JP2014532963A - 試料ブロック・ホルダ - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- 試料ステージを備える試料室を有する荷電粒子ビーム・システム用の試料ホルダ・システムであって、
荷電粒子ビーム・システムの前記ステージに固定されるステージ・マウントであり、3つの位置合せ構造体を含むステージ・マウントと、
3つの位置合せ構造体を含むベース・プレートであり、前記ベース・プレート上の位置合せ構造体がそれぞれ、前記ステージ・マウント上の対応する位置合せ構造体と対合するように構築されたベース・プレートと
を備え、前記ベース・プレート上またはステージ・マウント上のそれぞれの対合位置合せ構造体のうちの1つの対合位置合せ構造体が半球形の部分を含み、
前記ベース・プレート上に取外し可能に取り付けることができるように構成された試料トレーであり、試料ブロックを位置決めするための複数の穴を有する試料トレーと、
前記試料トレーを前記ベース・プレートに対して保持する締付け具と、
前記ステージ・マウントに固定された較正標準ホルダであり、前記荷電粒子ビーム・システム内で試料が取り替えられるときに前記ステージ・マウント上に留まる較正標準ホルダと
を備える試料ホルダ・システム。 - 前記3つの半球形の部分と対合する前記位置合せ構造体が円錐形の凹みを備える、請求項1に記載の試料ホルダ・システム。
- 前記ステージ・マウント上の前記3つの位置合せ構造体と対合する前記位置合せ構造体が半球形の部分を備え、前記ベース・プレート上の前記3つの位置合せ構造体が円錐形または半球形の凹みを備える、請求項1または2に記載の試料ホルダ・システム。
- 試料ブロックを含む、試料トレーとベース・プレートの結合ホルダが、荷電粒子ビーム操作の間、前記試料ホルダの重量によって、追加の拘束力なしで、前記試料ステージ上に維持される、請求項1から3のいずれか一項に記載の試料ホルダ・システム。
- 前記ステージ・マウント上の前記3つの対合構造体が、締結具を使用して前記ステージ・マウントに取り付けられた、請求項1から4のいずれか一項に記載の試料ホルダ・システム。
- 前記試料トレー内へ前記試料ブロックを押し込み、前記試料トレーに対して前記試料ブロックを所定の向きに再現可能に配置する、前記ベース・プレート上に配置されたばねをさらに備える、請求項1から5のいずれか一項に記載の試料ホルダ・システム。
- 前記ステージ・マウントと前記ベース・プレートの間の電気接触を保証する、前記ステージ・マウント上に配置されたばねをさらに備え、前記ばねが、電気接触を提供するのに十分な付勢力を提供し、一方、前記試料トレー、ベース・プレートおよび試料ブロックの重量によって前記位置合せ構造体が完全に係合することを依然として可能にする、請求項1から6のいずれか一項に記載の試料ホルダ・システム。
- 鉱物学的試料用の走査電子顕微鏡のための試料ホルダ・システムを使用する方法であって、
試料ブロックを位置決めするための複数の穴を有する試料トレー内に前記試料ブロックを置くこと、
前記試料ブロックを前記試料トレー内に維持するために、3つの位置合せ構造体を含むベース・プレートを前記試料ブロックの背後に置くこと、
工具を使用せずに前記ベース・プレートを前記試料トレーに締結すること、
組み立てられた前記試料トレー、ベース・プレートおよび試料ブロックを前記走査電子顕微鏡のステージ・マウント上に置くこと
を含み、前記ステージ・マウントが、前記ベース・プレート上の前記位置合せ構造体と対合する位置合せ構造体を含み、前記ベース・プレート上の前記位置合せ構造体が、前記ステージ・マウント上の前記位置合せ構造体と対合して、前記荷電粒子ビーム・システムのステージ上において前記試料ブロックを所定の位置および所定の向きに配置し、
前記電荷粒子ビーム・システムを動作させて前記試料ブロック中の前記試料を分析すること
を含み、組み立てられた前記試料トレー、ベース・プレートおよび試料ブロックが、前記ステージ・マウントに締結されることなしに前記ステージ・マウント上に載置される
