JP2012109171A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012109171A JP2012109171A JP2010258465A JP2010258465A JP2012109171A JP 2012109171 A JP2012109171 A JP 2012109171A JP 2010258465 A JP2010258465 A JP 2010258465A JP 2010258465 A JP2010258465 A JP 2010258465A JP 2012109171 A JP2012109171 A JP 2012109171A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- electron microscope
- scanning electron
- slide glass
- slide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】本発明による走査電子顕微鏡は、低真空制御が可能な真空排気系13と、エネルギー分散型X線検出器14と、スライドを搭載できる試料ホルダ15を有することで、偏光顕微鏡で観察するのに使用したスライドをそのまま電子顕微鏡に搭載することが可能となり、同一試料による観察および分析ができる走査電子顕微鏡の提供が可能となる。
【選択図】 図1
Description
第1の実施形態について、図1および図2を用いて詳細に説明する。
・一般用(日本(JIS規格)…76mm×26mm、米国…3inch×1inch(76.2mm×25.4mm)、欧州…75mm×25mm)
・鉱物用…(48mm×28mm)
光学顕微鏡とSEMという別装置で同一試料を観察する場合、視野探しが問題となる。従来、光学顕微鏡で撮影した画像(以下、観察位置指定像という)をSEMに取り込んで視野探しを行う場合、観察位置指定像と試料微小移動装置とのアライメント調整のために、観察指定像の特徴点をSEM観察像の中から見つけ出し、各々の基準となる特徴点を複数箇所関連付けする必要があり煩雑な操作が必要であった。そこで本実施形態では、視野探索の支援機能を組み込んだSEMについて説明する。
第1の実施形態〜第2の実施形態に関わる試料ホルダの適用対象として、鉱物試料がある。鉱物試料の観察および分析の手法としては、偏光顕微鏡にて観察を行い、EPMA(Electron Probe MicroAnalyser:電子線照射により発生する特性X線の波長から元素分析を行う装置)で分析を行うのが一般的である。しかし、前処理方法はそれぞれ異なり、偏光顕微鏡ではスライドにて観察し、EPMAでは試料を樹脂に埋め込みし分析可能な状態に研磨した試料にて分析している。そのため、観察から分析までの一連の操作が煩雑であり、また、同一試料による観察および分析を行うことができないという問題がある。
2 電子源
3 電子ビーム
4 コンデンサレンズ
5 偏向コイル
6 対物レンズ
7 電子光学鏡筒
8 試料
9 2次電子検出器
10 半導体検出器
11 試料微小移動装置
12 試料室
13 真空排気系
14 X線検出器
15 試料ホルダ
16 スライド載置面
17 板状部材
18 押付け部材
19 ファラデーカップ装置
20 鉱物用スライド凹部
21 撮像装置
22 足部
23 バネ
Claims (8)
- スライドガラス上に載置された試料を観察可能な走査電子顕微鏡であって、
試料ホルダ上に設置された試料上に一次電子線を走査する電子光学鏡筒と、
前記試料ホルダを格納する試料室と、
前記一次電子線の走査により得られる2次電子あるいは反射電子を検出して検出信号として出力する検出器と、
前記検出信号に基づき前記試料の画像を形成する画像形成手段とを備え、
前記試料ホルダは、
前記スライドガラスの厚みとほぼ同等の深さを有する凹部によって構成されるスライドガラス載置面を備えた板状部材と、
前記スライドガラス載置面に載置されたスライドガラスを前記凹部の段差部に対し側面から押付けることにより固定する押付け部材とを具備することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査電子顕微鏡において、
前記押付け部材を、バネの圧力により前記スライドガラスへの押付け位置に固定する着脱機構を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査電子顕微鏡において、
前記スライドガラスの載置面が金属光沢を有する平面であることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査電子顕微鏡において、
前記板状部材上の前記スライドガラスの載置面とは異なる位置にファラデーカップ素子を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の走査電子顕微鏡において、
前記試料室内に格納され、前記試料ホルダを移動させる試料微小移動装置を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の走査電子顕微鏡において、
前記試料室内の真空度を前記電子光学鏡筒内の真空度よりも低真空度の環境に維持する差動排気絞りと、
前記半導体検出器ないしイオン電流検出電極とを備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の走査電子顕微鏡において、
前記試料室に設けられたX線検出器を備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 試料が載置されたスライドガラスを保持可能な走査電子顕微鏡用試料ホルダであって、
前記スライドガラスの厚みとほぼ同等の深さを有する凹部によって構成されるスライドガラス載置面を備えた板状部材と、
前記スライドガラス載置面に載置されたスライドガラスを前記凹部の段差部に対し側面から押付けることにより固定する押付け部材とを具備することを特徴とする試料ホルダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010258465A JP5450357B2 (ja) | 2010-11-19 | 2010-11-19 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010258465A JP5450357B2 (ja) | 2010-11-19 | 2010-11-19 | 走査電子顕微鏡 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013255571A Division JP2014044967A (ja) | 2013-12-11 | 2013-12-11 | 走査電子顕微鏡および試料ホルダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012109171A true JP2012109171A (ja) | 2012-06-07 |
