JP2005294181A - バルク試料ホルダ - Google Patents
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Abstract
【課題】 2次電子検出器、反射電子検出器のうちのいずれかの検出器を有する電子顕微鏡に設けられ、バルク試料が設けられ、試料移動装置によって試料の平面方向および高さ方向(X,Y,Z方向)に移動するバルク試料ホルダに関し、コストダウンを図れるバルク試料ホルダを提供することを課題とする。
【解決手段】
ホルダ本体3と、バルク試料5が配置され、ホルダ本3体に設けられる試料台7とを有し、ホルダ本体3には、試料台7が係脱可能で、係合時に試料台7を保持する第1溝13、第2溝15(保持手段)が高さ方向に複数設けられている。
【選択図】 図1
【解決手段】
ホルダ本体3と、バルク試料5が配置され、ホルダ本3体に設けられる試料台7とを有し、ホルダ本体3には、試料台7が係脱可能で、係合時に試料台7を保持する第1溝13、第2溝15(保持手段)が高さ方向に複数設けられている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、2次電子検出器、反射電子検出器のうちのいずれかの検出器を有する電子顕微鏡に設けられ、バルク試料が設けられ、試料移動装置によって試料の平面方向および高さ方向(X,Y,Z方向)に移動するバルク試料ホルダに関する。
近年、電子顕微鏡は、像質のよい2次電子像の観察可能となり、薄膜試料のみならずバルク試料(矩形で厚い試料)を観察する要求が高まっている。
バルク試料の場合、その高さ(厚み)はさまざまである。試料の高さが基準の高さより大きく異なっていると、顕微鏡の焦点が合わない場合がある。更に、顕微鏡の焦点が合ったとしても、高さが異なる試料に焦点を合わせると、標準的な対物レンズの励磁からずれてしまうので対物レンズの焦点距離が変化してしまい、結果として異なる倍率が表示される場合もある。
バルク試料の場合、その高さ(厚み)はさまざまである。試料の高さが基準の高さより大きく異なっていると、顕微鏡の焦点が合わない場合がある。更に、顕微鏡の焦点が合ったとしても、高さが異なる試料に焦点を合わせると、標準的な対物レンズの励磁からずれてしまうので対物レンズの焦点距離が変化してしまい、結果として異なる倍率が表示される場合もある。
また、試料の高さを研磨等で加工して基準の高さにするには、時間がかかり、コストもかかる。
このような不都合を解決するために、ねじを用い、セットした試料の高さを調整できる機構を有した試料ホルダが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特開平8−327570号公報(図1)
このような不都合を解決するために、ねじを用い、セットした試料の高さを調整できる機構を有した試料ホルダが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
しかし、高さ調整機構を有した試料ホルダは製造するコストが高くなる問題点がある。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、その課題は、コストダウンを図れるバルク試料ホルダを提供することにある。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、その課題は、コストダウンを図れるバルク試料ホルダを提供することにある。
請求項1に係る発明は、2次電子検出器、反射電子検出器のうちのいずれかの検出器を有する電子顕微鏡に設けられ、バルク試料が設けられ、試料移動装置によって試料の平面方向および高さ方向(X,Y,Z方向)に移動するバルク試料ホルダにおいて、ホルダ本体と、前記バルク試料が配置され、前記ホルダ本体に設けられる試料台と、を有し、前記ホルダ本体には、前記試料台が係脱可能で、係合時に前記試料台を保持する保持手段が高さ方向に複数設けられていることを特徴とするバルク試料ホルダである。
バルク試料の高さに応じて、試料台は高さ方向に複数設けられている保持手段のうちの一つの保持手段に係合する。
請求項2に係る発明は、前記ホルダ本体は、前記試料台の一方の側部に対向する第1アーム部と、前記試料台の他方の側部に対向する第2アーム部と、を有し、前記保持手段は、前記第1アーム部の前記試料台と対向する面に形成され、前記試料台の側部が係合する第1溝と、前記第2アーム部の前記試料台と対向する面に形成され、前記試料台の側部が係合する第2溝とからなることを特徴とする請求項1記載のバルク試料ホルダである。