方法。 - 前記ステージ・マウントに取り付けられた較正標準を測定することをさらに含み、前記試料トレー、ベース・プレートおよび試料ブロックが取り外されたときに、前記較正標準が、前記ステージ・マウントに取り付けられた状態を維持する、請求項8に記載の方法。
- 組み立てられた前記試料トレー、ベース・プレートおよび試料ブロックを前記走査電子顕微鏡内のステージ・マウント上に置くことが、円錐形または半球形の凹みを有するベース・プレートを、半球形の対合構造体を有するステージ・マウント上に置くことを含む、請求項8または9に記載の方法。
- 前記試料ブロックを前記試料トレー内に維持するために、ベース・プレートを前記試料ブロックの背後に置くことが、少なくとも1つの前記試料ブロックを前記試料トレーの前記穴の所定の位置に押し込むばねを提供することを含む、請求項8から10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記荷電粒子ビーム・システムを動作させることが、前記試料ブロック、試料トレーおよびベース・プレートを含むアセンブリ内の試料ブロックに電子ビームを導くことを含み、前記アセンブリが、前記アセンブリの重量によって、追加の拘束力なしで、前記ステージ・マウント上に支持される、請求項8から11のいずれか一項に記載の方法。
- 組み立てられた前記試料トレー、ベース・プレートおよび試料ブロックをステージ・マウント上に置くことが、前記ステージ・マウントと前記ベース・プレートの間の電気接触を提供する少なくとも1つのばねを提供することを含む、請求項8から12のいずれか一項に記載の方法。
- 試料ステージを備える試料室を有する荷電粒子ビーム・システム用の試料ホルダ・システムであって、
荷電粒子ビーム・システムの前記ステージに固定されるステージ・マウントであり、3つの位置合せ構造体を含むステージ・マウントと、
3つの位置合せ構造体を含むベース・プレートであり、前記ベース・プレート上の位置合せ構造体がそれぞれ、前記ステージ・マウント上の対応する位置合せ構造体と対合するように構築されたベース・プレートと
前記ベース・プレート上に取外し可能に取り付けることができるように構成された試料トレーであり、複数の試料ブロック位置を有する試料トレーと、
前記ステージ・マウントに固定された較正標準ホルダであり、前記荷電粒子ビーム・システム内で試料が取り替えられるときに前記ステージ・マウント上に留まる較正標準ホルダと
を備える試料ホルダ・システム。 - 前記位置合せ構造体または前記対応する位置合せ構造体が、3つの半球形の部分または円錐形の凹みを含む、請求項14に記載の試料ホルダ・システム。
- 前記ステージ・マウント上の前記3つの位置合せ構造体と対合する前記位置合せ構造体が半球形の部分を備え、前記ベース・プレート上の前記3つの位置合せ構造体が円錐形または半球形の凹みを備える、請求項14または15に記載の試料ホルダ・システム。
- 試料ブロックを含む、試料トレーとベース・プレートの結合ホルダが、荷電粒子ビーム操作の間、前記試料ホルダの重量によって、追加の拘束力なしで、前記試料ステージ上に維持される、請求項14から16のいずれか一項に記載の試料ホルダ・システム。
- 前記ステージ・マウント上の前記3つの対合構造体が、締結具を使用して前記ステージ・マウントに取り付けられた、請求項14から17のいずれか一項に記載の試料ホルダ・システム。
- 前記試料トレー内へ前記試料ブロックを押し込み、前記試料トレーに対して前記試料ブロックを再現可能に配置する、前記ベース・プレート上に配置されたばねをさらに備える、請求項14から18のいずれか一項に記載の試料ホルダ・システム。
- 前記ステージ・マウントと前記ベース・プレートの間の電気接触を保証する、前記ステージ・マウント上に配置されたばねをさらに備え、前記ばねが、電気接触を提供するのに十分な付勢力を提供し、一方、前記試料トレー、ベース・プレートおよび試料ブロックの重量によって前記位置合せ構造体が完全に係合することを依然として可能にする、請求項14から19のいずれか一項に記載の試料ホルダ・システム。
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