JPS6326924Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は電子顕微鏡などの真空機器における
試料汚染防止装置に関するものである。

透過電子顕微鏡、走査電子顕微鏡、Ｘ線マイク
ロアナライザーなどの荷電粒子線の照射を伴う真
空装置においては、試料近傍のハイドロカーボン
を主体とした有機ガス分子が荷電粒子線によつて
重合して試料汚染が生じるため、試料に向うガス
分子をさえぎるとともに、試料近傍の有機ガス分
子をトラツプし、それらの分圧を下げるようにし
た試料汚染防止装置が使用されている。

第１図はこの種の従来の試料汚染防止装置を示
す一部を切断した平面図、第２図はその−断
面図である。図において、１は試料室であつて、
電子顕微鏡の対物レンズ２が取付けられており、
対物レンズ２に対向して試料３が配置されてい
る。試料３の上面にはフイン４が設けられてお
り、伝熱棒５を介して試料室１外の液体窒素容器
６内に設けられた冷却槽７に接続している。

以上のように構成された従来の試料汚染防止装
置においては、フイン４を試料３の上面に、電子
ビームが開口４ｍを通過するように配置し、液体
窒素容器６の冷却槽７から伝熱棒５を通してフイ
ン４を冷却することにより、試料３に入射するガ
ス分子をさえぎるとともに、試料近傍の有機ガス
分子をトラツプし、それらの分圧を下げ、試料３
の汚染を防止する。

従来の試料汚染防止装置は上記のように、液体
窒素容器６の底部に接続する伝熱棒５の先端に汚
染防止用のフイン４が取付けられており、このフ
イン４は前後方向にのみ移動可能とされており、
上下方向に移動できないため、試料観察作動距離
（以下WDと記す）を変える場合には使用できず、
各WD専用のフイン４を準備しておき、試料室１
を大気圧にしてフイン４の交換を行つている。

ところが試料室１を大気圧にした際、フイン４
に水滴が付着するのを防止するため、液体窒素容
器６の液体窒素を蒸発させ、フイン４を室温にし
てフイン４を交換する必要があり、このためフイ
ン４の交換には長時間を要する。また長WD用の
フイン４を使用して観察しいるときに、高分解能
の像を観察しようとする場合は、フイン４を後方
へ抜いてWDを短くして観察するが、大きい試料
や、試料の移動範囲が大きい場合には、試料３に
フイン４が当たり、観察できない場合がある。

この考案は、このような従来のものの欠点を改
善するためになされたもので、WDの切換に追随
して外部より汚染防止用フインを所定位置に切換
え可能とすることにより、１種類のフインを使用
し、試料室を大気圧にすることなく、瞬時に切換
可能な試料汚染防止装置を提供することを目的と
している。

この考案は試料室内に設けられた試料面に対向
して配置された汚染防止用フインと、このフイン
を支持する伝熱部材と、この伝熱部材を冷却装置
に接続する可撓性伝熱材と、前記伝熱部材を収納
するケーシングに気密状態で挿入され、かつ前記
冷却装置から独立して前記伝熱部材を荷電粒子線
の光軸に平行な方向に移動させる操作軸とを備
え、試料観察作動距離の切換に追随して、前記フ
インを所定位置に切換えるようにしたことを特徴
とする試料汚染防止装置である。

以下、この考案を図面の実施例により説明す
る。第３図はこの考案の一実施例による試料汚染
防止装置を示す一部を切断した平面図、第４図は
その−断面図、第５図はその方向矢視図で
あり、第１図および第２図と同一符号は同一また
は相当部分を示す。

第３図ないし第５図において、試料室１にはケ
ーシング８が形成されており、連絡管９を介して
液体窒素容器６が連絡している。液体窒素容器６
内の液体窒素を入れた冷却槽７の底部に取付けら
れた伝熱棒５ａは連絡管９を通つてケーシング８
内に突出しており、その先端は網線からなる可撓
性伝熱体１０によつて伝熱棒５ｂに接続し、フイ
ン４がその先端に取付けられている。

伝熱棒５ｂは軸受１１に気密状態で摺動して上
下動可能とされた操作軸１２によつて上下動およ
び回転可能に支持されており、操作軸１２の下端
にはピストン１３が形成され、ハンドル１４が取
付けられている。軸受１１の下部はピストン１３
を収容するシリンダ１５となつており、その側壁
にはハンドル１４が貫通するガイド溝１６が設け
られていて、突出部１６ａ，１６ｂ，１６ｃ…を
有している。そしてハンドル１４を突出部１６
ａ，１６ｂ，１６ｃ…に回すことにより操作軸１
２が係止され、これに接続するフイン４が所定
WDに対応した位置４ａ，４ｂ，４ｃ…に固定さ
れるようになつている。

以上のように構成された試料汚染防止装置にお
いては、ハンドル１４をガイド溝１６に沿つて上
下させると、伝熱棒５ｂはケーシング８内で上下
し、ハンドル１４を突出部１６ａ，１６ｂ，１６
ｃ…にセツトすることにより、フイン４は所定の
WDに対応した位置４ａ，４ｂ，４ｃ…に固定さ
れる。そして熱はフイン４から伝熱棒５ｂ、可撓
性伝熱材１０、伝熱棒５ａを通つて冷却槽７に伝
導し、フイン４が冷却され、従来のものと同様に
試料３の汚染が防止される。

試料３のWDを変更するには、ハンドル１４を
最上部の突出部１６ａにセツトして、フイン４を
WDの一番短い位置４ａに固定し、試料３を任意
のWDの位置にセツトする。そして試料３のWD
セツト終了後、ハンドル１４を所定の突出部（例
えば１６ｃ）にセツトして、対応するWDの位置
（例えば４ｃ）にフイン４をセツトする。

また他の付属装置（図示せず）を試料３に近づ
けるときなど、フイン４が邪魔になる場合には、
ハンドル１４を自由位置１６ｎにずらせると、伝
熱棒５ｂが操作軸１２を中心として回転するた
め、フイン４は第３図の４ｎの位置に移動し、試
料３上から逃がすことができる。

なお、フイン４の固定位置を切換える手段は上
記実施例のものに限定されず、外部から操作可能
なものであれば、他の機構のものでもよい。ま
た、この考案は透過電子顕微鏡、走査電子顕微
鏡、Ｘ線マイクロアナライザーおよび他の真空装
置にも同様に適用可能である。

以上のとおり、この考案によれば、フインを支
持する伝熱部材を可撓性伝熱材を介して冷却装置
に接続し、操作軸により冷却装置から独立して伝
熱部材を光軸と平行に移動させるようにしたの
で、試料面に対する角度を一定にした状態で、
WD切換に追随して外部より汚染防止用フインを
所定位置に切換えでき、また冷却装置を移動させ
る必要がないため、切換が容易で正確に位置合わ
せすることができるとともに、１種類のフインを
使用して試料室を大気圧にすることなく、簡単か
つ瞬時に位置の切換が可能であるなどの効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の試料汚染防止装置を示す一部を
切断した平面図、第２図はその−断面図、第
３図はこの考案の一実施例による試料汚染防止装
置を示す一部を切断した平面図、第４図はその
−断面図、第５図はその方向矢視図、であ
る。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示
し、１は試料室、２は対物レンズ、３は試料、４
はフイン、５，５ａ，５ｂは伝熱棒、６は液体窒
素容器、７は冷却槽、８はケーシング、９は連絡
管、１０は可撓性伝熱材、１１は軸受、１２は操
作軸、１４はハンドル、１６はガイド溝、１７は
摺動部材である。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 試料室内に設けられた試料面に対向して配置
   された汚染防止用フインと、このフインを支持
   する伝熱部材と、この伝熱部材を冷却装置に接
   続する可撓性伝熱材と、前記伝熱部材を収納す
   るケーシングに気密状態で挿入され、かつ前記
   冷却装置から独立して前記伝熱部材を荷電粒子
   線の光軸に平行な方向に移動させる操作軸とを
   備え、試料観察作動距離の切換に追随して、前
   記フインを所定位置に切換えるようにしたこと
   を特徴とする試料汚染防止装置。 (2) 操作軸を上下または回転させるハンドルと、
   このハンドルを係止させる突出部を有するガイ
   ド溝とを備えた実用新案登録請求の範囲第１項
   記載の試料汚染防止装置。