JPH06139986A - 電子顕微鏡用試料２軸傾斜ホールダ - Google Patents
電子顕微鏡用試料２軸傾斜ホールダInfo
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- JPH06139986A JPH06139986A JP28568292A JP28568292A JPH06139986A JP H06139986 A JPH06139986 A JP H06139986A JP 28568292 A JP28568292 A JP 28568292A JP 28568292 A JP28568292 A JP 28568292A JP H06139986 A JPH06139986 A JP H06139986A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】１軸傾斜と同時の高分解能を２軸傾斜において
も得るようにし、Ｘ軸，Ｙ軸共±３０°以上の傾斜を可
能にし、角度を制御した直後も安定した観察が行えるこ
とを目的とする。 【構成】傾斜台１７に設けられたプーリー２１にベルト
状金属薄板２２を張架し、傾斜台１７はチタンかステン
レスでベルト状金属薄板２２はタンタルで構成する。ベ
ルト状金属薄板２２の巾はプーリー２１と係合しない部
分が係合する部分より広くしているので熱ドリフトの影
響を受けにくく、振動に強い構造となっている。 【効果】狭いポールピースギャップにおいても２軸傾斜
が可能となり、熱ドリフトおよび振動に強い構造なので
１軸傾斜と同様の性能が得られる。
も得るようにし、Ｘ軸，Ｙ軸共±３０°以上の傾斜を可
能にし、角度を制御した直後も安定した観察が行えるこ
とを目的とする。 【構成】傾斜台１７に設けられたプーリー２１にベルト
状金属薄板２２を張架し、傾斜台１７はチタンかステン
レスでベルト状金属薄板２２はタンタルで構成する。ベ
ルト状金属薄板２２の巾はプーリー２１と係合しない部
分が係合する部分より広くしているので熱ドリフトの影
響を受けにくく、振動に強い構造となっている。 【効果】狭いポールピースギャップにおいても２軸傾斜
が可能となり、熱ドリフトおよび振動に強い構造なので
１軸傾斜と同様の性能が得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子顕微鏡の試料２軸傾
斜ホールダに係わり、特に傾斜台に加熱炉を内蔵した試
料加熱２軸傾斜ホールダに関する。
斜ホールダに係わり、特に傾斜台に加熱炉を内蔵した試
料加熱２軸傾斜ホールダに関する。
【０００２】
【従来の技術】電子顕微鏡を用いて試料を観察する場
合、試料をＸ軸，Ｙ軸の２方向に傾斜させることは一般
的に行われている。例えば特公昭58−12701 号公告等に
あるように試料傾斜台に設けられたプーリーと、該プー
リーに弾性的に張架されたひも（ステンレススチール細
線）で構成されている方式のものは、±４５°以上の大
角度傾斜が可能となっている。また、特願平2−247559
号等にあるように傾斜軸中心と偏芯させて固定したピン
を、試料傾斜台に係合させて傾斜させる方式のものは、
熱ドリフトおよび振動に対して強い構造となっている。
又、特願平3−277450号等にあるように傾斜軸中心と偏
芯させて固定したピンを、ヒータを内蔵した試料傾斜台
に係合させて、加熱プラス傾斜の複合機能をもたせる方
式のものは、試料位置と傾斜角を高精度に制御できるよ
うになっている。
合、試料をＸ軸，Ｙ軸の２方向に傾斜させることは一般
的に行われている。例えば特公昭58−12701 号公告等に
あるように試料傾斜台に設けられたプーリーと、該プー
リーに弾性的に張架されたひも（ステンレススチール細
線）で構成されている方式のものは、±４５°以上の大
角度傾斜が可能となっている。また、特願平2−247559
号等にあるように傾斜軸中心と偏芯させて固定したピン
を、試料傾斜台に係合させて傾斜させる方式のものは、
熱ドリフトおよび振動に対して強い構造となっている。
又、特願平3−277450号等にあるように傾斜軸中心と偏
芯させて固定したピンを、ヒータを内蔵した試料傾斜台
に係合させて、加熱プラス傾斜の複合機能をもたせる方
式のものは、試料位置と傾斜角を高精度に制御できるよ
うになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来、２軸傾斜は１軸
傾斜に比べ熱ドリフトおよび振動に弱い構造となってい
たため、性能的にも劣っていた。しかし、最近では２軸
傾斜においても１軸傾斜と同様の性能が求められるよう
になってきた。又、対物レンズのポールピースギャップ
は収差係数を小さくして、分解能を向上させるために従
来の１０mm程度から最近は５mm以下と狭くなってきてい
る。又、熱ドリフトの発生を押さえるためと、コンタミ
を少なくしクリーンな状態での観察をするために、電子
線が照射されることにより試料が発熱する温度約２００
℃にあらかじめ試料を加熱しておくことも要求されてい
る。このような制約条件の中で２軸傾斜は１軸傾斜と同
様の性能（分解能）が求められている。しかしながら上
記従来技術は以下のような問題があるため、このような
要求を満たしていない。すなわち、第１の例ではプーリ
ーに張架されたひもの外径の寸法をひも自身の線径と曲
率半径の制約から直径３.５mm よりも小さくすることが
できず、狭いポールピースギャップの中ではＸ軸の傾斜
が行えないこと、ひもが温度変化により伸び縮みし望ま
ないのに傾斜すること、熱ドリフト、耐振性の点で分解
能は０.２４ｎｍ が限界であること、および傾斜台に加
熱炉を内蔵させた場合傾斜時にスリップが生じることで
ある。第２の例では分解能としては、１軸傾斜と同程度
の０.１ｎｍ が得られるが、構造上Ｙ軸の傾斜角は±１
５°が限界である。第３の例では角度を制御するための
ロッドと抑えバネをヒーター用電力供給線の役割と兼用
させ、バネ圧のみで接触させているので角度を制御する
都度接触部の抵抗が変わり、加熱温度が安定しない。す
なわち角度を制御すると熱ドリフトが発生し安定した観
察が行えない。
傾斜に比べ熱ドリフトおよび振動に弱い構造となってい
たため、性能的にも劣っていた。しかし、最近では２軸
傾斜においても１軸傾斜と同様の性能が求められるよう
になってきた。又、対物レンズのポールピースギャップ
は収差係数を小さくして、分解能を向上させるために従
来の１０mm程度から最近は５mm以下と狭くなってきてい
る。又、熱ドリフトの発生を押さえるためと、コンタミ
を少なくしクリーンな状態での観察をするために、電子
線が照射されることにより試料が発熱する温度約２００
℃にあらかじめ試料を加熱しておくことも要求されてい
る。このような制約条件の中で２軸傾斜は１軸傾斜と同
様の性能（分解能）が求められている。しかしながら上
記従来技術は以下のような問題があるため、このような
要求を満たしていない。すなわち、第１の例ではプーリ
ーに張架されたひもの外径の寸法をひも自身の線径と曲
率半径の制約から直径３.５mm よりも小さくすることが
できず、狭いポールピースギャップの中ではＸ軸の傾斜
が行えないこと、ひもが温度変化により伸び縮みし望ま
ないのに傾斜すること、熱ドリフト、耐振性の点で分解
能は０.２４ｎｍ が限界であること、および傾斜台に加
熱炉を内蔵させた場合傾斜時にスリップが生じることで
ある。第２の例では分解能としては、１軸傾斜と同程度
の０.１ｎｍ が得られるが、構造上Ｙ軸の傾斜角は±１
５°が限界である。第３の例では角度を制御するための
ロッドと抑えバネをヒーター用電力供給線の役割と兼用
させ、バネ圧のみで接触させているので角度を制御する
都度接触部の抵抗が変わり、加熱温度が安定しない。す
なわち角度を制御すると熱ドリフトが発生し安定した観
察が行えない。
【０００４】本発明は以下の点に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところはポールピースギャップ５mm
以下と狭い空間の中でも２軸傾斜で１軸傾斜と同様の分
解能０.１ｎｍ を得ると共に、Ｘ軸，Ｙ軸共±３０°以
上の傾斜を可能にすることであり、さらに加熱プラス傾
斜の複合機能をもたせ、角度を制御した直後も安定した
観察を行うことである。
で、その目的とするところはポールピースギャップ５mm
以下と狭い空間の中でも２軸傾斜で１軸傾斜と同様の分
解能０.１ｎｍ を得ると共に、Ｘ軸，Ｙ軸共±３０°以
上の傾斜を可能にすることであり、さらに加熱プラス傾
斜の複合機能をもたせ、角度を制御した直後も安定した
