JP6995093B2 - 試料プレートホルダ - Google Patents
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Description
Claims (11)
- x方向に並ぶm(但しmは2以上の整数)個の試料プレートを収容することが可能な収容空間を有するホルダ本体と、
前記収容空間内において前記x方向に直交するy方向の一方側に設けられ、前記x方向に並ぶm×n(但しnは2以上の整数)個の押上要素からなる第1の押上要素列と、
前記収容空間内において前記y方向の他方側に設けられ、前記x方向に並ぶm×n個の押上要素からなる第2の押上要素列と、
前記収容空間における試料領域を露出させつつ前記収容空間を覆うカバーと、
を含み、
前記第1の押上要素列及び前記第2の押上要素列は、それぞれ、前記カバーによって覆われる位置に設けられ、
前記収容空間に前記m個以下の試料プレートが収容されている状態において、前記各試料プレートのy方向一方側端部に対して前記第1の押上要素列中のn個の押上要素から押上げ力が与えられ、且つ、前記各試料プレートのy方向他方側端部に対して前記第2の押上要素列中のn個の押上要素から押上げ力が与えられ、これにより前記各試料プレートの上面が前記カバーの内面に押し付けられる、
ことを特徴とする試料プレートホルダ。 - 請求項1記載の試料プレートホルダにおいて、
前記各試料プレートはスライドガラスである、
ことを特徴とする試料プレートホルダ。 - 請求項1記載の試料プレートホルダにおいて、
前記mは3であり、
前記nは2である、
ことを特徴とする試料プレートホルダ。 - 請求項1記載の試料プレートホルダにおいて、
前記ホルダ本体に対して前記カバーを開閉運動させるヒンジ部と、
前記カバーが閉状態にある場合に前記カバーを前記ホルダ本体に対してロックするロック機構と、
を含む、ことを特徴とする試料プレートホルダ。 - 請求項1記載の試料プレートホルダにおいて、
前記ホルダ本体は、
前記y方向の一方端に設けられた第1の側壁と、
前記y方向の他方端に設けられた第2の側壁と、
を有し、
前記第1の側壁の上面及び前記第2の側壁の上面が基準レベルを規定し、
前記カバーの閉状態において前記カバーの内面が前記第1の側壁の上面及び前記第2の側壁の上面に当たり、これにより前記各プレートの上面レベルが基準レベルに揃う、
ことを特徴とする試料プレートホルダ。 - 請求項5記載の試料プレートホルダにおいて、
前記第1の側壁には第1のスケールが設けられ、
前記第2の側壁には第2のスケールが設けられている、
ことを特徴とする試料プレートホルダ。 - 請求項1記載の試料プレートホルダにおいて、
前記各試料プレートは透明性を有し、
前記収容空間の底面に光反射を抑制する作用をもった背景面が設けられている、
ことを特徴とする試料プレートホルダ。 - 請求項1記載の試料プレートホルダにおいて、
前記ホルダ本体及び前記カバーの内の少なくとも一方に、前記収容空間に収容された前記m個以下の試料プレートの上面へガスを吹き付ける流路構造が設けられた、
ことを特徴とする試料プレートホルダ。 - 請求項1記載の試料プレートホルダにおいて、
前記カバーは観察窓を有し、
前記観察窓には導電性メッシュが設けられた、
ことを特徴とする試料プレートホルダ。 - 請求項1記載の試料プレートホルダにおいて、
前記ホルダ本体及び前記カバーは導電性材料により構成され、
前記ホルダ本体及び前記カバーの内の一方に電圧印加用の端子が設けられ、
前記ホルダ本体には可動ステージに対して結合される絶縁性材料で構成された係合ブロックが設けられた、
ことを特徴とする試料プレートホルダ。 - 請求項1記載の試料プレートホルダにおいて、
前記カバーには1又は複数の位置決め用マークが設けられた、
ことを特徴とする試料プレートホルダ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019162089A JP6995093B2 (ja) | 2019-09-05 | 2019-09-05 | 試料プレートホルダ |
CN202010882849.1A CN112444531A (zh) | 2019-09-05 | 2020-08-28 | 试样板保持器 |
EP20193454.4A EP3790035A1 (en) | 2019-09-05 | 2020-08-28 | Sample plate holder |
US17/012,378 US11404239B2 (en) | 2019-09-05 | 2020-09-04 | Sample plate holder |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019162089A JP6995093B2 (ja) | 2019-09-05 | 2019-09-05 | 試料プレートホルダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021039916A JP2021039916A (ja) | 2021-03-11 |
JP6995093B2 true JP6995093B2 (ja) | 2022-01-14 |
Family
ID=72290970
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019162089A Active JP6995093B2 (ja) | 2019-09-05 | 2019-09-05 | 試料プレートホルダ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11404239B2 (ja) |
EP (1) | EP3790035A1 (ja) |
JP (1) | JP6995093B2 (ja) |
CN (1) | CN112444531A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114935582B (zh) * | 2022-07-22 | 2022-11-04 | 季华实验室 | 纤维样品台 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001183317A (ja) | 1999-12-24 | 2001-07-06 | Nec Corp | 2次イオン質量分析装置用試料ホルダ及びその位置調整方法 |
