の形態1と同じである。
能とすることにより1つの試料ホルダ本体で複数のその
場観察を可能とする電子顕微鏡用試料ホルダを示す斜視
説明図である。図6において、1は試料、2は電極パッ
ド、3は試料ホルダ本体、24は開口24aを有する取
替式の試料台、5は開口5aを有する試料押さえ、6
a、6bは通電用端子、7a、7bは絶縁コート、8
a、8bは通電用ワイヤ、12a、12bは試料台側接
点、13a、13bは試料台側通電ワイヤ、14a、1
4bは試料ホルダ側接点である。本実施の形態では試料
台24に試料1との電気的接触を担う通電用端子6a、
6bが形成され、通電用端子6a、6bから試料台側通
電ワイヤ13a、13bを試料台24の側壁の試料台側
接点12a、12bに導いている。試料ホルダ本体3
は、通電用ワイヤ8a、8bを当該試料ホルダ本体3内
側側壁の試料ホルダ側接点14a、14bに導いてい
る。試料台24を試料台24の外側側壁および試料ホル
ダ3の内側側壁にそれぞれ形成された凹部25および凸
部26により位置決めしながら試料ホルダ本体3にはめ
込み、試料台側接点12a、12bと試料ホルダ側接点
14a、14bを接触させることにより、通電用ワイヤ
8a、8bと通電用端子6a、6bとの電気的な導通が
可能となる。試料1への通電とその場観察方法は、前記
実施の形態1と同じである。
【0042】本実施の形態6では、別の試料台を用いる
ことにより、同じ試料ホルダ本体3で加熱その場観察な
どの別の方法のその場観察が可能となる。
ことにより、同じ試料ホルダ本体3で加熱その場観察な
どの別の方法のその場観察が可能となる。
【0043】図7は本発明の他の実施の形態である試料
台を着脱可能とすることにより1つの試料ホルダ本体で
複数のその場観察を可能とする試料ホルダを示す斜視説
明図である。図7において1は試料、2は電極パッド、
3は試料ホルダ本体、34は試料加熱用の試料台、5は
開口5aを有する試料押さえ、8a、8bは通電用ワイ
ヤ、12a、12bは試料台側接点、14a、14bは
試料ホルダ側接点、15は試料加熱用発熱体である。本
実施の形態では試料台34に試料台34とともに試料1
を加熱する発熱体15を埋め込み、発熱体15を試料台
34の側壁の試料台側接点12a、12bに導いてい
る。試料ホルダ本体3には通電用ワイヤ8a、8bを試
料ホルダ本体3内側の試料ホルダ側接点14a、14b
に導いている。外側側壁に凹部35が形成された試料台
34を試料ホルダ本体3にはめ込み、試料台側接点12
a、12bと試料ホルダ側接点14a、14bを接触さ
せることにより、通電用ワイヤ8a、8bと試料加熱用
発熱体15との電気的な導通が可能となる。発熱体15
への通電とその場観察方法は、前記実施の形態1と同じ
である。
台を着脱可能とすることにより1つの試料ホルダ本体で
複数のその場観察を可能とする試料ホルダを示す斜視説
明図である。図7において1は試料、2は電極パッド、
3は試料ホルダ本体、34は試料加熱用の試料台、5は
開口5aを有する試料押さえ、8a、8bは通電用ワイ
ヤ、12a、12bは試料台側接点、14a、14bは
試料ホルダ側接点、15は試料加熱用発熱体である。本
実施の形態では試料台34に試料台34とともに試料1
を加熱する発熱体15を埋め込み、発熱体15を試料台
34の側壁の試料台側接点12a、12bに導いてい
る。試料ホルダ本体3には通電用ワイヤ8a、8bを試
料ホルダ本体3内側の試料ホルダ側接点14a、14b
に導いている。外側側壁に凹部35が形成された試料台
34を試料ホルダ本体3にはめ込み、試料台側接点12
a、12bと試料ホルダ側接点14a、14bを接触さ
せることにより、通電用ワイヤ8a、8bと試料加熱用
発熱体15との電気的な導通が可能となる。発熱体15
への通電とその場観察方法は、前記実施の形態1と同じ
である。
【0044】以上の方法により、1つの試料ホルダ本体
3で複数のその場観察実験が可能となる。
3で複数のその場観察実験が可能となる。
【0045】
【発明の効果】請求項1記載の試料ホルダは、導電体な
どからなる試料台に、試料との電気的接触を担う端子を
試料および試料ホルダ本体と絶縁した接点として設け、
表面に電極を形成した試料を押圧するなどして端子に接
触させることにより、ワイヤボンディングを必要とせず
試料と接点との電気的接触を可能とする効果がある。
どからなる試料台に、試料との電気的接触を担う端子を
試料および試料ホルダ本体と絶縁した接点として設け、
表面に電極を形成した試料を押圧するなどして端子に接
触させることにより、ワイヤボンディングを必要とせず
試料と接点との電気的接触を可能とする効果がある。