観察を行うことである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の特徴は、薄型平板状ヒーターを内蔵した試料
傾斜台にプーリーを設け、該プーリーに弾性的にベルト
状金属薄板を張架させるように構成した。傾斜台はチタ
ンかステンレスで、ベルト状金属薄板はタンタルで形成
し、ベルト状金属薄板の巾は、プーリーと係合しない部
分が係合する部分より広くなるようにし、さらにプーリ
ーにベルト状金属薄板が係合している一部分をスポット
溶接等で固定した。又、角度を制御する機構とヒーター
のリード線は各々独立させリード線の形状は螺旋状に
し、傾斜時のリード線のたわみによる機械的抵抗を軽減
させた。
の本発明の特徴は、薄型平板状ヒーターを内蔵した試料
傾斜台にプーリーを設け、該プーリーに弾性的にベルト
状金属薄板を張架させるように構成した。傾斜台はチタ
ンかステンレスで、ベルト状金属薄板はタンタルで形成
し、ベルト状金属薄板の巾は、プーリーと係合しない部
分が係合する部分より広くなるようにし、さらにプーリ
ーにベルト状金属薄板が係合している一部分をスポット
溶接等で固定した。又、角度を制御する機構とヒーター
のリード線は各々独立させリード線の形状は螺旋状に
し、傾斜時のリード線のたわみによる機械的抵抗を軽減
させた。
【０００６】
【作用】上記構成によれば、金属薄板の厚みを０.１mm
程度とすることができるのでプーリーに張架された金属
薄板の外径は直径２.２mm まで小さくすることができ、
Ｘ軸，Ｙ軸共±３０°以上の傾斜角が得られる。又、プ
ーリーに係合している部分の金属薄板の中は０.５mm 、
係合していない部分は２mm程度、もしくはそれ以上の巾
とできるので熱ドリフトの影響を受けにくく、振動に強
い構造とすることができる。さらに、プーリーと係合し
ている一端を固定しているので傾斜時のスリップを防止
することができる。又、傾斜台には薄型平板状ヒーター
が内蔵されているのであらかじめ試料の温度を約２００
℃に加熱することができ、電子線を照射しても試料の温
度は変わらず、従って熱ドリフトの発生が押さえられ、
コンタミの少ないクリーンな状態での観察が可能となり
角度を制御した直後もヒーター抵抗は変わらないので、
加熱温度は安定している。
程度とすることができるのでプーリーに張架された金属
薄板の外径は直径２.２mm まで小さくすることができ、
Ｘ軸，Ｙ軸共±３０°以上の傾斜角が得られる。又、プ
ーリーに係合している部分の金属薄板の中は０.５mm 、
係合していない部分は２mm程度、もしくはそれ以上の巾
とできるので熱ドリフトの影響を受けにくく、振動に強
い構造とすることができる。さらに、プーリーと係合し
ている一端を固定しているので傾斜時のスリップを防止
することができる。又、傾斜台には薄型平板状ヒーター
が内蔵されているのであらかじめ試料の温度を約２００
℃に加熱することができ、電子線を照射しても試料の温
度は変わらず、従って熱ドリフトの発生が押さえられ、
コンタミの少ないクリーンな状態での観察が可能となり
角度を制御した直後もヒーター抵抗は変わらないので、
加熱温度は安定している。
【０００７】
【実施例】本発明の一実施例を図面により説明する。図
１において、真空室１内に配置された対物レンズの上部
ポールピース２および下部ポールピース３の間にはギャ
ップが形成されている。このギャップは普通５mm以下で
ある。中空状の回転体４は電子光軸５と直交する第１の
中心軸（以下これをＸ軸と呼ぶ）に沿って配置されるよ
うに真空室１の外部からその内部に真空シール６を介し
て真空室１の壁７を貫通して延びている。回転体４は第
１の回転部材４Ａと第２の回転部材４Ｂからなり、それ
らはねじ止めにより結合されている。回転軸８は真空室
１の外部から第２の回転部材４Ｂの中空孔内に真空シー
ル９を介して第１の回転部材４Ａの中空孔を貫通して延
びている。回転軸８の外端にはつまみ１０が設けられ、
その反対側にはストッパ１１が設けられ、これらにより
回転軸８の回転は許されるが、その軸方向の移動は阻止
されるようになっている。回転軸８の内端にはねじが切
られ、該ねじは移動子１２と螺合している。移動子１２
は第２の回転部材４Ｂの中空孔内で第１の中心軸に沿っ
て移動し得るが、その回転は阻止されるようになってい
