JP3504831B2 - 試料ホルダ - Google Patents
試料ホルダInfo
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- JP3504831B2 JP3504831B2 JP22247397A JP22247397A JP3504831B2 JP 3504831 B2 JP3504831 B2 JP 3504831B2 JP 22247397 A JP22247397 A JP 22247397A JP 22247397 A JP22247397 A JP 22247397A JP 3504831 B2 JP3504831 B2 JP 3504831B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、走査トンネル顕
微鏡等において使用される試料ホルダに関する。
微鏡等において使用される試料ホルダに関する。
【０００２】
【従来の技術】 走査トンネル顕微鏡は、探針と試料間
に流れるトンネル電流に基づいて原子レベルの試料像を
得るものである。
に流れるトンネル電流に基づいて原子レベルの試料像を
得るものである。
【発明が解決しようとする課題】 最近、このような走
査トンネル顕微鏡を用い、試料の高温状態における物性
を調べたいという要求が高まっている。試料を高温状態
にする手法として通電加熱があるが、試料の中には通電
加熱が適さないものがある。例えば、金属は抵抗が小さ
いので通電しても高温にならず、また、超伝導材料の酸
化系材料は不導体なので通電加熱されない。また、上述
した要求と共に、走査トンネル顕微鏡を用いて試料の低
温状態における物性を調べたいという要求も高まってい
る。本発明はこのような点に鑑みてなされたもので、そ
の目的は、すべての試料を低温状態から高温状態にでき
る試料ホルダを提供することにある。
査トンネル顕微鏡を用い、試料の高温状態における物性
を調べたいという要求が高まっている。試料を高温状態
にする手法として通電加熱があるが、試料の中には通電
加熱が適さないものがある。例えば、金属は抵抗が小さ
いので通電しても高温にならず、また、超伝導材料の酸
化系材料は不導体なので通電加熱されない。また、上述
した要求と共に、走査トンネル顕微鏡を用いて試料の低
温状態における物性を調べたいという要求も高まってい
る。本発明はこのような点に鑑みてなされたもので、そ
の目的は、すべての試料を低温状態から高温状態にでき
る試料ホルダを提供することにある。
【０００３】
【課題を解決するための手段】 上記目的を達成するた
めに、本発明の試料ホルダは、熱伝導性を有する第１の
通電端子と、熱伝導性を有する第２の通電端子と、一端
が前記第１の通電端子に接続され他端が前記第２の通電
端子に接続された加熱体と、前記第１の通電端子に固定
され、試料と第１の通電端子の電気的接続及び熱的接続
が保たれるように構成された第１の試料固定部材と、前
記第２の通電端子に固定され、試料と第２の通電端子の
電気的接続が断たれるように構成される一方でその間の
熱的接続が保たれるように構成された第２の試料固定部
材を備えたことを特徴とする。
めに、本発明の試料ホルダは、熱伝導性を有する第１の
通電端子と、熱伝導性を有する第２の通電端子と、一端
が前記第１の通電端子に接続され他端が前記第２の通電
端子に接続された加熱体と、前記第１の通電端子に固定
され、試料と第１の通電端子の電気的接続及び熱的接続
が保たれるように構成された第１の試料固定部材と、前
記第２の通電端子に固定され、試料と第２の通電端子の
電気的接続が断たれるように構成される一方でその間の
熱的接続が保たれるように構成された第２の試料固定部
材を備えたことを特徴とする。
