JPH08160074A - 四端子測定用プローブ - Google Patents
四端子測定用プローブInfo
- Publication number
- JPH08160074A JPH08160074A JP6323698A JP32369894A JPH08160074A JP H08160074 A JPH08160074 A JP H08160074A JP 6323698 A JP6323698 A JP 6323698A JP 32369894 A JP32369894 A JP 32369894A JP H08160074 A JPH08160074 A JP H08160074A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plunger
- insulating
- tip
- conductive
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 狭小な被接触部位への対応を可能にするとと
もに、強度的にも優れた特性を発揮させてインサーキッ
トテスタ等に装着することができる四端子測定用プロー
ブの提供。 【構成】 絶縁部２６を介することで各別に分離して配
置される第１導電部２４と第２導電部２７とを有し、か
つ、測定時に被接触部位と接触させる接触平坦面２２に
前記絶縁部２６を介在させた前記第１導電部２４と第２
導電部２７とを表出させてなるプランジャー２１と、こ
のプランジャー２１を保持するスリーブ３５と、このス
リーブ３５と前記プランジャー２１との間に介装させて
プランジャー２１を軸方向への進退を自在に付勢するス
プリング材３６とで構成され、前記プランジャー２１
は、その先端部２１ａを先鋭化することで接触平坦面２
２を狭小化するとともに、前記スリーブ３５とスプリン
グ材３６とに対し絶縁状態を保持させて配設した。
もに、強度的にも優れた特性を発揮させてインサーキッ
トテスタ等に装着することができる四端子測定用プロー
ブの提供。 【構成】 絶縁部２６を介することで各別に分離して配
置される第１導電部２４と第２導電部２７とを有し、か
つ、測定時に被接触部位と接触させる接触平坦面２２に
前記絶縁部２６を介在させた前記第１導電部２４と第２
導電部２７とを表出させてなるプランジャー２１と、こ
のプランジャー２１を保持するスリーブ３５と、このス
リーブ３５と前記プランジャー２１との間に介装させて
プランジャー２１を軸方向への進退を自在に付勢するス
プリング材３６とで構成され、前記プランジャー２１
は、その先端部２１ａを先鋭化することで接触平坦面２
２を狭小化するとともに、前記スリーブ３５とスプリン
グ材３６とに対し絶縁状態を保持させて配設した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は四端子測定用プローブに
係り、さらに詳しくは、インサーキットテスタ等の基板
検査機が備えるコンタクトプローブに対し狭小な被接触
部位への対応を可能にするとともに、強度的にも優れた
特性を発揮させて装着することができる四端子測定用プ
ローブに関する。
係り、さらに詳しくは、インサーキットテスタ等の基板
検査機が備えるコンタクトプローブに対し狭小な被接触
部位への対応を可能にするとともに、強度的にも優れた
特性を発揮させて装着することができる四端子測定用プ
ローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】四端子測定法は、抵抗体である被測定物
に電流を流すための定電流端子と、その際における電圧
降下状態を検出するための電圧検出端子とを別個にし
て、計４本のリード線を用いて行なわれるものであり、
この測定法によればリード線の抵抗を測定値に含めずに
測定することができるので、高精度の抵抗測定器である
ディジタルマルチメータやＬＣＲメータなどに多く採用
されている。
に電流を流すための定電流端子と、その際における電圧
降下状態を検出するための電圧検出端子とを別個にし
て、計４本のリード線を用いて行なわれるものであり、
この測定法によればリード線の抵抗を測定値に含めずに
測定することができるので、高精度の抵抗測定器である
ディジタルマルチメータやＬＣＲメータなどに多く採用
されている。
【０００３】図１０と図１１とは、上記四端子測定法に
対応するために従来から使用されてきているコンタクト
プローブの構造を示すものである。
対応するために従来から使用されてきているコンタクト
プローブの構造を示すものである。
【０００４】このうち、図１０に示すコンタクトプロー
ブは、いわゆる平行型タイプと称されるものであり、そ
の全体は、先端部に電圧測定ピン１ａを有するプランジ
ャー１ｂをバレル１ｃ内にその進退を自在に付勢して保
持させてなる電圧測定用プローブ１と、先端部に電流測
定ピン２ａを有するプランジャー２ｂをバレル２ｃ内に
その進退を自在に付勢して保持させてなる電流測定用プ
ローブ２と、これらのプローブ１，２相互に絶縁体３を
介在させて一体的に抱持するスリーブ４とで形成されて
いる。
ブは、いわゆる平行型タイプと称されるものであり、そ
の全体は、先端部に電圧測定ピン１ａを有するプランジ
ャー１ｂをバレル１ｃ内にその進退を自在に付勢して保
持させてなる電圧測定用プローブ１と、先端部に電流測
定ピン２ａを有するプランジャー２ｂをバレル２ｃ内に
その進退を自在に付勢して保持させてなる電流測定用プ
ローブ２と、これらのプローブ１，２相互に絶縁体３を
介在させて一体的に抱持するスリーブ４とで形成されて
いる。
【０００５】また、図１１に示すコンタクトプローブ
は、いわゆる同軸型タイプと称されるものであり、その
全体は、先端部に電圧測定ピン５ａを有するプランジャ
ー５ｂをバレル５ｃ内にその進退を自在に付勢して保持
させてなる電圧測定用プローブ５と、この電圧測定用プ
ローブ５を絶縁体６を介在させた軸の中心に位置させて
その周囲を囲繞するようにして配置される電流測定ピン
７ａを備えてなる電流測定用プローブ７と、この電流測
定用プローブ７との間に介装配置させたスプリング材８
により電流測定用プローブ７を軸方向への進退を自在に
して保持するスリーブ９とで形成されている。
は、いわゆる同軸型タイプと称されるものであり、その
全体は、先端部に電圧測定ピン５ａを有するプランジャ
ー５ｂをバレル５ｃ内にその進退を自在に付勢して保持
させてなる電圧測定用プローブ５と、この電圧測定用プ
ローブ５を絶縁体６を介在させた軸の中心に位置させて
その周囲を囲繞するようにして配置される電流測定ピン
７ａを備えてなる電流測定用プローブ７と、この電流測
定用プローブ７との間に介装配置させたスプリング材８
により電流測定用プローブ７を軸方向への進退を自在に
して保持するスリーブ９とで形成されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図１０と図
１１とに示すコンタクトプローブによっても四端子測定
法のもとで被測定物を測定することはできる。
１１とに示すコンタクトプローブによっても四端子測定
法のもとで被測定物を測定することはできる。
【０００７】しかし、図１０と図１１とに示すコンタク
トプローブは、いずれも構造的に複雑であるため、製品
コストが高くなる不都合があった。
トプローブは、いずれも構造的に複雑であるため、製品
コストが高くなる不都合があった。
【０００８】また、図１０と図１１とに示すコンタクト
プローブは、ともに電圧測定ピン１ａ又は５ａと電流測
定ピン２ａ又は７ａとの間のピン間距離が比較的長いも
のとなっていることから、被接触部の面積が比較的広い
場合には対応することができるものの、被接触部の面積
が狭小である場合には使用することができない不具合が
あった。
プローブは、ともに電圧測定ピン１ａ又は５ａと電流測
定ピン２ａ又は７ａとの間のピン間距離が比較的長いも
のとなっていることから、被接触部の面積が比較的広い
場合には対応することができるものの、被接触部の面積
が狭小である場合には使用することができない不具合が
あった。
【０００９】さらには、このような狭小な面積にも対応
させようとしてコンタクトプローブ自体を細径化した場
合には、ピン間距離を短くすることができるものの、ピ
ン自体も極細となって耐久性がなくなり、結果的に実用
性のないものになってしまう問題もあった。
させようとしてコンタクトプローブ自体を細径化した場
合には、ピン間距離を短くすることができるものの、ピ
ン自体も極細となって耐久性がなくなり、結果的に実用
性のないものになってしまう問題もあった。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は従来技術にみら
れた上記課題に鑑みなされたもので、その構成上の特徴
は、絶縁部を介することで各別に分離して配置される第
１導電部と第２導電部とを有し、かつ、測定時に被接触
部位と接触させる接触平坦面に前記絶縁部を介在させた
前記第１導電部と第２導電部とを表出させてなるプラン
ジャーと、このプランジャーを保持するスリーブと、こ
のスリーブと前記プランジャーとの間に介装させてプラ
ンジャーを軸方向への進退を自在に付勢するスプリング
材とで構成され、前記プランジャーは、その先端部を先
鋭化することで接触平坦面を狭小化するとともに、前記
スリーブとスプリング材とに対し絶縁状態を保持させて
配設したことにある。
れた上記課題に鑑みなされたもので、その構成上の特徴
は、絶縁部を介することで各別に分離して配置される第
１導電部と第２導電部とを有し、かつ、測定時に被接触
部位と接触させる接触平坦面に前記絶縁部を介在させた
前記第１導電部と第２導電部とを表出させてなるプラン
ジャーと、このプランジャーを保持するスリーブと、こ
のスリーブと前記プランジャーとの間に介装させてプラ
ンジャーを軸方向への進退を自在に付勢するスプリング
材とで構成され、前記プランジャーは、その先端部を先
鋭化することで接触平坦面を狭小化するとともに、前記
スリーブとスプリング材とに対し絶縁状態を保持させて
配設したことにある。
【００１１】この場合、前記プランジャーは、請求項２
記載の発明のように、先鋭先細部を先端部に有する絶縁
性母材からなる絶縁部と、この絶縁部の表側に相互を離
間させてその長さ方向に二分割して配設された第１導電
部と第２導電部とで一体的に形成することができる。こ
の際における前記絶縁部は、截頭円錐形状を呈する先鋭
先細部を先端部に有して前記接触平坦面を極微小径の円
形としたり、双方向から先端方向へと向かわせた斜面部
を設けて先鋭先細部として前記接触平坦面を極微細線状
とするのが望ましい。
記載の発明のように、先鋭先細部を先端部に有する絶縁
性母材からなる絶縁部と、この絶縁部の表側に相互を離
間させてその長さ方向に二分割して配設された第１導電
部と第２導電部とで一体的に形成することができる。こ
の際における前記絶縁部は、截頭円錐形状を呈する先鋭
先細部を先端部に有して前記接触平坦面を極微小径の円
形としたり、双方向から先端方向へと向かわせた斜面部
を設けて先鋭先細部として前記接触平坦面を極微細線状
とするのが望ましい。
【００１２】さらに、前記プランジャーは、請求項５記
載の発明のように、截頭円錐形状を呈する先鋭先細部を
