JP4791106B2

JP4791106B2 - ステージ装置

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Publication number: JP4791106B2
Application number: JP2005249573A
Authority: JP
Inventors: 浩昭野田
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2005-08-30
Filing date: 2005-08-30
Publication date: 2011-10-12
Anticipated expiration: 2025-08-30
Also published as: EP1921483A4; JP2007065180A; US20090135477A1; WO2007026641A1; EP1921483A1

Description

本発明は、スライドガラスを位置決め状態に搭載するためのステージ装置に関するものである。

従来、顕微鏡に用いられるステージ装置として、スライドガラスを位置決め状態に支持する機構を有するものは知られている（例えば、特許文献１参照。）。
このステージ装置は、搭載面に載置されたスライドガラスの隣接する２つの側面を突き当てる突当部と、スライドガラスを突当部に向けて押圧するクランプアームとを備えている。クランプアームには、該突当部に突き当てられるスライドガラスの２つの側面にそれぞれ対向する２つの側面を突当部方向に押圧する２つの突起が備えられている。

このクランプアームの突起によってスライドガラスを固定するには、クランプアームをその軸線回りに揺動させて、２つの突起をスライドガラスの側面に押し当てることにより押圧する。
米国特許出願公開第２００４／０１１４２２７号公報

しかしながら、上記特許文献１に開示されているステージ装置は、単一のクランプアームによって２つの突起を移動させるため、２つの突起をほぼ同時にスライドグラスの２側面に接触させることになる。このため、スライドガラスは２カ所の突当部に対してもほぼ同時に押し付けられることになり、押し付けられたスライドガラスの側面と突当部との間に摩擦力が発生する。この場合において、搭載部に載置された状態でスライドガラスが突当部に対して傾斜して配置されていると、傾斜したままで押し当てられたスライドガラス側面と突当部との接触位置に摩擦力が発生し、場合によっては、スライドガラスが搭載部上において水平面内で傾斜したままの状態で固定されてしまう不都合がある。

また、このように、スライドガラスが水平面内において傾斜したままの状態で固定される場合、スライドガラスの固定は不安定となり、場合によっては、水平面内のみならず垂直方向にも傾斜して固定されてしまう不都合が考えられる。

例えば、顕微鏡を用いて、より高分解能で観察する場合には、スライドガラス底面に照明用コンデンサレンズを近接させて照明する必要があり、その距離は１ｍｍ未満となるので、スライドガラスの搭載部はコンデンサレンズとの干渉を回避するために極めて薄く構成される。しかも、より広い観察範囲を確保するためにスライドガラスの搭載部にスライドガラスが接触する面積は極めて狭く設定されるため、搭載部の剛性が不足しがちとなる。

このような条件下において、スライドガラスの隣接する２側面を単一のクランプアームで押し付ける場合には、いずれか一方の側面の押し付け力が必要以上に大きくなる場合があり、搭載部が弾性変形してしまい、スライドガラスが垂直方向に傾斜して固定されてしまうことになる。この場合には、スライドガラス上の標本の位置が、対物レンズの光軸方向に変動するため、部分的にピントが合わない等の不都合が発生する。

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、簡易な構成で、スライドガラスを精度よく位置決め状態に固定することができるステージ装置を提供することを目的としている。

上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、スライドガラスを載置する搭載面と、該搭載面に載置されたスライドガラスの隣接する長辺側および短辺側の２つの側面を突き当てる突当部と、２つの前記側面を前記突当部方向にそれぞれ押圧する押圧機構とを備え、前記突当部が、前記スライドガラスの長辺側の前記側面の両端近傍を突き当てるように間隔をあけて配置された２つの第１の突当部と、前記スライドガラスの短辺側の前記側面の両端近傍を突き当てるように間隔をあけて配置された２つの第２の突当部とを有し、前記押圧機構が、前記第１の突当部に突き当てられる前記スライドガラスの長辺側の前記側面に対向する側面を押圧した後、前記第２の突当部に突き当てられる前記スライドガラスの短辺側の前記側面に対向する側面を押圧する複数の押圧部材を備えるステージ装置を提供する。

本発明によれば、搭載面に載置されたスライドガラスが、押圧機構の作動により突当部に突き当てられる。この場合に、押圧機構が複数の押圧部材を備え、各押圧部材が別々のタイミングでスライドガラスの２側面を押圧するので、スライドガラスの隣接する２側面が別々に突当部に突き当てられる。すなわち、最初に押圧を開始した押圧部材によりスライドガラスの長辺側の側面が第１の突当部に突き当たった後に、次の押圧部材が短辺側の側面に対向する側面の押圧を開始する。

隣接する２つの側面がほぼ同時に突当部に押しつけられてしまう場合には、スライドガラスが傾斜したまま固定されてしまう不都合があるが、本発明によれば、一の押圧部材によりスライドガラスが一突当部に突き当てられて一方向に位置決めされた後に、他の押圧部材により他方向に位置決め動作が開始されるので、２つの側面がほぼ同時に突当部に押しつけられてしまうことを防止し、スライドガラスが傾斜したまま固定されてしまうことを防止できる。

特に、押圧機構の作動により、最初に長辺側の側面が長い間隔をあけた第１の突当部に突き当てられ、その後、短辺側の側面が短い間隔をあけた第２の突当部に突き当てられる。その結果、最初に長辺側の側面を突き当てることにより、スライドガラスを傾斜しないように矯正することができる。そして、その後、その姿勢を維持したまま、第１の突当部をガイドとして短辺側の側面を第２の突当部に突き当てることで、スライドガラスを精度よく位置決めすることができる。

上記発明においては、前記各押圧部材に、前記スライドガラスの側面を押圧する押圧力を発生する弾性部材が備えられていることが好ましい。
このようにすることで、押圧部材がスライドガラスに接触すると、弾性部材の弾発力に基づく押圧力でスライドガラスが押圧される。そして、スライドガラスの側面が突当部に突き当たると、弾性部材が弾性変形することで、弾発力に基づく押圧力が徐々に大きくなる。弾性部材が配置されていない場合には、スライドガラスの側面が突当部に突き当たると、押圧部材による押圧力が急激に大きくなる。その結果、スライドガラスの側面と突当部との間に生ずる摩擦力も急激に増大してその場で固定されてしまうことになる。本発明によれば、弾性部材の作動により、スライドガラスの側面と突当部との間に生ずる摩擦力の激増を防止して、スライドガラスが傾斜したまま固定されてしまうことを防止できる。

また、本発明の一参考例においては、前記各押圧部材に、前記スライドガラスの側面を押圧する押圧力を発生する弾性部材が備えられ、短いスパンで前記突当部に突き当てられる側面に対向する側面を押圧する押圧部材の弾性部材が、長いスパンで前記突当部に突き当てられる側面に対向する側面を押圧する押圧部材の弾性部材よりも大きな押圧力を発生することが好ましい。

このようにすることで、短いスパンで突き当てられる側面を突当部に突き当てる際に、長いスパンで突き当てられる側面を突当部に突き当てる場合よりも大きな押圧力が付与される。短いスパンで突き当てられる側面を突当部に突き当てる際には、既に、長いスパンで突き当てられる側面が突当部に突き当てられているので、これを移動させる際には摩擦力が発生するが、本発明によれば、押圧部材が大きな押圧力を発生させているので、その摩擦力に抗してスライドガラスを移動させることができる。

また、上記発明においては、前記押圧機構が、前記各押圧部材を連動させるリンク機構を備えることとしてもよい。
このようにすることで、リンク機構の作動により、複数の押圧部材を連動させるので、隣接する側面のタイミングの異なる押圧動作を簡単な操作で行うことが可能となる。

また、上記発明においては、前記各押圧部材のスライドガラスの側面を押圧する押圧端に、前記搭載面に向かって漸次後退するテーパ面が備えられていることとしてもよい。
このようにすることで、押圧部材によってスライドガラスの側面を押圧すると、押圧部材に設けられたテーパ面がスライドガラスに接触するので、テーパ面によって側面が斜め下方に押圧され、スライドガラスの浮き上がりを防止することができる。これにより、スライドガラスが鉛直方向に斜めに傾斜して、得られる画像のピントが部分的にずれる等の不都合の発生を未然に防止することができる。

本発明によれば、スライドガラスの隣接する２側面を異なるタイミングで別々に位置決めすることで、簡易な構成により、スライドガラスを精度よく位置決め状態に固定することができるという効果を奏する。

以下、本発明の一実施形態に係るステージ装置１について、図１〜図９を参照して以下に説明する。
本実施形態に係るステージ装置１は、図１に示されるように、スライドガラス２を載置する搭載面３と、該搭載面３に載置されたスライドガラス２の側面２ａ，２ｂを押圧する押圧機構４と、押圧されたスライドガラス２を突き当てる突当部５ａ，５ｂを備えている。スライドガラス２は、例えば、７６ｍｍ×２６ｍｍ、厚さ０．８〜１．５ｍｍ程度の寸法のものである。

前記搭載面３は、ステージ本体６の下面に固定されたステンレス鋼等のスチール製薄板７の上面により構成されている。ステージ本体６は、例えば、アルミニウム合金を切削することにより構成されている。アルミニウム合金は被削性が良好で、精度よく部品加工できる一方、薄板状に形成する場合には強度が低く、高い精度の平面度を実現することができない。このため、搭載面３をスチール製薄板７により構成することで、搭載面３の平面度を向上しつつ、搭載面３に搭載されたスライドガラス２の下面側から、広い観察範囲にわたってコンデンサレンズ（図示略）等をスライドガラス２に近接配置する空間を確保できるようになっている。

搭載面３を構成するスチール製薄板７は、スライドガラス２の少なくとも四隅を支持する位置に配置されている。図中、符号８は、スチール製薄板７を上方に露出させるとともに、後述する突当部５ａ，５ｂを精度よく加工するためにステージ本体６に設けた切欠である。また、図中、符号９は、後述するようにスライドガラス２を搬送する搬送アーム１０を挿入するためにステージ本体６に設けた切欠である。

前記突当部５ａ，５ｂは、図１に示されるように、スライドガラスの相互に隣接する２つの側面２ｃ，２ｄに対応する位置に設けられている。長辺側の側面２ｃに対応する位置に設けられた突当部５ａは、長辺側の側面２ｃのほぼ両端近傍を長いスパンで突き当てるように配置されている。短辺側の側面２ｄに対応する位置に設けられた突当部５ｂも、短辺側の側面２ｄのほぼ両端近傍を突き当てるように配置されているが、短辺の寸法が短いために、長辺側よりも短いスパンで突き当てるように配置されている。

前記押圧機構４は、図１に示されるように、スライドガラス２を挟んで前記突当部５ａ，５ｂと対向する位置にそれぞれ設けられ、突当部５ａ，５ｂに突き当てられる側面２ｃ，２ｄとは反対側の側面２ａ，２ｂをそれぞれ押圧する押圧部材１１，１２を、スライドガラス２の長辺側に２カ所、短辺側に１カ所備えている。各押圧部材１１，１２は、スライドガラス２の側面２ａ，２ｂに対して直交する方向に直線移動可能に支持されている。

また、押圧機構４は、図２に示されるように、これら複数の押圧部材１１，１２を連動させるリンク機構１３を備えている。リンク機構１３は、短辺側の側面２ｂを押圧する押圧部材１２の移動方向とほぼ平行に移動可能に支持された連結リンク１４と、該連結リンク１４によって揺動させられるレバー１５，１６と、押圧部材１１，１２に固定されたスライダ１７，１８とを備えている。図中、符号１９は連結リンク１４に設けられた操作突起、符号２０は、ステージ本体６に固定された揺動軸である。

