JPS6333164Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はオージエ分析装置、Ｘ線マイクロアナ
ライザ、或は２次イオン質量分析装置の元素分析
装置に於いて、サンプルを冷却するに使用される
冷却装置に関する。

従来、真空室内に、サンプルホルダに支承させ
てサンプルを設け、該サンプルに電子やイオンの
ビームを照射してその組成元素の分析をすること
が行なわれており、前記オージエ分析装置等がそ
の分析装置として用いられているが、該サンプル
は分析に際し電子やイオンのビームの照射により
多少とも昇温し勝ちで、正確なデータをとり難い
不都合があり、該サンプルを冷却することが望ま
れる。

また、低温において温度による特性の変化を測
定する装置では、サンプルに温度変化を与えるた
めに、液体ヘリウム等の冷媒を収めた容器へ該サ
ンプルを接合した金属支持体を熱伝導度の大きい
インジユウム圧着板を介して接触させることが行
なわれている（特公昭47−39433）が、これは容
器、金属支持体及び圧着板が共に比較的剛体であ
るので、その接触の程度を変えることはかなり大
きいな力を必要として簡単には行なえない。

本考案はこうした不都合等を解決し、わずかな
力で元素分析されるサンプルを冷却制御出来る装
置を提供することを目的とするもので、真空室１
内に、サンプルホルダ２に支承させてサンプル３
を設け、該サンプルホルダ２と接離自在に超低温
冷媒を収容した室４を有する筒状体６を設けるよ
うにし、該サンプル３に電子やイオンのビームを
照射してその組成元素の分析をするものに於い
て、該筒状体６のサンプルホルダ２と接触する先
端部に、該サンプルホルダ２の面に接触する略半
球状の曲面を有し且つ放射状のスリツト５ａを該
曲面に施して分割弾性片５ｃを形成した金属製の
弾性キヤツプ５を設けたことを特徴とする。

該弾性キヤツプ５は、第３図に見られるよう
に、弾性金属板をしぼり加工して略半球状の曲面
を形成し、その頂面にスリツト５ａを放射状に施
すことにより複数の分割弾性片５ｃを形成するよ
うにした、該弾性キヤツプ５は、サンプルホルダ
２の上側の真空室１の開口７を挿通して上下動自
在に設けた筒状体６の先端部に嵌合され、外周か
らバンド５ｂで締付けして固定されるようにし
た。

８は真空室１の開口７の外側面に固定した端
板、１２は該端板８に下端が回転自在に取付けさ
れ且つ筒状体６と平行に設けられた送り螺子、９
は筒状体６の上部外周に設けた外筒１８に固定し
たフランジ、１０は該送り螺子１２に挿通された
移動板、１１は該フランジ９の外周に複数個所の
ボルト１９で固定されたリングを示す。また１４
は端板８とフランジ９とに両端を固定されて該筒
状帯６を外周からシールするベローズを示し、該
ベローズ１４の弾力性で筒状体６及びこれと一体
のリング１１が図面上方へと持上ることを移動部
材１０に設けた傾動調節用螺子１３が該リング１
１の上面に当接することにより阻止するようにし
た。１５は液体窒素や液体空気の超低温の冷媒を
先端が盲蓋６ａで塞がれた筒状体６内へ導入する
流入口、１６は該冷媒の流出口、１７は送り螺子
１２に旋回を与えるつまみである。

その作動を説明するに、筒状体６の室４内に流
入口１５を介して冷媒を導入し、つまみ１７によ
り送り螺子１２に旋回を与えると移動部材１０が
該送り螺子１２に沿つて下降する。該移動部材１
０の下降に伴い調節用螺子１３に押され、リング
１１、フランジ９及び筒状体６がベローズ１４の
弾性に抗して下降し、該筒状体６の先端に取付け
た弾性キヤツプ５の頂面がサンプルホルダ２に圧
接すると、サンプル３の熱は該ホルダ２、弾性キ
ヤツプ５を介して筒状体６へと流れるのでサンプ
ル３が冷却され、この状態でサンプル３へその組
成元素を例えばオージエ分析すべく電子ビームを
照射すれば該サンプル３の昇温が防止され、正確
な分析を行なえる。この場合、筒状体６の下降距
離を大きくすれば弾性キヤツプ５の分割弾性片５
ｃがたわみ、サンプルホルダ２との接触面積が増
大するのでその冷却量が大きくなり、サンプル３
を更に低い温度となし得、またサンプルホルダ２
が第４図示のように筒状体６に対して傾斜状態で
あつても、分割弾性片５ｃの弾性でこれをサンプ
ルホルダ２に広い面積で接触させ得られ不都合な
く冷却することが出来、分割弾性片５ｃは小さい
力でたわむので操作性が良い。

このように本考案によるときは、超低温冷媒を
収めた筒状体６の先端に略半球状の曲面を有し且
つ分割弾性片５ｃを有する金属製の弾性キヤツプ
５を設けるようにしたので、筒状体６の移動距離
に応じてサンプルホルダ２と弾性キヤツプ５との
接触面積が変わりサンプル３の温度を任意に制御
することが出来、弾性キヤツプ５の分割弾性片５
ｃをたわませる程度の小さい力で操作すればよい
ので、操作性が良く、傾いたサンプルホルダ２の
冷却面に対しても弾性キヤツプ５の弾性で大きな
接触面積が得られ使用上便利である等の効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本案装置の１例の一部を截除した正面
図、第２図はその上面図、第３図は弾性キヤツプ
の斜視図、第４図はその作動状態の一部の側面図
である。 １……真空室、２……サンプルホルダ、３……
サンプル、４……室、５……弾性キヤツプ、５ａ
……スリツト、５ｃ……分割弾性片、６……筒状
体。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空室１内に、サンプルホルダ２に支承させて
   サンプル３を設け、該サンプルホルダ２と接離自
   在に超低温冷媒を収容した室４を有する筒状体６
   を設けるようにし、該サンプル３に電子やイオン
   のビームを照射してその組成元素の分析をするも
   のに於いて、該筒状体６のサンプルホルダ２と接
   触する先端部に、該サンプルホルダ２の面に接触
   する略半球状の曲面を有し且つ放射状のスリツト
   ５ａを該曲面に施して分割弾性片５ｃを形成した
   金属製の弾性キヤツプ５を設けたことを特徴とす
   る元素分析装置に於けるサンプル冷却装置。