る。これをなしとげるために、移動子１２にはピン１３
が設けられ、該ピンは第２の回転部材４Ｂにその軸方向
に沿って設けられた案内溝１４と係合している。試料１
５は試料押え部材１６を用いて傾斜台１７に保持されて
いる。傾斜台１７は、試料１５が電子光軸５とＸ軸との
交点を通り且つ該Ｘ軸と直交する第２の中心軸（以下こ
れをＹ軸と呼ぶ）の周りで回転可能なるように２個のピ
ボット１８を介して第２の回転部材４Ｂの先端付近に支
持されている。又、試料１５が常時電子光軸５とＸ軸と
の交点（以下これを傾斜中心と呼ぶことがある）に正確
に位置づけられるように、第２の回転部材４Ｂの先端は
ピボット１９を介して試料位置づけ部材２０と接触して
いる。傾斜台１７にはプーリー２１が設けられ、該プー
リーにはベルト状金属薄板２２が張架されて、その係合
部２２′はスポット溶接されている。ベルト状金属薄板
２２の一端は移動子１２に固定され、その他端は第２の
回転部材４Ｂの中空孔内に配置された固定部材２３に固
定されている。第２の回転部材４Ｂには、又弾性体受け
部材２４が固定され、該弾性体受け部材と固定部材２３
の間には、傾斜台１７と移動子１２にそれらが常時互い
に近づくような押圧力を与えるように圧縮ばねからなる
弾性体２５が設けられている。傾斜台１７には薄型平板
状ヒーター２６が内蔵しており電力を供給するリード線
２７，２７′は、第２の回転部材４Ｂの内部を通って第
１の回転部材４Ａに耐真空的に取り付けられている気密
端子２８を通して真空外に取り出され、図示は省略して
いるが電源と接続している。尚、リード線２７，２７′
の形状は傾斜台１７と近接している部分は螺旋状になっ
ており、傾斜時の機械的抵抗を和らげている。図示の例
では、第２の回転部材４Ｂの直径は７mm、試料１５の直
径は３mm、傾斜台１７の大きさは５×５mm、プーリーの
直径は２mm、ベルト状金属薄板２２の厚さは０.１mmで
ある。
１において、真空室１内に配置された対物レンズの上部
ポールピース２および下部ポールピース３の間にはギャ
ップが形成されている。このギャップは普通５mm以下で
ある。中空状の回転体４は電子光軸５と直交する第１の
中心軸（以下これをＸ軸と呼ぶ）に沿って配置されるよ
うに真空室１の外部からその内部に真空シール６を介し
て真空室１の壁７を貫通して延びている。回転体４は第
１の回転部材４Ａと第２の回転部材４Ｂからなり、それ
らはねじ止めにより結合されている。回転軸８は真空室
１の外部から第２の回転部材４Ｂの中空孔内に真空シー
ル９を介して第１の回転部材４Ａの中空孔を貫通して延
びている。回転軸８の外端にはつまみ１０が設けられ、
その反対側にはストッパ１１が設けられ、これらにより
回転軸８の回転は許されるが、その軸方向の移動は阻止
されるようになっている。回転軸８の内端にはねじが切
られ、該ねじは移動子１２と螺合している。移動子１２
は第２の回転部材４Ｂの中空孔内で第１の中心軸に沿っ
て移動し得るが、その回転は阻止されるようになってい
る。これをなしとげるために、移動子１２にはピン１３
が設けられ、該ピンは第２の回転部材４Ｂにその軸方向
に沿って設けられた案内溝１４と係合している。試料１
５は試料押え部材１６を用いて傾斜台１７に保持されて
いる。傾斜台１７は、試料１５が電子光軸５とＸ軸との
交点を通り且つ該Ｘ軸と直交する第２の中心軸（以下こ
れをＹ軸と呼ぶ）の周りで回転可能なるように２個のピ
ボット１８を介して第２の回転部材４Ｂの先端付近に支
持されている。又、試料１５が常時電子光軸５とＸ軸と
の交点（以下これを傾斜中心と呼ぶことがある）に正確
に位置づけられるように、第２の回転部材４Ｂの先端は
ピボット１９を介して試料位置づけ部材２０と接触して
いる。傾斜台１７にはプーリー２１が設けられ、該プー
リーにはベルト状金属薄板２２が張架されて、その係合
部２２′はスポット溶接されている。ベルト状金属薄板
２２の一端は移動子１２に固定され、その他端は第２の
回転部材４Ｂの中空孔内に配置された固定部材２３に固
定されている。第２の回転部材４Ｂには、又弾性体受け
部材２４が固定され、該弾性体受け部材と固定部材２３
の間には、傾斜台１７と移動子１２にそれらが常時互い
に近づくような押圧力を与えるように圧縮ばねからなる
弾性体２５が設けられている。傾斜台１７には薄型平板
状ヒーター２６が内蔵しており電力を供給するリード線