【０００４】
【発明の実施の形態】 以下、図面を参照して本発明の
実施の形態を詳細に説明する。
実施の形態を詳細に説明する。
【０００５】図１は、本発明の試料ホルダの一例を示し
たものであり、この試料ホルダは走査トンネル顕微鏡に
おいて使用される。図１（ｂ）は図１（ａ）の試料ホル
ダをＡ側から見た図であり、図１（ｃ）は図１（ａ）の
試料ホルダをＢ側から見た図である。
たものであり、この試料ホルダは走査トンネル顕微鏡に
おいて使用される。図１（ｂ）は図１（ａ）の試料ホル
ダをＡ側から見た図であり、図１（ｃ）は図１（ａ）の
試料ホルダをＢ側から見た図である。
【０００６】図１の試料ホルダについて説明すると、１
は試料ホルダ本体で、試料ホルダ本体１の内側底部に
は、熱絶縁性及び電気絶縁性を有する熱電気絶縁体２が
固定されている。この熱電気絶縁体２には、第１の通電
端子３と第２の通電端子４が対向するように固定されて
おり、第１の通電端子３と第２の通電端子４は、熱伝導
性及び電気伝導性を有する材料、例えばタンタルで形成
されている。３Ｓ，４Ｓは、後述する冷熱伝導板が接触
する冷熱伝導板接触部である。
は試料ホルダ本体で、試料ホルダ本体１の内側底部に
は、熱絶縁性及び電気絶縁性を有する熱電気絶縁体２が
固定されている。この熱電気絶縁体２には、第１の通電
端子３と第２の通電端子４が対向するように固定されて
おり、第１の通電端子３と第２の通電端子４は、熱伝導
性及び電気伝導性を有する材料、例えばタンタルで形成
されている。３Ｓ，４Ｓは、後述する冷熱伝導板が接触
する冷熱伝導板接触部である。
【０００７】５は加熱体であるヒータで、ヒータ５の一
端は前記第１の通電端子３上に置かれ、その他端は前記
第２の通電端子４上に置かれている。ヒータ５の上に
は、熱伝導性及び電気絶縁性を有する材料、例えばセラ
ミックス材料で形成された熱伝導電気絶縁体６が置かれ
ており、その上に試料７が置かれている。この加熱体
５、熱伝導電気絶縁体６及び試料７は、前記第１の通電
端子３に固定された第１の試料固定部材８と、前記第２
の通電端子４に固定された第２の試料固定部材９により
通電端子３，４の方に押しつけられて支持されている。
この状態においては、試料７は通電端子３，４に接触し
ない。前記第１の試料固定部材８は、熱伝導性及び電気
伝導性を有する材料、例えばタンタルで形成されてお
り、一方、第２の試料固定部材９は、熱伝導性及び電気
絶縁性を有する材料、例えばセラミックス材料で形成さ
れている。なお、前記ヒータ５と熱伝導電気絶縁体６、
又は熱伝導電気絶縁体６と試料７、又はヒータ５と熱伝
導電気絶縁体６と試料７を一体的に構成しても良い。ま
た、前記熱電気絶縁体２には、第３の通電端子１０と第
４の通電端子１１が固定されている。これらの通電端子
１０，１１は、電気伝導性を有する材料で形成されてお
り、それらの厚さｄは前記第１，第２の通電端子の厚さ
Ｄより薄い。１２は、試料ホルダ本体１の外側底部に固
定された試料ホルダ導入部である。以上、図１の試料ホ
ルダの構成について説明したが、この試料ホルダは図２
の試料ステージに装着される。次に、図２の試料ステー
ジの構成について説明するが、図３は図２のＣ−Ｄ断面
図であり、図４は図２のＥ−Ｆ断面図である。
端は前記第１の通電端子３上に置かれ、その他端は前記
第２の通電端子４上に置かれている。ヒータ５の上に
は、熱伝導性及び電気絶縁性を有する材料、例えばセラ
ミックス材料で形成された熱伝導電気絶縁体６が置かれ
ており、その上に試料７が置かれている。この加熱体
５、熱伝導電気絶縁体６及び試料７は、前記第１の通電
端子３に固定された第１の試料固定部材８と、前記第２
の通電端子４に固定された第２の試料固定部材９により