先端部に有する絶縁性中空材からなる絶縁部と、この絶
縁部内に配設されて先鋭先細部の先端開口面からその接
触端を表出させた第１導電部と、前記絶縁部の表面に配
設された第２導電部とで一体的に形成し、前記接触平坦
面に極微小径のもとで同心円状となった第１導電部と絶
縁部と第２導電部とを面一にして表出させたものであっ
てもよい。
載の発明のように、截頭円錐形状を呈する先鋭先細部を
先端部に有する絶縁性中空材からなる絶縁部と、この絶
縁部内に配設されて先鋭先細部の先端開口面からその接
触端を表出させた第１導電部と、前記絶縁部の表面に配
設された第２導電部とで一体的に形成し、前記接触平坦
面に極微小径のもとで同心円状となった第１導電部と絶
縁部と第２導電部とを面一にして表出させたものであっ
てもよい。
【００１３】
【作用】このため、請求項１〜５記載の発明によれば、
前記プランジャーは、それ自体の径を比較的太いものと
することができるので、軸方向での押圧力にもよく耐え
る実用的強度を備えた耐久性に富むものとすることがで
きる。
前記プランジャーは、それ自体の径を比較的太いものと
することができるので、軸方向での押圧力にもよく耐え
る実用的強度を備えた耐久性に富むものとすることがで
きる。
【００１４】また、前記プランジャーは、その先端部を
先鋭化することで先端面に位置する接触平坦面を狭小化
し、被接触面積が狭小な被測定部位に対し確実、かつ、
容易に接触させることができるので、電気的信号の測定
作業を正確、かつ、円滑に遂行することができる。
先鋭化することで先端面に位置する接触平坦面を狭小化
し、被接触面積が狭小な被測定部位に対し確実、かつ、
容易に接触させることができるので、電気的信号の測定
作業を正確、かつ、円滑に遂行することができる。
【００１５】
【実施例】図１は本発明の一実施例を示す正面図であ
り、その全体は、先端部２１ａを先鋭化し、その先端面
に狭小化させた接触平坦面２２を設けてなるプランジャ
ー２１と、このプランジャー２１を保持するスリーブ３
５と、これらスリーブ３５とプランジャー２１との間に
介装させてプランジャー２１を軸方向への進退を自在に
付勢するスプリング材３３とで構成されている。この場
合におけるプランジャー２１は、先鋭先細部を先端部２
１ａに有する絶縁性母材からなる絶縁部２６と、この絶
縁部２６の表側に相互を離間させてその長さ方向に二分
割して配設された例えば電圧測定のために用いられる第
１導電部２４と例えば電流測定のために用いられる第２
導電部２７とで最大径が０．５ｍｍ程度となって一体的
に形成されている。
り、その全体は、先端部２１ａを先鋭化し、その先端面
に狭小化させた接触平坦面２２を設けてなるプランジャ
ー２１と、このプランジャー２１を保持するスリーブ３
５と、これらスリーブ３５とプランジャー２１との間に
介装させてプランジャー２１を軸方向への進退を自在に
付勢するスプリング材３３とで構成されている。この場
合におけるプランジャー２１は、先鋭先細部を先端部２
１ａに有する絶縁性母材からなる絶縁部２６と、この絶
縁部２６の表側に相互を離間させてその長さ方向に二分
割して配設された例えば電圧測定のために用いられる第
１導電部２４と例えば電流測定のために用いられる第２
導電部２７とで最大径が０．５ｍｍ程度となって一体的
に形成されている。
【００１６】この場合、第１導電部２４と第２導電部２
７とは、例えば導電性超硬金属材や導電性セラミックス
材や導電性ダイヤモンド材など、耐摩耗性に優れた導電
性材料を用いて形成するのが好ましい。また、第１導電
部２４と第２導電部２７との間に配置される絶縁部２６
は、極薄で耐摩耗性に優れた絶縁性スペーサを介在させ
たり、ＣＶＤ（化学的蒸着）法によるＳｉＯやＡｌ2 Ｏ
3 などの絶縁コーティングを施すなどして形成するのが
好ましい。
７とは、例えば導電性超硬金属材や導電性セラミックス
材や導電性ダイヤモンド材など、耐摩耗性に優れた導電
性材料を用いて形成するのが好ましい。また、第１導電
部２４と第２導電部２７との間に配置される絶縁部２６
は、極薄で耐摩耗性に優れた絶縁性スペーサを介在させ
たり、ＣＶＤ（化学的蒸着）法によるＳｉＯやＡｌ2 Ｏ
3 などの絶縁コーティングを施すなどして形成するのが
好ましい。
【００１７】このような配置関係にある第１導電部２４
と絶縁部２６と第２導電部２７との全体は、非導電性の
接着剤を用いて相互に接合させたり、図３に示すように
プランジャー２１の適宜部位に周設された溝部３０にカ
ラー材やリング材など、適宜の緊締材３１を捲着するな
どして一体化することでプランジャー２１が形成され
る。なお、プランジャー２１の基端部２３における例え
ば第１導電部２４の側には電圧測定用の結線部２８が、
第２導電部２９の側には電流測定用の結線部２９がそれ
ぞれ配設されている。
と絶縁部２６と第２導電部２７との全体は、非導電性の
接着剤を用いて相互に接合させたり、図３に示すように
プランジャー２１の適宜部位に周設された溝部３０にカ
ラー材やリング材など、適宜の緊締材３１を捲着するな
どして一体化することでプランジャー２１が形成され
る。なお、プランジャー２１の基端部２３における例え
ば第１導電部２４の側には電圧測定用の結線部２８が、
第２導電部２９の側には電流測定用の結線部２９がそれ
ぞれ配設されている。
【００１８】図２は、図１に示す実施例についての第１
の実施パターンを要部を拡大して示す斜視図であり、こ
の場合、直径が０．５ｍｍ程度である円柱状を呈するプ
ランジャー２１は、その先端部２１ａを截頭円錐状に先
鋭化することで、その先端面に位置する接触平坦面２２
に三層に配列された第１導電部２４と絶縁部２６と第２