請求項2に係る発明は、前記ホルダ本体は、前記試料台の一方の側部に対向する第1アーム部と、前記試料台の他方の側部に対向する第2アーム部と、を有し、前記保持手段は、前記第1アーム部の前記試料台と対向する面に形成され、前記試料台の側部が係合する第1溝と、前記第2アーム部の前記試料台と対向する面に形成され、前記試料台の側部が係合する第2溝とからなることを特徴とする請求項1記載のバルク試料ホルダである。
試料台の一方の側面は、ホルダ本体の第1アーム部の第1溝に係合する。試料台の他方の側面は、ホルダ本体の第2アーム部の第2溝に係合する。
請求項3に係る発明は、前記試料台には、前記バルク試料を前記試料台に押さえつけるばね手段が設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のバルク試料ホルダである。
請求項3に係る発明は、前記試料台には、前記バルク試料を前記試料台に押さえつけるばね手段が設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のバルク試料ホルダである。
ばね手段により、試料は試料台に押さえつけられ、固定される。
請求項4に係る発明は、前記ホルダ本体には、X線検出用の切り欠きが形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のバルク試料ホルダである。
請求項4に係る発明は、前記ホルダ本体には、X線検出用の切り欠きが形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のバルク試料ホルダである。
試料から発生したX線が切り欠きを介してバルク試料ホルダの外部へ出て行く。
請求項5にかかる発明は、前記ホルダ本体は、前記試料移動装置の試料ホルダロッドに対して着脱可能であることを特徴とする請求項1乃至4いずれかに記載のバルク試料ホルダである。
請求項5にかかる発明は、前記ホルダ本体は、前記試料移動装置の試料ホルダロッドに対して着脱可能であることを特徴とする請求項1乃至4いずれかに記載のバルク試料ホルダである。
請求項1から5に係る発明によれば、ホルダ本体には、前記試料台が係脱可能で、係合時に前記試料台を保持する保持手段が高さ方向に複数設けられていることにより、高さが異なるバルク試料の高さ調整を容易に行える。更に、保持手段は、試料台を保持するだけの構造でよいので、製造コストも安くなる。
請求項2に係る発明によれば、前記ホルダ本体は、前記試料台の一方の側部に対向する第1アーム部と、前記試料台の他方の側部に対向する第2アーム部と、を有し、前記保持手段は、前記第1アーム部の前記試料台と対向する面に形成され、前記試料台の側部が係合する第1溝と、前記第2アーム部の前記試料台と対向する面に形成され、前記試料台の側部が係合する第2溝とからなることにより、構造が簡単で、製造コストが安くなる。
請求項3に係る発明によれば、前記試料台には、前記バルク試料を前記試料台に押さえつけるばね手段が設けられていることにより、ドライバ等の工具なしでバルク試料を容易に固定できる。更に、バルク試料の汚染源となる導電ペースト等が不要でなるので、像質がよい。
請求項4に係る発明によれば、前記ホルダ本体には、X線検出用の切り欠きが形成されていることにより、バルク試料から発生し、切り欠きを介してバルク試料ホルダの外部に出たX線を検出することにより、バルク試料の定性定量分析を行なうことができる。
請求項5に係る発明によれば、前記ホルダ本体は、前記試料移動装置の試料ホルダロッドに対して着脱可能であることにより、バルク試料ホルダのコストが安くなる。
図1から図3を用いて、形態例を説明する。図1はバルク試料ホルダの分解斜視図、図2は図1の試料台の分解斜視図、図3は図1のバルク試料ホルダと、試料ホルダロッドとの斜視図である。
図1において、バルク試料ホルダ1は、ホルダ本体3と、バルク試料5が配置され、ホルダ本体3に設けられる試料台7とからなっている。ホルダ本体3は、試料台7の一方の側部に対向する第1アーム部9と、試料台7の他方の側部に対向する第2アーム部11とを有している。更に、第2アーム部11には、X線検出用の切り欠き12が形成されている。
ホルダ本体3には、試料台7が係脱可能で、係合時に試料台7を保持する保持手段が高さ方向に複数設けられている。本形態例の保持手段は、第1アーム部9の第2アーム部11と対向する面に形成された第1溝13と、第2アーム部11の第1アーム部9と対向する面に形成される第2溝15とで構成した。更に、保持手段を構成する第1溝13、第2溝15は、それぞれバルク試料5の高さ方向(図1の矢印H方向)に複数形成した。
