JP4542786B2 - 試料保持装置 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、従来より知られた可撓性拘束装置及び方法の利点を備えると共に広い範囲の傾斜角にわたる観察能力を損なわずに試料の装填及び取り外しをより簡単且つ高い信頼度で行えるようにした試料ホルダーを提供することにある。本発明による拘束装置のシステムは、試料に何らかの力を印加する前に視覚による試料の正確な整列を可能にする。さらに本発明では、ホルダーの上方側面のみにオペレータがアクセスすれば試料を装填したり取り出したりすることができる。これは、当業者、例えば、電子顕微鏡分野の当業者であれば、オペレータにとって利点であることが分かるであろう。さらに、本発明は拘束力の試料表面にわたる分布を改善することができる。これにより、壊れやすい試料を優しく拘束するだけでなく均等でない表面を有する試料を拘束することが可能となる。
持表面200の両側において支持表面から垂直に延びる端縁部201A、201Bがある。端縁部201A、201Bはそれぞれ円筒状表面の一部を構成する。円錐状部分202は端縁部201A、201Bの頂部から延びるため、大きい傾斜角で試料を見易くする切欠き部分が円錐状部分202の間に残される。円錐状部分202はまた、端縁部に201A、201Bが境界を接する支持表面200の領域内に試料を案内する働きがある。拘束要素203は、試料ホルダー225の主要本体208の溝206内に配置され、その内部で移動可能である。溝206は、図6に示すように拘束要素203全体が溝内に収まる深さを有し、拘束要素203の運動を、ほぼ支持表面の面200の方へまたはそれから遠ざかる方向であって、主要本体208の縦方向軸にほぼ平行で且つ端縁部201Aの中心点と端縁部201Bの中心点の間の第2の方向にほぼ垂直な第1の並進方向に制約する。拘束要素203は、ねじ209により溝206内に保持され、図6からわかるように拘束要素203の直下に位置するばね210または同様な付勢要素の付勢作用に抵抗する。あるいは、ねじ209の代わりにウェッジまたは他の適当な固着手段を用いて各拘束要素203を定位置に保持することができる。ばね210は、ベリリウム‐銅のような非磁性ばね材料より成るのが好ましい。拘束要素203の本体部分に沿って延びて溝206内の拘束要素203の運動をねじ209に接触させて制限するスロット204を拘束要素に設けるのが好ましい。ばね210は拘束要素203を溝206の底面から離れる方向に持ち上げる傾向があるが、ねじ209はこの持ち上げる程度を制限し、これにより拘束要素203の自由位置を調節することができる。拘束要素203にはホール205または隆起タグまたはペグのような別の把持要素を設けるのが好ましく、これによりオペレータは拘束要素203を試料から離れた領域で把持することができる。前方位置において、拘束要素203は支持表面200の周辺にわたり侵入するが、後退位置において、拘束要素203はそれ自身の表面に鉛直な方向での支持表面200の投射を妨げないように支持表面200から後退している。図5及び6において支持ホルダー225を2つの拘束要素を有するものとして示すが、試料ホルダー225にただ1つの拘束要素203を設けても本発明の範囲から逸脱しないことが当業者にわかるであろう。
Claims (8)
- 試料保持装置であって、
第1の端部と第2の端部の間を延びる縦方向軸を有し、溝が設けられた主要本体と、
主要本体の溝に設けられた試料支持表面と、
試料支持表面から外れた第1の位置から試料支持表面の周囲にわたり侵入する第2の位置へ主要本体に沿い溝内を縦方向軸に実質的に平行な方向で移動可能な拘束要素とより成り、
主要本体の溝は拘束要素全体が溝内に収まる深さを有し、
拘束要素はその本体部分に沿って延びるスロットを有し、
拘束要素は柔軟性を有する複数のフィンガを有し、複数のフィンガは拘束要素が第2の位置にある時試料支持表面の周囲にわたり侵入し、
試料保持装置はさらに、スロットを貫通して主要本体内に延びる固定手段を備え、
スロットと固定手段とは拘束要素の主要本体に沿う運動を制限し、
拘束要素と主要本体の間には付勢要素が設けられ、
固定手段は付勢要素により与えられる力に抗して拘束要素に主要本体の上面にほぼ垂直な方向の力を選択的に印加することにより拘束手段を主要本体に、また、試料を試料支持表面に拘束することを特徴とする試料保持装置。 - 支持表面の第1の側から垂直に延びる第1の端縁部と、第1の側に対向する支持表面の第2の側から垂直に延びる第2の端縁部とをさらに備え、第1の端縁部の中心点と第2の端縁部の中心点を結ぶ第2の方向が主要本体の縦方向軸にほぼ垂直である請求項1の試料保持装置。
- 第1及び第2の端縁部はそれぞれ対向する端部から延びる第1及び第2の円錐状部分を有し、第1及び第2の円錐状部分はそれらの間に切欠き領域を画定する請求項2の試料保持装置。
- 主要本体にはホールが貫通しており、このホールは試料支持表面により画定される領域内に位置する請求項1の試料保持装置。
- 拘束要素は、フィンガとは反対側の拘束要素の端部に位置する把持要素を有する請求項2の試料保持装置。
- 拘束要素は溝内を主要本体の第1の側に沿って移動可能な第1の拘束要素と、溝内を主要本体の第2の側に沿って移動可能な第2の拘束要素とより成る請求項1の試料保持装置。
- 固定手段は第1の拘束要素を主要本体の第1の側に固定する第1の固定手段と、第2の拘束要素を主要本体の第2の側に固定する第2の固定手段とより成る請求項6の試料保持装置。
- 主要本体は円筒軸に固着され、円筒軸は主要本体の縦方向軸に平行な縦方向軸を有する請求項1の試料保持装置。
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US8178851B2 (en) * | 2010-07-30 | 2012-05-15 | E.A. Fischione Instruments, Inc. | In situ holder assembly |
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Family Cites Families (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2368900A (en) * | 1943-03-15 | 1945-02-06 | Richard L Templin | Compression testing jig |
US4103643A (en) * | 1973-03-26 | 1978-08-01 | The Perkin-Elmer Corporation | Aerosol-reducing slide holder system |
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JPS5836118Y2 (ja) * | 1978-08-28 | 1983-08-15 | 日本真空技術株式会社 | サンプルホルダの傾動装置 |
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JPS5831538U (ja) * | 1981-08-26 | 1983-03-01 | 三菱重工業株式会社 | 顕微鏡試料観察装置 |
JPS58169762A (ja) * | 1982-03-30 | 1983-10-06 | Internatl Precision Inc | 電子線装置 |
WO1983003707A1 (en) * | 1982-04-20 | 1983-10-27 | Nicholson, Walter, Anthony, Patrick | Low temperature stage for microanalysis |
JPS6049314U (ja) * | 1983-09-14 | 1985-04-06 | 横河電機株式会社 | ガラス板ホルダ− |
JPH0310603Y2 (ja) * | 1984-08-31 | 1991-03-15 | ||
US4672797A (en) * | 1985-06-21 | 1987-06-16 | Gatan, Inc. | Method and apparatus for securing and transferring grid specimens |
US4662229A (en) * | 1985-08-26 | 1987-05-05 | Curtis John M | Grip assembly |
JPS62188721U (ja) * | 1986-05-21 | 1987-12-01 | ||
DE3628170A1 (de) * | 1986-08-20 | 1988-02-25 | Max Planck Gesellschaft | Verstellbare praeparathalterung fuer ein korpuskularstrahlenmikroskop |
GB2197489B (en) * | 1986-10-21 | 1990-12-19 | British Aerospace | Laminate compression tester |
JPH034457U (ja) * | 1989-05-31 | 1991-01-17 | ||
US4954712A (en) * | 1989-10-16 | 1990-09-04 | Wilcox Harry P | Specimen retaining ring system for an electron microscope |
EP0504972A1 (en) * | 1991-03-18 | 1992-09-23 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Specimen holder for use in a charged particle beam device |
US5297441A (en) * | 1992-08-14 | 1994-03-29 | The Boeing Company | Apparatus for supporting a test specimen for compression testing |
JP2781320B2 (ja) * | 1993-01-18 | 1998-07-30 | 株式会社蛋白工学研究所 | 電子顕微鏡等の試料ホルダ |
JPH0660050U (ja) * | 1993-01-25 | 1994-08-19 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡用試料ホルダ |
JP2846562B2 (ja) * | 1993-11-04 | 1999-01-13 | 株式会社エス・テイ・ジャパン | 顕微分析用試料ホルダ |
JP2740628B2 (ja) * | 1993-11-04 | 1998-04-15 | 株式会社エス・テイ・ジャパン | 試料ホルダ |
US5463223A (en) * | 1994-01-24 | 1995-10-31 | Patwong Technologies, Inc. | Disposable all purpose micro sample holder |
JPH08212957A (ja) * | 1995-02-02 | 1996-08-20 | Canon Inc | 電子顕微鏡用試料ホルダー |
US5528942A (en) * | 1995-06-13 | 1996-06-25 | Baratta; Francis I. | Apparatus for maximizing critical buckling loads for compression testing |
US5965823A (en) * | 1996-08-22 | 1999-10-12 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Specimen holder for thermal mechanical testing machine |
US5877432A (en) * | 1996-11-26 | 1999-03-02 | The University Of Dayton | Magnetostrictive actuator |
US5945607A (en) * | 1997-06-12 | 1999-08-31 | Mts Systems Corporation | Test specimen holder |
US5877427A (en) * | 1997-06-30 | 1999-03-02 | Chrysler Corporation | Weatherstrip resiliency test fixture |
JPH11202213A (ja) * | 1998-01-08 | 1999-07-30 | Nikon Corp | 顕微鏡の標本ホルダ |
JPH11304433A (ja) * | 1998-04-15 | 1999-11-05 | Sony Corp | 膜厚測定用サンプル・フィルムの保持装置 |
WO2000010191A1 (en) * | 1998-08-12 | 2000-02-24 | Gatan, Inc. | Double tilt and rotate specimen holder for a transmission electron microscope |
JP2001084939A (ja) | 1999-09-17 | 2001-03-30 | Canon Inc | 走査電子顕微鏡の試料ホルダ |
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