スライダ１７，１８には、該スライダ１７，１８をステージ本体６に対してスライドガラス２側に付勢するスプリング２１，２２が設けられている。これにより、スライダ１７，１８は常時、押圧部材１１，１２をスライドガラス２に向けて押し付ける方向に付勢されている。スライドガラス２の短辺側の側面２ｂを押圧する押圧部材１２を固定したスライダ１８のスプリング２２には、スライドガラス２の長辺側の側面２ａを押圧する押圧部材１１を固定したスライダ１７のスプリング２１より大きな弾発力を生じさせるものが採用されている。また、スプリング２１，２２は、スライドガラス２の側面２ａ，２ｂをそれぞれ確実に保持するのに必要最小限の弾発力を生じさせるものが採用されている。

連結リンク１４およびスライダ１７，１８には、レバー１５，１６との接続位置にそれぞれ長孔２３，２４が形成され、レバー１５，１６には長孔２３，２４に隙間をあけて挿入されるボス２５が設けられている。これにより、レバー１５，１６先端の円弧運動を連結リンク１４およびスライダ１７，１８の直線運動に変換するための遊びが形成されている。

各長孔２３，２４の位置は、各押圧部材１１，１２を移動させるための複数のレバー１５，１６の作動タイミングを調節する位置に配置されている。
すなわち、図２において、連結リンク１４を右方向に移動させると、まず、連結リンク１４の長孔２３と該長孔２３内のレバー１６のボス２５とが接触してレバー１６が半時計回りに揺動を開始させられ、レバー１６先端のボス２５がスライダ１８の長孔２４と接触してスライダ１８をスプリング２２の弾発力に抗して右方向に移動させるようになっている。これにより、スライドガラス２の短辺側の側面２ｂを押圧する押圧部材１２がスライドガラス２の側面２ｂから離れる方向に直線移動を開始させられるようになっている。

このとき、レバー１５のボス２５と連結リンク１４の長孔２３とは、まだ接触しておらず、レバー１５は静止した状態に維持されている。そして、押圧部材１２が所定距離だけ移動させられたところで、レバー１５のボス２５と該ボス２５を挿入している長孔２３とが接触して、レバー１５が反時計回りに揺動を開始させられるようになっている。これにより、該レバー１５のボス２５によって長孔２３が押圧され、スライダ１７がスライドガラス２から離れる方向に直線移動を開始させられる。その結果、長辺側の側面２ａを押圧する押圧部材１１が、スライドガラス２の側面２ａから離れる方向に直線移動を開始させられるようになっている。

これとは逆に、押圧部材１１，１２がスライドガラス２の側面２ａ，２ｂから離れた状態において、連結リンク１４を、図２の左方向に移動させると、まず、押圧部材１１がスライドガラス２の長辺側の側面２ａに接触させられて、スプリング２１の弾発力によってスライドガラス２を押圧するようになっている。そして、スライドガラス２が移動させられて、突当部５ａに突き当たると、スライドガラス２が押圧部材１１と突当部５ａとの間に挟まれるようになっている。

このとき、短辺側の側面２ｂと押圧部材１２とは接触しておらず、その後、連結リンク１４がさらに左方向に移動させられることにより、押圧部材１２がスライドガラス２の短辺側の側面２ｂに接触してこれを押圧するようになっている。

前記押圧部材１１，１２のスライドガラス２の側面２ａ，２ｂと接触する先端部は、図３に示されるように、先端に向かって漸次上向きに傾斜するテーパ面２６を有している。また、前記突当部５ａ，５ｂにも、図４に示されるように、先端に向かって漸次上向きに傾斜するテーパ面２７が備えられている。テーパ面２６，２７はその高さ方向の途中位置にスライドガラス２の上面の角部を接触させることができる寸法を有している。各テーパ面２６，２７の傾斜角度は、４５°以上であることが好ましい。

このように構成された本実施形態に係るステージ装置１の作用について以下に説明する。
本実施形態に係るステージ装置１により、スライドガラス２を固定するには、まず、手動で、あるいは、搬送アーム１０に搭載して、スライドガラス２を搭載面３上に移載する。

搬送アーム１０としては、例えば、図５に示されるように、スライドガラス２の下面を支持する支持部１０ａと、該支持部１０ａの一端から上方に延びるＬ字状のアーム部１０ｂとを備えている。
アーム部１０ｂは、支持部１０ａを片持ち梁状に支持し、図示しない移動機構によって支持部１０ａを３次元的に移動させることができるようになっている。支持部１０ａには、図６および図７に示されるように、スライドガラス２の下面を吸着する吸着部１０ｃが設けられており、搬送時に、スライドガラス２を吸着部１０ｃにより吸着して、安定的に搬送することができるようになっている。

ステージ装置１においては、操作突起１９に外力を加えて連結リンク１４を移動させ、図６に示されるように、押圧部材１１，１２を突当部５ａ，５ｂとの間隔を広げる方向に退避させておく。このとき、スライドガラス２の短辺側の側面２ｂを押圧する押圧部材１２が最初に退避を開始させられ、その後、長辺側の側面２ａを押圧する押圧部材１１が退避させられるので、短辺側の押圧部材１２は長辺側の押圧部材１１よりも大きく退避させられることになる。

そして、図５のようにして、支持部１０ａにスライドガラス２を搭載し吸着部１０ｃによって吸着した状態で搬送アーム１０によって搬送し、図６に示されるように、ステージ装置１に設けられた搭載面３に４隅を接触させた状態で、吸着部１０ｃによる吸着を解除する。これにより、スライドガラス２を搬送アーム１０からステージ装置１の搭載面３に移載することができる。
搭載面３にスライドガラス２を移載した後の搬送アーム１０は、図７に示されるように、ステージ本体６に設けた切欠９からステージ本体６上方に抜け出して、ステージ装置１の移動の邪魔にならない位置に退避させられる。

この状態で、操作突起１９に加えていた外力を解放する。各スライダ１７，１８はスプリング２１，２２の弾発力によって、押圧部材１１，１２をスライドガラス２の側面２ａ，２ｂに向かわせる方向に付勢されているので、外力の解除によって連結リンク１４が移動させられる。

連結リンク１４の移動が開始されると、全てのレバー１５，１６の時計回りの揺動が開始され、スライダ１７，１８およびこれに固定されている押圧部材１１，１２が直線移動させられる。スライドガラス２の短辺側の側面２ｂを押圧する押圧部材１２は長辺側の側面２ａを押圧する押圧部材１１よりも大きく退避させられているので、まず、図８に示されるように、押圧部材１１の先端がスライドガラス２の長辺側の側面２ａに接触してこれを押圧する。これにより、スライドガラス２が短辺に沿う方向に移動させられて、スライドガラスの側面２ｃが突当部５ａに突き当てられる。

この場合において、スライドガラス２は搭載面３上に自由状態で載置され、長辺側の側面２ａに接触する押圧部材１１のみによって外力を受けるので、搭載面３との間の摩擦力を除き、他の外力によってその動作を拘束されることなく、押圧部材１１から受ける外力に倣って移動させられる。そして、押圧部材１１に対向して配置されている突当部５ａに接触し、該突当部５ａと押圧部材１１との間に、スプリング２１の弾発力によって挟まれるようになる。

したがって、スライドガラス２が搭載面３上で傾斜したまま固定されてしまうことが防止される。また、本実施形態においては、スライドガラス２の長辺側の側面２ａを押圧する押圧部材１１は長辺側の両端近傍に２カ所設けられているので、スライドガラス２は２つの押圧部材１１によって押圧される。２つの押圧部材１１は、連結リンク１４、レバー１５およびスライダ１７によってほぼ同一位置に先端を配置しながら移動するので、スライドガラス２が水平面内において傾斜している場合には、最初にいずれか一方の押圧部材１１が長辺側の側面２ａに突き当たる。これにより、スライドガラス２を水平面内で回転させて姿勢を修正し、最終的に２つの押圧部材１１と、２つの突当部５ａとの間に挟まれた状態に位置決めされることになる。

また、この場合において、長辺側の側面２ｃを突き当てる突当部５ａは、スライドガラス２のほぼ両端近傍の側面を突き当てるように広いスパンをあけて配置されているので、この突当部５ａにスライドガラス２の側面２ｃを突き当てることでスライドガラス２が短辺に沿う方向に精度よく位置合わせされることになる。

さらに、本実施形態においては、押圧部材１１の先端にテーパ面２６が設けられ、スライドガラス２の側面２ａは、このテーパ面２６に接触するので、テーパ面２６とスライドガラス２との接触位置において、押圧力が水平方向の押圧力成分と鉛直方向の押圧力成分とに分配される。すなわち、スライドガラス２は水平方向の押圧力成分によって側面２ｃが突当部５ａに突き当たるまで移動させられる一方、鉛直方向の押圧力成分によって搭載面３に密着する方向に押し付けられることになる。したがって、搭載面３に搭載されたスライドガラス２が何らかの原因によって鉛直方向に傾斜していた場合であっても、押圧部材１１との接触によって搭載面３に密着する方向に押されることで、鉛直方向の傾斜が補正される。

さらに、本実施形態においては、突当部５ａの先端にもテーパ面２７が設けられているので、スライドガラス２の側面２ｃは、このテーパ面２７に接触したときに鉛直方向の押圧力成分を突当部５ａ側からも受けることになり、さらに強く搭載面３に密着させた状態に位置決めされることになる。

次いで、連結リンク１４がさらに移動すると、スライドガラス２の短辺側の側面２ｂに押圧部材１２が接触して、これを押圧するようになる。このとき、スライドガラス２は既に短辺に沿う方向に位置決めされているので、押圧部材１２から加えられる押圧力によって、スライドガラス２は長辺に沿う方向のみに移動させられる。そして、スライドガラス２の側面２ｄが突当部５ｂに接触した位置でスライドガラス２が突当部５ｂと押圧部材１２との間に挟まれ、長辺に沿う方向にも位置決めされる。

この場合において、本実施形態に係るステージ装置１によれば、スライドガラス２の短辺側の側面２ｂを押圧する押圧部材１２は長辺側の側面２ａを押圧する押圧部材１１よりも強い弾発力によって押圧されているので、既に短辺方向に位置決めされたスライドガラス２の側面２ａ，２ｃと押圧部材１１および突当面５ａとの間に生ずる摩擦力に抗してスムーズにスライドガラス２を移動させることができ、長辺に沿う方向にも精度よく位置決めすることができる。

また、この場合の押圧部材１２および突当面５ｂの先端にもテーパ面２６，２７が設けられているので、スライドガラス２はさらに強く搭載面３に密着させられ、鉛直方向にも精度よく水平を保った状態に位置決めされることになる。
また、この場合において、スプリング２１，２２の弾発力がスライドガラス２の側面２ａ，２ｂをそれぞれ確実に保持するのに必要最小限に設定されているので、スライドガラス２の搭載面３を構成しているステンレス鋼等のスチール製薄板７に鉛直方向に作用する力を最小限に抑え、スチール製薄板７の鉛直方向の歪みの発生を防止してスライドガラスを精度よく固定することができる。

このように、本実施形態に係るステージ装置１によれば、スライドガラス２の長辺側の側面２ａを最初に押圧して位置決めし、次いで、短辺側の側面２ｂを押圧して位置決めするように、押圧のタイミングをずらしているので、隣接する２側面２ａ．２ｂを同時に押圧することにより生ずる不都合、すなわち、水平面内で傾斜して固定されてしまったり、鉛直方向に傾斜してしまったりする不都合の発生を未然に防止し、スライドガラス２を精度よく位置決め状態に固定することができるという利点がある。

なお、本実施形態においては、７６×２６×０．８〜２．０の寸法のスライドガラス２を位置決め状態に固定するステージ装置１を例示して説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、例えば、７６×５２×０．８〜２．０の寸法のスライドガラス２を固定するステージ装置１に適用してもよい。また、これに限定されることなく他の寸法のスライドガラス２を固定するステージ装置１に適用してもよい。

また、本実施形態の説明においては、スライドガラス２の長辺側の側面２ａを最初に押圧することで、長辺側の突当部５ａに長いスパンで突き当てて位置決めすることとしたが、これに代えて、長いスパンで突き当てる突当部５ａが短辺側に配置されている場合には、短辺側の側面２ｂを最初に押圧することとしてもよい。

また、上記連結リンク１４の操作突起１９に作用させる外力は手動でもよいが、ステージ装置１の水平移動によって外部の固定部材（図示略）に操作突起１９を接触させることで外力を作用させることとしてもよい。これにより、スライドガラス２の装着作業を自動化することができる。

また、本実施形態に係るステージ装置１としては、ステージ本体を駆動する駆動機構（図示略）を備えるものの他、駆動機構により駆動される部材に着脱可能に取り付けられるアダプタ状のものも含まれる。

本発明の一実施形態に係るステージ装置を示す部分的な平面図である。図１のステージ装置を駆動するリンク機構を示す部分的な背面図である。図１のステージ装置の押圧部材の先端形状を示す部分的な側面図であり、（ａ）はスライドガラスに接触する前の状態、（ｂ）はスライドガラスを押圧している状態を示す図である。図１のステージ装置の突当部の先端形状を示す部分的な側面図であり、（ａ）はスライドガラスを突き当てる前の状態、（ｂ）はスライドガラスを突き当てた状態を示す図である。図１のステージ装置にスライドガラスを移載するための搬送アームを模式的に示す側面図である。図５の搬送アームによるスライドガラスの移載作業を説明する平面図である。図６の移載作業終了後にステージ装置から搬送アームを抜き出す作業を説明する平面図である。図１のステージ装置において、スライドガラスの短辺に沿う方向の位置決め作業を説明する平面図である。図１のステージ装置において、スライドガラスの長辺に沿う方向の位置決め作業を説明する平面図である。

符号の説明

１ステージ装置
２スライドガラス
２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ側面
３搭載面
４押圧機構
５ａ，５ｂ突当部
１１，１２押圧部材
１３リンク機構
２１，２２スプリング（弾性部材）
２６，２７テーパ面

Claims

スライドガラスを載置する搭載面と、
該搭載面に載置されたスライドガラスの隣接する長辺側および短辺側の２つの側面を突き当てる突当部と、
２つの前記側面を前記突当部方向にそれぞれ押圧する押圧機構とを備え、
前記突当部が、前記スライドガラスの長辺側の前記側面の両端近傍を突き当てるように間隔をあけて配置された２つの第１の突当部と、前記スライドガラスの短辺側の前記側面の両端近傍を突き当てるように間隔をあけて配置された２つの第２の突当部とを有し、
前記押圧機構が、前記第１の突当部に突き当てられる前記スライドガラスの長辺側の前記側面に対向する側面を押圧した後、前記第２の突当部に突き当てられる前記スライドガラスの短辺側の前記側面に対向する側面を押圧する複数の押圧部材を備えるステージ装置。
前記各押圧部材に、前記スライドガラスの側面を押圧する押圧力を発生する弾性部材が備えられている請求項１に記載のステージ装置。
前記押圧機構が、前記各押圧部材を連動させるリンク機構を備える請求項１または請求項２に記載のステージ装置。
前記各押圧部材のスライドガラスの側面を押圧する押圧端に、前記搭載面に向かって漸次後退するテーパ面が備えられている請求項１から請求項３のいずれかに記載のステージ装置。