導電部２７とを被測定部位への接触面として表出させた
極微小径な円形を呈して形成されている。
の実施パターンを要部を拡大して示す斜視図であり、こ
の場合、直径が０．５ｍｍ程度である円柱状を呈するプ
ランジャー２１は、その先端部２１ａを截頭円錐状に先
鋭化することで、その先端面に位置する接触平坦面２２
に三層に配列された第１導電部２４と絶縁部２６と第２
導電部２７とを被測定部位への接触面として表出させた
極微小径な円形を呈して形成されている。
【００１９】また、図４は、図１に示す実施例について
の第２の実施パターンを要部を拡大して示す斜視図であ
り、この場合、直径が０．５ｍｍ程度である円柱状を呈
するプランジャー２１は、その先端部２１ａに位置する
第１導電部２４と第２導電部２７とのそれぞれに絶縁部
２６が位置する先端に双方方向から向かわせた斜面部２
４ａ，２７ａを設けて先鋭化することで、その先端面に
位置する接触平坦面２２に三層に配列された第１導電部
２４と絶縁部２６と第２導電部２７とが被測定部位への
接触面として極微細線状に表出されて形成されている。
の第２の実施パターンを要部を拡大して示す斜視図であ
り、この場合、直径が０．５ｍｍ程度である円柱状を呈
するプランジャー２１は、その先端部２１ａに位置する
第１導電部２４と第２導電部２７とのそれぞれに絶縁部
２６が位置する先端に双方方向から向かわせた斜面部２
４ａ，２７ａを設けて先鋭化することで、その先端面に
位置する接触平坦面２２に三層に配列された第１導電部
２４と絶縁部２６と第２導電部２７とが被測定部位への
接触面として極微細線状に表出されて形成されている。
【００２０】さらに、図５は、図１に示す実施例につい
ての第３の実施パターンを要部を拡大して示す斜視図で
あり、この場合、接触平坦面２２は、最大径が０．５ｍ
ｍ程度である角柱形を呈する前記プランジャー２１の先
端部２１ａに位置する第１導電部２４と第２導電部２７
とのそれぞれに絶縁部２６が位置する先端に双方方向か
ら向かわせた斜面部２４ｂ，２７ｂを設けて先鋭化する
ことで、その先端面に位置する接触平坦面２２に図４に
おけると同様に三層に配列された第１導電部２４と絶縁
部２６と第２導電部２７とが被測定部位への接触面とし
て極微細線状に表出されて形成されている。
ての第３の実施パターンを要部を拡大して示す斜視図で
あり、この場合、接触平坦面２２は、最大径が０．５ｍ
ｍ程度である角柱形を呈する前記プランジャー２１の先
端部２１ａに位置する第１導電部２４と第２導電部２７
とのそれぞれに絶縁部２６が位置する先端に双方方向か
ら向かわせた斜面部２４ｂ，２７ｂを設けて先鋭化する
ことで、その先端面に位置する接触平坦面２２に図４に
おけると同様に三層に配列された第１導電部２４と絶縁
部２６と第２導電部２７とが被測定部位への接触面とし
て極微細線状に表出されて形成されている。
【００２１】さらにまた、図６は図１に示す実施例の第
４の実施パターンについての要部を拡大した斜視図を、
図７はその平面図を、図８は図７におけるＡ−Ａ線断面
図をそれぞれ示す。
４の実施パターンについての要部を拡大した斜視図を、
図７はその平面図を、図８は図７におけるＡ−Ａ線断面
図をそれぞれ示す。
【００２２】これらの図によれば、前記プランジャー２
１は、先鋭先細部２６ａを先端部２１ａの側に有するセ
ラミックス等の絶縁性母材からなる絶縁部２６と、この
絶縁部２６の表側にその長さ方向に沿わせて細帯状とな
った絶縁性のマスキング層３０を形成し、このマスキン
グ層３０により二分割された表面に各別にメッキや真空
蒸着、コーティングなど、適宜の表面処理技術を用いて
導電処理を施して導電層を形成し、その一方を第１導電
部２４とし、他方を第２導電部２７とすることで一体的
に形成されている。この場合、先端面に位置する接触平
坦面２２には、図７の（イ）に示すように中央に位置す
る絶縁部２６とマスキング層３０と、その左右に位置す
る第１導電部２４と絶縁部２７とが被測定部位への面一
な接触面として表出されている。
１は、先鋭先細部２６ａを先端部２１ａの側に有するセ
ラミックス等の絶縁性母材からなる絶縁部２６と、この
絶縁部２６の表側にその長さ方向に沿わせて細帯状とな
った絶縁性のマスキング層３０を形成し、このマスキン
グ層３０により二分割された表面に各別にメッキや真空
蒸着、コーティングなど、適宜の表面処理技術を用いて
導電処理を施して導電層を形成し、その一方を第１導電
部２４とし、他方を第２導電部２７とすることで一体的
に形成されている。この場合、先端面に位置する接触平
坦面２２には、図７の（イ）に示すように中央に位置す
る絶縁部２６とマスキング層３０と、その左右に位置す
る第１導電部２４と絶縁部２７とが被測定部位への面一
な接触面として表出されている。
【００２３】一方、図８は本発明の他の実施例について
その一部を切り欠いて示す正面図であり、図９はその平
面図である。
その一部を切り欠いて示す正面図であり、図９はその平
面図である。
【００２４】これらの図によれば、その全体は、先端部
１１ａを先鋭化し、その先端面に狭小化させた接触平坦
面１２を設けてなるプランジャー１１と、このプランジ
ャー１１を保持するスリーブ３５と、これらスリーブ３
５とプランジャー１１との間に介装させてプランジャー
１１を軸方向への進退を自在に付勢するスプリング材３
３とで構成されいる。
１１ａを先鋭化し、その先端面に狭小化させた接触平坦
面１２を設けてなるプランジャー１１と、このプランジ
ャー１１を保持するスリーブ３５と、これらスリーブ３
５とプランジャー１１との間に介装させてプランジャー
１１を軸方向への進退を自在に付勢するスプリング材３