【0046】請求項8記載の試料ホルダは、導電体など
からなる試料台に、試料との電気的接触を担う端子とし
て設けた、試料台および試料ホルダ本体と絶縁した2個
の接点を試料への通電用端子として用いることにより、
試料へのワイヤボンディングを必要とせずに試料への通
電を可能とし、試料への通電中のその場観察を可能とす
る効果がある。
からなる試料台に、試料との電気的接触を担う端子とし
て設けた、試料台および試料ホルダ本体と絶縁した2個
の接点を試料への通電用端子として用いることにより、
試料へのワイヤボンディングを必要とせずに試料への通
電を可能とし、試料への通電中のその場観察を可能とす
る効果がある。
【0047】請求項9記載の試料ホルダは、導電体など
からなる試料台に、試料との電気的接触を担う端子とし
て設けた、試料台および試料ホルダ本体と絶縁した4個
の接点の内の2個を試料への通電用端子として、残りの
2個を抵抗測定用端子として用いることにより、試料へ
のワイヤボンディングを必要とせずに試料への通電およ
び四端子法による抵抗測定を可能とし、試料への通電お
よび抵抗測定中のその場観察を可能とする効果がある。
からなる試料台に、試料との電気的接触を担う端子とし
て設けた、試料台および試料ホルダ本体と絶縁した4個
の接点の内の2個を試料への通電用端子として、残りの
2個を抵抗測定用端子として用いることにより、試料へ
のワイヤボンディングを必要とせずに試料への通電およ
び四端子法による抵抗測定を可能とし、試料への通電お
よび抵抗測定中のその場観察を可能とする効果がある。
【0048】請求項10記載の試料ホルダは、試料台の
試料ホルダ本体からの着脱を可能とすることにより、1
つのその場観察用の試料ホルダ本体で複数のその場観察
実験を可能とする効果がある。
試料ホルダ本体からの着脱を可能とすることにより、1
つのその場観察用の試料ホルダ本体で複数のその場観察
実験を可能とする効果がある。
【0049】請求項11記載の試料ホルダの製法は、導
電体などからなる試料台に、試料との電気的接触を担う
端子を形成する際、端子と試料台および試料ホルダ本体
を絶縁し、かつ電子線による帯電を抑制あるいは完全に
除去できる端子を形成することができる効果がある。
電体などからなる試料台に、試料との電気的接触を担う
端子を形成する際、端子と試料台および試料ホルダ本体
を絶縁し、かつ電子線による帯電を抑制あるいは完全に
除去できる端子を形成することができる効果がある。
【図1】 本発明の一実施の形態である通電その場観察
用の電子顕微鏡用試料ホルダを示す斜視説明図である。
用の電子顕微鏡用試料ホルダを示す斜視説明図である。
【図2】 本発明の他の実施の形態である通電および四
端子法による抵抗測定下でのその場観察用の電子顕微鏡
用試料ホルダを示す斜視説明図である。
端子法による抵抗測定下でのその場観察用の電子顕微鏡
用試料ホルダを示す斜視説明図である。
【図3】 (a)は本発明のさらに他の実施の形態であ
る通電その場観察用の電子顕微鏡用試料ホルダの製法を
示す平面説明図、(b)は試料が載置された状態のIII
−III線断面図である。
る通電その場観察用の電子顕微鏡用試料ホルダの製法を
示す平面説明図、(b)は試料が載置された状態のIII
−III線断面図である。
【図4】 (a)は本発明の他の実施の形態である通電
その場観察用の電子顕微鏡用試料ホルダの平面説明図、
(b)は試料が載置された状態のIV−IV線断面図であ
る。
その場観察用の電子顕微鏡用試料ホルダの平面説明図、
(b)は試料が載置された状態のIV−IV線断面図であ
る。
【図5】 (a)は本発明のさらに他の実施の形態であ
る通電その場観察用の電子顕微鏡用試料ホルダの平面説
明図、(b)は試料が載置された状態のV−V線断面図
である。
る通電その場観察用の電子顕微鏡用試料ホルダの平面説
明図、(b)は試料が載置された状態のV−V線断面図
である。
【図6】 本発明の他の実施の形態である試料台を着脱
可能とすることにより1つの試料ホルダ本体で複数のそ
の場観察を可能とする電子顕微鏡用試料ホルダを示す斜
視説明図である。
可能とすることにより1つの試料ホルダ本体で複数のそ
の場観察を可能とする電子顕微鏡用試料ホルダを示す斜
視説明図である。
【図7】 本発明の他の実施の形態である試料台を着脱
可能とすることにより1つの試料ホルダ本体で複数のそ
の場観察を可能とする電子顕微鏡用試料ホルダを示す斜
視説明図である。
可能とすることにより1つの試料ホルダ本体で複数のそ
の場観察を可能とする電子顕微鏡用試料ホルダを示す斜
視説明図である。
【図8】 その場観察用試料ホルダを電子顕微鏡内に導
