JPH1092887A - ウエハ検査装置 - Google Patents
ウエハ検査装置Info
- Publication number
- JPH1092887A JPH1092887A JP24579296A JP24579296A JPH1092887A JP H1092887 A JPH1092887 A JP H1092887A JP 24579296 A JP24579296 A JP 24579296A JP 24579296 A JP24579296 A JP 24579296A JP H1092887 A JPH1092887 A JP H1092887A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- holding arm
- wafer holding
- arm
- back surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】構造が簡単で低コストのウエハ裏面を検査する
ための検査装置を提供する。 【解決手段】表面を上側にして載置されたウエハを保持
し、ウエハの裏面を露出させるウエハ検査装置におい
て、表面を上側にして載置されたウエハを保持するウエ
ハ保持アームと、回転駆動を生成する駆動手段と、駆動
手段により回転させられ、ウエハ保持アームを上昇させ
て該載置されたウエハの裏面側に下側から近づかせ、ウ
エハをウエハ保持アームに水平状態で持ち上げさせるウ
エハ保持アーム上昇手段と、駆動手段により回転させら
れ、ウエハを保持したウエハ保持アームをウエハの裏面
が露出されるまで回転させるウエハ保持アーム回転手段
とを有することを特徴とする。単一の回転駆動装置によ
り、ウエハ保持アームの上昇と回転を行うことができ、
構造が単純になり低コスト省スペースにすることができ
る。
ための検査装置を提供する。 【解決手段】表面を上側にして載置されたウエハを保持
し、ウエハの裏面を露出させるウエハ検査装置におい
て、表面を上側にして載置されたウエハを保持するウエ
ハ保持アームと、回転駆動を生成する駆動手段と、駆動
手段により回転させられ、ウエハ保持アームを上昇させ
て該載置されたウエハの裏面側に下側から近づかせ、ウ
エハをウエハ保持アームに水平状態で持ち上げさせるウ
エハ保持アーム上昇手段と、駆動手段により回転させら
れ、ウエハを保持したウエハ保持アームをウエハの裏面
が露出されるまで回転させるウエハ保持アーム回転手段
とを有することを特徴とする。単一の回転駆動装置によ
り、ウエハ保持アームの上昇と回転を行うことができ、
構造が単純になり低コスト省スペースにすることができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造
工程等において半導体ウエハの表面と裏面を検査するウ
エハ検査装置に関する。
工程等において半導体ウエハの表面と裏面を検査するウ
エハ検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】表面に所定のパターンが形成された半導
体ウエハは、一般にその表面を目視によって色むらやゴ
ミの付着等を検査するマクロ検査と、顕微鏡によって表
面パターンの形成状態を検査するミクロ検査とにより検
査される。
体ウエハは、一般にその表面を目視によって色むらやゴ
ミの付着等を検査するマクロ検査と、顕微鏡によって表
面パターンの形成状態を検査するミクロ検査とにより検
査される。
【０００３】そのような検査装置として、例えば特開平
6-349908等が提案されている。この検査装置は、溝が形
成されたウエハの保持部によりウエハ外周縁を両側から
押し付けてウエハを挟持し、その状態でウエハ保持部が
パルスモータにより回転し、ウエハの裏面を上向きにし
て裏面のマクロ検査を可能にする。
6-349908等が提案されている。この検査装置は、溝が形
成されたウエハの保持部によりウエハ外周縁を両側から
押し付けてウエハを挟持し、その状態でウエハ保持部が
パルスモータにより回転し、ウエハの裏面を上向きにし
て裏面のマクロ検査を可能にする。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記提
案のウエハ検査装置は、複数の駆動源によりウエハの挟
持、ウエハ保持部の回転等を実現するものでありその構
造が複雑で大がかりなものである。従って、コスト高と
なると共に、複数のウエハを収納したウエハキャリアと
ミクロ検査を行う顕微鏡との間に設置させるマクロ検査
用の装置としては不向きである。また、ウエハの外周縁
を挟持させる方法はウエハを傷つける恐れもあり、検査
装置としては不向きである。
案のウエハ検査装置は、複数の駆動源によりウエハの挟