CN206921783U (zh) | 2017-04-28 | 2018-01-23 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 一种用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台 |
JP2019128547A (ja) | 2018-01-26 | 2019-08-01 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 顕微鏡 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01135151A (ja) | 1987-11-20 | 1989-05-26 | Nec Corp | 同報通信方法 |
JPH08254511A (ja) * | 1995-03-17 | 1996-10-01 | Sony Corp | 試料ホルダ |
DE19527722A1 (de) | 1995-07-31 | 1997-02-06 | Leica Mikroskopie & Syst | Objekthalter für dünne Objektträger |
JP3340603B2 (ja) * | 1995-10-05 | 2002-11-05 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡用試料ホルダ |
US7348570B2 (en) * | 2005-12-14 | 2008-03-25 | University Of Washington | Unsupported, electron transparent films and related methods |
US7737424B2 (en) * | 2007-06-01 | 2010-06-15 | Moxtek, Inc. | X-ray window with grid structure |
US8258473B2 (en) * | 2010-11-12 | 2012-09-04 | Nanotem, Inc. | Method and apparatus for rapid preparation of multiple specimens for transmission electron microscopy |
JP5450357B2 (ja) | 2010-11-19 | 2014-03-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡 |
AT510799B1 (de) * | 2010-11-29 | 2012-12-15 | Leica Microsystems Schweiz Ag | Halterung für einen elektronenmikroskopischen probenträger |
US8624199B2 (en) * | 2011-10-28 | 2014-01-07 | Fei Company | Sample block holder |
JP2013190315A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Shimadzu Corp | 被処理物保持機構およびこれを用いたプレートホルダ |
JP6219747B2 (ja) * | 2014-02-25 | 2017-10-25 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線描画装置 |
AU2017344741B2 (en) * | 2016-10-21 | 2019-06-20 | First Frontier Pty Ltd | System and method for performing automated analysis of air samples |
NL2019247B1 (en) * | 2017-07-14 | 2019-01-28 | Hennyz B V | Cryotransfer system |
-
2019
- 2019-09-05 JP JP2019162089A patent/JP6995093B2/ja active Active
-
2020
- 2020-08-28 CN CN202010882849.1A patent/CN112444531A/zh active Pending
- 2020-08-28 EP EP20193454.4A patent/EP3790035A1/en active Pending
- 2020-09-04 US US17/012,378 patent/US11404239B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001183317A (ja) | 1999-12-24 | 2001-07-06 | Nec Corp | 2次イオン質量分析装置用試料ホルダ及びその位置調整方法 |
CN206921783U (zh) | 2017-04-28 | 2018-01-23 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 一种用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台 |
JP2019128547A (ja) | 2018-01-26 | 2019-08-01 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 顕微鏡 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11404239B2 (en) | 2022-08-02 |
US20210074507A1 (en) | 2021-03-11 |
JP2021039916A (ja) | 2021-03-11 |
CN112444531A (zh) | 2021-03-05 |
EP3790035A1 (en) | 2021-03-10 |
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