き、通電下でのその場観察を実施する方法を示す説明図
であり、(a)電子顕微鏡の断面および(b)試料ホル
ダの平面を示した図である。
き、通電下でのその場観察を実施する方法を示す説明図
であり、(a)電子顕微鏡の断面および(b)試料ホル
ダの平面を示した図である。
【図9】 その場観察用試料ホルダを電子顕微鏡内に導
き、通電および四端子法による抵抗測定下でのその場観
察を実施する方法を示す説明図であり、(a)電子顕微
鏡の断面および(b)試料ホルダの平面を示した図であ
る。
き、通電および四端子法による抵抗測定下でのその場観
察を実施する方法を示す説明図であり、(a)電子顕微
鏡の断面および(b)試料ホルダの平面を示した図であ
る。
1 試料、2 電極パッド、3 試料ホルダ本体、4
試料台、5 試料押さえ、6a、6b 通電用端子、7
a、7b 絶縁コート、8a、8b 通電用ワイヤ、9
a、9b 抵抗測定用端子、10a、10b 絶縁コー
ト、11a、11b 抵抗測定用ワイヤ、12a、12
b 試料台側接点、13a、13b試料台側通電ワイ
ヤ、14a、14b 試料ホルダ側接点、15 試料加
熱用発熱体、16 電子顕微鏡鏡体、17 電子銃、1
8 蛍光板、19 電子線、20 定電流電源、21
電圧測定器。
試料台、5 試料押さえ、6a、6b 通電用端子、7
a、7b 絶縁コート、8a、8b 通電用ワイヤ、9
a、9b 抵抗測定用端子、10a、10b 絶縁コー
ト、11a、11b 抵抗測定用ワイヤ、12a、12
b 試料台側接点、13a、13b試料台側通電ワイ
ヤ、14a、14b 試料ホルダ側接点、15 試料加
熱用発熱体、16 電子顕微鏡鏡体、17 電子銃、1
8 蛍光板、19 電子線、20 定電流電源、21
電圧測定器。
Claims (11)
- 【請求項1】 表面に電極が形成された試料を載置する
ための試料台と、該試料台を保持するための試料ホルダ
本体とからなり、前記試料台の上面には、前記試料の電
極と電気的接触を担うための端子および該端子を前記試
料台および試料ホルダ本体から絶縁するための絶縁コー
トが設けられ、前記試料の電極が前記試料台の端子に直
接電気的接触しうることを特徴とする電子顕微鏡用試料
ホルダ。 - 【請求項2】 前記端子が前記試料台の開口部内側に設
けられてなる請求項1記載の電子顕微鏡用試料ホルダ。 - 【請求項3】 前記端子が前記試料台の開口部の内側側
壁に埋め込まれるとともに先端部が開口部内部に突出し
て形成されてなる請求項2記載の電子顕微鏡用試料ホル
ダ。 - 【請求項4】 前記端子が前記試料台の内部に埋め込ま
れ、かつ前記端子の上端面が前記試料台の上面よりも高
くなるようにされてなる請求項1記載の電子顕微鏡用試
料ホルダ。 - 【請求項5】 前記絶縁コートの厚さが0.1〜0.2
mm程度である請求項1、2、3または4記載の電子顕
微鏡用試料ホルダ。 - 【請求項6】 前記試料台に前記試料を上方から押圧す
るための試料押さえが設けられ、該試料押さえによって
前記試料が押圧された状態で、前記試料の電極が前記試
料台の端子に直接電気的接触しうる請求項1、2、3ま
たは4記載の電子顕微鏡用試料ホルダ。 - 【請求項7】 前記試料ホルダ本体の側壁から前記試料
台の端子へ、絶縁被覆を施した通電用ワイヤが導かれて
なる請求項1、2、3または4記載の電子顕微鏡用試料
ホルダ。 - 【請求項8】 前記試料台の端子が、通電用端子として
2個設けられ、前記試料の電極が前記試料台の端子に直
接電気的接触した状態で、前記試料を通電下でその場観
察しうる請求項1記載の電子顕微鏡用試料ホルダ。 - 【請求項9】 前記試料台の端子が、通電用端子として
2個設けられるとともに抵抗測定用端子として2個設け
られ、前記試料の電極が前記試料台の端子に直接電気的
接触した状態で、前記試料の通電下でのその場観察、お
よび四端子法による抵抗測定下でのその場観察しうる請
求項1記載の電子顕微鏡用試料ホルダ。 - 【請求項10】 前記試料台が前記試料ホルダ本体に対
して着脱自在に保持されてなる請求項1記載の電子顕微
鏡用試料ホルダ。 - 【請求項11】 請求項1記載の電子顕微鏡用試料ホル
ダの製法であって、前記端子を、前記試料台および該試
料台を保持する試料ホルダ本体から絶縁されるように、
前記試料台の上面に絶縁コートを介して形成することに
より、電子線による帯電を抑制または除去することがで