次に、図2を用いて試料台7の説明を行う。試料台7は、バルク試料5が配置され、保持部としてのホルダ本体3の第1溝13、第2溝15に係合可能な平板状の本体部21と、本体部21の一方の端部から上方に折り曲げられた折り曲げ部23とからなっている。更に詳しく説明すると、図1において、ホルダ本体3の第1アーム部9、第2アーム部11間の空間に、試料台7の本体部21の他方の端部(折り曲げ部23が形成されていない方の端部)を先頭に、矢印A方向に挿入し、本体部21の側部を第1溝13、第2溝15の係合させることで、試料台7はホルダ本体3に保持されるようになっている。
図2に戻って、本体部21の他方の端部には、一方の端部に向かって伸びる2つの切り欠き溝25が形成されている。折り曲げ部23には上下方向の2つ溝27が形成され、これら溝27の中間部には、横方向に延出する切り欠き溝29が形成されている。そして、基部31と、基部31の両端から略90度に折曲されたアーム部33とからなる略コ字形で、線状のばね材で形成されたばね手段としての試料固体ばね35の基部31が試料台7の切り欠き溝25に係合している。この係合により、試料固定ばね35は基部31を中心にアーム部33が回転可能となっている。試料台7の本体部21上にバルク試料5を配置し、試料固定ばね35のアーム部33をバルク試料5の上面に当接した状態で、アーム部33の先端側を試料台7の溝27を介して切り欠き溝29に係合させることにより、バルク試料5は試料台7の本体部21上に固定されるようになっている。尚、試料台7へ固定されているバルク試料5を取り外すには、試料固定ばね35のアーム部33の切り欠き溝29への係合を解除することで可能である。
次に、図3に示すように、ホルダ本体3には、試料移動装置の試料ホルダロッド51の前端面に形成された挿入穴53に着脱可能な棒部55が形成されている。
このような構成によれば、以下のような効果を得ることができる。
(1)ホルダ本体3には、試料台7が係脱可能で、係合時に試料台7を保持する保持手段(第1溝13、第2溝15)が高さ方向に複数設けられていることにより、高さが異なるバルク試料5の高さ調整を容易に行える。更に、保持手段は、第1溝13、第2溝15からなり、試料台7を係合するだけの構造でよいので、構造が簡単で、製造コストも安くなる。
(2)試料台7には、バルク試料5を試料台7に押さえつけるばね手段としての試料固定羽根35が設けられていることにより、ドライバ等の工具なしでバルク試料を容易に固定できる。更に、バルク試料の汚染源となる導電ペースト等が不要でなるので、像質がよい。
(3)ホルダ本体3には、X線検出用の切り欠き12が形成されていることにより、バルク試料5から発生し、切り欠き12を介してバルク試料ホルダ1の外部に出たX線を検出することにより、バルク試料5の定性定量分析を行なうことができる。
(4)ホルダ本体3は、試料移動装置の試料ホルダロッド51に対して着脱可能であることにより、バルク試料ホルダ1のコストが安くなる。
このような構成によれば、以下のような効果を得ることができる。
(1)ホルダ本体3には、試料台7が係脱可能で、係合時に試料台7を保持する保持手段(第1溝13、第2溝15)が高さ方向に複数設けられていることにより、高さが異なるバルク試料5の高さ調整を容易に行える。更に、保持手段は、第1溝13、第2溝15からなり、試料台7を係合するだけの構造でよいので、構造が簡単で、製造コストも安くなる。
(2)試料台7には、バルク試料5を試料台7に押さえつけるばね手段としての試料固定羽根35が設けられていることにより、ドライバ等の工具なしでバルク試料を容易に固定できる。更に、バルク試料の汚染源となる導電ペースト等が不要でなるので、像質がよい。
(3)ホルダ本体3には、X線検出用の切り欠き12が形成されていることにより、バルク試料5から発生し、切り欠き12を介してバルク試料ホルダ1の外部に出たX線を検出することにより、バルク試料5の定性定量分析を行なうことができる。
(4)ホルダ本体3は、試料移動装置の試料ホルダロッド51に対して着脱可能であることにより、バルク試料ホルダ1のコストが安くなる。
1 バルク試料ホルダ
3 ホルダ本体
5 バルク試料
7 試料台
13 第1溝(保持手段)
15 第2溝(保持手段)
3 ホルダ本体
5 バルク試料
7 試料台
13 第1溝(保持手段)
15 第2溝(保持手段)
Claims (5)
- 2次電子検出器、反射電子検出器のうちのいずれかの検出器を有する電子顕微鏡に設けられ、バルク試料が設けられ、試料移動装置によって試料の平面方向および高さ方向(X,Y,Z方向)に移動するバルク試料ホルダにおいて、
ホルダ本体と、
前記バルク試料が配置され、前記ホルダ本体に設けられる試料台と、
を有し、
前記ホルダ本体には、前記試料台が係脱可能で、係合時に前記試料台を保持する保持手段が高さ方向に複数設けられていることを特徴とするバルク試料ホルダ。 - 前記ホルダ本体は、