２７，２７′は、第２の回転部材４Ｂの内部を通って第
１の回転部材４Ａに耐真空的に取り付けられている気密
端子２８を通して真空外に取り出され、図示は省略して
いるが電源と接続している。尚、リード線２７，２７′
の形状は傾斜台１７と近接している部分は螺旋状になっ
ており、傾斜時の機械的抵抗を和らげている。図示の例
では、第２の回転部材４Ｂの直径は７mm、試料１５の直
径は３mm、傾斜台１７の大きさは５×５mm、プーリーの
直径は２mm、ベルト状金属薄板２２の厚さは０.１mmで
ある。
【０００８】以上のような構成を有する図１乃至図３の
実施例の動作を説明するに、真空室１の外部において回
転体４を時計方向又は反時計方向に回動させると、該回
転体に支持されている傾斜台１７、したがって試料１５
がＸ軸の周りで同方向に回動する。又、つまみ１０を回
動させると、回転軸８の先端に切られたねじと螺合して
いる移動子１２がＸ軸に沿って移動する。該移動子が電
子光軸５側に向かって移動する場合を考えると、この場
合は移動子１２が移動した距離分だけ固定部材２３が弾
性体２５によって電子光軸５から離れる方向に移動する
から、それによってベルト状金属薄板が張架されている
プーリー２１、したがって傾斜台１７に保持されている
試料１５は、図１において言えば、Ｙ軸の周りで時計方
向に回動する。逆に移動子１２が電子光軸５から離れる
方向に移動する場合を考えると、この場合は移動子１２
が移動した距離分だけ固定部材２３が弾性体２５の弾性
力に対抗して電子光軸５側に移動するから、それによっ
てプーリー２１、したがって傾斜台１７に保持されてい
る試料１５は、図１について言えば、Ｙ軸の周りで反時
計方向に回動する。試料の傾斜方位および傾斜角度（傾
斜量）は試料１５のＸ軸およびＹ軸の周りでの回動量に
よって決定されるから、回転体４およびつまみ１０を望
みに応じた方向に望みに応じた量だけ回動させると、試
料１５を任意方位に任意量だけ傾斜させることができ
る。この場合、試料１５は傾斜中心に位置づけられてい
るので、該試料の傾斜は常に傾斜中心を中心として行な
われ、したがって傾斜を変えることによって電子顕微鏡
の視野が逃げるようなことはない。本発明者の実験によ
ればベルト状金属薄板２２はどのようなものであっても
よいというわけではなく、実用可能であると思われるも
のであっても実際には実用上適当、不適当なものがある
ことがわかった。条件としては耐熱性に優れ、熱膨張係
数が低く、スポット溶接ができ、そして非磁性であるこ
とである。実用可能と思われるものとして、モリブデ
ン，タングステン等を用い直径２mmのプーリー２１に係
合したところ、材質の脆さと曲率半径が小さいことによ
り切断した。しかし、同じ厚さ(０.１mm）のタンタルを
用いたところ、その損傷がなく充分に使用に耐え得るこ
とが確認された。又、熱に対してもモリブデン，タング
ステンは脆さが加速するがタンタルは変わらなかった。
ベルト状金属薄板２２の形状はプーリー２１との係合部
は巾０.５mm 係合していない部分は２mm程度となってい
るので、温度変化による伸び縮みが押えられ熱ドリフト
の影響を受けにくく、振動に強い構造となっている。傾
斜台１７の材質をチタンかステンレスとすることでベル
ト状金属薄板２２のタンタルとの間でスポット溶接が可
能となっている。尚、本発明では加熱温度約２００℃と
したが８００℃以上に加熱することも、もちろん差しつ
かえない。
実施例の動作を説明するに、真空室１の外部において回
転体４を時計方向又は反時計方向に回動させると、該回
転体に支持されている傾斜台１７、したがって試料１５
がＸ軸の周りで同方向に回動する。又、つまみ１０を回
動させると、回転軸８の先端に切られたねじと螺合して
いる移動子１２がＸ軸に沿って移動する。該移動子が電
子光軸５側に向かって移動する場合を考えると、この場
合は移動子１２が移動した距離分だけ固定部材２３が弾
性体２５によって電子光軸５から離れる方向に移動する
から、それによってベルト状金属薄板が張架されている
プーリー２１、したがって傾斜台１７に保持されている
試料１５は、図１において言えば、Ｙ軸の周りで時計方
向に回動する。逆に移動子１２が電子光軸５から離れる
方向に移動する場合を考えると、この場合は移動子１２
が移動した距離分だけ固定部材２３が弾性体２５の弾性
力に対抗して電子光軸５側に移動するから、それによっ
てプーリー２１、したがって傾斜台１７に保持されてい
る試料１５は、図１について言えば、Ｙ軸の周りで反時
計方向に回動する。試料の傾斜方位および傾斜角度（傾
斜量）は試料１５のＸ軸およびＹ軸の周りでの回動量に
よって決定されるから、回転体４およびつまみ１０を望
みに応じた方向に望みに応じた量だけ回動させると、試
料１５を任意方位に任意量だけ傾斜させることができ
る。この場合、試料１５は傾斜中心に位置づけられてい
るので、該試料の傾斜は常に傾斜中心を中心として行な
われ、したがって傾斜を変えることによって電子顕微鏡
の視野が逃げるようなことはない。本発明者の実験によ
ればベルト状金属薄板２２はどのようなものであっても
よいというわけではなく、実用可能であると思われるも
のであっても実際には実用上適当、不適当なものがある
ことがわかった。条件としては耐熱性に優れ、熱膨張係
数が低く、スポット溶接ができ、そして非磁性であるこ
とである。実用可能と思われるものとして、モリブデ
ン，タングステン等を用い直径２mmのプーリー２１に係
合したところ、材質の脆さと曲率半径が小さいことによ
り切断した。しかし、同じ厚さ(０.１mm）のタンタルを
用いたところ、その損傷がなく充分に使用に耐え得るこ
とが確認された。又、熱に対してもモリブデン，タング
ステンは脆さが加速するがタンタルは変わらなかった。
ベルト状金属薄板２２の形状はプーリー２１との係合部
は巾０.５mm 係合していない部分は２mm程度となってい
るので、温度変化による伸び縮みが押えられ熱ドリフト
の影響を受けにくく、振動に強い構造となっている。傾
斜台１７の材質をチタンかステンレスとすることでベル
ト状金属薄板２２のタンタルとの間でスポット溶接が可
能となっている。尚、本発明では加熱温度約２００℃と
したが８００℃以上に加熱することも、もちろん差しつ
かえない。
【０００９】
【発明の効果】以上の説明から明らかになったように、
本発明によれば次のような効果が達成される。
本発明によれば次のような効果が達成される。
【００１０】（１）プーリーと係合しているベルト状金
属薄板の外径が小さくできるのでＸ軸，Ｙ軸共±３０°
以上の傾斜が可能である。
属薄板の外径が小さくできるのでＸ軸，Ｙ軸共±３０°
以上の傾斜が可能である。
【００１１】（但し機構部としては±９０°傾斜可能な
構造となっている。） （２）傾斜時のスリップが発生しないので傾斜台を強く
固定することができ振動に強い。
構造となっている。） （２）傾斜時のスリップが発生しないので傾斜台を強く
固定することができ振動に強い。
【００１２】（３）ベルト状金属薄板の伸び縮みが押え
られている。
られている。
【００１３】（４）角度を制御しても熱ドリフトが発生
しない。
しない。
【００１４】（５）傾斜時リード線による機械的抵抗が
軽減されている。
軽減されている。
【００１５】（６）１軸傾斜と同様の分解能０.１ｎｍ
が得られる。
が得られる。
【図１】本発明の一実施例を示す電子顕微鏡用試料２軸
傾斜ホールダの断面図である。
傾斜ホールダの断面図である。
【図２】図１の試料ホールダの平面図である。
【図３】図１のIII〜III′線に沿って切られた試料ホー
ルダの断面図である。
ルダの断面図である。
１…真空室、２および３…対物レンズのポールピース、
４…回転体、５…電子光軸、８…回転軸、１２…移動
子、１５…試料、１７…傾斜台、１８…ピポット、２１
…プーリー、２２…ベルト状金属薄板、２３…固定部
材、２５…弾性体、２６…薄型平板状ヒーター、２７…
リード線。
４…回転体、５…電子光軸、８…回転軸、１２…移動
子、１５…試料、１７…傾斜台、１８…ピポット、２１
…プーリー、２２…ベルト状金属薄板、２３…固定部
材、２５…弾性体、２６…薄型平板状ヒーター、２７…
リード線。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小野瀬 正美 茨城県勝田市市毛1040番地 株式会社日立 サイエンスシステムズ内
Claims (6)
- 【請求項１】第１の傾斜軸（以下Ｘ軸と呼ぶ）の中にこ
れと直交する如き第２の傾斜軸（以下Ｙ軸と呼ぶ）をも
つ傾斜台を、電子線光軸に垂直な方向から試料ステージ