通電端子３，４の方に押しつけられて支持されている。
この状態においては、試料７は通電端子３，４に接触し
ない。前記第１の試料固定部材８は、熱伝導性及び電気
伝導性を有する材料、例えばタンタルで形成されてお
り、一方、第２の試料固定部材９は、熱伝導性及び電気
絶縁性を有する材料、例えばセラミックス材料で形成さ
れている。なお、前記ヒータ５と熱伝導電気絶縁体６、
又は熱伝導電気絶縁体６と試料７、又はヒータ５と熱伝
導電気絶縁体６と試料７を一体的に構成しても良い。ま
た、前記熱電気絶縁体２には、第３の通電端子１０と第
４の通電端子１１が固定されている。これらの通電端子
１０，１１は、電気伝導性を有する材料で形成されてお
り、それらの厚さｄは前記第１，第２の通電端子の厚さ
Ｄより薄い。１２は、試料ホルダ本体１の外側底部に固
定された試料ホルダ導入部である。以上、図１の試料ホ
ルダの構成について説明したが、この試料ホルダは図２
の試料ステージに装着される。次に、図２の試料ステー
ジの構成について説明するが、図３は図２のＣ−Ｄ断面
図であり、図４は図２のＥ−Ｆ断面図である。
【０００８】図２において、１３は試料ステージ本体で
あり、試料ステージ本体１３のほぼ中央には孔１４が形
成されている。その孔１４の周りには溝１５が掘られて
おり、更に、溝１５から試料ホルダ本体１３の縁に向か
って溝１６が掘られている。これらの溝１５，１６には
熱絶縁体１７がはめ込められており、その熱絶縁体１７
上に、液体窒素等を入れる冷媒タンク１８に接続された
電気絶縁性を有する冷熱伝導板１９が置かれている。２
０，２１，２２，２３は、図４に示すように、試料ステ
ージ本体１３上の電気絶縁体２４にネジ止めされた試料
ホルダ固定バネであり、これらの試料ホルダ固定バネは
電気伝導性を有している。２５は通電加熱電源であり、
通電加熱電源２５の一端は前記試料ホルダ固定バネ２０
に、そして他端は前記試料ホルダ固定バネ２２に接続さ
れている。また、２６はバイアス電源であり、バイアス
電源２６の一端は前記試料ホルダ固定バネ２０に、そし
て他端は前記走査トンネル顕微鏡の探針２７に接続され
ている。
あり、試料ステージ本体１３のほぼ中央には孔１４が形
成されている。その孔１４の周りには溝１５が掘られて
おり、更に、溝１５から試料ホルダ本体１３の縁に向か
って溝１６が掘られている。これらの溝１５，１６には
熱絶縁体１７がはめ込められており、その熱絶縁体１７
上に、液体窒素等を入れる冷媒タンク１８に接続された
電気絶縁性を有する冷熱伝導板１９が置かれている。２
０，２１，２２，２３は、図４に示すように、試料ステ
ージ本体１３上の電気絶縁体２４にネジ止めされた試料
ホルダ固定バネであり、これらの試料ホルダ固定バネは
電気伝導性を有している。２５は通電加熱電源であり、
通電加熱電源２５の一端は前記試料ホルダ固定バネ２０
に、そして他端は前記試料ホルダ固定バネ２２に接続さ
れている。また、２６はバイアス電源であり、バイアス
電源２６の一端は前記試料ホルダ固定バネ２０に、そし
て他端は前記走査トンネル顕微鏡の探針２７に接続され
ている。
【０００９】以上、試料ステージの構成について説明し
たが、この試料ステージは、図５に示すように、走査ト
ンネル顕微鏡の試料室２８に立てて置かれる。２９は走
査トンネル顕微鏡本体で、この走査トンネル顕微鏡本体
２９は、前記試料ホルダ固定バネが取り付けられている
試料ステージ本体の面の反対側の面に対向して配置され
ている。
たが、この試料ステージは、図５に示すように、走査ト
ンネル顕微鏡の試料室２８に立てて置かれる。２９は走
査トンネル顕微鏡本体で、この走査トンネル顕微鏡本体
２９は、前記試料ホルダ固定バネが取り付けられている
試料ステージ本体の面の反対側の面に対向して配置され
