JPH11304433A - 膜厚測定用サンプル・フィルムの保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 サンプル・フィルムの膜厚測定に際し、所定
の張力を作用させた状態で、シワが生じないようにして
膜厚測定用サンプル・フィルムを保持できる装置を提供
する。 【解決手段】 本セット装置１０は、フィルムの膜厚を
測定する際に、膜厚測定用サンプル・フィルムをセット
する装置である。本装置は、固定台２０と固定台上にサ
ンプル・フィルムの一方の端部を押さえ付けて固定する
固定側押さえ板２２とを有し、固定台と固定側押さえ板
との間でサンプル・フィルムの一方の端部を固定する固
定部１４と、進退自在なスライド台２６と、スライド台
上にサンプル・フィルムの他方の端部を押さえ付けて固
定するスライド側押さえ板２８とを有し、スライド台と
スライド側押さえ板との間にサンプル・フィルムの他方
の端部を固定すると共に固定部に対して進退自在なスラ
イド保持部１６と、スライド保持部を所定の引張力で引
張する引張手段３２とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、膜厚測定用サンプ
ル・フィルムの保持装置に関し、更に詳細には、サンプ
ル・フィルムの膜厚測定に際し、所定の張力を作用させ
た状態で、シワが生じないようにして膜厚測定用サンプ
ル・フィルムを保持できる装置、特に、光学的にフィル
ムの膜厚測定を行う際のサンプル・フィルムの保持装置
として最適な装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置を始めとする電気・電子部品
の製造過程、或いは電気・電子部品用材料の製造過程で
は、種々の原料から所望の厚さのフィルムを製造するこ
とが多く、そしてフィルムを成膜する際には、成膜した
フィルムの厚さが所定の厚さであるかどうか検査する必
要がある。

【０００３】成膜したフィルムの膜厚を測定する際に
は、先ず、製品のフィルムから膜厚測定用サンプルを採
取する。通常、成膜してロール状に巻き取った所定幅、
例えばフィルム幅６２０mmのフィルムから、膜厚測定用
サンプルとして約１５０×１５０mmの大きさのフィルム
を切り取っている。その膜厚測定用サンプルを切り取る
とき、従来は、図４に示すように、所定の膜厚測定用サ
ンプル寸法、例えば約１５０×１５０mmの大きさに厚紙
の真ん中を切り抜いて切り抜き部５２を作った２枚の型
紙５０Ａ、Ｂで、フィルムをその上方と下方から挟み込
んでフィルム４６を保持し（図４で、斜線部分がフィル
ムの型紙５０Ａ、Ｂによる保持領域である）、続いて型
紙５０の外周に沿ってフィルム４６を切り取って、膜厚
測定用のサンプルとしている。

【０００４】また、別法として、図５に示すように、所
定の膜厚測定用サンプル寸法、例えば約１５０×１５０
mmの大きさのプラスチック製フレーム５４の縁に両面テ
ープ５６を貼り、そのフレーム５４をフィルム４６に押
しつけてフィルム４６をフレーム５４に接着させ（図５
で、斜線部分が接着面である）、次いでフレーム５４の
外周に沿ってフィルム４６を切り取り膜厚測定用のサン
プルとしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、フィルムの
膜厚を測定する方法は、種々あるものの、最近では、フ
ィルムに光を投射し、投射した光のフィルム面での反射
率を利用して、フィルムの膜厚を測定することが試みら
れている。しかし、上述した従来の膜厚測定用サンプル
の採取方法及びサンプルの保持方法では、膜厚測定用サ
ンプルを切り取り、保持している間に、どうしてもフィ
ルムにシワが発生する。その結果、光の投射側で光の当
たる場所にシワが存在していると、光の反射率に影響
し、正確な膜厚の測定を安定して行うことが難しかっ
た。また、膜厚測定用サンプルに生じたフィルムのシワ
を伸ばしてシワのない膜厚測定用サンプルにしようとし
ても、フィルムに作用させた張力が変動し、その結果、
光の反射率に影響が生じ、膜厚測定に誤差が生じる。更
には、実際のフィルムの製造工程での膜厚測定作業に、
光の反射率によるフィルムの膜厚測定法を導入した場
合、成膜して巻き取られるフィルムには常に所定の張力
が加わっているため、所定の張力が作用している成膜中
のフィルムの真の膜厚と、成膜した後のフィルムからサ
ンプル・フィルムを採取して測定した値とは、張力の影
響により異なる。これでは、サンプル・フィルムの膜厚
測定値を成膜中のフィルムの真の膜厚であると見なすこ
とはできない。

【０００６】そこで、本発明の目的は、サンプル・フィ
ルムの膜厚測定に際し、所望の張力を作用させた状態
で、しかもシワが生じないようにして、膜厚測定用サン
プル・フィルムを保持できる装置を提供することであ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る膜厚測定用サンプル・フィルムの保持
装置は、フィルムの膜厚を測定する際に、膜厚測定用サ
ンプル・フィルムをセットし、保持する装置であって、
基台上に取り付けられた固定台と、固定台上にサンプル
・フィルムの一方の端部を押さえ付けて固定する固定側
押さえ板とを有し、固定台と固定側押さえ板との間でサ
ンプル・フィルムの一方の端部を固定する固定部と、基
台上で固定部に向かって進退自在なスライド台と、スラ
イド台上にサンプル・フィルムの他方の端部を押さえ付
けて固定するスライド側押さえ板とを有し、スライド台
とスライド側押さえ板との間にサンプル・フィルムの他
方の端部を固定するスライド保持部と、スライド保持部
を所定の引張力で固定部とは反対方向に付勢する引張手
段とを有することを特徴としている。

【０００８】本発明では、サンプル・フィルムの一方の
端部を固定部に固定し、他方の端部をスライド保持部に
固定し、自在に摺動するスライド保持部を介して引張手
段によりサンプル・フィルムに引張力を作用させること
により、サンプル・フィルムに所定の引張力を作用さ
せ、かつ発生したシワを伸ばしている。サンプル・フィ
ルムに与えられる引張力の大きさは、成膜中にフィルム
に与えられる引張力と同じ大きさである。更に言えば、
この引張力をサンプル・フィルムに作用させると、サン
プル・フィルムはシワが生じない程度に引張され、光学
的膜厚測定の際に、誤差が生じない。

【０００９】引張手段の構成に制約はないが、例えば一
端がスライド保持部に連結され、他端が固定端である引
張コイルバネを使用することができる。好適には、引張
コイルバネの固定端は、基台の延長部として基台から固
定部とは反対方向に自在に移動できる移動ブロック上に
設けられている。移動ブロックを移動させることによ
り、引張コイルバネによって加える引張力の大きさを可
変にすることができ、引張コイルバネの状態により、引
張力の引張状態を確認することができる。

【００１０】本発明の好適な実施態様では、それぞれ、
上面にフィルム貼着面を有して、所定間隔で相互にほぼ
平行に設けられた２本の長手部材と、２本の長手部材を
所定間隔で連結する連結部材とを有し、固定部とスライ
ド保持部との間に装着されるフィルム貼着体を備え、長
手部材のフィルム貼着面にサンプル・フィルムの両側縁
部を貼着したフィルム貼着体を固定部とスライド保持部
との間に装着し、サンプル・フィルムの一方の端部を固
定部に固定し、他方の端部をスライド保持部に固定した
後、長手部材のフィルム貼着面からサンプル・フィルム
を切り離し、次いで引張手段により所定の引張力をスラ
イド保持部に作用させる。以上の構成のフィルム貼着体
を利用することにより、シワが生じないようにしてサン
プル・フィルムを容易に保持装置にセットすることがで
きる。長手部材の形状は、上面にフィルム貼着面を有す
る限り制約はなく、例えば断面が四角形等の多角形で良
い。

【００１１】固定側押さえ板及びスライド側押さえ板
は、その下面にゴム製シートを備え、固定台及びスライ
ド台の上面は金属面である。ゴム製シートと金属面との
間にサンプル・フィルムを挟むことにより、ゴム製シー
トとサンプル・フィルムとの摩擦力を利用して、シワが
生じないようにしてサンプル・フィルムを確実に保持す
ることができる。

【００１２】本発明は、サンプル・フィルムの種類、膜
厚のいかんによらず、膜厚測定用サンプル・フィルムの
保持装置として適用できるが、特に光学的に膜厚測定を
行う装置、例えばサンプル・フィルムに光を投射し、投
射した光の反射率を測定することにより、サンプル・フ
ィルムの膜厚を測定する装置を利用して膜厚を測定する
際のサンプル・フィルムの保持装置として最適である。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下に、実施形態例を挙げ、添付
図面を参照して、本発明の実施の形態を具体的かつ詳細
に説明する。実施形態例 本実施形態例は、本発明に係る膜厚測定用サンプルの保
持装置の実施形態の一例であって、図１は本実施形態例
の膜厚測定用サンプルの保持装置の分解図である。本実
施形態例の膜厚測定用サンプルの保持装置（以下、簡単
に保持装置と言う）１０は、基台１２と、基台１２の一
方の端部１３上に固定された固定部１４と、固定部１４
に対向して設けられ、摺動して固定部１４に接近、離間
自在なスライド１６とを備え、固定部１４と、スライド
１６との間に、フィルムを貼着するフィルム貼着体１８
を装着する。

【００１４】固定部１４は、基台１２に固定された金属
製の固定台２０と、固定台２０にネジ止めされる固定側
フィルム押さえ板２２とから構成されている。フィルム
押さえ板２２は、その下面にゴム製シートが貼付されて
おり、固定部１４は、ネジ止めの押圧力とゴムシートの
摩擦力を利用して、後述するように、固定台２０とフィ
ルム押さえ板２２との間にサンプル・フィルムの一方の
端部を挟んで保持する。また、フィルム押さえ板２２
は、ネジ止めのネジ１９の近傍にピン（図示せず）を挿
入するピン貫通孔２１を備え、固定台２０は、ピン貫通
孔２１に対応する位置にピン孔（図示せず）を有する。

【００１５】また、スライド１６は、固定部１４と同じ
幅を有して基台１２上に設けられ、固定部１４に向かっ
て直線状に延びるリニアガイド２４上を案内されつつ摺
動するスライド台２６と、スライド台２６上にネジ止め
されるスライド側フィルム押さえ板２８とから構成され
ている。フィルム押さえ板２８は、その下面にゴム製シ
ートが貼付されており、スライド１６は、ネジ止めの押
圧力とゴムシートの摩擦力を利用して、後述するよう
に、スライド台２６とフィルム押さえ板２８との間にサ
ンプル・フィルムの他方の端部を挟んで保持する。フィ
ルム押さえ板２８は、ネジ止めのネジ２５の近傍にピン
（図示せず）を挿入するピン貫通孔２７を備え、スライ
ド台２６は、ピン貫通孔２７に対応する位置にピン孔
（図示せず）を有する。スライド台２６は、基台１２の
固定部１４とは反対の端部２９側に固定端３０を有する
引張コイルバネ３２により常に端部２９に向かって付勢
されている。

【００１６】引張コイルバネ３２の一端を固定する固定
端３０は、基台１２から固定部１４とは反対方向に移動
自在な移動ブロック３４上に固定されている。移動ブロ
ック３４は、基台１２と移動ブロック３４との間にスペ
ーサ３６を挿入することにより、その移動距離が規定さ
れ、また、その移動が基台１２の端部２９に設けられた
ストッパ３７により制約されている。

【００１７】フィルム貼着体１８は、図１に示すよう
に、上面にフィルム貼着面３８を有する２本の角形部材
４０Ａ、Ｂと、角形部材４０Ａ、Ｂを相互にほぼ平行に
連結する平板状の連結部材４２とから構成され、角形部
材４０Ａ、Ｂは連結部材４２の両側縁面にネジ止めされ
ている。フィルム貼着体１８は、図１に示すように、フ
ィルム貼着面３８を上にして、角形部材４０Ａ、Ｂが基
台１２の長手方向に沿う方向になるように、固定部１４
と、スライド１６との間に装着される。連結部材４２
は、その厚さが角形部材４０より薄く、その幅が固定部
１６及びスライド１８と同じ幅になるように、ネジ４３
により調整されている。また、連結部材４２は、角形部
材４０の長手方向に沿った長さが角形部材４０より短
く、スライド１６側の一部が切り欠き部４４となってい
て、装着した状態でリニアガイド２４の止めネジにアク
セスできるようになっている。

【００１８】次に、図２及び図３を参照して、本実施形
態例の保持装置１０の使用方法を説明する。図２（ａ）
〜（ｃ）及び図３（ｄ）と（ｅ）は、それぞれ、膜厚測
定用サンプル・フィルムを保持装置にセットする際の各
工程を説明する斜視図である。先ず、成膜されロール
（図示せず）に巻き取られた幅６２０mmのフィルム４６
を、フィルム貼着体１８の外形より僅かに大きくロール
から引き出す。そして、図２（ａ）に示すように、フィ
ルム貼着体１８の上面に両面テープ４８を貼り、フィル
ム４６を引っ張ってシワを無くした状態でフィルム４６
を両面テープ４８上に貼着する。貼着後、図２（ｂ）に
示すように、フィルム貼着体１８の角形部材４０Ａ、Ｂ
の外縁に沿ってフィルム４６を鋏やカッターにて切り取
り、余分なフィルム部分を除去する。

【００１９】次に、図２（ｃ）に示すように、フィルム
４６を貼着したフィルム貼着体１８を固定部１４と、ス
ライド１６との間に収容し、装着する。フィルム貼着体
１８を装着する際には、先ず、固定部１４及びスライド
１６からそれぞれ押さえ板２２、２８を取り外し、フィ
ルム貼着体１８を上方から固定台２０と、スライド台２
６との間に収容し、フィルム貼着体１８の角形部材４０
Ａ、Ｂの間に固定台２０挟むようにしてセットする。幅
方向を合わせてセットした後、フィルム貼着体１８を固
定台２０に押し当てつつ、下面にゴムシートが貼付され
た押さえ板２２を上方よりフィルムを固定台２０に押し
付けてネジ止めし、フィルム４６の一方の端部を押さえ
板２２と固定台２２との間で挟んで固定する。そのと
き、押さえ板２２のピン貫通孔２１からピン（図示せ
ず）を固定台２０のピン孔２３に入れて、フィルム４６
を固定する。

【００２０】固定部１４によりフィルム４６を固定した
後、スライド１６にフィルム４６を固定する。それに
は、先ず、図２（ｃ）に示すように、スライド台２６を
フィルム貼着体１８の角形部材４０Ａ、Ｂの間に入れ、
連結部材４２に押し当てる。次いで、下面にゴム製シー
トが貼付された押さえ板２８を上方よりフィルムをスラ
イド台２６に押し付けてネジ止めし、フィルム４６の他
方の端部を押さえ板２８とスライド台２６との間で挟ん
で固定する。そのとき、押さえ板２８のピン貫通孔２７
からピンをスライド台２６のピン孔３１に入れて、フィ
ルムを固定する。

【００２１】フィルム４６を固定部１４及びスライド１
６に固定した後、図３（ｄ）に示すように、固定部１４
及びスライド１６の幅に合わせて、即ちフィルム貼着体
１８の角形部材４０Ａ、Ｂの内縁に沿って、フィルム４
６を切り、フィルム４６をフィルム貼着体１８との貼着
から解離する。次いで、図３（ｅ）に示すように、移動
ブロック３４を移動させ、スペーサ３６を移動ブロック
３４と基台１２との間に挿入し、移動ブロック３４に一
端が固定された引張コイルバネ３４によりフィルム４６
に所定の張力を印加する。

【００２２】引張力の大きさは、使用している引張コイ
ルバネ４６のバネ力によって予め規定されており、スペ
ーサ３６を移動ブロック３４と基台１２との間に挿入し
て、張力の調整を行う。尚、フィルム４６に印加する張
力は、予め算出しておき、それに合わせてストッパ３７
の位置を調整しておく。ストッパ３７は、移動ブロック
３４を移動させすぎて、膜厚測定用サンプル４６に過大
な負荷が作用し、破損するのを防止するために設けてあ
る。また、ストッパ３７は、スペーサ３６の厚み分だけ
移動ブロック３４を移動できるように、ストッパ３７の
位置を調整しておく。これにより、スペーサ３６を入れ
る際に、移動ブロック３４がストッパ３７に押し当たる
と、スペーサ３６の厚み分のみ隙間が生じる。よって、
スペーサ３６のセットが容易であり、また余分な張力を
フィルム４６に作用させないようにすることができる。

【００２３】本実施形態例の保持装置１０では、引張力
を作用させる時、フィルム４６の一方向（引張コイルバ
ネの引張方向）に引張力のみが作用する。それは、フィ
ルム貼着体１８を保持装置１０にセットした後、固定部
１４及びスライド１６の幅に合わせて、フィルム４６を
角形部材４０の内縁に沿って切断し、フィルム貼着体１
８から切り離しているので、膜厚測定時には、フィルム
４６は、フィルム貼着体１８の両面テープ４８の接着力
の作用を受けていないからである。

【００２４】また、本実施形態例の保持装置１０では、
フィルム貼着体１８を保持装置１０にセットし、フィル
ム押さえ板２２、２８によりフィルム４６を固定し、固
定部１４及びスライド１６の幅に合わせてフィルム４６
を角形部材４０の内縁に沿って切断し、フィルム貼着体
１８から切り離した後（このとき、引張コイルバネ３２
まだは伸びていないためにフィルム４６に引張力は作用
していない）、フィルム４６に所定の引張力を作用させ
るために、移動ブロック３４を動かす。移動ブロック３
４を手動により固定部１４とは反対の向きに移動して、
引張力を作用させ、基台１２と移動ブロック３４の間に
スペーサ３６を挟むことによって、引張力を一定に維持
する。スペーサ３６は、引張コイルバネ３２の引張力に
より、基台１２と移動ブロック３４の間で密着、挟持さ
れる。また、移動ブロック３４を移動させるとき、過剰
な引張力が作用して、フィルム４６が伸び切ってしまわ
ないように、基台１２にはストッパ３７が設けてあっ
て、移動ブロック３４の移動距離を規制する。

【００２５】更に、本実施形態例の保持装置１０では、
スペーサ３６の厚みは、引張コイルバネ３２のバネ力と
引張コイルバネ３２の取り付け位置によって決まる。ス
ペーサ３６の厚み分によって移動ブロック３４の移動距
離が決まり、その結果、引張コイルバネ３２の伸び量、
従って引張力が決まる。よって、フィルム４６を引張す
る引張力の大きさは、引張コイルバネ３２のバネ力及び
スペーサ３６の厚さを調整することにより、調節するこ
とができる。更に、本実施形態例の保持装置１０では、
フィルム４６に作用させる引張力の大きさは、成膜中の
フィルムに作用させる張力の大きさと同じであって、そ
の大きさの引張力をフィルム４６に作用させることによ
り、フィルム４６にはシワが生じない。従って、光学的
膜厚測定の際に誤差が生じない。

【００２６】本実施形態例の保持装置１０を使用するこ
とにより、光学的にフィルムの膜厚測定を行う際、その
測定精度に影響するシワの発生を防止し、正確で安定し
た膜厚の測定が実施可能となる。また、膜厚測定用サン
プル・フィルムに作用させる引張力も、スペーサ３６の
厚みを調整したり、引張コイルバネ３２のバネ力を調整
したりして、容易に調節することができる。よって、フ
ィルム４６に作用させる引張力の大きさを成膜中のフィ
ルムに作用させる張力の大きさと同じにすることによ
り、成膜中のフィルムに作用させる引張力との相違によ
る測定誤差の発生を防止することができる。

【００２７】

【発明の効果】本発明の構成によれば、固定部と、固定
部に対して進退自在なスライド保持部とでサンプル・フ
ィルムの両端部を固定し、引張手段によりスライド保持
部を所定の引張力で引張することにより、サンプル・フ
ィルムにシワを生じさせることなく、所定の引張力で引
張した状態でサンプル・フィルムを保持することができ
る。これにより、サンプル・フィルムの膜厚を正確に安
定して測定することができる。また、移動ブロックの移
動距離を調整することにより、或いは引張コイルバネの
バネ力を調整することにより、サンプル・フィルムに作
用させる引張力の大きさを調節することができる。実際
のフィルムの生産工程では、成膜中に一定の張力をフィ
ルムに作用させつつロールに巻き取っているので、フィ
ルムの膜厚の測定に際し、従来のサンプル・フィルムの
採取及び保持方法では、膜厚測定用サンプルにて測定し
た値と、成膜中にて測定した値との間に相違が生じる
が、本発明に係る膜厚測定用サンプル・フィルムの保持
装置を使用することにより、成膜中に測定した値と同じ
測定値を成膜後に採取したサンプル・フィルムから得る
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施形態例の膜厚測定用サンプルの保持装置
の分解図である。

【図２】図２（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、膜厚測定用
サンプルを保持装置にセットする際の各工程を説明する
斜視図である。

【図３】図３（ｄ）と（ｅ）は、それぞれ、図２（ｃ）
に続く、膜厚測定用サンプルを保持装置にセットする際
の各工程を説明する斜視図である。

【図４】サンプル・フィルムの従来の採取及びセット方
法である。

【図５】サンプル・フィルムの従来の別の採取及びセッ
ト方法である。

【符号の説明】

１０……本発明に係るの膜厚測定用サンプルの保持装置
の実施形態例、１２……基台、１３……一方の基台の端
部、１４……固定部、１６……スライド、１８……フィ
ルム貼着体、１９……止めネジ、２０……固定台、２１
……ピン貫通孔、２２……固定側フィルム押さえ板、２
４……リニアガイド、２５……止めネジ、２６……スラ
イド台、２７……ピン貫通孔、２８……スライド側フィ
ルム押さえ板、２９……基台の他方の端部、３０……固
定端、３２……引張コイルバネ、３４……移動ブロッ
ク、３６……スペーサ、３７……ストッパ、３８……フ
ィルム貼着面、４０……角形部材、４２……連結部材、
４４……切り欠き部、４６……サンプル・フィルム、４
８……フィルム貼着面、５０……型紙、５２……切り抜
き部、５４……プラスチック製フレーム、５６……両面
テープ。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フィルムの膜厚を測定する際に、膜厚測
   定用サンプル・フィルムをセットし、保持する装置であ
   って、 基台上に取り付けられた固定台と、固定台上にサンプル
   ・フィルムの一方の端部を押さえ付けて固定する固定側
   押さえ板とを有し、固定台と固定側押さえ板との間でサ
   ンプル・フィルムの一方の端部を固定する固定部と、 基台上で固定部に向かって進退自在なスライド台と、ス
   ライド台上にサンプル・フィルムの他方の端部を押さえ
   付けて固定するスライド側押さえ板とを有し、スライド
   台とスライド側押さえ板との間にサンプル・フィルムの
   他方の端部を固定するスライド保持部と、 スライド保持部を所定の引張力で固定部とは反対方向に
   付勢する引張手段とを有することを特徴とする膜厚測定
   用サンプル・フィルムの保持装置。
2. 【請求項２】 固定側押さえ板及びスライド側押さえ板
   は、その下面にゴム製シートを備え、固定台及びスライ
   ド台の上面は金属面であることを特徴とする請求項１に
   記載の膜厚測定用サンプル・フィルムの保持装置。
3. 【請求項３】 引張手段は、一端がスライド保持部に連
   結され、他端が基台に固定されている引張コイルバネで
   あることを特徴とする請求項１に記載の膜厚測定用サン
   プル・フィルムの保持装置。
4. 【請求項４】 引張コイルバネの固定端は、基台の延長
   部として基台から固定部とは反対方向に自在に移動でき
   る移動ブロック上に設けられていることを特徴とする請
   求項３に記載の膜厚測定用サンプル・フィルムの保持装
   置。
5. 【請求項５】 それぞれ、上面にフィルム貼着面を有し
   て、所定間隔で相互にほぼ平行に設けられた２本の長手
   部材と、２本の長手部材を所定間隔で連結する連結部材
   とを有し、固定部とスライド保持部との間に装着される
   フィルム貼着体を備え、 長手部材のフィルム貼着面にサンプル・フィルムの両側
   縁部を貼着したフィルム貼着体を固定部とスライド保持
   部との間に装着し、サンプル・フィルムの一方の端部を
   固定部に固定し、他方の端部をスライド保持部に固定し
   た後、長手部材のフィルム貼着面からサンプル・フィル
   ムを切り離し、次いで引張手段により所定の引張力をス
   ライド保持部に作用させることを特徴とする請求項１か
   ら４のうちのいずれか１項に記載の膜厚測定用サンプル
   ・フィルムの保持装置。