JP5450357B2 JP5450357B2 (ja) | 2014-03-26 |
Family
ID=46494558
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010258465A Expired - Fee Related JP5450357B2 (ja) | 2010-11-19 | 2010-11-19 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5450357B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20140268321A1 (en) * | 2013-03-13 | 2014-09-18 | Protochips, Inc. | Device for imaging electron microscope environmental sample supports in a microfluidic or electrochemical chamber with an optical microscope |
KR101555275B1 (ko) | 2013-12-27 | 2015-09-24 | 구정회 | 용접 및 관찰기능을 가지는 복합장치 |
JP2016505848A (ja) * | 2012-12-28 | 2016-02-25 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 自動鉱物識別を実行する方法 |
EP3570086A1 (en) | 2018-05-14 | 2019-11-20 | Jeol Ltd. | Observation method and specimen support |
US11404239B2 (en) | 2019-09-05 | 2022-08-02 | Jeol Ltd. | Sample plate holder |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57164954U (ja) * | 1981-04-13 | 1982-10-18 | ||
JPS60145545U (ja) * | 1984-03-05 | 1985-09-27 | 日本電子株式会社 | 試料ホルダ位置決め装置 |
JPH0265863U (ja) * | 1988-11-09 | 1990-05-17 | ||
JPH1116529A (ja) * | 1997-06-20 | 1999-01-22 | Hitachi Ltd | 低真空走査電子顕微鏡の試料固定方法及び装置 |
JP2006054094A (ja) * | 2004-08-11 | 2006-02-23 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型電子顕微鏡 |
JP2006228586A (ja) * | 2005-02-18 | 2006-08-31 | Hitachi High-Tech Science Systems Corp | 走査電子顕微鏡 |
JP2008300354A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Fei Co | 荷電粒子装置内での試料キャリアの使用、当該試料キャリアの使用方法、及び当該試料キャリアを用いるように備えられた装置 |
-
2010
- 2010-11-19 JP JP2010258465A patent/JP5450357B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57164954U (ja) * | 1981-04-13 | 1982-10-18 | ||
JPS60145545U (ja) * | 1984-03-05 | 1985-09-27 | 日本電子株式会社 | 試料ホルダ位置決め装置 |
JPH0265863U (ja) * | 1988-11-09 | 1990-05-17 | ||
JPH1116529A (ja) * | 1997-06-20 | 1999-01-22 | Hitachi Ltd | 低真空走査電子顕微鏡の試料固定方法及び装置 |
JP2006054094A (ja) * | 2004-08-11 | 2006-02-23 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型電子顕微鏡 |
JP2006228586A (ja) * | 2005-02-18 | 2006-08-31 | Hitachi High-Tech Science Systems Corp | 走査電子顕微鏡 |
JP2008300354A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Fei Co | 荷電粒子装置内での試料キャリアの使用、当該試料キャリアの使用方法、及び当該試料キャリアを用いるように備えられた装置 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016505848A (ja) * | 2012-12-28 | 2016-02-25 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 自動鉱物識別を実行する方法 |
US20140268321A1 (en) * | 2013-03-13 | 2014-09-18 | Protochips, Inc. | Device for imaging electron microscope environmental sample supports in a microfluidic or electrochemical chamber with an optical microscope |
WO2014160061A2 (en) * | 2013-03-13 | 2014-10-02 | Protochips, Inc. | A device for imaging electron microscope environmental sample supports in a microfluidic or electrochemical chamber with an optical microscope |
