JPH11168124A

JPH11168124A - プローバーの上下動機構

Info

Publication number: JPH11168124A
Application number: JP9365488A
Authority: JP
Inventors: Toshito Nobukiyo; 俊人信清
Original assignee: NS KK; ENU ESU KK
Current assignee: NS KK; ENU ESU KK
Priority date: 1997-12-02
Filing date: 1997-12-02
Publication date: 1999-06-22

Abstract

(57)【要約】【課題】プローブカードの端子の上下移動量を変更で
きるようにする。【解決手段】プローブカード（７）を保持するアーム
（５）を支軸（１２）によって昇降可能に設ける。この
支軸（１２）の下端（１５）にカム（１６）を当接す
る。このカム（１６）は、上記支軸に当るカム面に、基
準となる基準面と、この基準面より高さが高い若しくは
低い作用面が設けられている。上記カム（１６）は、操
作つまみ（２２）を回転するとプーリー（３２）、ベル
ト（３３）、プーリー（２７）を介して回転する。適宜
の作用面を選定することにより、プローブカード（７）
の端子の上下の移動量を変えることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウェーハの良否を
検査するためのプローバーに関し、特に詳しくはプロー
ブカードに設けた端子をウェーハの端子に押し付けるプ
ローバーの上下動機構に係るものである。

【０００２】

【従来の技術】ウェーハの良否を検査するためにプロー
バーが用いられている。このプローバーは、真空チャッ
クで保持されたウェーハ上に多数の端子を形成したプロ
ーブカードを下降し、該端子をウェーハ面上に形成され
た端子に接触させて検査を行うが、この際プローブカー
ドの端子をウェーハの端子に確実に接触させるためにプ
ローブカードの端子がウェーハの端子に接した状態から
さらにプローブカードの端子をウェーハの端子に押し付
ける操作が行われている。

【０００３】上記ウェーハの端子にプローブカードの端
子の移動量は一般に１００μ程度であり、通常は、偏心
カムで上記プローブカードを保持する軸の下端を支持
し、該偏心カムを回転することにより下降させるように
構成されているが、その移動量は一定である。ところ
が、条件によっては、その移動量を１００μよりも大き
く若しくは少なくしたい場合が生じるが、従来の装置で
は上記偏心カムを取り替えなければ、そのような変更は
できなかった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の解決課題は、
上記のようなプローバーにおいて、プローブカードの端
子をウェーハの端子に押し付ける量を簡単に変更できる
ようにしたプローバーの上下動機構を提供することであ
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、多数の
端子を有するプローブカードを保持するアームと該アー
ムを昇降させる支軸と、該支軸を上下動させる上下動手
段を有するプローバーにおいて、上記上下動手段は上記
支軸の下端に当接するカムと該カムを駆動する駆動手段
を含み、該カムはプローブカードの端子がウェーハの端
子に接した状態を基準面とし該基準面に隣接して該基準
面より微少量上昇若しくは下降する作用面を有し、該基
準面及び作用面間を傾斜面で連続してあり、上記駆動手
段は上記支軸の下端に対し水平方向に上記カムを移動す
るようにしたプローバーの上下動機構が提供され、上記
課題が解決される。

【０００６】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の上下動機構の一
実施例を適用したプローバーの一例が示されている。図
において、本体（１）にはウェーハ（２）を吸着保持す
る真空チャック（３）が有り、該ウェーハ（２）を図に
おいて前後、左右、回転等の各軸方向へ移動させるウェ
ーハ移動装置（４）が設けられている。上記ウェーハ
（２）の上方には対向して延びるアーム（５），（５）
が有り、該アーム（５），（５）に設けたホルダー
（６）にウェーハの端子に接触するよう多数の端子（図
示略）を形成したプローブカード（７）が保持されてい
る。上記アーム（５）の後方に形成したスライダー
（８）はフレーム（９）に形成したガイド柱（１０）に
係合し、アーム（５）の昇降を案内する。

【０００７】上記アーム（５）を昇降するには種々の構
成にすることができるが、図においては、内面に雌ねじ
を形成した筒状のリードナット（１１）をアーム（５）
の下端に固定し、該リードナット（１１）に雄ねじを有
する支軸（１２）をねじ着し、該支軸（１２）の上端に
つまみ（１３）を設け、該支軸（１２）を回転すること
により上記リードナット（１１）を介して上記アーム
（５）を昇降するようにしてある。

【０００８】上記支軸（１２）の下端（１５）にはボー
ルキャスター（１４）を設けてあり、下端（１５）を上
下動させるよう上下動手段が形成されている。該上下動
手段は、上記下端に当接するカム（１６）と該カムを上
記下端に対し水平方向へ移動する駆動手段を具備してい
る。上記カム（１６）は、上記ウェーハの端子に上記プ
ローブカードの端子が接した状態を基準面とし、該基準
面に隣接して該基準面より微少量上昇若しくは下降する
作用面を有し、該基準面及び作用面を水平面に形成する
と共に該基準面及び各作用面間を傾斜面で連続させたカ
ム面を有している。

【０００９】上記カム（１６）は種々に構成することが
できるが、図１〜図３に示す実施例では、図４（Ａ），
（Ｂ），（Ｃ）に示すように円板状に形成され、該円板
の上面の円周方向に基準面（１７）となる高さ０の平面
と、該基準面（１７）より例えばそれぞれ０．３ｍｍ，
３ｍｍ高い作用面（１８），（１９）と該基準面（１
７）より０．０５ｍｍ，０．１ｍｍ低い作用面（２
０），（２１）を形成してあり、図５に示すようにカム
面が変化する。これらの作用面は高低の相違する他の複
数の面をさらに形成してもよい。なお、作用面の配置
は、図においては、最低面（−０．１）と最高面（＋
３）が対向する位置にあってその両側に他の作用面や基
準面が位置するように形成してあるが、最低面（−０．
１）と最高面（＋３）を隣接して位置させ、他の作用
面、基準面を円周方向に順次配置するようにしてもよ
い。

【００１０】上記カム（１６）を駆動する駆動手段は、
該カムを上記本体（１）の外方から直接回転させるよう
にしてもよいが、図においては、操作つまみ（２２）で
上記カム（１６）を回転するようにしてある。図２を参
照し、上記カム（１６）を取付けたカム軸（２３）は、
スラストベアリング（２４）、軸受（２５）を介してカ
ム軸ハウジング（２６）に回転自在に支持され、該カム
軸（２３）にはプーリー（２７）が取付けられている。
一方、操作つまみ（２２）は、駆動軸（２８）に取付け
られ、該駆動軸（２８）は軸受（２９），（３０）を介
して駆動軸ハウジング（３１）に回転自在に支持され、
該駆動軸（２８）にはプーリー（３２）が取付けられて
おり、上記カム軸（２３）のプーリー（２７）との間に
タイミングベルト等のベルト（３３）がかけ渡されてい
る。上記操作つまみ（２２）の下面には、目盛を表示し
た目盛板（３４）を取付けてあり、また該目盛板（３
４）の下方の本体カバー（３５）上には、基線（３６）
を表示したつまみプレート（３７）を設けてある。

【００１１】上記の構成により、操作つまみ（２２）を
回転すれば、上記駆動軸（２８）、プーリー（３２）、
ベルト（３３）、プーリー（２７）、カム軸（２３）を
介し上記カム（１６）は水平方向に回転し、カム面に形
成した上記作用面（１８），（１９），（２０），（２
１）及び基準面（１７）を適宜に選択することができ
る。したがって、上記チャック（３）（図１）上にウェ
ーハ（２）を載置したら、上記移動装置（４）によって
ウェーハ面上の端子がブローブカードの端子の直下にく
るように調整し、その後上記支軸（１２）のつまみ（１
３）を回転してアーム（５）を降下させ上記プローブカ
ードの端子を上記ウェーハの端子に接触させる。このと
き、上記カム（１６）は基準面（１７）（状態０）が上
記支軸（１２）の下端（１５）に当接するようにしてあ
る。その後、上記操作つまみ（２２）を回転して上記カ
ム（１６）を回転し、所望の作用面（１８）〜（２１）
を選定すれば、上記端子を、ウェーハの端子に対して選
定した移動量だけ押し付けることができる。検査後は、
上記操作つまみ（２２）を回転して、最高面（＋３）の
作用面（１９）を選定し、上記移動装置によってウェー
ハを移動させて次のウェーハの検査を行えばよい。

【００１２】上記カム（１６）を略平板状に形成した実
施例が図６に示されている。このカム（１６）は、平板
の上端面（３８）に長手方向に基準面（１７）、作用面
（１８），（１９），（２０），（２１）を設けてあ
り、該カムをラック機構、ねじ機構等で形成した駆動手
段（図示略）で長手方向に移動させれば、上記実施例と
ほぼ同様に上記支軸の下端を上下動させることができ
る。

【００１３】

【発明の効果】本発明は上記のように構成され、プロー
ブカードのアームの支軸を上下動させる手段として、支
軸の下端に接しウェーハの端子にプローブカードの端子
が接した状態を基準面とし該基準面に隣接して該基準面
より微少量上昇若しくは下降する作用面を有し該基準面
及び作用面を平面に形成すると共に該基準面及び各作用
面間を傾斜面で連続させたカムと、該カムを上記支軸の
下端に対し水平方向に移動する駆動手段を設けたので、
上記駆動手段によってカムを移動させ上記支軸に当接す
る作用面を適宜に選択すれば、上記支軸の上下動を適宜
に変えることができ、これにより上記プローブカードに
設けた端子をウェーハの端子に押し付ける量を容易に変
更することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用したプローバーの一実施例を示す
一部切欠側面図。

【図２】上下動機構部分の断面図。

【図３】図２の平面図。

【図４】カムの一実施例を示し、（Ａ）は平面図、
（Ｂ）は断面図、（Ｃ）は正面図。

【図５】カム面の構成を示す説明図。

【図６】カムの他の実施例を示す斜視図。

【符号の説明】

１本体２ウェーハ５アーム７プローブカード１１リードカット１２支軸１５支軸下端１６カム２２操作つまみ２７，３２プーリー３３ベルト

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ウェーハに形成した端子に接触するよう
多数の端子を有するプローブカードを保持するアーム
と、該アームを昇降させる支軸と、該支軸の下端（１
５）を上下動させる上下動手段を有するプローバーにお
いて、上記上下動手段は、上記支軸の下端に当接し上記
ウェーハの端子に上記プローブカードの端子が接した状
態を基準面とし該基準面に隣接して該基準面より微少量
上昇若しくは下降する作用面を有し該基準面及び作用面
を水平面に形成すると共に該基準面及び各作用面間を傾
斜面で連続させたカムと、該カムを上記支軸の下端に対
し水平方向に移動する駆動手段を具備することを特徴と
するプローバーの上下動機構。
【請求項２】上記カムは円板状に形成され、上記基準
面及び作用面は該円板の上面に円周方向に形成されてお
り、上記駆動手段は上記カムを回転させる請求項１に記
載のプローバーの上下動機構。
【請求項３】上記駆動手段は、上記カムに取付けたカ
ム軸と、操作つまみで回転される駆動軸を有し、上記駆
動軸及びカム軸をブーリー、ベルトで連結した請求項２
に記載のプローバーの上下動機構。
【請求項４】上記カムは略平板状に形成され、上記基
準面及び作用面は該平板の上端面に長手方向に形成され
ており、上記駆動手段は上記カムを長手方向に移動させ
る請求項１に記載のプローバーの上下動機構。