ている。
【００１０】ここで、図１に示した試料ホルダの試料ス
テージへの装着の仕方を、図６を用いて説明する。ま
ず、図６（ａ）に示すような角度で、試料ホルダを試料
ステージの孔に挿入させる。試料ホルダを試料ステージ
の孔に挿入していくと、前記冷熱伝導板接触部３Ｓと４
Ｓが冷熱伝導板１９に当接する。冷熱伝導板接触部３Ｓ
と４Ｓが冷熱伝導板１９に当接したら、試料ホルダを反
時計回りに４５゜回転させる。図６（ｂ）は、試料ホル
ダを回転させた後の状態を示した図であり、通電端子
３，４，１０，１１は、試料ホルダ固定バネにより冷熱
伝導板１９の方に押しつけられ、試料ホルダは試料ステ
ージに固定される。なお、この際、前記冷熱伝導板接触
部３Ｓ，４Ｓは冷熱伝導板１９に接触するが、通電端子
１０，１１は、その厚さｄが接触部３Ｓ，４Ｓの厚さＤ
より薄いので冷熱伝導板１９に接触しない。次に、試料
ホルダに取り付けられた試料を加熱又は冷却する場合に
ついて説明する。まず、試料を加熱する場合には、前記
通電加熱電源２５が制御されて試料固定バネ２０と２２
間に電圧が印可される。試料固定バネ２０，２２は、第
１の通電端子３，第２の通電端子４にそれぞれ接触して
いるので、この電圧印可によって前記ヒータ５が通電加
熱される。このヒータ５で発生した熱の殆どは熱伝導電
気絶縁体６を介して試料７に伝わり、試料７は高温に加
熱される。なお、熱伝導電気絶縁体６及び第２の試料固
定部材９は電気絶縁性を有しているので、試料加熱の際
には、試料や熱伝導電気絶縁体６に電流は流れず、前記
ヒータ５を効率良く加熱することができる。
テージへの装着の仕方を、図６を用いて説明する。ま
ず、図６（ａ）に示すような角度で、試料ホルダを試料
ステージの孔に挿入させる。試料ホルダを試料ステージ
の孔に挿入していくと、前記冷熱伝導板接触部３Ｓと４
Ｓが冷熱伝導板１９に当接する。冷熱伝導板接触部３Ｓ
と４Ｓが冷熱伝導板１９に当接したら、試料ホルダを反
時計回りに４５゜回転させる。図６（ｂ）は、試料ホル
ダを回転させた後の状態を示した図であり、通電端子
３，４，１０，１１は、試料ホルダ固定バネにより冷熱
伝導板１９の方に押しつけられ、試料ホルダは試料ステ
ージに固定される。なお、この際、前記冷熱伝導板接触
部３Ｓ，４Ｓは冷熱伝導板１９に接触するが、通電端子
１０，１１は、その厚さｄが接触部３Ｓ，４Ｓの厚さＤ
より薄いので冷熱伝導板１９に接触しない。次に、試料
ホルダに取り付けられた試料を加熱又は冷却する場合に
ついて説明する。まず、試料を加熱する場合には、前記
通電加熱電源２５が制御されて試料固定バネ２０と２２
間に電圧が印可される。試料固定バネ２０，２２は、第
１の通電端子３，第２の通電端子４にそれぞれ接触して
いるので、この電圧印可によって前記ヒータ５が通電加
熱される。このヒータ５で発生した熱の殆どは熱伝導電
気絶縁体６を介して試料７に伝わり、試料７は高温に加
熱される。なお、熱伝導電気絶縁体６及び第２の試料固
定部材９は電気絶縁性を有しているので、試料加熱の際
には、試料や熱伝導電気絶縁体６に電流は流れず、前記
ヒータ５を効率良く加熱することができる。
【００１１】一方、試料を冷却する場合には、前記冷媒
タンク１８に液体窒素等の冷媒が入れられる。この冷媒
の冷熱は、冷媒タンク１８に接続された冷熱伝導板１
９、冷熱伝導板接触部３Ｓ，４Ｓ、通電端子３，４及び
試料固定部材８，９を介して試料７に伝わり、試料７は
低温に冷却される。
タンク１８に液体窒素等の冷媒が入れられる。この冷媒
の冷熱は、冷媒タンク１８に接続された冷熱伝導板１
９、冷熱伝導板接触部３Ｓ，４Ｓ、通電端子３，４及び
試料固定部材８，９を介して試料７に伝わり、試料７は
低温に冷却される。
【００１２】以上、本発明の試料ホルダの一例を説明し
