JP2005228608A - 電子顕微鏡装置および電子顕微鏡観察方法 - Google Patents
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【解決手段】 走査電子顕微鏡観察または走査透過電子顕微鏡観察を行うための試料を装着する試料ホルダーと、試料に電子線を照射した際に2次電子の発生効率を向上させるコントラスト材H105と、コントラスト材H105を駆動するためのコントラスト材駆動部H107とを備え、コントラスト材H105は、試料における電子線が照射される表面側とは反対の裏面側の所定領域に、コントラスト材駆動部H107を制御することによって配置される。このように、薄片試料の観察面108と反対側の薄片試料近傍にコントラスト材H105を駆動して設置して電子線を照射することで、所望の観察面108の2次電子発生効率を向上させ、高解像度のSEM観察を行うことが出来る。
【選択図】 図7
Description
日本電子顕微鏡学会 第54回学術講演会 発表要旨集 144(1998)
また、コントラスト材H105に突起部H105aを備えているのは、観察面108とコントラスト材H105との距離を小さくして2次電子発生効率を向上させるためであり、2次電子発生効率を高めた際の効果を保つためにコントラスト材突起部H105aと試料観察面108との距離を縮めるため、切り欠きメッシュ107と接着剤による距離分を縮めてコントラスト材H105を設置することが出来るようにするためである。コントラスト材の突起部H105aは、L字型試料106の観察面108の周辺部にしか当たらないため、観察面108にコントラスト材H105を衝突させて破損することもない。
次に、図20(1−a,b)、(2−a,b)は、上記試料ホルダーH3に例えば実施形態1と同様にL字型試料106を切り欠きメッシュ107に貼り付けて作製された試料を図6と同様に試料ホルダーH3に装着した際の、試料ホルダーH3の切り替えダイヤルH106の向きとポールピース内での試料と、駆動していない状態でのコントラスト材306との位置関係を示したものである。切り替えダイヤルH106の向きがSTEM1の向きの場合は、試料ホルダーH3の開口部H112がコントラスト材306aと対向し、切り替えダイヤルH106の向きがSTEM2の向きの場合は、試料ホルダーH3の開口部H112がコントラスト材306bと対向する。
本発明に用いる試料は、Si半導体デバイスであり、図25と同様にSi基板103上に半導体デバイスパターン104を形成し、図5(1)に示すように、L字型の形状にダイシング加工したL字型試料106を、3mmΦの半円型の切り欠きメッシュ107に対してL字型試料106の凸部を接着して作製されている。なお、L字型試料106は、観察する部分である凸部と切り欠きメッシュ107が必ず重ならないようにして切り欠きメッシュ107に接着し、電子顕微鏡用試料を作製する。
また、本発明の実施形態3ではL字型試料を用いたが、観察面を含む薄片化部分がコントラスト材306に当たらない程度の膜厚であれば凸型試料でも良い。
102 観察領域
103 Si基板
104 半導体デバイスパターン
105 電子線
106 L字型試料
107 切り欠きメッシュ
108 観察面
109 試料凸部側壁
110 凸型試料
111 試料面
121 観察面
122 観察面
123 観察面
300 電子顕微鏡装置
301 電子銃
302 コンデンサレンズ
303 2次電子検出器
304 ゴニオメータ
305 ポールピース
306 コントラスト材
307 コントラスト材駆動部
308 対物レンズ
309 投影レンズ
310 透過電子検出器
311 観察視野中心
B2 電子線
H1 試料ホルダー
H101 先端部
H102 端部
H103 試料ステージ
H104 試料装着材
H105 コントラスト材
H106 切り替えダイヤル
H107 コントラスト材駆動部
H108 金属ベルト
H109 プーリ
H110 駆動用軸
H111 押さえローラ
H112 開口部
H113 コイルばね
H114 軸
H115 ばね取り付け部
H2 試料ホルダー
H201 先端部
H202 端部
H203 試料ステージ
H204 切り替えダイヤル
H205 開口部
H206 金属板
H207 金属板
H210 試料装着材
H211 装着材
H211a 空洞
H212 装着材
H213 装着材
H214 金属ばね
H221 コントラスト材
H222 金属ワイヤ
H223 金属ばね
H224 減速ギヤ
H230 コントラスト材駆動部
H231 マイクロメータ
H3 試料ホルダー
Z0 高さ
Z1 高さ
Claims (22)
- 走査電子顕微鏡観察または走査透過電子顕微鏡観察を行うための試料を装着する試料ホルダーと、
前記試料に電子線を照射した際に2次電子の発生効率を向上させるコントラスト材と、
前記コントラスト材を駆動するためのコントラスト材駆動部とを備え、
前記コントラスト材は、前記試料における電子線が照射される表面側とは反対の裏面側の所定領域に、前記コントラスト材駆動部を制御することによって配置されることを特徴とする電子顕微鏡装置。 - 前記コントラスト材は、2次電子の発生効率が高くかつ導電性を示す金属からなる請求項1記載の電子顕微鏡装置。
- 前記試料ホルダーは、集束イオンビーム加工装置と走査透過電子顕微鏡装置に共用可能であり、前記試料ホルダーの先端部に設けた試料ステージに前記試料を装着する装着材と前記コントラスト材を配置し、前記試料ホルダーの基端部に、前記試料ホルダーの先端部の向きを変えるための切り替えダイヤルと前記コントラスト材駆動部とを配置している請求項1記載の電子顕微鏡装置。
- 前記試料ホルダーは、前記試料ステージにコントラスト材を1つだけ備えている請求項3記載の電子顕微鏡装置。
- 前記試料ホルダーの試料ステージに、前記試料が位置する開口部と前記コントラスト材の動作範囲を制限する空間とが設けられ、前記コントラスト材の軸端部の一方に、金属ベルトまたは金属ワイヤの一端を巻きつけて固定するプーリが設けられ、前記金属ベルトまたは金属ワイヤの他端は前記試料ステージの駆動用軸に固定され、前記駆動用軸と前記プーリの間には、前記金属ベルトまたは金属ワイヤを押さえる押さえローラが設けられ、前記コントラスト材の軸端部の他方にコイルばねまたは渦巻きばねが設けられている請求項3記載の電子顕微鏡装置。
- 前記試料ホルダーは、前記コントラスト材駆動部を駆動することによって、前記駆動用軸とともに前記金属ベルトまたは金属ワイヤに、コイルばねまたは渦巻きばねの引力と逆方向の回転力をかけ、前記試料ステージ開口部と前記試料ステージ内部の空間との範囲で前記コントラスト材を駆動する機構を備えている請求項5記載の電子顕微鏡装置。
- 前記試料として、メッシュに張り合わせた透過電子顕微鏡用試料を用い、前記試料ホルダーは、前記試料のメッシュ側を前記試料ステージに載せて前記メッシュを前記装着材と試料ステージとで挟んで装着するように構成され、前記試料が前記電子線と対向するように前記試料ホルダーを電子顕微鏡に挿入することによって、前記試料における前記電子線が照射される表面側とは反対の裏面側において前記コントラスト材が配置されるように駆動する請求項3記載の電子顕微鏡装置。
- 前記試料ホルダーは、前記試料ステージに試料を任意の位置に装着するための装着材と二つ以上のコントラスト材を配置して構成される請求項3記載の電子顕微鏡装置。
- 前記試料ホルダーの試料ステージに備えた装着材は、十分な強度をもった金属材から形成され、平坦な試料ステージ上に間隔をあけて互いに対向して試料ステージ開口部の中央側へ一段突き出た当接面が形成された二つの第1装着材と、一端が前記試料ステージに固定された金属ばねを有しかつ十分な強度をもった平坦な金属材からなる第2装着材とが互いに向かい合って配置され、前記金属ばねにより前記第2装着材が試料挿入方向に伸縮運動する請求項8記載の電子顕微鏡装置。
- 前記第1装着材と試料ステージに、前記二つのコントラスト材それぞれが互いに衝突せずに駆動させるための二つの空洞とそれらの間に金属板を備えている請求項9記載の電子顕微鏡装置。
- 前記試料ホルダーの二つのコントラスト材は、常時コントラスト材の駆動方向と逆方向に力を加えるために、前記試料ステージ内部の固定された部位に取り付けられた金属ばねと、減速ギヤとマイクロメータとを有する前記コントラスト材駆動部に取り付けられた金属ワイヤとをそれぞれ備え、前記コントラスト材駆動部のマイクロメータを回転させ、減速ギヤと金属ワイヤを介して前記コントラスト材を駆動させる請求項8記載の電子顕微鏡装置。
- 前記試料ホルダーに用いる電子顕微鏡用試料は、観察領域を含む部分が凸型に突出した凸部となり、前記凸部の外周部は一様に所定の高さになっている請求項8記載の電子顕微鏡装置。
- 前記第2装着材が前記試料の底面に当接し、互いに対向した二つの第1装着材に形成された当接面が前記試料の凸部外周部の試料面に当接して、これらの当接面が位置決めストッパーとしての役割を果たしながら、前記試料の凸部外周部の試料面と、前記試料の底面とを挟んで前記試料を常時任意の位置に装着可能とした請求項12記載の電子顕微鏡装置。
- ポールピース装着型の走査透過電子顕微鏡を備えた電子顕微鏡装置であって、二つ以上のコントラスト材と、前記コントラスト材を駆動するための二つ以上のコントラスト材駆動部とを備える請求項1または2記載の電子顕微鏡装置。
- 前記電子顕微鏡に用いる試料ホルダーは、集束イオンビーム加工装置と走査透過電子顕微鏡装置に共用可能であり、試料ホルダーの先端部のみ向きを変えるための切り替えダイヤルを基端部に有し、前記二つのコントラスト材およびその駆動部は前記試料ホルダーの挿入方向と垂直方向に対向して配置される請求項14記載の電子顕微鏡装置。
- 前記電子顕微鏡のポールピースは、前記試料ホルダー先端部が電子顕微鏡観察において移動でき、かつ前記試料ホルダーの下方で前記二つのコントラスト材がそれぞれ駆動することが可能な空間を持つ請求項14記載の電子顕微鏡装置。
- 前記二つのコントラスト材は、前記電子顕微鏡試料の薄片化していない周辺部の試料膜厚の影響を受けないために前記試料の薄片領域よりも小さい幅で、かつ薄片化されてない試料周辺部を損傷しない大きさの金属板で構成され、観察面の反対側の面から所定の距離をもつ高さに前記コントラスト材が設置される請求項14記載の電子顕微鏡装置。
- 前記電子顕微鏡のポールピース内部に備えた前記試料ホルダー先端部が移動できる空間内で、前記二つのコントラスト材は前記試料ホルダーに装着した試料観察面の観察方向と反対側の任意の高さに配置され、前記任意の高さで電子線の入射方向に対して垂直方向にのみ駆動する機能を備えている請求項14記載の電子顕微鏡装置。
- 前記二つのコントラスト材が駆動する任意の高さは、前記電子顕微鏡において前記試料観察面に対して最も電子顕微鏡像が鮮明に観察出来る高さから所定の距離だけ下方である請求項18記載の電子顕微鏡装置。
- 請求項3記載の電子顕微鏡装置を用いて、前記試料の薄片化された観察面を観察する際、前記試料を試料ステージ上に保持し、前記試料の薄片化された部分の観察面に対向して電子線を照射するように走査透過電子顕微鏡に前記試料ホルダーを挿入した後、前記試料の観察方向と反対側に、前記試料ホルダーのコントラスト材駆動部を駆動させて、前記コントラスト材を前記試料の観察面と反対側の薄片化していない周辺領域に接触する程度の位置に設置し、観察面に電子線を照射することにより断面走査電子顕微鏡観察を行うことを特徴とする電子顕微鏡観察方法。
- 請求項8記載の電子顕微鏡装置を用いて、前記試料の薄片化された部分の両方の観察面を観察する際、前記試料の任意の観察面に対向して電子線を照射するように走査透過電子顕微鏡に前記試料ホルダーを挿入した後、前記試料の観察方向と反対側に、前記試料ホルダーのコントラスト材駆動部を駆動させて前記コントラスト材を前記試料の観察面と反対側の薄片化していない周辺領域に接触する程度の位置に設置し、観察面に電子線を照射することにより、異なる断面構造をもつ二つの観察面のそれぞれについての断面走査電子顕微鏡観察を行うことを特徴とする電子顕微鏡観察方法。
- 請求項15記載の電子顕微鏡装置を用いて、前記試料の薄片化された部分の両方の観察面を観察する際、前記試料の任意の観察面に対向して電子線を照射するように前記電子顕微鏡に前記試料ホルダーを挿入した後、前記試料の観察面の高さが電子顕微鏡のフォーカス値が0の時に試料観察面に対して最も電子顕微鏡像が鮮明に観察出来る高さに合わせて、その高さを維持して観察視野範囲内から前記試料を移動させる工程と、試料観察面に対向する前記コントラスト材を駆動して観察面の反対側の面から所定の高さを維持して観察視野範囲内に移動させる工程と、前記コントラスト材が試料観察面の下に位置するように前記試料観察面の高さに維持して前記試料を移動させる工程とを含み、試料観察面の観察方向と反対側にコントラスト材を設置した状態で観察面に電子線を照射することにより、異なる断面構造をもつ二つの観察面のそれぞれについての断面走査電子顕微鏡観察を行うことを特徴とする電子顕微鏡観察方法。
Priority Applications (1)
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