きることを特徴とする電子顕微鏡用試料ホルダの製法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8345174A JPH10185781A (ja) | 1996-12-25 | 1996-12-25 | 電子顕微鏡用試料ホルダおよびその製法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8345174A JPH10185781A (ja) | 1996-12-25 | 1996-12-25 | 電子顕微鏡用試料ホルダおよびその製法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10185781A true JPH10185781A (ja) | 1998-07-14 |
Family
ID=18374798
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8345174A Pending JPH10185781A (ja) | 1996-12-25 | 1996-12-25 | 電子顕微鏡用試料ホルダおよびその製法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10185781A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006244796A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡の試料ホルダ |
JP2007303946A (ja) * | 2006-05-11 | 2007-11-22 | Hitachi Ltd | 試料分析装置および試料分析方法 |
JP2011508388A (ja) * | 2007-12-21 | 2011-03-10 | プロトチップス,インコーポレイテッド | 顕微鏡検査用試料取付け台 |
JP2013535795A (ja) * | 2010-08-02 | 2013-09-12 | プロトチップス,インコーポレイテッド | 2つの半導体デバイスでガスまたは液体セルを形成するための電子顕微鏡サンプルホルダ |
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US9997330B2 (en) | 2014-06-03 | 2018-06-12 | Protochips, Inc. | Method for optimizing fluid flow across a sample within an electron microscope sample holder |
CN115692145A (zh) * | 2022-12-30 | 2023-02-03 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种sem样品放置装置 |
-
1996
- 1996-12-25 JP JP8345174A patent/JPH10185781A/ja active Pending
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US9437393B2 (en) | 2012-11-16 | 2016-09-06 | Protochips, Inc. | Method for forming an electrical connection to an sample support in an electron microscope holder |
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JP2016501428A (ja) * | 2012-11-16 | 2016-01-18 | プロトチップス,インコーポレイテッド | 電子顕微鏡ホルダにおいて試料支持体への電気的接続を形成する方法 |
US10256563B2 (en) | 2012-11-16 | 2019-04-09 | Protochips, Inc. | Method for forming an electrical connection to a sample support in an electron microscope holder |
US9997330B2 (en) | 2014-06-03 | 2018-06-12 | Protochips, Inc. | Method for optimizing fluid flow across a sample within an electron microscope sample holder |
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