に導入するようにした装置において、前記傾斜台に設け
られたプーリーと、該プーリーに弾性的に張架されたベ
ルト状金属薄板で構成されていることを特徴とする電子
顕微鏡用試料２軸傾斜ホールダ。 - 【請求項２】前記傾斜台はチタンかステンレスで、ベル
ト状金属薄板はタンタルで形成したことを特徴とする請
求項１記載の電子顕微鏡用試料２軸傾斜ホールダ。 - 【請求項３】前記ベルト状金属薄板の巾は、プーリーと
係合しない部分が係合する部分より広くなっていること
を特徴とする請求項１記載の電子顕微鏡用試料２軸傾斜
ホールダ。 - 【請求項４】前記プーリーにベルト状金属薄板が係合し
ている一部分を固定したことを特徴とする請求項１記載
の電子顕微鏡用試料２軸傾斜ホールダ。 - 【請求項５】前記傾斜台には薄型平板状ヒーターからな
る加熱炉が内蔵されていることを特徴とする請求項１記
載の電子顕微鏡用試料２軸傾斜ホールダ。 - 【請求項６】前記薄型平板状ヒーターのリード線は螺旋
状にしたことを特徴とする請求項５記載の電子顕微鏡用
試料２軸傾斜ホールダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28568292A JPH06139986A (ja) | 1992-10-23 | 1992-10-23 | 電子顕微鏡用試料２軸傾斜ホールダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28568292A JPH06139986A (ja) | 1992-10-23 | 1992-10-23 | 電子顕微鏡用試料２軸傾斜ホールダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06139986A true JPH06139986A (ja) | 1994-05-20 |
Family
ID=17694686
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28568292A Pending JPH06139986A (ja) | 1992-10-23 | 1992-10-23 | 電子顕微鏡用試料２軸傾斜ホールダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06139986A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1164348A (ja) * | 1997-08-19 | 1999-03-05 | Jeol Ltd | 試料ホルダ |
| JP2005228608A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-08-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子顕微鏡装置および電子顕微鏡観察方法 |
| CN113345784A (zh) * | 2020-02-18 | 2021-09-03 | 中国科学院物理研究所 | 一种低温原位样品杆 |
-
1992
- 1992-10-23 JP JP28568292A patent/JPH06139986A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1164348A (ja) * | 1997-08-19 | 1999-03-05 | Jeol Ltd | 試料ホルダ |
| JP2005228608A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-08-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子顕微鏡装置および電子顕微鏡観察方法 |
| CN113345784A (zh) * | 2020-02-18 | 2021-09-03 | 中国科学院物理研究所 | 一种低温原位样品杆 |
| CN113345784B (zh) * | 2020-02-18 | 2023-06-02 | 中国科学院物理研究所 | 一种低温原位样品杆 |
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