たが、この試料ホルダを用いれば、金属や超伝導材料の
酸化系材料等も高温状態にすることができ、また、試料
を低温状態にすることができる。なお、試料観察中は、
前記バイアス電源２６が制御されて試料と探針間にバイ
アス電圧が印可される。次に、本発明の試料ホルダの他
の例を図面を用いて説明する。図７は、本発明の試料ホ
ルダの他の例を示したものであり、図７（ｂ）は図７
（ａ）の試料ホルダをＡ側から見た図である。図７にお
いて、図１と同一の構成には図１と同一の番号を付けて
おり、詳しい説明を省略する。図７において、３０はヒ
ータであり、ヒータ３０の一端は前記第３の通電端子１
０に固定され、その他端は前記第４の通電端子１１に固
定されている。このように構成された試料ホルダは、図
２に示した試料ステージに上述したように装着される。
そして、この試料ホルダが使われる場合には、前記試料
固定バネ２１，２３間に通電加熱電源が接続され、試料
固定バネ２０，２３間に電界発生用電源が接続される。
なお、試料７は、前記通電端子３，４と試料固定部材
８，９で挟持されている。
たが、この試料ホルダを用いれば、金属や超伝導材料の
酸化系材料等も高温状態にすることができ、また、試料
を低温状態にすることができる。なお、試料観察中は、
前記バイアス電源２６が制御されて試料と探針間にバイ
アス電圧が印可される。次に、本発明の試料ホルダの他
の例を図面を用いて説明する。図７は、本発明の試料ホ
ルダの他の例を示したものであり、図７（ｂ）は図７
（ａ）の試料ホルダをＡ側から見た図である。図７にお
いて、図１と同一の構成には図１と同一の番号を付けて
おり、詳しい説明を省略する。図７において、３０はヒ
ータであり、ヒータ３０の一端は前記第３の通電端子１
０に固定され、その他端は前記第４の通電端子１１に固
定されている。このように構成された試料ホルダは、図
２に示した試料ステージに上述したように装着される。
そして、この試料ホルダが使われる場合には、前記試料
固定バネ２１，２３間に通電加熱電源が接続され、試料
固定バネ２０，２３間に電界発生用電源が接続される。
なお、試料７は、前記通電端子３，４と試料固定部材
８，９で挟持されている。
【００１３】このような試料ホルダに取り付けられた試
料を加熱する場合には、前記通電加熱電源が制御されて
試料固定バネ２３と２１間に電圧が印可される。試料固
定バネ２３，２１は、第３の通電端子１０，第４の通電
端子１１にそれぞれ接触しているので、この電圧印可に
よって前記ヒータ３０が通電加熱される。このヒータ３
０の加熱により、ヒータ３０から熱電子が発生する。ま
た、前記電界発生用電源が制御されて、ヒータ３０から
発生した熱電子を試料に導く電界が試料とヒータ間に形
成されているので、ヒータ３０から発生した熱電子の殆
どは試料７に当たる。この熱電子が当たった試料は高温
に加熱される。なお、試料が酸化物超伝導体等の絶縁物
の場合には、試料固定バネ２０と２３間に電圧を印加し
ても、試料とヒータ間に熱電子を試料に導く電界が形成
されない。このような場合には、図８に示すように、試
料の下面に接触させて金属プレート３１を置き、この金
属プレートとヒータ間に熱電子を金属プレートに導く電
界を形成させ、熱電子の衝突により加熱された金属プレ
ートの熱により試料を加熱するようにすれば良い。図８
中、３２は第５の通電端子であり、３３は第６の通電端
子である。
料を加熱する場合には、前記通電加熱電源が制御されて
試料固定バネ２３と２１間に電圧が印可される。試料固
定バネ２３，２１は、第３の通電端子１０，第４の通電
端子１１にそれぞれ接触しているので、この電圧印可に
よって前記ヒータ３０が通電加熱される。このヒータ３
０の加熱により、ヒータ３０から熱電子が発生する。ま