前記試料台の一方の側部に対向する第1アーム部と、
前記試料台の他方の側部に対向する第2アーム部と、を有し、
前記保持手段は、
前記第1アーム部の前記試料台と対向する面に形成され、前記試料台の側部が係合する第1溝と、前記第2アーム部の前記試料台と対向する面に形成され、前記試料台の側部が係合する第2溝とからなることを特徴とする請求項1記載のバルク試料ホルダ。 - 前記試料台には、前記バルク試料を前記試料台に押さえつけるばね手段が設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のバルク試料ホルダ。
- 前記ホルダ本体には、X線検出用の切り欠きが形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のバルク試料ホルダ。
- 前記ホルダ本体は、前記試料移動装置の試料ホルダロッドに対して着脱可能であることを特徴とする請求項1乃至4いずれかに記載のバルク試料ホルダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004110700A JP2005294181A (ja) | 2004-04-05 | 2004-04-05 | バルク試料ホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=35326854
Family Applications (1)
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JP2004110700A Pending JP2005294181A (ja) | 2004-04-05 | 2004-04-05 | バルク試料ホルダ |
Country Status (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP1883095A1 (en) * | 2006-07-26 | 2008-01-30 | FEI Company | Transfer mechanism for transferring a specimen |
CN102983049A (zh) * | 2012-11-22 | 2013-03-20 | 北京大学 | 透射电镜样品承载装置 |
CN103730313A (zh) * | 2014-01-03 | 2014-04-16 | 东南大学 | 原位样品杆中基片供电电源、光-电双功能基片及其制法 |
JP2014216180A (ja) * | 2013-04-25 | 2014-11-17 | 株式会社日立製作所 | 試料ホルダおよびそれを用いた荷電粒子線装置 |
KR20220058405A (ko) * | 2020-10-30 | 2022-05-09 | 주식회사 엘지화학 | 시료 내 이온성 화합물의 분리 및 농축 시스템 및 이를 이용한 이온성 화합물의 분석 방법 |
-
2004
- 2004-04-05 JP JP2004110700A patent/JP2005294181A/ja active Pending
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EP1883095A1 (en) * | 2006-07-26 | 2008-01-30 | FEI Company | Transfer mechanism for transferring a specimen |
US7888655B2 (en) | 2006-07-26 | 2011-02-15 | Fei Company | Transfer mechanism for transferring a specimen |
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CN103730313B (zh) * | 2014-01-03 | 2015-10-14 | 东南大学 | 原位样品杆中基片供电电源、光-电双功能基片及其制法 |
KR20220058405A (ko) * | 2020-10-30 | 2022-05-09 | 주식회사 엘지화학 | 시료 내 이온성 화합물의 분리 및 농축 시스템 및 이를 이용한 이온성 화합물의 분석 방법 |
KR102536164B1 (ko) | 2020-10-30 | 2023-05-26 | 주식회사 엘지화학 | 시료 내 이온성 화합물의 분리 및 농축 시스템 및 이를 이용한 이온성 화합물의 분석 방법 |
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