３とで構成されいる。
【００２５】このうち、前記プランジャー１１は、截頭
円錐形状を呈する先鋭先細部を先端部に有するセラミッ
クスなどの絶縁性中空材からなる絶縁部１６と、この絶
縁部１６内に配設されて先鋭先細部の先端開口面からそ
の接触端を露出するように表出させた第１導電部１４
と、前記絶縁部１６の表面に例えばメッキや真空蒸着、
コーティングなど、適宜の表面処理技術を用いて導電処
理を施して形成された第２導電部１７とで一体的に形成
し、図９に示すように前記接触平坦面１２に極微小径の
もとで同心円状となった第１導電部１４と絶縁部１６と
第２導電部１５とがその先端面を平面研磨するなどして
被測定部位への面一な接触面として表出されている。
円錐形状を呈する先鋭先細部を先端部に有するセラミッ
クスなどの絶縁性中空材からなる絶縁部１６と、この絶
縁部１６内に配設されて先鋭先細部の先端開口面からそ
の接触端を露出するように表出させた第１導電部１４
と、前記絶縁部１６の表面に例えばメッキや真空蒸着、
コーティングなど、適宜の表面処理技術を用いて導電処
理を施して形成された第２導電部１７とで一体的に形成
し、図９に示すように前記接触平坦面１２に極微小径の
もとで同心円状となった第１導電部１４と絶縁部１６と
第２導電部１５とがその先端面を平面研磨するなどして
被測定部位への面一な接触面として表出されている。
【００２６】この場合、第１導電部１４は、図示例のよ
うに絶縁部１６内に密着するようにして配設された導電
性金属材母材により形成することができるほか、図示は
省略したが絶縁部１６の中空部内を貫挿させた導電性棒
状部材の先端部を先鋭先細部１５の先端開口面から露出
するように表出させるなどして形成することもできる。
また、プランジャー１１の基端部１３における例えば第
１導電部１４の側には電圧測定用の結線部１８が、第２
導電部１９の側には電流測定用の結線部１９がそれぞれ
配設される。
うに絶縁部１６内に密着するようにして配設された導電
性金属材母材により形成することができるほか、図示は
省略したが絶縁部１６の中空部内を貫挿させた導電性棒
状部材の先端部を先鋭先細部１５の先端開口面から露出
するように表出させるなどして形成することもできる。
また、プランジャー１１の基端部１３における例えば第
１導電部１４の側には電圧測定用の結線部１８が、第２
導電部１９の側には電流測定用の結線部１９がそれぞれ
配設される。
【００２７】なお、前記スリーブ３５は、プランジャー
２１又は１１を軸方向への進退を自在にして保持するも
のであり、プランジャー２１又は１１の側とは電気的経
路が相互に干渉し合うことのないように絶縁されてい
る。この場合におけるプランジャー２１又は１１とスリ
ーブ３５との間の絶縁状態は、スリーブ３５を例えば合
成樹脂等の絶縁性部材を用いて形成することで確保する
ことができるほか、導電性部材からなるスリーブ３５の
少なくとも内壁面を絶縁処理することで絶縁性を確保す
るものであってもよい。
２１又は１１を軸方向への進退を自在にして保持するも
のであり、プランジャー２１又は１１の側とは電気的経
路が相互に干渉し合うことのないように絶縁されてい
る。この場合におけるプランジャー２１又は１１とスリ
ーブ３５との間の絶縁状態は、スリーブ３５を例えば合
成樹脂等の絶縁性部材を用いて形成することで確保する
ことができるほか、導電性部材からなるスリーブ３５の
少なくとも内壁面を絶縁処理することで絶縁性を確保す
るものであってもよい。
【００２８】また、プランジャー２１又は１１を軸方向
への進退を自在に付勢するスプリング材３６は、プラン
ジャー２１又は１１の表面に接触することから、プラン
ジャー２１又は１１の側と電気的経路が相互に干渉し合
うことのないように例えば金属製の引張コイルスプリン
グにテフロン材を被覆するなど、適宜の絶縁処理が施さ
れたものが用いられている。
への進退を自在に付勢するスプリング材３６は、プラン
ジャー２１又は１１の表面に接触することから、プラン
ジャー２１又は１１の側と電気的経路が相互に干渉し合
うことのないように例えば金属製の引張コイルスプリン
グにテフロン材を被覆するなど、適宜の絶縁処理が施さ
れたものが用いられている。
【００２９】さらにまた、絶縁処理が施されていない導
電性部材からなるスリーブ３５とスプリング材３６とを
用いる場合には、プランジャー２１又は１１におけるス
リーブ３５とスプリング材３６との対面接触部位に位置
する表面に適宜の絶縁処理を施すことで絶縁層を形成
し、プランジャー２１又は１１の側と電気的経路が相互
に干渉し合うことのないように絶縁させることもでき
る。
電性部材からなるスリーブ３５とスプリング材３６とを
用いる場合には、プランジャー２１又は１１におけるス
リーブ３５とスプリング材３６との対面接触部位に位置
する表面に適宜の絶縁処理を施すことで絶縁層を形成
し、プランジャー２１又は１１の側と電気的経路が相互
に干渉し合うことのないように絶縁させることもでき
る。
【００３０】本発明はこのようにして構成されているの
で、プランジャー２１又は１１は、それ自体の径が０．
５ｍｍ程度である比較的太いものとすることができるの
で、軸方向での押圧力にもよく耐える実用的強度を備え
た耐久性に富むものとすることができるほか、フラック
ス等の不純物が接触平坦面２２又は１２に付着しても容
易に除去することができる。
で、プランジャー２１又は１１は、それ自体の径が０．
５ｍｍ程度である比較的太いものとすることができるの
で、軸方向での押圧力にもよく耐える実用的強度を備え
た耐久性に富むものとすることができるほか、フラック
ス等の不純物が接触平坦面２２又は１２に付着しても容
