JPH08212958A - 粒子線装置 - Google Patents

粒子線装置

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JPH08212958A
JPH08212958A JP2010995A JP2010995A JPH08212958A JP H08212958 A JPH08212958 A JP H08212958A JP 2010995 A JP2010995 A JP 2010995A JP 2010995 A JP2010995 A JP 2010995A JP H08212958 A JPH08212958 A JP H08212958A
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正 大高
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Hitachi Science Systems Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【構成】導電性を持つ接触体３を試料ホルダ１に設置
し、試料５と試料ホルダ１との導通を試料５の裏面から
も取るようにした。 【効果】試料と試料ホルダとの導通を試料裏面からも取
ることにより、試料の帯電を防止し、粒子線装置におけ
る試料の帯電に起因する像のゆがみ，乱れを防止するこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、粒子線装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】粒子線装置では、試料表面を粒子線が走
査するため、試料端面で試料を保持し、かつ電気的に導
通をとっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】試料の表面に絶縁性の
物質が塗布してある場合、例えば、半導体プロセスのシ
リコンウェハでは、この表面にレジスト材料や酸化膜，
窒化膜などの絶縁材料を薄膜として形成し、これらのエ
ッチングによってパターンを形成している。一般にはウ
ェハ表面のみにこうした絶縁膜を形成しているが、場合
によってはウェハの端面にまで絶縁膜が形成されること
がある。こうした場合、従来技術では、端面からの導通
がとれなくなって試料電位が不安定となる。その結果、
試料表面が帯電してしまい、粒子線装置における試料の
表面像に影響を与えていた。
【０００４】本発明の目的は、試料電位を安定させるこ
とにより、粒子線装置で良好な試料の表面像を提供する
ことにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達するため
に、本発明では一定の電位に保持された試料ホルダと電
気的に導通する接触体を設け、この接触体を試料裏面と
接触させることにより、試料電位を安定させることを特
徴とする。
【０００６】
【作用】試料ホルダと電気的に導通のある接触体を試料
裏面に接触させ、試料電位を安定させることにより、粒
子線装置で発生する試料の帯電による試料の表面像への
影響を防止する。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図を用いて詳細に
説明する。
【０００８】図１は本発明の一実施例である装置構成を
示す概念図である。試料５は、アース電位となっている
試料ホルダ１に載物される際、試料裏面支持台４により
裏面を支持され、試料端面保持具６により端面を保持さ
れる。試料端面保持具６は試料ホルダ１と電気的に導通
している。
【０００９】この時、試料５の端面と試料端面保持具６
の間の導通が得られないことがある。そこで導電性を有
する接触体３を導電性を有する板ばね２を介し試料ホル
ダ１に設置する。これにより試料５は裏面を通じて試料
ホルダ１と導通をとることができる。また、試料支持台
４を導電性を有する物質とすることで試料５と試料ホル
ダ１の導通をとることも可能である(図２)。
【００１０】試料５が半導体ウェハなどのように金属接
触を嫌う場合、試料端面保持具６の少なくとも試料５と
の接触部を非金属化し、接触体３をＳｉＣなどの非金属
の導体とすることで、試料５を非金属接触としかつ試料
ホルダ１との導通をとることが可能となる。
【００１１】
【発明の効果】本発明によれば、導電性を持つ接触体を
試料裏面に接触させることにより、試料電位を安定させ
ることが可能となるため、試料の帯電に起因する粒子線
装置における像のゆがみ，乱れなどを防止することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す説明図。
【図２】本発明の他の実施例を示す説明図。
【符号の説明】
１…試料ホルダ、２…板ばね、３…接触体、４…試料裏
面支持台、５…試料、６…試料端面保持具。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】電子ビーム／イオン等の粒子線を試料に走
    査し、前記試料より放出される二次電子等の放出信号に
    より、前記試料の表面像を得る粒子装置の試料ホルダに
    おいて、前記試料ホルダ上に試料を載物し、前記試料の
    端面を導体で接触させて、保持するとともに、前記試料
    の裏面に他の導電性の接触体を接触させて、電気的に導
    通をとるように構成したことを特徴とする粒子線装置。
  2. 【請求項２】請求項１において、試料裏面支持台を、導
    電性とする粒子線装置。
  3. 【請求項３】請求項１において、試料端面保持具の少な
    くとも試料端面との接触部を非金属とし、前記接触体を
    非金属の導体とした粒子線装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005228608A (ja) * 2004-02-13 2005-08-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子顕微鏡装置および電子顕微鏡観察方法
JP2014532963A (ja) * 2011-10-28 2014-12-08 エフ・イ−・アイ・カンパニー 試料ブロック・ホルダ

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