た、前記電界発生用電源が制御されて、ヒータ３０から
発生した熱電子を試料に導く電界が試料とヒータ間に形
成されているので、ヒータ３０から発生した熱電子の殆
どは試料７に当たる。この熱電子が当たった試料は高温
に加熱される。なお、試料が酸化物超伝導体等の絶縁物
の場合には、試料固定バネ２０と２３間に電圧を印加し
ても、試料とヒータ間に熱電子を試料に導く電界が形成
されない。このような場合には、図８に示すように、試
料の下面に接触させて金属プレート３１を置き、この金
属プレートとヒータ間に熱電子を金属プレートに導く電
界を形成させ、熱電子の衝突により加熱された金属プレ
ートの熱により試料を加熱するようにすれば良い。図８
中、３２は第５の通電端子であり、３３は第６の通電端
子である。
【００１４】一方、試料を冷却する場合には、前記冷媒
タンク１８に液体窒素等の冷媒が入れられる。この冷媒
の冷熱は、冷媒タンク１８に接続された冷熱伝導板１
９、冷熱伝導板接触部３Ｓ，４Ｓ、通電端子３，４及び
試料固定部材８，９を介して試料７に伝わり、試料７は
低温に冷却される。
タンク１８に液体窒素等の冷媒が入れられる。この冷媒
の冷熱は、冷媒タンク１８に接続された冷熱伝導板１
９、冷熱伝導板接触部３Ｓ，４Ｓ、通電端子３，４及び
試料固定部材８，９を介して試料７に伝わり、試料７は
低温に冷却される。
【００１５】
【発明の効果】 本発明の試料ホルダによれば、金属や
超伝導材料の酸化系材料等も高温状態にすることがで
き、また、試料を低温状態にもすることができる。
超伝導材料の酸化系材料等も高温状態にすることがで
き、また、試料を低温状態にもすることができる。
【図１】本発明の試料ホルダの一例を示した図であり、
走査トンネル顕微鏡に使用される試料ホルダである。
走査トンネル顕微鏡に使用される試料ホルダである。
【図２】図１の試料ホルダを装着する試料ステージを示
した図である。
した図である。
【図３】図２のＣ−Ｄ断面図である。
【図４】図２のＥ−Ｆ断面図である。
【図５】走査トンネル顕微鏡の全体構成を示した図であ
る。
る。
【図６】試料ホルダの試料ステージへの装着の仕方を説
明するために示した図である。
明するために示した図である。
【図７】本発明の試料ホルダの他の例を示した図であ
る。
る。
【図８】本発明の試料ホルダの他の例を示した図であ
る。
る。
１…試料ホルダ本体、２…熱電気絶縁体、３…第１の通
電端子、４…第２の通電端子、３Ｓ，４Ｓ…冷熱伝導板
接触部、５…ヒータ、６…熱伝導電気絶縁体、７…試
料、８…第１の試料固定部材、９…第２の試料固定部
材、１０…第３の通電端子、１１…第４の通電端子、１
２…試料ホルダ導入部、１３…試料ホルダ本体、１４…
孔、１５，１６…溝、１７…熱絶縁体、１８…冷媒タン
ク、１９…冷熱伝導板、２０，２１，２２，２３…試料
ホルダ固定バネ、２４…電気絶縁体、２５…通電加熱電
源、２６…バイアス電源、２７…探針、２８…試料室、
２９…走査トンネル顕微鏡本体、３０…ヒータ、３１…
金属プレート、３２…第５の通電端子、３３…第６の通
電端子
電端子、４…第２の通電端子、３Ｓ，４Ｓ…冷熱伝導板
接触部、５…ヒータ、６…熱伝導電気絶縁体、７…試
料、８…第１の試料固定部材、９…第２の試料固定部
材、１０…第３の通電端子、１１…第４の通電端子、１
２…試料ホルダ導入部、１３…試料ホルダ本体、１４…
孔、１５，１６…溝、１７…熱絶縁体、１８…冷媒タン
ク、１９…冷熱伝導板、２０，２１，２２，２３…試料
ホルダ固定バネ、２４…電気絶縁体、２５…通電加熱電
源、２６…バイアス電源、２７…探針、２８…試料室、
２９…走査トンネル顕微鏡本体、３０…ヒータ、３１…
金属プレート、３２…第５の通電端子、３３…第６の通
電端子
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01N 1/00 - 1/44
G01N 13/10 - 13/24
G12B 21/00 - 21/24
H01J 37/20
ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (5)
- 【請求項１】 熱伝導性を有する第１の通電端子と、熱
伝導性を有する第２の通電端子と、一端が前記第１の通
電端子に接続され他端が前記第２の通電端子に接続され
た加熱体と、前記第１の通電端子に固定され、試料と第
１の通電端子の電気的接続及び熱的接続が保たれるよう
に構成された第１の試料固定部材と、前記第２の通電端
子に固定され、試料と第２の通電端子の電気的接続が断
たれるように構成される一方でその間の熱的接続が保た
れるように構成された第２の試料固定部材を備えたこと
を特徴とする試料ホルダ。 - 【請求項２】 試料と加熱体の間に、熱伝導性及び電気
絶縁性を有する熱伝導電気絶縁体が介在することを特徴
とする請求項１記載の試料ホルダ。 - 【請求項３】 加熱体と熱伝導電気絶縁体、又は熱伝導
電気絶縁体と試料、又は加熱体と熱伝導電気絶縁体と試
料が一体的に構成されていることを特徴とする請求項２
記載の試料ホルダ。 - 【請求項４】 第１の通電端子と第２の通電端子は、熱
絶縁性及び電気絶縁性を有する熱電気絶縁体を介して試
料ホルダ本体に固定されていることを特徴とする請求項
１から３の何れかに記載の試料ホルダ。 - 【請求項５】 熱伝導性を有する試料保持部材と、第３
の通電端子と、第４の通電端子と、一端が前記第３の通
電端子に接続され他端が前記第４の通電端子に接続され
た加熱体と、該加熱体から発生した熱電子を試料に導く
ための電界を、試料と加熱体間に発生させる電界発生手
段を備えた試料ホルダにおいて、試料保持部材、第１の
通電端子及び第２の通電端子は、熱絶縁性及び電気絶縁
性を有する熱電気絶縁体を介して試料ホルダ本体に固定
されていることを特徴とする試料ホルダ。
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|---|---|---|---|
| JP22247397A JP3504831B2 (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | 試料ホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22247397A JP3504831B2 (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | 試料ホルダ |
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ID=16782974
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP22247397A Expired - Fee Related JP3504831B2 (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | 試料ホルダ |
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-
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| JPH1164348A (ja) | 1999-03-05 |
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