易に除去することができる。
【００３１】しかも、前記プランジャー２１又は１１の
先端部２１ａまたは１１ａに狭小化させて設けられる接
触平坦面２２又は１２には、絶縁部２６又は１６を介在
させた第１導電部２４又は１４と第２導電部２７又は１
７とを表出させることができるので、測定しようとする
被接触部位が微細であっても確実に接触させることがで
き、電気的信号の測定作業を正確、かつ、円滑に遂行す
ることができる。
先端部２１ａまたは１１ａに狭小化させて設けられる接
触平坦面２２又は１２には、絶縁部２６又は１６を介在
させた第１導電部２４又は１４と第２導電部２７又は１
７とを表出させることができるので、測定しようとする
被接触部位が微細であっても確実に接触させることがで
き、電気的信号の測定作業を正確、かつ、円滑に遂行す
ることができる。
【００３２】この場合、図２に示すようにプランジャー
２１の先端部２１ａを截頭円錐状に先鋭化することで、
その先端面に位置する接触平坦面２２が極微小径な円形
を呈するものである場合には、極微小な円弧状となって
表出する第１導電部２４と第２導電部２７とを微細な被
接触部位に確実に接触させてその対応を図ることができ
る。
２１の先端部２１ａを截頭円錐状に先鋭化することで、
その先端面に位置する接触平坦面２２が極微小径な円形
を呈するものである場合には、極微小な円弧状となって
表出する第１導電部２４と第２導電部２７とを微細な被
接触部位に確実に接触させてその対応を図ることができ
る。
【００３３】また、図４と図５とに示すようにプランジ
ャー２１の先端部２１ａに斜面部２４ａ，２７ａを設け
て先鋭化することで、その先端面に位置する接触平坦面
２２が線状となっている場合には、極微細線状となって
表出する第１導電部２４と第２導電部２７とをある程度
長さのある微細な被接触部位に確実に接触させてその対
応を図ることができる。
ャー２１の先端部２１ａに斜面部２４ａ，２７ａを設け
て先鋭化することで、その先端面に位置する接触平坦面
２２が線状となっている場合には、極微細線状となって
表出する第１導電部２４と第２導電部２７とをある程度
長さのある微細な被接触部位に確実に接触させてその対
応を図ることができる。
【００３４】さらにまた、図６に示すようにプランジャ
ー２１の先端部２１ａを截頭円錐状に先鋭化すること
で、その先端面に位置する接触平坦面２２が極微小径な
円形を呈するものである場合には、極微小なリングとな
って表出する第１導電部２４と第２導電部２７とを微細
な被接触部位に確実に接触させてその対応を図ることが
できる。
ー２１の先端部２１ａを截頭円錐状に先鋭化すること
で、その先端面に位置する接触平坦面２２が極微小径な
円形を呈するものである場合には、極微小なリングとな
って表出する第１導電部２４と第２導電部２７とを微細
な被接触部位に確実に接触させてその対応を図ることが
できる。
【００３５】一方、図８に示すようにプランジャー１１
がその先端面に極微小径な同心円状となった接触平坦面
１２を備えるものである場合には、極微小点状となって
表出する第１導電部１４と、極微小径の円環状となって
表出する第２導電部１７とを微細ポイントとなっている
被接触部位に確実に接触させてその対応を図ることがで
きる。
がその先端面に極微小径な同心円状となった接触平坦面
１２を備えるものである場合には、極微小点状となって
表出する第１導電部１４と、極微小径の円環状となって
表出する第２導電部１７とを微細ポイントとなっている
被接触部位に確実に接触させてその対応を図ることがで
きる。
【００３６】しかも、本発明に係るプローブは、構造が
簡単で部品点数も少なく、しかも、耐摩耗性に優れた部
材を用いているので、コストの低減と耐久性の向上とを
同時に実現することができる。
簡単で部品点数も少なく、しかも、耐摩耗性に優れた部
材を用いているので、コストの低減と耐久性の向上とを
同時に実現することができる。
【００３７】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、プラ
ンジャーの径を比較的太いものとすることができるの
で、軸方向での押圧力にもよく耐える実用的強度を備え
た耐久性に富むものとすることができるほか、フラック
ス等の不純物が接触平坦面に付着しても容易に除去する
ことができる。
ンジャーの径を比較的太いものとすることができるの
で、軸方向での押圧力にもよく耐える実用的強度を備え
た耐久性に富むものとすることができるほか、フラック
ス等の不純物が接触平坦面に付着しても容易に除去する
ことができる。
【００３８】しかも、前記プランジャーの先端部に狭小
化させて設けられる接触平坦面には、絶縁部を介在させ
た第１導電部と第２導電部とを表出させることができる
ので、測定しようとする被接触部位が微細であっても確
実に接触させることができ、電気的信号の測定作業を正
確、かつ、円滑に遂行することができる。
化させて設けられる接触平坦面には、絶縁部を介在させ
た第１導電部と第２導電部とを表出させることができる
ので、測定しようとする被接触部位が微細であっても確
実に接触させることができ、電気的信号の測定作業を正
確、かつ、円滑に遂行することができる。
【００３９】また、プランジャーの前記接触平坦面に被
測定部位への面一な接触面として表出されている第１導
電部と第２導電部とは、絶縁部を介して確実に分離され
ており、かつ、その際の接触平坦面における第１導電部
と絶縁部と第２導電部との間の配置パターンにも多様性
を付与することができるので、被測定部位との関係で最
適なものを適宜選択して使用することができる。
