JP5450357B2 - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
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第1の実施形態について、図1および図2を用いて詳細に説明する。
・一般用(日本(JIS規格)…76mm×26mm、米国…3inch×1inch(76.2mm×25.4mm)、欧州…75mm×25mm)
・鉱物用…(48mm×28mm)
光学顕微鏡とSEMという別装置で同一試料を観察する場合、視野探しが問題となる。従来、光学顕微鏡で撮影した画像(以下、観察位置指定像という)をSEMに取り込んで視野探しを行う場合、観察位置指定像と試料微小移動装置とのアライメント調整のために、観察指定像の特徴点をSEM観察像の中から見つけ出し、各々の基準となる特徴点を複数箇所関連付けする必要があり煩雑な操作が必要であった。そこで本実施形態では、視野探索の支援機能を組み込んだSEMについて説明する。
第1の実施形態〜第2の実施形態に関わる試料ホルダの適用対象として、鉱物試料がある。鉱物試料の観察および分析の手法としては、偏光顕微鏡にて観察を行い、EPMA(Electron Probe MicroAnalyser:電子線照射により発生する特性X線の波長から元素分析を行う装置)で分析を行うのが一般的である。しかし、前処理方法はそれぞれ異なり、偏光顕微鏡ではスライドにて観察し、EPMAでは試料を樹脂に埋め込みし分析可能な状態に研磨した試料にて分析している。そのため、観察から分析までの一連の操作が煩雑であり、また、同一試料による観察および分析を行うことができないという問題がある。
2 電子源
3 電子ビーム
4 コンデンサレンズ
5 偏向コイル
6 対物レンズ
7 電子光学鏡筒
8 試料
9 2次電子検出器
10 半導体検出器
11 試料微小移動装置
12 試料室
13 真空排気系
14 X線検出器
15 試料ホルダ
16 スライド載置面
17 板状部材
18 押付け部材
19 ファラデーカップ装置
20 鉱物用スライド凹部
21 撮像装置
22 足部
23 バネ
Claims (7)
- スライドガラス上に載置された試料を観察可能な走査電子顕微鏡であって、
試料ホルダ上に設置された試料上に一次電子線を走査する電子光学鏡筒と、
前記試料ホルダを格納する試料室と、
前記一次電子線の走査により得られる2次電子あるいは反射電子を検出して検出信号として出力する検出器と、
前記検出信号に基づき前記試料の画像を形成する画像形成手段とを備え、
前記試料ホルダは、
前記スライドガラスの厚みとほぼ同等の深さを有する凹部によって構成されるスライドガラス載置面を備えた板状部材と、
前記スライドガラス載置面に載置されたスライドガラスを前記凹部の段差部に対し側面から押付けることにより固定する押付け部材とを具備し、
前記スライドガラスの載置面が金属光沢を有する平面であることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査電子顕微鏡において、
前記押付け部材を、バネの圧力により前記スライドガラスへの押付け位置に固定する着脱機構を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査電子顕微鏡において、
前記板状部材上の前記スライドガラスの載置面とは異なる位置にファラデーカップ素子を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1または2のいずれか1項に記載の走査電子顕微鏡において、
前記試料室内に格納され、前記試料ホルダを移動させる試料微小移動装置を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1または2のいずれか1項に記載の走査電子顕微鏡において、
前記試料室内の真空度を前記電子光学鏡筒内の真空度よりも低真空度の環境に維持する差動排気絞りと、を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1または2のいずれか1項に記載の走査電子顕微鏡において、
前記試料室に設けられたX線検出器を備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 試料が載置されたスライドガラスを保持可能な走査電子顕微鏡用試料ホルダであって、
前記スライドガラスの厚みとほぼ同等の深さを有する凹部によって構成されるスライドガラス載置面を備えた板状部材と、
前記スライドガラス載置面に載置されたスライドガラスを前記凹部の段差部に対し側面から押付けることにより固定する押付け部材とを具備し、
前記スライドガラスの載置面が金属光沢を有する平面であることを特徴とする試料ホルダ。
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