WO2014160061A3 (en) * | 2013-03-13 | 2014-12-18 | Protochips, Inc. | A device for imaging electron microscope environmental sample supports in a microfluidic or electrochemical chamber with an optical microscope |
KR101555275B1 (ko) | 2013-12-27 | 2015-09-24 | 구정회 | 용접 및 관찰기능을 가지는 복합장치 |
EP3570086A1 (en) | 2018-05-14 | 2019-11-20 | Jeol Ltd. | Observation method and specimen support |
JP2019200847A (ja) * | 2018-05-14 | 2019-11-21 | 日本電子株式会社 | 観察方法、試料支持体、試料保持具セット、および透過電子顕微鏡 |
US11037755B2 (en) | 2018-05-14 | 2021-06-15 | Jeol Ltd. | Observation method, specimen support, and transmission electron microscope |
US11404239B2 (en) | 2019-09-05 | 2022-08-02 | Jeol Ltd. | Sample plate holder |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5450357B2 (ja) | 2014-03-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5450357B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
EP3423813B1 (en) | Xps and raman sample analysis system and method | |
US9618463B2 (en) | Method of acquiring EBSP patterns | |
US6576910B2 (en) | Sample holder, sample mount and sample mount jig for use in electron microscope | |
US20080006771A1 (en) | Electron beam apparatus to collect side-view and/or plane-view image with in-lens sectional detector | |
JP2007303946A (ja) | 試料分析装置および試料分析方法 | |
EP3570086B1 (en) | Observation method and specimen support | |
JP2014044967A (ja) | 走査電子顕微鏡および試料ホルダ | |
CA2430750A1 (en) | High spatial resolution matrix assisted laser desorption/ionization (maldi) | |
JP5648114B1 (ja) | 試料の表面観察に用いられる試料ホルダー及びその制御方法 | |
JP7040496B2 (ja) | 電子顕微鏡における試料観察方法、電子顕微鏡用画像解析装置、電子顕微鏡および電子顕微鏡用画像解析方法 | |
US7462830B2 (en) | Method and apparatus for observing inside structures, and specimen holder | |
US9012841B2 (en) | Specimen holder for observing cross section of specimen and method for controlling the same | |
JP5147567B2 (ja) | 電子分光器を有する透過型電子顕微鏡装置,試料ホルダ,試料台及びスペクトル像の取得方法 | |
JP6326341B2 (ja) | 試料ホルダー、および電子顕微鏡 | |
JP2008014899A (ja) | 試料作製方法 | |
JP3266814B2 (ja) | 微小部分析装置 | |
US7381970B2 (en) | Specimen stage for charged-particle scanning microscopy | |
JP2005294181A (ja) | バルク試料ホルダ | |
JP6024485B2 (ja) | 電子顕微鏡観察用試料台、並びに試料の断面観察方法 | |
WO2020020564A1 (en) | Substrate positioning device with remote temperature sensor | |
JP2016100316A (ja) | 試料台 | |
JP2011204367A (ja) | 電子顕微鏡用試料台 | |
JP3744408B2 (ja) | 面取り部の分析方法並びに面取り部分析用保持治具及びホルダー | |
KR101552996B1 (ko) | 멀티 단면 관찰 홀더 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20120521 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130130 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130130 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130920 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131001 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131017 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131126 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131225 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5450357 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |