JPS5836118Y2 - サンプルホルダの傾動装置 - Google Patents

サンプルホルダの傾動装置

Info

Publication number
JPS5836118Y2
JPS5836118Y2 JP11675078U JP11675078U JPS5836118Y2 JP S5836118 Y2 JPS5836118 Y2 JP S5836118Y2 JP 11675078 U JP11675078 U JP 11675078U JP 11675078 U JP11675078 U JP 11675078U JP S5836118 Y2 JPS5836118 Y2 JP S5836118Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
shaft
sample holder
holder
tilting device
fixed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP11675078U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5534304U (ja
Inventor
哲郎 児玉
烈 大岩
Original Assignee
日本真空技術株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本真空技術株式会社 filed Critical 日本真空技術株式会社
Priority to JP11675078U priority Critical patent/JPS5836118Y2/ja
Publication of JPS5534304U publication Critical patent/JPS5534304U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS5836118Y2 publication Critical patent/JPS5836118Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は主としてオージェ分析器に適用されるサンプル
ホルダの傾動装置に関する。
元来この種分析器においては、真空処理室内に予め用意
されるサンプルホルダをサンプルの着脱に備えた略水平
位置と測定その他に備えた斜上向きの傾斜位置とに外部
からの操作により切換自在とすべき要求が存する。
本考案はかかる要求に適合する装置を得ることをその目
的としたもので、真空処理室1内に外部の操作子2の操
作によれは1在に廻動される上下方向の作動軸3とこれ
を囲繞する外周の固定の筒軸4とを備え、該作動軸3の
下端に機枠5を固設してこれにサンプルホルダ6を側面
の軸7で上下に傾動自在に軸設すると共に該筒軸4の下
端に外周の傾斜するカム溝8を有するカム9を固設し、
該ホルダ6をその内方にのびるピン10で該カム溝8に
係合させて戊る。
図示のものではサンプルホルダ6を機枠5上に左右1対
に配設してその一方と他方とを交互に切換えて水平位置
と傾斜位置とに選択されるようにした。
該ホルダ6は第3図に明示するように上面に凹溝11を
有すると共にこれに左右1対に板ばね12,12を備え
るもので、サンプルは下面のサンプルベースと共に該凹
溝11内に導かれて鉄板ばね12,12で上面から保持
されるようにした。
作動軸3と筒軸4とは真空処理室1の上面の側壁に形成
される透窓13を介してその上方にのびると共にその外
周をベローズ14で被包されるものとし、操作子2はこ
れと気密に絶縁されてその上側に位置して該作動軸3と
機械的に連結されるものでその手段は公知であるのでこ
こでは詳述しない。
その作動を説明するに図示の状態では図面で左方のサン
プルホルダ6が略水平位置に存するもので、これにその
側方から図示しない搬送子によりサンプルを導いて取着
けた後、作動軸3を180°廻転させれば該ホルダ6は
ピン10を介してカム溝8に導かれて図面で右方の斜上
向の傾斜位置となるからこの状態でその上面のサンプル
にオージェ分析その他の処理で施す。
次でこれを取出すには該軸3を再び180°廻転させて
該ホルダ6を図面で左方の当初位置とすればよい。
このように本考案によるときはサンプルホルダ6を略水
平位置と傾斜位置とに切換自在とするもので、例えばオ
ージェ分析器に有利に適用し得られ、その操作は単に外
部の操作子2により作動軸3を廻動するのみで簡単且容
易である等の効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本案装置の1例の裁断側面図、第2図はその下
面図、第3図はサンプルホルダの斜面図である。 1・・・・・・真空処理室、2・・・・・・操作子、3
・・・・・・作動軸、4・・・・・・筒軸、5・・・・
・・機枠、6・・・・・・サンプルホルダ、7・・・・
・・軸、8・・・・・・カム溝、9・・・・・・カム、
10・・・・・・ピン。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空処理室1内に外部の操作子2の操作によれば自在に
    廻動される上下方向の作動軸3と、これを囲繞する外周
    の固定の筒軸4とを備え、該作動軸3の下端に機枠5を
    固設してこれにサンプルホルダ6を側面の軸7で上下に
    傾動自在に軸設すると共に該筒軸4の下端に外周の傾斜
    するカム溝8を有するカム9を固設し、該ホルダ6をそ
    の内方にのびるピン10で該カム溝8に係合させて成る
    サンプルホルダの傾動装置。
JP11675078U 1978-08-28 1978-08-28 サンプルホルダの傾動装置 Expired JPS5836118Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11675078U JPS5836118Y2 (ja) 1978-08-28 1978-08-28 サンプルホルダの傾動装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11675078U JPS5836118Y2 (ja) 1978-08-28 1978-08-28 サンプルホルダの傾動装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5534304U JPS5534304U (ja) 1980-03-05
JPS5836118Y2 true JPS5836118Y2 (ja) 1983-08-15

Family

ID=29069569

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11675078U Expired JPS5836118Y2 (ja) 1978-08-28 1978-08-28 サンプルホルダの傾動装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5836118Y2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4542786B2 (ja) * 2002-04-08 2010-09-15 イー エイ フィシオネ インストルメンツ インコーポレーテッド 試料保持装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5534304U (ja) 1980-03-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5398556A (en) Device for charging a measuring apparatus for thermal analysis with material specimens filled into containers
JPS5836118Y2 (ja) サンプルホルダの傾動装置
JPS61281935A (ja) テストサンプル保持装置
US4757173A (en) Turntable for use in a microwave oven
US5073342A (en) Reciprocating transfer mechanism
JPS604366Y2 (ja) X線分析装置等用試料回転装置
JPS601492Y2 (ja) 螢光x線分析装置等用試料交換装置
JPS63114873A (ja) 金属表面研磨装置
JP3247665B2 (ja) X線分析装置における試料交換機
US3229384A (en) Drying apparatus
JPH0715136Y2 (ja) ウエハ回転装置
JPH02199758A (ja) イオン注入装置
JPS5942141Y2 (ja) ピツチ塗布装置
JPS5917261A (ja) ウエハ搬送装置
JP3627918B2 (ja) 半導体基板の表面評価分析装置とそれに用いる冶具
JPH067094B2 (ja) 蛍光x線分析装置
JPH11168124A (ja) プローバーの上下動機構
JPH0143858Y2 (ja)
JP2832751B2 (ja) ディスクチャック機構の駆動機構
SU592576A1 (ru) Устройство дл шлифовани изделий
JPH0227947Y2 (ja)
JPS63132444A (ja) ウエハハンドリング装置
JPH026344Y2 (ja)
JPS6333164Y2 (ja)
JPH0378248U (ja)