持、ウエハ保持部の回転等を実現するものでありその構
造が複雑で大がかりなものである。従って、コスト高と
なると共に、複数のウエハを収納したウエハキャリアと
ミクロ検査を行う顕微鏡との間に設置させるマクロ検査
用の装置としては不向きである。また、ウエハの外周縁
を挟持させる方法はウエハを傷つける恐れもあり、検査
装置としては不向きである。
【０００５】そこで、本発明は上記の問題点を解決し、
駆動源を極力少なくし且つ簡単な構造で、低コストのウ
エハ検査装置を提供することを目的とする。
駆動源を極力少なくし且つ簡単な構造で、低コストのウ
エハ検査装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、本発明に
よれば、表面を上側にして載置されたウエハを保持し、
該ウエハの裏面を露出させるウエハ検査装置において、
該表面を上側にして載置されたウエハを保持するウエハ
保持アームと、回転駆動を生成する駆動手段と、該駆動
手段により回転させられ、前記ウエハ保持アームを上昇
させて該載置されたウエハの裏面側に下側から近づか
せ、該ウエハを前記ウエハ保持アームに水平状態で持ち
上げさせるウエハ保持アーム上昇手段と、該駆動手段に
より回転させられ、前記ウエハを保持したウエハ保持ア
ームを該ウエハの裏面が露出されるまで回転させるウエ
ハ保持アーム回転手段とを有することを特徴とするウエ
ハ検査装置を提供することにより達成される。
よれば、表面を上側にして載置されたウエハを保持し、
該ウエハの裏面を露出させるウエハ検査装置において、
該表面を上側にして載置されたウエハを保持するウエハ
保持アームと、回転駆動を生成する駆動手段と、該駆動
手段により回転させられ、前記ウエハ保持アームを上昇
させて該載置されたウエハの裏面側に下側から近づか
せ、該ウエハを前記ウエハ保持アームに水平状態で持ち
上げさせるウエハ保持アーム上昇手段と、該駆動手段に
より回転させられ、前記ウエハを保持したウエハ保持ア
ームを該ウエハの裏面が露出されるまで回転させるウエ
ハ保持アーム回転手段とを有することを特徴とするウエ
ハ検査装置を提供することにより達成される。
【０００７】更に、より具体的には、前記ウエハ保持ア
ーム上昇手段が、前記ウエハ保持アームを回転自在に支
持するアーム支持手段に取り付けられたカムを有し、前
記駆動手段により該カムが回転させられて当該アーム支
持手段を上昇させることを特徴とする。
ーム上昇手段が、前記ウエハ保持アームを回転自在に支
持するアーム支持手段に取り付けられたカムを有し、前
記駆動手段により該カムが回転させられて当該アーム支
持手段を上昇させることを特徴とする。
【０００８】更に、より具体的には、前記ウエハ保持ア
ーム上昇手段が、水平位置に支持された該ウエハ保持ア
ームを上昇させて該ウエハ裏面を水平状態で持ち上げ、
該裏面側を吸着して保持することを特徴とする。
ーム上昇手段が、水平位置に支持された該ウエハ保持ア
ームを上昇させて該ウエハ裏面を水平状態で持ち上げ、
該裏面側を吸着して保持することを特徴とする。
【０００９】更に、より具体的には、前記ウエハ保持ア
ーム回転手段は、該ウエハ保持アームに設けられた突出
部に当接して該ウエハ保持アームを回転させる回転レバ
ーを有し、該回転レバーに前記駆動手段の回転が伝えら
れることを特徴とするウエハ検査装置。
ーム回転手段は、該ウエハ保持アームに設けられた突出
部に当接して該ウエハ保持アームを回転させる回転レバ
ーを有し、該回転レバーに前記駆動手段の回転が伝えら
れることを特徴とするウエハ検査装置。
【００１０】また、本発明のウエハ検査装置では、前記
ウエハ保持アーム回転手段の回転角度を検出する回転角
度検出手段を更に有し、該回転角度検出手段が所定の角
度回転したことを検出した時、該ウエハ保持アーム回転
手段が逆回転されて、該ウエハが元の位置に載置される
ことを特徴とする。
ウエハ保持アーム回転手段の回転角度を検出する回転角
度検出手段を更に有し、該回転角度検出手段が所定の角
度回転したことを検出した時、該ウエハ保持アーム回転
手段が逆回転されて、該ウエハが元の位置に載置される
ことを特徴とする。
【００１１】上記の様に、ウエハ観察者に対して、ウエ
ハの裏面を観察できる程度に露出させる検査装置を、単
一の回転駆動手段によりウエハの持ち上げとウエハ保持
アームの回転とを行わせることができるので、構造が簡
素化される。尚、ウエハ裏面を露出させるとは、典型的
には裏面を上側に向けることであるが、観察者の目線の
位置によっては上側を向けるまで回転させる必要がない
場合もある。
ハの裏面を観察できる程度に露出させる検査装置を、単
一の回転駆動手段によりウエハの持ち上げとウエハ保持
アームの回転とを行わせることができるので、構造が簡
素化される。尚、ウエハ裏面を露出させるとは、典型的
には裏面を上側に向けることであるが、観察者の目線の
位置によっては上側を向けるまで回転させる必要がない
場合もある。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面に従って説明する。しかしながら、本発明の技術
的範囲がその実施の形態に限定されるものではない。
て図面に従って説明する。しかしながら、本発明の技術
的範囲がその実施の形態に限定されるものではない。
【００１３】図１は、本発明の実施の形態にかかるウエ
ハ検査装置の全体概略構造図である。基台２の左側に複
数の半導体ウエハを収納したウエハキャリア３が上下動
自在に設置され、図示しない取り出し機構により矢印ａ
の方向に取り出され、ウエハ待機部５０上に載置され
る。そして、ウエハ６０の表面の状態が目視検査されて
から、本発明にかかるウエハ裏面検査装置４のウエハ保
持アーム４０によりウエハ裏面から持ち上げられて裏面
が吸着され、図中矢印ｂの方向にアーム４０が回転され
てウエハの裏面が上向きにされて観察者に露出され、そ
の裏面の目視検査が行われる。
ハ検査装置の全体概略構造図である。基台２の左側に複
数の半導体ウエハを収納したウエハキャリア３が上下動
自在に設置され、図示しない取り出し機構により矢印ａ
の方向に取り出され、ウエハ待機部５０上に載置され
る。そして、ウエハ６０の表面の状態が目視検査されて
から、本発明にかかるウエハ裏面検査装置４のウエハ保
持アーム４０によりウエハ裏面から持ち上げられて裏面
が吸着され、図中矢印ｂの方向にアーム４０が回転され
てウエハの裏面が上向きにされて観察者に露出され、そ
の裏面の目視検査が行われる。
【００１４】ウエハ６０は、再びウエハ待機部５０上に
戻され、図示しない移動機構により矢印ｃに従って顕微
鏡５のステージ７上に移動させられる。そして、その光
学系８によってウエハ表面のミクロ検査が行われる。ミ
クロ検査が終了すると、矢印ｃ，ａに従ってウエハキャ
リア３内にウエハ６０が戻される。その後、ウエハキャ
リア３が上下動して次のウエハが取り出されて、上記と
同様のマクロ検査とミクロ検査が行われる。
戻され、図示しない移動機構により矢印ｃに従って顕微
鏡５のステージ７上に移動させられる。そして、その光
学系８によってウエハ表面のミクロ検査が行われる。ミ
クロ検査が終了すると、矢印ｃ，ａに従ってウエハキャ
リア３内にウエハ６０が戻される。その後、ウエハキャ
リア３が上下動して次のウエハが取り出されて、上記と
同様のマクロ検査とミクロ検査が行われる。
【００１５】図２は、上記のウエハ検査装置４の上面図
である。また、図３は同正面図、図４は同背面図、図５
は同側面図である。これらの図はいずれも、ウエハ６０
が待機部５０上に載置され、ウエハ保持アーム４０が非
動作の状態を示している。ウエハ待機部５０上に載置さ
れたウエハ６０は、例えば真空チャック等により吸着さ
れている。ウエハ待機部５０はその直径がウエハ６０よ
り小さく、待機状態でウエハの裏面の縁部分が下向きに
露出した状態である。
である。また、図３は同正面図、図４は同背面図、図５
は同側面図である。これらの図はいずれも、ウエハ６０
が待機部５０上に載置され、ウエハ保持アーム４０が非
動作の状態を示している。ウエハ待機部５０上に載置さ
れたウエハ６０は、例えば真空チャック等により吸着さ
れている。ウエハ待機部５０はその直径がウエハ６０よ
り小さく、待機状態でウエハの裏面の縁部分が下向きに
露出した状態である。
【００１６】さて、ウエハの裏面を検査する装置４とし
て、ウエハ保持アーム４０が上下動部構成部材２１に取
り付けられた回転軸４１に回転自在に支持されている。
静止状態では、アーム４０に取り付けられた突出部４４
が上下動部構成部材２１に当接して、アーム４０は水平
状態となっている。基台部１０にはコロレース等のガイ
ド１１が設けられ、上下動部２０が支持される。上下動
部２０に固定されている回転駆動手段としてのＤＣギア
ドモータ３１には、プーリ３３とカム３７が係合されて
いる。図３に示したカム３７は、プーリ３３を示す為に
一部除去されているが、後述する図６に示される通りの
形状をしていて、基台部１０に設けられた回転可能なカ
ムフォロワ３８に当接している。従って、カム３７がＤ
Ｃギアドモータ３１によって回転駆動されると、カム３
７の形状に従って上下動部２０、上下動部構成部材２１
が上下動する。
て、ウエハ保持アーム４０が上下動部構成部材２１に取
り付けられた回転軸４１に回転自在に支持されている。
静止状態では、アーム４０に取り付けられた突出部４４
が上下動部構成部材２１に当接して、アーム４０は水平
状態となっている。基台部１０にはコロレース等のガイ
ド１１が設けられ、上下動部２０が支持される。上下動
部２０に固定されている回転駆動手段としてのＤＣギア
ドモータ３１には、プーリ３３とカム３７が係合されて
いる。図３に示したカム３７は、プーリ３３を示す為に
一部除去されているが、後述する図６に示される通りの
形状をしていて、基台部１０に設けられた回転可能なカ
ムフォロワ３８に当接している。従って、カム３７がＤ
Ｃギアドモータ３１によって回転駆動されると、カム３
７の形状に従って上下動部２０、上下動部構成部材２１
が上下動する。
【００１７】上下動部構成部材２１には、更にポテンシ
ョメータ３２が設けられ、そのポテンショメータ３２の
回転軸３２にはプーリ３４が係合されている。また、回
転軸４１にもプーリ３５が係合されている。そして、こ
れらのプーリ３３、３４、３５はタイミングベルト３６
を介してＤＣギアドモータ３１により連動して回転す
る。更に、回転軸４１にはウエハ保持アーム４０を回転
させるレバー３９が固定され、プーリ３５の回転と共に
回転して、アーム４０に設けられた突出部４４に当接さ
れてアーム４０を後述する様に回転させる。
ョメータ３２が設けられ、そのポテンショメータ３２の
回転軸３２にはプーリ３４が係合されている。また、回
転軸４１にもプーリ３５が係合されている。そして、こ
れらのプーリ３３、３４、３５はタイミングベルト３６
を介してＤＣギアドモータ３１により連動して回転す
る。更に、回転軸４１にはウエハ保持アーム４０を回転
させるレバー３９が固定され、プーリ３５の回転と共に
回転して、アーム４０に設けられた突出部４４に当接さ
れてアーム４０を後述する様に回転させる。
【００１８】ウエハ保持アーム４０の先端部はウエハ待
機部５０を囲むような形状で、３箇所にウエハの吸着部
４２を有して、アーム４０内の流路４３を介して図示し
ない真空ポンプに接続され、ウエハ６０の裏面側を吸着
できるようになっている。図４の背面図と図５の側面図
から明らかな通り、レバー３９が取り付けられている回
転軸４１には、バネ４５が巻き付けられ上下動部構成部
材２１に設けられた突起４６とアーム４０に設けた突起
４７にその両端が当接される。その結果、バネの弾性力
は矢印４８の方向に働いて、アーム４０に図４中で反時
計回り（図３中では時計回り）の方向に弾性力を与え
る。
機部５０を囲むような形状で、３箇所にウエハの吸着部
４２を有して、アーム４０内の流路４３を介して図示し
ない真空ポンプに接続され、ウエハ６０の裏面側を吸着
できるようになっている。図４の背面図と図５の側面図
から明らかな通り、レバー３９が取り付けられている回
転軸４１には、バネ４５が巻き付けられ上下動部構成部
材２１に設けられた突起４６とアーム４０に設けた突起
４７にその両端が当接される。その結果、バネの弾性力
は矢印４８の方向に働いて、アーム４０に図４中で反時
計回り（図３中では時計回り）の方向に弾性力を与え
る。
【００１９】このウエハ裏面検査装置の動作について、
以下に説明する。図６は、上下動部２０が上死点に達し
た状態を示す正面図である。この状態は、上下動部構成
部材２１がカム３７の回転により垂直方向に上昇し、ウ
エハ６０に対してアーム４０が真下から近づき３つの吸
着部４２がウエハ６０の裏面側を吸着し、更にウエハ待
機部５０からウエハ６０を僅かに持ち上げる。その時、
ウエハ待機部５０の真空チャックはオフになる。
以下に説明する。図６は、上下動部２０が上死点に達し
た状態を示す正面図である。この状態は、上下動部構成
部材２１がカム３７の回転により垂直方向に上昇し、ウ
エハ６０に対してアーム４０が真下から近づき３つの吸
着部４２がウエハ６０の裏面側を吸着し、更にウエハ待
機部５０からウエハ６０を僅かに持ち上げる。その時、
ウエハ待機部５０の真空チャックはオフになる。
【００２０】図６は、カム３７の最大半径でカムフォロ
ワ３８に当接しているので、上下動部構成部材２１は上
死点に達している。そして、その上死点でレバー３９が
突起部４４に当接する様に調節されている。また、ウエ
ハ保持アーム４０の上死点は、ウエハ待機部５０よりや
や上方となっていて、アーム４０が回転しないで水平状
態のウエハ６０をウエハ待機部５０から持ち上げる。
ワ３８に当接しているので、上下動部構成部材２１は上
死点に達している。そして、その上死点でレバー３９が
突起部４４に当接する様に調節されている。また、ウエ
ハ保持アーム４０の上死点は、ウエハ待機部５０よりや
や上方となっていて、アーム４０が回転しないで水平状
態のウエハ６０をウエハ待機部５０から持ち上げる。
【００２１】上記の様に、ウエハ６０がウエハ待機部５
０上に水平な状態にある時に、ウエハ保持アーム４０が
下側から上昇してウエハ６０の裏面を吸着するので、確
実にウエハ６０を保持することができる。また、上下に
移動するだけであり省スペースである。
０上に水平な状態にある時に、ウエハ保持アーム４０が
下側から上昇してウエハ６０の裏面を吸着するので、確
実にウエハ６０を保持することができる。また、上下に
移動するだけであり省スペースである。
【００２２】図７は、さらにウエハ保持アーム４０が回
転してウエハ６０の裏面を観察者に露出した状態を示す
正面図である。ＤＣギアドモータ３１の回転により、ウ
エハ保持アーム４０が反時計方向に回転させられ、ウエ
ハ６０の裏面が上方を向く様に露出される。その結果、
観察者は裏面の目視検査を容易に行うことができる。こ
の状態では、前述したバネ４５の弾性力がアーム４０に
対して時計方向にかかっているので、アーム４０が下側
に落下することはない。
転してウエハ６０の裏面を観察者に露出した状態を示す
正面図である。ＤＣギアドモータ３１の回転により、ウ
エハ保持アーム４０が反時計方向に回転させられ、ウエ
ハ６０の裏面が上方を向く様に露出される。その結果、
観察者は裏面の目視検査を容易に行うことができる。こ
の状態では、前述したバネ４５の弾性力がアーム４０に
対して時計方向にかかっているので、アーム４０が下側
に落下することはない。
【００２３】ＤＣギアドモータ３１の回転はタイミング
ベルト３６を介して回転軸３２にも伝えられ、その軸３
２に係合するポテンショメータはその回転角度を測定す
ることができる。従って、それにより検出されるウエハ
保持アーム４０の回転角度が所定の値に達したら、ＤＣ
ギアドモータの回転が止められ、目視検査が行われる。
ベルト３６を介して回転軸３２にも伝えられ、その軸３
２に係合するポテンショメータはその回転角度を測定す
ることができる。従って、それにより検出されるウエハ
保持アーム４０の回転角度が所定の値に達したら、ＤＣ
ギアドモータの回転が止められ、目視検査が行われる。
【００２４】目視検査が終了した後は、ＤＣギアドモー
タ３１が逆回転させられて、上記と逆の動きをして、ウ
エハ６０を水平状態でウエハ待機部５０上に載せる。レ
バー３９は反時計方向に回転するが、前述したバネ４５
の反時計方向の弾性力により、ウエハ保持アーム４０が
時計方向に回転させられる。そして、アーム４０が水平
状態になった時点で、レバー３９はアームの突起部４４
から離れ、カム３７の形状に従って上下動部２０が下降
を始める。そして、上下動部２０が下死点近くになった
ところで、真空吸着をウエハ保持アーム４０からウエハ
待機部５０へと切り換えることにより、ウエハ６０のウ
エハ待機部５０への受渡しが滑らかに行われる。
タ３１が逆回転させられて、上記と逆の動きをして、ウ
エハ６０を水平状態でウエハ待機部５０上に載せる。レ
バー３９は反時計方向に回転するが、前述したバネ４５
の反時計方向の弾性力により、ウエハ保持アーム４０が
時計方向に回転させられる。そして、アーム４０が水平
状態になった時点で、レバー３９はアームの突起部４４
から離れ、カム３７の形状に従って上下動部２０が下降
を始める。そして、上下動部２０が下死点近くになった
ところで、真空吸着をウエハ保持アーム４０からウエハ
待機部５０へと切り換えることにより、ウエハ６０のウ
エハ待機部５０への受渡しが滑らかに行われる。
【００２５】図８は、本発明の別の実施の形態例を示す
ウエハ検査装置の上面図である。この例ではウエハ保持
アーム４０の取付け方向が、図２と比較して９０度回転
した方向になっている。そして、ウエハ保持アーム４０
に取り付けられている突起部４９はＬ字型になってい
る。その結果、カムの形状に従ってアーム４０が上昇す
るまでは、上述の実施の形態例と同じであるが、上死点
に達した後は、レバー３９がＬ字型の突起部４９に当接
して圧力をかけ、アーム４０を図中５１の様に回転させ
てウエハ６０の裏面を露出させる。
ウエハ検査装置の上面図である。この例ではウエハ保持
アーム４０の取付け方向が、図２と比較して９０度回転
した方向になっている。そして、ウエハ保持アーム４０
に取り付けられている突起部４９はＬ字型になってい
る。その結果、カムの形状に従ってアーム４０が上昇す
るまでは、上述の実施の形態例と同じであるが、上死点
に達した後は、レバー３９がＬ字型の突起部４９に当接
して圧力をかけ、アーム４０を図中５１の様に回転させ
てウエハ６０の裏面を露出させる。
【００２６】従って、この例では、ウエハ保持アーム４
０の回転ストローク小さくなるので、ウエハ裏面の観察
高さが低くなり観察が容易になる。また、省スペースで
ある。
０の回転ストローク小さくなるので、ウエハ裏面の観察
高さが低くなり観察が容易になる。また、省スペースで
ある。
【００２７】図９は、更に本発明の別の実施の形態例を
示すウエハ検査装置の正面図である。この例では、ウエ
ハ保持アーム４０の回転動作は図２〜７の例と同じであ
るが、ＤＣギアドモータの代わりにパルスモータ７１が
使用されている。また、アーム４０の角度検出手段とし
て、ポテンショメータの代わりに光学式センサ７２を利
用している。光学式センサ７２がウエハ保持アーム４０
の回転範囲の両端に取り付けられ、タイミングベルト７
３に取り付けられた光遮蔽板７４が光学式センサ７２を
通過することで、アーム４０の角度を検出することがで
きる。
示すウエハ検査装置の正面図である。この例では、ウエ
ハ保持アーム４０の回転動作は図２〜７の例と同じであ
るが、ＤＣギアドモータの代わりにパルスモータ７１が
使用されている。また、アーム４０の角度検出手段とし
て、ポテンショメータの代わりに光学式センサ７２を利
用している。光学式センサ７２がウエハ保持アーム４０
の回転範囲の両端に取り付けられ、タイミングベルト７
３に取り付けられた光遮蔽板７４が光学式センサ７２を
通過することで、アーム４０の角度を検出することがで
きる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明のウエハ検査
装置によれば、単一の回転駆動源によりウエハ保持アー
ムの上昇、ウエハの吸着、回転を行うことができ、構造
が簡単で低コストで省スペースである。また、ウエハが
水平状態の時に水平に保たれたウエハ保持アームにより
持ち上げられて吸着されるので、ウエハを傷つけること
なく確実に保持することができる。
装置によれば、単一の回転駆動源によりウエハ保持アー
ムの上昇、ウエハの吸着、回転を行うことができ、構造
が簡単で低コストで省スペースである。また、ウエハが
水平状態の時に水平に保たれたウエハ保持アームにより
持ち上げられて吸着されるので、ウエハを傷つけること
なく確実に保持することができる。
【図１】本発明の実施の形態にかかるウエハ検査装置の
全体概略構造図である。
全体概略構造図である。
【図２】ウエハ検査装置の上面図である。
【図３】ウエハ検査装置の正面図である。
【図４】ウエハ検査装置の背面図である。
【図５】ウエハ検査装置の側面図である。
【図６】上下動部２０が上死点に達した状態を示す正面
図である。
図である。
【図７】ウエハ保持アーム４０が回転してウエハ６０の
裏面を観察者に露出した状態を示す正面図である。
裏面を観察者に露出した状態を示す正面図である。
【図８】本発明の別の実施の形態例を示すウエハ検査装
置の上面図である。
置の上面図である。
【図９】本発明の別の実施の形態例を示すウエハ検査装
置の正面図である。
置の正面図である。
３１ 駆動手段（ＤＣギアドモータ） ３２ 角度検出手段（ポテンショメータ） ３３、３４、３５ プーリ ３６ タイミングベルト ３７ カム ３９ 回転レバー ４０ ウエハ保持アーム ６０ ウエハ
Claims (5)
- 【請求項１】表面を上側にして載置されたウエハを保持
し、該ウエハの裏面を露出させるウエハ検査装置におい
て、 該表面を上側にして載置されたウエハを保持するウエハ
保持アームと、 回転駆動を生成する駆動手段と、 該駆動手段により回転させられ、前記ウエハ保持アーム
を上昇させて該載置されたウエハの裏面側に下側から近
づかせ、該ウエハを前記ウエハ保持アームに水平状態で
持ち上げさせるウエハ保持アーム上昇手段と、 該駆動手段により回転させられ、前記ウエハを保持した
ウエハ保持アームを該ウエハの裏面が露出されるまで回
転させるウエハ保持アーム回転手段とを有することを特
徴とするウエハ検査装置。 - 【請求項２】請求項１において、 前記ウエハ保持アーム上昇手段が、前記ウエハ保持アー
ムを回転自在に支持するアーム支持手段に取り付けられ
たカムを有し、前記駆動手段により該カムが回転させら
れて当該アーム支持手段を上昇させることを特徴とする
ウエハ検査装置。 - 【請求項３】請求項１または２において、 前記ウエハ保持アーム上昇手段が、水平位置に支持され
た該ウエハ保持アームを上昇させて該ウエハ裏面を水平
状態で持ち上げ、該裏面側を吸着して保持することを特
徴とするウエハ検査装置。 - 【請求項４】請求項１において、 前記ウエハ保持アーム回転手段は、該ウエハ保持アーム
に設けられた突出部に当接して該ウエハ保持アームを回
転させる回転レバーを有し、該回転レバーに前記駆動手
段の回転が伝えられることを特徴とするウエハ検査装
置。 - 【請求項５】請求項１または４において、 前記ウエハ保持アーム回転手段の回転角度を検出する回
転角度検出手段を更に有し、 該回転角度検出手段が所定の角度回転したことを検出し
た時、該ウエハ保持アーム回転手段が逆回転されて、該
ウエハが元の位置に載置されることを特徴とするウエハ
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24579296A JPH1092887A (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | ウエハ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24579296A JPH1092887A (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | ウエハ検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1092887A true JPH1092887A (ja) | 1998-04-10 |
Family
ID=17138907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24579296A Pending JPH1092887A (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | ウエハ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1092887A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001027992A1 (fr) * | 1999-10-08 | 2001-04-19 | Nikon Corporation | Mecanisme empechant la chute d'un substrat, et testeur de substrats pourvus d'un tel mecanisme |
| US6606154B1 (en) | 1998-07-10 | 2003-08-12 | Nidek Co., Ltd. | Sample inspecting apparatus |
| KR100445457B1 (ko) * | 2002-02-25 | 2004-08-21 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 후면 검사 장치 및 검사 방법 |
| JP2008016735A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-01-24 | Nec Electronics Corp | 検査補助装置 |
| KR100846065B1 (ko) * | 2006-12-29 | 2008-07-11 | 주식회사 실트론 | 웨이퍼 검사장치 및 방법 |
| JP2008286576A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-11-27 | Olympus Corp | 外観検査装置 |
| JP2015513111A (ja) * | 2012-04-12 | 2015-04-30 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | サンプル検査とレビューのためのシステム及び方法 |
-
1996
- 1996-09-18 JP JP24579296A patent/JPH1092887A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6606154B1 (en) | 1998-07-10 | 2003-08-12 | Nidek Co., Ltd. | Sample inspecting apparatus |
| WO2001027992A1 (fr) * | 1999-10-08 | 2001-04-19 | Nikon Corporation | Mecanisme empechant la chute d'un substrat, et testeur de substrats pourvus d'un tel mecanisme |
| JP2001110882A (ja) * | 1999-10-08 | 2001-04-20 | Nikon Corp | 基板落下防止機構およびこれを備えた基板検査装置 |
| US6635516B1 (en) | 1999-10-08 | 2003-10-21 | Nikon Corporation | Substrate dropping prevention mechanism and substrate inspection device provided therewith |
| JP4517315B2 (ja) * | 1999-10-08 | 2010-08-04 | 株式会社ニコン | 基板落下防止機構およびこれを備えた基板検査装置 |
| KR100445457B1 (ko) * | 2002-02-25 | 2004-08-21 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 후면 검사 장치 및 검사 방법 |
| US6923077B2 (en) | 2002-02-25 | 2005-08-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Apparatus and method for wafer backside inspection |
| JP2008016735A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-01-24 | Nec Electronics Corp | 検査補助装置 |
| KR100846065B1 (ko) * | 2006-12-29 | 2008-07-11 | 주식회사 실트론 | 웨이퍼 검사장치 및 방법 |
| JP2008286576A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-11-27 | Olympus Corp | 外観検査装置 |
| US7738091B2 (en) | 2007-05-16 | 2010-06-15 | Olympus Corporation | Visual inspection apparatus |
| JP2015513111A (ja) * | 2012-04-12 | 2015-04-30 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | サンプル検査とレビューのためのシステム及び方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6606154B1 (en) | Sample inspecting apparatus | |
| TWI249619B (en) | Display panel inspection apparatus and inspection method | |
| JP4517315B2 (ja) | 基板落下防止機構およびこれを備えた基板検査装置 | |
| JP2004524709A (ja) | ウェーハ用保持装置 | |
| JPH06291030A (ja) | 回転式基板処理装置用の基板回転保持装置 | |
| KR102255251B1 (ko) | 척 조립체 유지보수 모듈을 구비한 웨이퍼 프로세싱 시스템 | |
| US20090016857A1 (en) | Substrate-replacing apparatus, substrate-processing apparatus, and substrate-inspecting apparatus | |
| JP2001077179A (ja) | 半導体基板アライナー装置および方法 | |
| JPH0225254B2 (ja) | ||
| JPH1092887A (ja) | ウエハ検査装置 | |
| CN111312644A (zh) | 晶圆自动对位装置以及刻蚀机 | |
| JP3492859B2 (ja) | ウエハー形状測定装置 | |
| JP2004144648A (ja) | 表面検査装置 | |
| JP2603191B2 (ja) | 薄板傾動装置 | |
| JPH10116869A (ja) | ウエハ検査装置 | |
| JP4226955B2 (ja) | 基板の位置決め装置 | |
| JP2591291Y2 (ja) | 円盤状物品の保持装置 | |
| JP7473748B2 (ja) | ウェーハ回転装置、ウェーハ検査装置及びウェーハの検査方法 | |
| JP3140682B2 (ja) | 動釣り合い調整装置 | |
| JPH104132A (ja) | チップ移載装置 | |
| JP4282379B2 (ja) | ウエハ検査装置 | |
| JP2000046747A (ja) | 液晶基板の外観検査方法および装置 | |
| JP2001093960A (ja) | 処理装置用ウエファ位置決め装置 | |
| JP3222766B2 (ja) | 動釣り合い調整装置 | |
| JPH08206617A (ja) | ブラシ回転式基板洗浄装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040527 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040928 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050208 |