測定部位への面一な接触面として表出されている第１導
電部と第２導電部とは、絶縁部を介して確実に分離され
ており、かつ、その際の接触平坦面における第１導電部
と絶縁部と第２導電部との間の配置パターンにも多様性
を付与することができるので、被測定部位との関係で最
適なものを適宜選択して使用することができる。
【００４０】しかも、本発明に係るプローブは、構造が
簡単で部品点数も少なく、しかも、耐摩耗性に優れた部
材を用いているので、コストの低減と耐久性の向上とを
同時に実現することができる。
簡単で部品点数も少なく、しかも、耐摩耗性に優れた部
材を用いているので、コストの低減と耐久性の向上とを
同時に実現することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す正面図である。
【図２】図１の実施例についての第１の実施パターンに
つき要部を拡大して示す斜視図である。
つき要部を拡大して示す斜視図である。
【図３】図１の実施例についての断面構造の一例を示す
要部説明図である。
要部説明図である。
【図４】図１の実施例についての第２の実施パターンに
つき要部を拡大して示す斜視図である。
つき要部を拡大して示す斜視図である。
【図５】図１の実施例についての第３の実施パターンに
つき要部を拡大して示す斜視図である。
つき要部を拡大して示す斜視図である。
【図６】図１の実施例についての第４の実施パターンに
つき要部を拡大して示す斜視図である。
つき要部を拡大して示す斜視図である。
【図７】（イ）は図１の平面図であり、（ロ）は（イ）
におけるＡ−Ａ線の要部断面図である。
におけるＡ−Ａ線の要部断面図である。
【図８】本発明の他の実施例を示す正面図である。
【図９】図８の平面図である。
【図１０】いわゆる平行型タイプの四端子測定用プロー
ブの従来構造を示す説明図である。
ブの従来構造を示す説明図である。
【図１１】いわゆる同軸型タイプの四端子測定用プロー
ブの従来構造を示す説明図である。
ブの従来構造を示す説明図である。
１１，２１ プランジャー １１ａ，２１ａ 先端部 １２，２２ 接触平坦面 １３，２３ 基端部 １４，２４ 第１電導部 １４ａ，２４ａ 斜面部 １６，２６ 絶縁部 ２６ａ 先鋭先細部 １７，２７ 第２導電部 １７ａ，２７ａ 斜面部 １８，１９，２８，２９ 結線部 ３０ マスキング層 ３１ 溝部 ３２ 緊締材 ３５ スリーブ ３６ スプリング材
Claims (5)
- 【請求項１】 絶縁部を介することで各別に分離して配
置される第１導電部と第２導電部とを有し、かつ、測定
時に被接触部位と接触させる接触平坦面に前記絶縁部を
介在させた前記第１導電部と第２導電部とを表出させて
なるプランジャーと、このプランジャーを保持するスリ
ーブと、このスリーブと前記プランジャーとの間に介装
させてプランジャーを軸方向への進退を自在に付勢する
スプリング材とで構成され、前記プランジャーは、その
先端部を先鋭化することで接触平坦面を狭小化するとと
もに、前記スリーブとスプリング材とに対し絶縁状態を
保持させて配設したことを特徴とする四端子測定用プロ
ーブ。 - 【請求項２】 前記プランジャーは、先鋭先細部を先端
部に有する絶縁性母材からなる絶縁部と、この絶縁部の
表面に相互を離間させてその長さ方向に二分割して配設
された第１導電部と第２導電部とで一体的に形成したこ
とを特徴とする請求項１記載の四端子測定用プローブ。 - 【請求項３】 前記絶縁部は、截頭円錐形状を呈する先
鋭先細部を先端部に有して前記接触平坦面を極微小径の
円形としたことを特徴とする請求項２記載の四端子測定
用プローブ。 - 【請求項４】 前記絶縁部は、双方向から先端方向へと
向かわせた斜面部を設けて先鋭先細部として前記接触平
坦面を極微細線状としたことを特徴とする請求項２記載
の四端子測定用プローブ。 - 【請求項５】 前記プランジャーは、截頭円錐形状を呈
する先鋭先細部を先端部に有する絶縁性中空材からなる
絶縁部と、この絶縁部内に配設されて先鋭先細部の先端
開口面からその接触端を表出させた第１導電部と、前記
絶縁部の表面に配設された第２導電部とで一体的に形成
し、前記接触平坦面に極微小径のもとで同心円状となっ
た第１導電部と絶縁部と第２導電部とを面一にして表出
させたことを特徴とする請求項１記載の四端子測定用プ
ローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6323698A JPH08160074A (ja) | 1994-12-01 | 1994-12-01 | 四端子測定用プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6323698A JPH08160074A (ja) | 1994-12-01 | 1994-12-01 | 四端子測定用プローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08160074A true JPH08160074A (ja) | 1996-06-21 |
Family
ID=18157608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6323698A Pending JPH08160074A (ja) | 1994-12-01 | 1994-12-01 | 四端子測定用プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08160074A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006068156A1 (ja) * | 2004-12-22 | 2006-06-29 | Opto System Co., Ltd. | ケルビンプローブ |
| JP2006234653A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Ueno Seiki Kk | テストコンタクト |
| JP2010133932A (ja) * | 2008-11-07 | 2010-06-17 | Micronics Japan Co Ltd | 接触子及び電気的接続装置 |
| KR101707546B1 (ko) * | 2016-12-15 | 2017-02-27 | 주식회사 에스알테크 | 인터페이스 프로브 핀 |
-
1994
- 1994-12-01 JP JP6323698A patent/JPH08160074A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006068156A1 (ja) * | 2004-12-22 | 2006-06-29 | Opto System Co., Ltd. | ケルビンプローブ |
| JP2006234653A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Ueno Seiki Kk | テストコンタクト |
| JP2010133932A (ja) * | 2008-11-07 | 2010-06-17 | Micronics Japan Co Ltd | 接触子及び電気的接続装置 |
| KR101707546B1 (ko) * | 2016-12-15 | 2017-02-27 | 주식회사 에스알테크 | 인터페이스 프로브 핀 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI422829B (zh) | 檢查治具、電極構造及電極構造之製造方法 | |
| US4480223A (en) | Unitary probe assembly | |
| KR101002218B1 (ko) | 도전성 접촉자 홀더의 제조방법 및 도전성 접촉자 홀더 | |
| KR101127030B1 (ko) | 검사용 치구 및 검사용 접촉자 | |
| KR20140013985A (ko) | 검사용 지그 및 접촉자 | |
| WO2018190194A1 (ja) | 電気的接続装置 | |
| US20050162177A1 (en) | Multi-signal single beam probe | |
| US20110025358A1 (en) | Probe unit | |
| JPH01270602A (ja) | 走査型トンネル顕微鏡の微動機構 | |
| EP0995996A1 (en) | Conductive contact | |
| US10585117B2 (en) | Contact probe and inspection jig | |
| US20200124639A1 (en) | Electrical connection device | |
| US6566650B1 (en) | Incorporation of dielectric layer onto SThM tips for direct thermal analysis | |
| JPH08160074A (ja) | 四端子測定用プローブ | |
| JPH0749356A (ja) | ウェーハ検査装置 | |
| JP3165066B2 (ja) | 管状ばねを持つ弾性コネクタ | |
| JP3943372B2 (ja) | インピーダンス測定用の多端子構造 | |
| JP2017215221A (ja) | プローブ及びその製造方法 | |
| KR20020056950A (ko) | 검사 유닛 및 기판의 제조 방법 | |
| JPH10185781A (ja) | 電子顕微鏡用試料ホルダおよびその製法 | |
| JP2018189396A (ja) | プローブ及びその製造方法 | |
| TW200532209A (en) | Multi-signal single beam probe | |
| JP2606819Y2 (ja) | 四端子測定用プローブ構造 | |
| JP2688444B2 (ja) | 半導体ｌｓｉ検査装置 | |
| JPS63122141A (ja) | 半導体素子検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080913 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080913 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090913 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090913 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100913 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110913 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120913 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |