JPH0936208A

JPH0936208A - 検査装置

Info

Publication number: JPH0936208A
Application number: JP20140395A
Authority: JP
Inventors: Kiyoshi Takekoshi; 清竹腰
Original assignee: TERU ENG KK; Tokyo Electron Ltd
Current assignee: TERU ENG KK; Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1995-07-14
Filing date: 1995-07-14
Publication date: 1997-02-07

Abstract

(57)【要約】【目的】基板搬送機構から検査用載置台へのＬＣＤ基
板の引き渡し位置に多少のズレがあっても常に検査用載
置台の所定固定位置へＬＣＤ基板を正確に引き渡すこと
ができる検査装置を提供する。【構成】本検査装置１は、その検査用載置台２５は、
昇降して基板搬送機構６のローダアーム７Ａとの間でＬ
ＣＤ基板Ｓの受け渡しを行なう受け渡し機構２５３と、
この受け渡し機構２５３で受け取ったＬＣＤ基板Ｓを固
定する固定機構２５４とを有し、且つ、受け渡し機構２
５４は、ＬＣＤ基板Ｓを対向する２辺で支持する支持部
２５３Ｈ、２５３Ｈと、ＬＣＤ基板Ｓの４箇所で接触し
てＬＣＤ基板Ｓを支持部２５３Ｈ、２５３Ｈへ落とし込
むガイド部２５３Ｇ、２５３Ｉを有すると共に、固定機
構２５４は、受け渡し機構２５３の支持部２５３Ｈ及び
ガイド部２５３Ｇ、２５３Ｉが嵌入する嵌入溝２５４
Ｅ、２５４Ｆを有することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利分野】本発明は、液晶表示体基板（ＬＣＤ
基板）の点灯検査を行う検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばＴＦＴ型ＬＣＤ基板には、ＬＣＤ
の画素をＯＮ、ＯＦＦ駆動する電気回路がガラス基板上
にマトリックス状に形成されている。そして、例えばＬ
ＣＤ基板の２辺の電気回路の接点となる電極パッドが多
数配列されている。また、電気的検査を行なう場合に
は、ＬＣＤ用基板を正確に位置決めした後行なう必要が
あるため、ＬＣＤ用基板上のコーナー部には例えばクロ
スマークなどからなるアライメントマークが形成されて
いる。

【０００３】ＬＣＤ基板の点灯検査を行う検査装置は、
一般に、ＬＣＤ基板をロード、アンロードするローダ部
と、このローダ部から受け取ったＬＣＤ基板の電気的検
査を行なうプローバ部とを備えている。ローダ部はカセ
ット内に例えば２５枚収納されたＬＣＤ基板を１枚ずつ
ロード、アンロードするように構成されている。このロ
ーダ部は、例えばカセットを載置するカセット載置部
と、このカセット載置部に載置されたカセット内のＬＣ
Ｄ基板を１枚ずつ取り出してプローバ部へ搬送する基板
搬送機構と、この基板搬送機構による搬送過程でＬＣＤ
基板を予め所定方向へ位置決めするプリアライメント機
構とを備えている。

【０００４】また、プローバ部は、ローダ部の基板搬送
機構から受け取ったＬＣＤ基板を保持する検査用載置台
と、この検査用載置台上に載置されたＬＣＤ基板の各電
極パッドと電気的に接触するプローブ針を有するプロー
ブボードとを備えている。検査用載置台は、Ｘ方向、Ｙ
方向、Ｚ方向及びθ方向で移動可能で、ローダ部から受
け取ったＬＣＤ基板をアライメントした後プローブボー
ドの下方へ移動させ、ＬＣＤ基板の各電極パッドをそれ
ぞれに対応したプローブボードの各プローブ針に電気的
に接触させて電気的検査を行なうように構成されてい
る。更に、検査用載置台には照明装置が内蔵されてい
る。そして、この照明装置により検査用載置台上のＬＣ
Ｄ基板を裏面から照明すると共に、検査用載置台を移動
させてＬＣＤ基板の各電極パッドをプローブに電気的に
接触させ、ＬＣＤ基板の表示画素に異常がないかを検査
する。この際、プローバ部におけるアライメント状況や
プローブの接触などの検査状況は表示装置により監視す
るようにしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
この種の検査装置の場合には、基板搬送機構から検査用
載置台へＬＣＤ基板を受け渡しする時には、検査用載置
台に内蔵された３本または４本のピンが昇降し、これら
のピンでＬＣＤ基板を受け取った後、ピンが下降して検
査用載置台上でＬＣＤ基板を真空吸着などにより固定す
るようにしているため、ピン上でＬＣＤ基板が安定せ
ず、ピンが下降する時にＬＣＤ基板がピン上において位
置ズレする虞があった。また、従来の検査装置の場合に
は、基板搬送機構においてプリアライメントするように
しているが、この位置決め精度が悪いと、ＬＣＤ基板が
検査用載置台上へ正確に引き渡すことが難しく、自ずと
基板搬送機構から検査用載置台への引き渡し位置が安定
せず、ひいては検査用載置台上での固定位置が安定しな
いことになって、高精度で安定した点灯検査を行うこと
ができなくなるという課題があった。

【０００６】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、基板搬送機構から検査用載置台へのＬＣＤ
基板の引き渡し位置に多少のズレがあっても常に検査用
載置台の所定固定位置へＬＣＤ基板を正確に引き渡すこ
とができる検査装置を提供することを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の検査装置は、基板搬送機構により液晶表示体基板を検
査用載置台上に載置し、この液晶表示体基板を裏面から
照明してその点灯検査を行う検査装置において、上記検
査用載置台は、昇降して上記基板搬送機構との間で上記
液晶表示体基板の受け渡しを行なう受け渡し機構と、こ
の受け渡し機構で受け取った液晶表示体基板を固定する
固定機構とを有し、且つ、上記受け渡し機構は、上記液
晶表示体基板を対向する２辺で支持する支持部と、上記
液晶表示体基板と少なくとも斜め方向で互いに対向する
隅角部で接触して上記液晶表示体基板を上記支持部へ落
とし込むガイド部を有することを特徴とするものであ
る。

【０００８】また、本発明の請求項２に記載の検査装置
は、基板搬送機構により液晶表示体基板を検査用載置台
上に載置し、この液晶表示体基板を裏面から照明してそ
の点灯検査を行う検査装置において、上記検査用載置台
は、昇降して上記基板搬送機構との間で上記液晶表示体
基板の受け渡しを行なう受け渡し機構と、この受け渡し
機構で受け取った液晶表示体基板を固定する固定機構と
を有し、且つ、上記受け渡し機構は、上記液晶表示体基
板を対向する２辺で支持する支持部と、上記液晶表示体
基板と４箇所の隅角部で接触して上記支持部へ落とし込
むガイド部を有すると共に、上記固定機構は、上記受け
渡し機構の支持部及びガイド部が嵌入する嵌入溝を有す
ることを特徴とするものである。

【０００９】また、本発明の請求項３に記載の検査装置
は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上
記ガイド部はテーパ面として形成されていることを特徴
とするものである。

【００１０】

【作用】本発明の請求項１及び請求項３に記載の発明に
よれば、液晶表示体基板の点灯検査をするに当たって、
基板搬送機構からの液晶表示体基板を検査用載置台上へ
載置する際に、まず、受け渡し機構が固定機構から上昇
すると、液晶表示体基板の少なくとも斜め方向で対向す
る隅角部にガイド部であるテーパ面が接触すると、それ
ぞれのテーパ面を介して液晶表示体基板を支持部へ落と
し込み、支持部で液晶表示体基板を２辺で支持すると共
にその位置決めを自動的に行う。その後、受け渡し機構
が固定機構に対して相対的に下降すると液晶表示体基板
を固定機構上へ載置し、ここで液晶表示体基板を例えば
真空吸着などの手段により固定すれば、常に一定の位置
へ液晶表示体基板を固定することができる。

【００１１】また、本発明の請求項２及び請求項３に記
載の発明によれば、液晶表示体基板の点灯検査をするに
当たって、基板搬送機構からの液晶表示体基板を検査用
載置台上へ載置する際に、まず、受け渡し機構が固定機
構から上昇すると、液晶表示体基板の４箇所の隅角部に
ガイド部であるテーパ面が接触すると、それぞれのテー
パ面を介して液晶表示体基板を支持部へ落とし込み、支
持部で液晶表示体基板を２辺で支持すると共にその位置
決めを自動的に行う。その後、受け渡し機構が固定機構
に対して相対的に下降すると、その支持部が固定機構の
嵌入溝へ嵌り込み、液晶表示体基板を固定機構上へ引き
渡して載置し、ここで液晶表示体基板を例えば真空吸着
などの手段により固定すれば、常に一定の位置へ液晶表
示体基板を固定することができる。

【００１２】

【実施例】以下、図１〜図８に示す実施例に基づいて本
発明を説明する。本実施例の検査装置１はＬＣＤ基板Ｓ
の点灯検査を行うように構成されている。この検査装置
１は、図１に示すように、例えば２５枚単位でカセット
Ｃ内に収納されたＬＣＤ基板Ｓを載置するカセット載置
部２と、このカセット載置部２のカセットＣから未検査
のＬＣＤ基板Ｓを取り出し、検査後のＬＣＤ基板Ｓを収
納する基板搬送部３と、この基板搬送部３から搬送され
たＬＣＤ基板Ｓの点灯検査を行う検査部４とを備えてい
る。図１では基板搬送部３は明確ではないが、基板搬送
部３はカセット載置部２と検査部４の間に介在してい
る。

【００１３】そして、上記カセット載置部３には横方向
に所定間隔を空けて複数個例えば５個のカセットＣを載
置するカセット載置台５が設けられている。各カセット
載置部２には異物の侵入を検出したり、カセットＣ内の
ＬＣＤ基板Ｓの種類を読み取ったりする各種のセンサが
取り付けられ、各種のセンサを利用して自動搬送車のカ
セットＣをカセット載置台５において自動的且つ安全に
搬入、搬出できるようにしてある。尚、図１において、
３Ａは基板搬送部３の操作するタッチパネルであり、４
Ａは検査部４状況を表示する表示装置である。この表示
装置４Ａは検査部４の上部に配設されたＣＣＤカメラ等
の撮像手段により検査部４におけるプローブとＬＣＤ基
板Ｓの電極パッドの接触状況等の撮像画像を表示すると
共に、検査部４を操作する操作パネルとしても機能する
ようにしてある。上記基板搬送部３には図２に示す基板
搬送機構６が配設されている。この基板搬送機構６は、
図１に示すカセット載置部２と検査部４の間の空間に配
設され、この空間で搬送アーム７がＸ方向、Ｙ方向、Ｚ
方向及びθ方向で移動できるようにしてある。

【００１４】即ち、上記基板搬送機構６は、上下２段に
平行に配置された２枚の搬送アーム７Ａ、７Ｂと、各搬
送アーム７Ａ、７Ｂを支持する支持台８とを備えてい
る。この支持台８上には長手方向（図２では左右方向）
全長に亘って２対のガイドレール８Ａ、８Ｂ（図３参
照）が互いに平行に配設され、各ガイドレール８Ａ、８
Ｂに取付部材９Ａ、９Ｂを介して搬送アーム７Ａ、７Ｂ
が連結されている。更に、各取付部材９Ａ、９Ｂの下端
部にはガイドレールに沿って配設された無端状ベルト１
０Ａ、、１０Ｂにそれぞれ連結されている。各無端状ベ
ルト１０Ａ、１０Ｂはいずれも図示しないモータで回転
するようにしてある。その結果、各搬送アーム７Ａ、７
Ｂは、無端状ベルト１０Ａ、１０Ｂの回転で取付部材９
Ａ、９Ｂを介してガイドレール８Ａ、８Ｂに従って支持
台８上を個別に移動できるようにしてある。そして、下
段の搬送アーム７ＡがカセットＣからＬＣＤ基板Ｓを取
り出し、検査部４へＬＣＤ基板Ｓをロードするローダア
ームとして構成され、上段の搬送アーム７Ｂが検査部４
からアンロードしたＬＣＤ基板ＳをカセットＣ内へ収納
するアンローダアームとして構成されている。従って、
以下の説明では必要に応じて下段の搬送アームをローダ
アーム７Ａ、上段の搬送アームをアンローダアーム７Ｂ
として説明する。また、各搬送アーム７Ａ、７Ｂには表
面には図示しない孔が形成され、この孔を介してＬＣＤ
用基板Ｓを真空吸着するようにしてある。各搬送アーム
７Ａ、７Ｂの前方には後述の方向転換機構の載置台が抜
ける大きさの孔７Ｃが形成されている。

【００１５】また、この支持台８の裏面にはボールネジ
１１が回転自在に上端で連結され、図示しないモータ等
の駆動機構から回転力を得て回転駆動するようにしてあ
る。更に、支持台８の裏面にはボールネジ１１を三方向
から囲むレール１２が上端で連結されている。そして、
ボールネジ１１及び各レール１２は、下方の回転体１３
をそれぞれ貫通し、ボールネジ１１は回転体１３に固定
されたナット部材（図示せず）に螺合している。これに
よりボールネジ１１が駆動機構によりナット部材を介し
て正逆回転し、もって支持台８が上下方向（Ｚ方向）で
移動するようにしてある。

【００１６】上記回転体１３は、図２に示すように、Ｙ
テーブル１４上に配設されている。このＹテーブル１４
の下方には基台１５が配設され、この基台１５上面には
Ｙテーブル１４をＹ方向へ往復移動させる一対のボール
ネジ１６及びガイドレール１７が配設され、ボールネジ
１６は一方（図２では右側）のガイドレール１７の外側
に位置している。そして、ボールネジ１６にはＹテーブ
ル１４の裏面に取り付けられたナット部材１８が螺合
し、一対のガイドレール１７にはＹテーブル１４の裏面
に取り付けられた係合部材１９が係合し、ボールネジ１
６に連結されたモータ２０により、Ｙテーブル１４がカ
セット載置部２に沿ってＹ方向で往復移動するようにし
てある。

【００１７】また、上記回転体１３は例えばベルト（図
示せず）を介してモータ（図示せず）に連結され、この
モータにより回転体１３が図２の矢印で示すようにθ方
向で回転するようにしてある。この回転体１３の周縁近
傍には回転可能に構成された方向転換機構２１配設され
ている。この方向転換機構２１は、θ方向で正逆回転す
る載置台２１Ａと、この載置台２１Ａを昇降させるエア
シリンダなどからなる昇降機構（図示せず）とを有し、
必要に応じて基板搬送機構６から受け取ったＬＣＤ基板
Ｓを検査部４へ引き渡す前に検査に必要な向きに修正す
るようにしてある。そのため、この方向転換機構２１は
必要に応じて適宜使用される。また、この方向転換機構
２１の載置台２１Ａには真空吸着用の孔（図示せず）が
形成され、この孔によりＬＣＤ用基板Ｓを真空吸着する
ようにしてある。

【００１８】また、上記基板搬送機構６には、図２〜図
４に示すように、プリアライメント機構２２が配設され
ている。このプリアライメント機構２２は、カセットＣ
から取り出したＬＣＤ基板Ｓの向きを方向転換機構２１
で方向修正する前に、ＬＣＤ基板Ｓの中心を方向転換機
構２１の載置台２１Ａの中心に位置決めするものであ
る。

【００１９】上記プリアライメント機構２２は、ＬＣＤ
基板Ｓの各隅角部を２辺から挟むように対をなして互い
に直交方向に配置された回転自在な位置決めローラ２２
Ａ、２２Ｂと、両ローラ２２Ａ、２２Ｂで位置決めされ
たＬＣＤ基板Ｓを支持する支持ローラ２２Ｃと、これら
のローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃを支持台８の左右両側
で支持する左右一対の細長形状のフラットバー２２Ｄ
と、各フラットバー２２Ｄを介して各ローラを一体的に
昇降する第２昇降機構として例えばエアシリンダ２２Ｅ
とを備えている。エアシリンダ２２Ｅは支持台８にその
下方から昇降可能に連結された側面コ字形状の枠部材２
２Ｆ上に前後一対固定されている。そして、枠部材２２
Ｆ上には前後のエアシリンダ２２Ｅ間で略等間隔を空け
たガイド部材２２Ｇが配設されている。従って、エアシ
リンダ２２Ｅによりフラットバー２２Ｄを介して位置決
めローラ２２Ａ、２２Ｂ及び支持ローラ２２Ｂが昇降す
るようにしてある。更に、この枠部材２２Ｆの垂直枠に
はバネ２２Ｈが弾装され、このバネ２２Ｈにより枠部材
２２Ｆを常時下方へ付勢するようにしてある。この枠部
材２２Ｆには回転体１３上に立設されたストッパー２２
Ｉが下方から接触している。また、各位置決めローラ２
２Ａ、２２ＢはＬＣＤ基板Ｓの大きさに応じてそれぞれ
取付位置を調整できるようになっている。

【００２０】従って、プリアライメント機構２２は、ボ
ールネジ１１の駆動で支持台８を介して搬送アーム７が
下降するとストッパー２２Ｉの作用で枠部材２２Ｆがバ
ネ２２Ｈの弾力に抗して支持台８から持ち上げられ、し
かもエアシリンダ２２Ｅの作動で位置決めローラ２２
Ａ、２２Ｂ及び支持ローラ２２Ｃが更に上昇するように
してある。

【００２１】また、上述した前後左右の各位置決めロー
ラ２２Ａ、２２Ｂの軸心の高さは、各支持ローラ２２Ｃ
で支持されるＬＣＤ基板Ｓの前後の両辺の高さと略一致
している。従って、図４に示すように、前後の位置決め
ローラ２２Ａ、２２Ａ間で最も距離の近い位置でＬＣＤ
基板Ｓの前後を挟み、左右の位置決めローラ２２Ｂ、２
２Ｂ間で最も距離の近い位置でＬＣＤ基板Ｓの左右を挟
み、ＬＣＤ基板Ｓを前後左右の位置決めし、位置決めロ
ーラ２２Ａ、２２Ｂの最も高い位置より内側、即ち、図
４の一点鎖線で示した長方形の受領領域Ａ内でＬＣＤ基
板Ｓを受領するようにしてある。この受領領域Ａ内でＬ
ＣＤ基板Ｓを受け取れば、ＬＣＤ基板Ｓを各位置決めロ
ーラ２２Ａ、２２Ｂの回転で支持ローラ２２Ｃへ落とし
込んで自動的に位置決するようにしてある。

【００２２】ところで、このプリアライメント機構２２
でＬＣＤ基板Ｓを位置決めする時には、ローダアーム７
ＡからＬＣＤ基板Ｓを受領領域Ａ内へ引き渡す必要があ
る。そのためにはカセットＣ内のＬＣＤ基板Ｓを受領領
域Ａ内に入るように取り出さなくてはならない。その対
策として、図４に示すようにローダアーム７Ａの孔７Ｃ
のやや後方にはＬＣＤ基板Ｓの前後方向の位置を決める
位置決め部材７Ｄが取り付けられている。この位置決め
部材７Ｄは、搬送アーム７ＡによりカセットＣからＬＣ
Ｄ基板Ｓを取り出す際に、仮にカセットＣ内からそのＬ
ＣＤ基板Ｓが突出していたとしても、そのＬＣＤ基板Ｓ
を一旦カセットＣ内の正規の収納位置へ押し込み、前後
の位置を矯正し、受領領域ＡからＬＣＤ基板Ｓが外れな
いように位置決めするものである。尚、ＬＣＤ基板Ｓの
横方向の位置ズレはカセットＣによって規制されるた
め、受領領域Ａから外れるほどの位置ズレはない。

【００２３】上記検査部４は、図１に示すように、ＬＣ
Ｄ基板Ｓの点灯検査を行う検査領域２３と、この検査領
域２３の両側に形成されたアライメント領域２４Ａ、２
４Ｂと、これらのアライメント領域２４Ａ、２４Ｂ内に
それぞれ配設され且つこれらの領域で基板搬送機構６と
の間でＬＣＤ基板Ｓを授受する２台の検査用載置台２
５、２５と、これらの検査用載置台２５、２５を上記領
域間で往復移動させる駆動機構２６とを備えている。

【００２４】上記検査用載置台２５は例えばアルミニウ
ムによって形成されている。そして、この検査用載置台
２５の表面には艶消し処理としてアルミニウムの陽極酸
化により黒色アルマイト処理が施されている。この検査
用載置台２５は、図５に示すように、全体として矩形の
ボックス形状に形成され、駆動機構２６等によってＸ方
向及びＹ方向で往復移動するようにしてある。ボックス
状の検査用載置台２５は、ＬＣＤ基板Ｓを載置する載置
体２５１と、この載置体２５１を昇降させるボールネジ
等を有する昇降機構（図示せず）と、この昇降機構によ
り載置体２５１の昇降を案内するように載置体２５１裏
面の４箇所の隅角部に取り付けられたガイドポスト２５
２とを備えている。

【００２５】そして、本実施例の検査用載置台２５を構
成する載置体２５１は、その載置面において昇降して搬
送アーム７Ａ、７Ｂとの間でＬＣＤ基板Ｓの受け渡しを
行う受け渡し機構２５３と、この受け渡し機構２５３の
内側に配置されこの機構で受け取ったＬＣＤ基板Ｓをそ
の点灯検査に備えて載置面上に固定する固定機構２５４
と、この固定機構２５４で固定されたＬＣＤ基板Ｓを裏
面から照明するように検査用載置台２５に内蔵された照
明装置２５５とを備えている。尚、図５において、２５
１Ａはプローブを撮像し、そのプローブを電極パッドに
対して位置決めする時に用いられるＣＣＤカメラ等から
なる撮像手段である。

【００２６】上記受け渡し機構２５３は、図５、図６に
示すように、ＬＣＤ基板Ｓを左右両側縁部の前後で支持
する一対の位置決めフレーム２５３Ａ、２５３Ａと、各
位置決めフレーム２５３Ａの裏面から垂下し下側のθテ
ーブル２５６及び支持基板２５７を貫通するロッド２５
３Ｂと、このロッド２５３Ｂの真下にこれとは離隔する
ように上記Ｘテーブル２６１に立設されたストッパー２
５３Ｃと、上記ロッド２５３Ｂを挟むように各位置決め
フレーム２５３Ａから垂下するガイドロッド２５３Ｄと
を備えている。そして、受け渡し機構２５３は、昇降機
構により検査用載置台２５が所定距離だけ下降した時に
ロッド２５３Ｂがストッパー２５３Ｃに接触して載置面
から浮上するように構成されている。

【００２７】上記各位置決めフレーム２５３は同一構成
を有するため、一方の位置決めフレームについて図６の
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）を参照しながら説明する。この
位置決めフレーム２５３Ａ内側の前後両端には第１突起
部２５３Ｅ、２５３Ｅが内方（図６では右方）へ延設さ
れ、更に、第１突起部２５３Ｅ、２５３Ｅの間には所定
間隔を空けて３個の第２突起部２５３Ｆが同様に延設さ
れ、第１、第２突起部２５３Ｅ、２５３Ｆを介してＬＣ
Ｄ基板Ｓを固定機構２５４上で位置決めするようにして
ある。第１突起部２５３Ｅは、突出方向とは直交する方
向で且つ内方（図６では下方または上方）へ下降傾斜し
たテーパ面からなるガイド部２５３Ｇと、このガイド部
２５３Ｇの下端から更に内方へ水平に延設された水平面
からなる支持部２５３Ｈを有している。また、第２突起
部２５３Ｆは、その先端部で内方（図６では右方）へ下
降傾斜するテーパ面からなるガイド部２５３Ｉを有して
いる。そして、この受け渡し機構２５３は、基板搬送機
構６においてプリアライメントされたＬＣＤ基板Ｓに対
して各ガイド部２５３Ｇ、２５３Ｉで接触し、これら両
者２５３Ｇ、２５３Ｉを介して４隅の支持部２５３Ｈへ
ＬＣＤ基板Ｓを落とし込むことによってＬＣＤ基板Ｓの
位置決めを行って支持し、その後検査用載置台２５３の
上昇により固定機構２５４へＬＣＤ基板Ｓを引き渡すよ
うにしてある。

【００２８】また、上記固定機構２５４は、図７の
（ａ）で示すように、矩形状の枠体として形成され、そ
の内側縁部でＬＣＤ基板Ｓの画素形成部分以外の外側縁
部を支持するように構成されている。この固定機構２５
４は、ＬＣＤ基板Ｓの直交する２辺には電極パッドが配
列され、他の２辺には電極パッド部よりも更に幅の狭い
ＬＣＤ基板Ｓの取付部が形成され、これらの内側全面に
微細な画素が形成されている。そのため、固定機構２５
４は、同図（ａ）で示すように、ＬＣＤ基板Ｓの電極パ
ッドの部分を支持する第１支持部２５４Ａと、電極パッ
ドの部分以外の部分を支持する第２支持部２５４Ｂとを
有している。そして、幅の広い第１支持部２５４Ａには
同図（ａ）、（ｂ）で示すように真空吸着用の細長形状
の凹陥部２５４Ｃが所定間隔を空けて複数個配列され、
更に、各凹陥部２５４Ｃの底面に同図（ｂ）で示すよう
な真空排気用の排気孔２５４Ｄが形成されている。とこ
ろが、第２支持部２５４Ｂは第１支持部２５４Ａよりも
狭いため、真空吸着用の凹陥部を設けられていない。

【００２９】また、図７の（ａ）、（ｃ）で示すように
第１、第２支持部２５４Ａ、２５４Ｂには上記位置決め
フレーム２５３Ａの第１、第２突起部２５３Ｅ、２５３
Ｆが嵌入する第１、第２嵌入溝２５４Ｅ、２５４Ｆが形
成されている。各嵌入溝２５４Ｅ、２５４Ｆの深さは、
いずれもＬＣＤ基板Ｓが第１、第２支持部２５４Ａ、２
５４Ｂ上で支持された時に、第１、第２突起部２５３
Ｅ、２５３Ｆを完全に収納し得る深さに形成されてい
る。

【００３０】また、載置体２５１の昇降動作をガイドす
るガイドポスト２５２は、図８の（ａ）に示すように、
上端が載置体２５１の底面に固定された筒体２５２Ａ
と、この筒体２５２Ａに挿入され下端がＸテーブル２６
１に固定されたロッド２５２Ｂと、これら両者２５２
Ａ、２５２Ｂ間に介在し且つ複数のニードルベアリング
を外周面に有する円筒状の摺動体２５２Ｃとを備えて構
成されている。摺動体２５２Ｃの外周面には縦方向に３
筋の溝２５２Ｄが形成されている。これらの溝２５２Ｄ
は周方向等間隔（１２０°間隔）に形成され、各溝２５
２Ｄにはその全長に亘って横方向を向くニードルベアリ
ング２５２Ｅが上下に配列されている。各ニードルベア
リング２５２Ｅは周面の一部が摺動体２５２Ｃの外周面
及び内周面の双方から露出するように回転自在に支持さ
れている。また、同図の（ｂ）、（ｃ）に示すように、
筒体２５２Ａの内周面にはニードルベアリング２５２Ｅ
が線接触する平坦な膨出面２５２Ｆが３筋形成され、ま
た、ロッド２５２Ｂの外周面にはニードルベアリング２
５２Ｅが線接触する平坦な膨出面２５２Ｇが３筋形成さ
れている。従って、載置体２５１が昇降する時に、筒体
２５２Ａが上下すると、摺動体２５２Ｃがその１／２だ
け昇降するようになっている。

【００３１】次に動作について説明する。ＬＣＤ基板Ｓ
の点灯検査を行う場合には、図１に示すようにカセット
載置部２のカセット載置台５上に載置されたカセットＣ
からＬＣＤ基板Ｓを取り出すが、それにはまず基板搬送
機構６のモータ２０が駆動してＹテーブル１４を介して
基板搬送装置６を所定のカセットＣの前方へ移動させる
と共に、回転体１３が回転して搬送アーム７の先端を図
２に示すようにカセットＣの方へ向けた状態で基板搬送
機構６がカセットＣと対向する。

【００３２】次いで、駆動機構によりボールネジ１１が
正逆回転し、ローダアーム７Ａを取り出すべきＬＣＤ基
板Ｓの高さに合わせる。すると、ローダアーム７Ａの駆
動機構が駆動し、無端状ベルト１０Ａ及び取付部材９Ａ
を介してローダアーム７ＡがカセットＣに向けて進出
し、図２の二点鎖線で示すようにカセットＣ内へ侵入す
る。この時、そのＬＣＤ基板ＳがカセットＣから突出し
ていると、そのＬＣＤ基板Ｓに位置決め部材７Ｄが当接
してＬＣＤ基板Ｓを押し込み、それを略正規の位置へ位
置合わせする。そして、ボールネジ１１が僅かに駆動し
てローダアーム７Ａを上昇させてＬＣＤ基板Ｓをローダ
アーム７Ａに載せると同時にそれを真空吸着する。次い
で、無端状ベルト１０Ａが逆方向へ回転してローダアー
ム７Ａが後退してカセットＣからＬＣＤ基板Ｓを取り出
す。そして、回転体１３の回転により搬送アーム７が向
きを１８０°変えて先端を検査部４に向ける。

【００３３】ローダアーム７Ａがプリアライメント機構
２２の上方に来ると、ボールネジ１１が駆動してローダ
アーム７Ａが下降すると同時にアライメント機構２２の
エアシリンダ２２Ｅが駆動して位置決めローラ２２Ａ、
２２Ｂ及び支持ローラ２２Ｃをローダアーム７Ａに向け
て持ち上げる。この時、プリアライメント機構２２の枠
部材２２Ｆにストッパー２２Ｉが接触しているため、こ
のストッパー２２Ｉがプリアライメント機構２２をバネ
２２Ｅの弾力に抗して持ち上げる。その結果、ストッパ
ー２２Ｉによるプリアライメント機構の持ち上げ動作と
エアシリンダ２２Ｅによる位置決めローラ２２Ａ、２２
Ｂ及び支持ローラ２２Ｃの持ち上げ動作が相乗的に働い
てローダアーム７Ａは迅速に位置決めローラ２２Ａ、２
２Ｂへ接近する。そして、４箇所の位置決めローラ２２
Ａ、２２Ｂが下方からＬＣＤ基板Ｓの４隅に接触し、こ
れらのローラ上にＬＣＤ基板Ｓを載せると、ローダアー
ム７Ａはこれらのローラ上にＬＣＤ基板Ｓを残したまま
左右のフラットバー２２Ｄ、２２Ｄの間を通り抜け、フ
ラットバーのやや下方に来た時点でボールネジ１１及び
エアシリンダ２２Ｅの双方が停止する。尚、ＬＣＤ基板
Ｓを引き渡す時には、ローダアーム７Ａの真空吸着作用
は解除されている。

【００３４】ここでプリアライメント機構２２による位
置決め動作について説明する。ロードアーム７Ａからプ
リアライメント機構２２へＬＣＤ基板Ｓの引き渡し時に
は、ＬＣＤ基板ＳはカセットＣ及びローダアーム７Ａ上
の位置決め部材７Ｄによって既に前後左右の位置ズレは
ある程度矯正され、ＬＣＤ基板Ｓはプリアライメント機
構２２の受領領域Ａ（図４参照）内に入っている。その
ため、ＬＣＤ基板Ｓが位置決めローラ２２Ａ、２２Ｂ上
に載ると、ＬＣＤ基板Ｓはその受領領域Ａ内で多少位置
ズレがあっても、ＬＣＤ基板Ｓは各位置決めローラ２２
Ａ、２２Ｂの内側へ湾曲する周面に接触する。ところ
が、各位置決めローラ２２Ａ、２２Ｂはいずれも回転自
在になっており、それぞれの周面にＬＣＤ基板Ｓの摩擦
力が作用した状態でＬＣＤ基板Ｓが自重落下しようとす
ると、各位置決めローラ２２Ａ、２２ＢはＬＣＤ基板Ｓ
との摩擦力により円滑に回転し、ＬＣＤ基板Ｓを支持ロ
ーラ２２Ｃへ衝撃力を伴うことなく落とし込む。支持ロ
ーラ２２ＣでＬＣＤ基板Ｓを支持すると、４隅の位置決
めローラ２２Ａ、２２ＢがそのＬＣＤ基板Ｓをその４隅
から挟持した状態で正確且つ自動的に位置決めする。こ
の位置決め後、再びボールネジ１１及びエアシリンダ２
２Ｅが駆動してローダアーム７Ａが迅速に支持ローラ２
２Ｃに近づき、フラットバー２２Ｄ、２２Ｄの間を通り
抜け、その間に位置決め後のＬＣＤ基板Ｓを支持ローラ
２２Ｃから受け取り、それを真空吸着し、基板搬送機構
６におけるＬＣＤ基板Ｓにプリアライメントを終了す
る。

【００３５】基板搬送機構６でのプリアライメントが終
了すると、基板搬送機構６ではボールネジ１１及び無端
状ベルト１０Ａの動作によりロードアーム７Ａが検査部
４に向けて進出すると共に、例えば検査部４のアライメ
ント領域２４Ａの検査用載置台２５へのＬＣＤ基板Ｓの
引き渡し高さになる。この動作と並行して検査用載置台
２５の駆動機構のボールネジ２６４等が回転すると、検
査用載置台２５がＸ方向及びＹ方向で移動してＬＣＤ基
板Ｓを受け取る位置へ到達する。このようにして基板搬
送機構のローダアーム７Ａ及び検査用載置台２５による
ＬＣＤ基板Ｓの移載準備が完了する。

【００３６】ここでＬＣＤ基板Ｓの移載動作について説
明する。移載位置に到達した検査用載置台２５では図示
しない昇降機構のボールネジが回転して載置体２５１が
下降する。すると、受け渡し機構２５３のロッド２５３
Ｂが下方のストッパー２５３Ｃに接触し、更に載置体２
５１が下降すると、左右一対の位置決めフレーム２５３
Ａ、２５３Ａが固定機構２５４から浮上し、固定機構２
５４との間に隙間を作る。この時既に、ローダアーム７
Ａはその隙間に侵入する位置にある。そこで、ローダア
ーム７Ａの無端状ベルト１０Ａが回転し、ローダアーム
７Ａが隙間に進出し、その進出端においてＬＣＤ基板Ｓ
を固定機構２５４及び照明装置２５５の真上に持ってく
る。この時点でＬＣＤ基板Ｓは既にプリアライメントさ
れているため、ＬＣＤ基板Ｓは左右の位置決めフレーム
２５３Ａ、２５３Ａの各第１、第２突起部２５３Ｅ、２
５３Ｆのガイド部２５３Ｇ、２５３Ｉに対する引き渡し
位置にある。

【００３７】次いで、ローダアーム７Ａがボールネジ１
１を介してやや下降し、ＬＣＤ基板Ｓを各位置決めフレ
ーム２５３Ａ、２５３Ａへ引き渡す。これによりＬＣＤ
基板Ｓの各辺が各位置決めフレーム２５３Ａ、２５３Ａ
の各ガイド部２５３Ｇ、２５３Ｉに接触する。ＬＣＤ基
板Ｓを引き渡したローダアーム７Ａは無端状ベルト１０
Ａの作用で載置体２５１から後退し、その位置で待機す
る。

【００３８】一方、受け渡し機構２５３はＬＣＤ基板Ｓ
の位置決めを行う。即ち、各ガイド部２５３Ｇ、２５３
ＩではＬＣＤ基板Ｓが載ると、ＬＣＤ基板Ｓをそれぞれ
のテーパ面に従って自重落下させて前後端の第１突起部
２５３Ｅ、２５３Ｅに形成された支持部２５３Ｈ、２５
３ＨでＬＣＤ基板Ｓを支持すると共に各ガイド部２５３
Ｇ、２５３Ｉに連続する垂直壁でＬＣＤ基板Ｓを位置決
めする。ＬＣＤ基板Ｓの位置決めが終了すると、載置体
２５１が上昇し、固定機構２５４が受け渡し機構２５３
へ接近し、更に載置体２５１が上昇すると、受け渡し機
構２５３の第１、第２突起部２５３Ｅ、２５３Ｆが固定
機構２５４の第１、第２嵌入溝２５４Ｅ、２５４Ｆへ嵌
入するが、その途中でＬＣＤ基板Ｓを固定機構２５４の
第１、第２支持部２５４Ａ、２５４Ｂ上へ引き渡し、各
突起部２５３Ｅ、２５３Ｆが各嵌入溝２５４Ｅ、２５４
Ｆへ完全に嵌入して停止する。このようにして固定機構
２５４の各嵌入溝２５４Ｅ、２５４ＦでＬＣＤ基板Ｓを
支持すると、第１支持部２５４Ａの各排気孔２５４Ｄか
ら真空排気して凹陥部２５４Ｃを真空状態にし、ＬＣＤ
基板Ｓの２辺を真空吸着して固定する。

【００３９】次いで、アライメント領域２４Ａで検査用
載置台２５をボールネジ２６４等によりアライメントす
る。その後、検査用載置台２５が検査領域２３へ移動
し、検査領域２３ではＣＣＤカメラ２５１Ａを介してＬ
ＣＤ基板Ｓの電極パッドをプローブに位置合わせする。
この時、ＣＣＤカメラ２５１Ａによって撮像された状況
は表示装置４Ａで表示される。そして、ボールネジを介
して載置体２５１がガイドポスト２５２に案内されなが
ら水平を保持して上昇し、ＬＣＤ基板Ｓの２辺に形成さ
れた電極パッドがプローブに電気的に接触し、更にオー
バドライブをかけてより確実に両者の接触を図る。そし
て、このような接触下でプローブに所定の信号を送ると
共に照明装置２５５からＬＣＤ基板Ｓを裏面から照明す
ると、ＬＣＤ基板Ｓに形成された画素の良否が現れ、こ
れを検査領域２３の上方に配置された撮像手段により撮
像し、この画像データを図示されていないテスタに取り
込み解析することによりＬＣＤ基板Ｓの良否を検査する
ことができる。

【００４０】検査時には、載置体２５１上のＬＣＤ基板
Ｓの２辺にのみプローブから荷重が掛かるが、その荷重
は偏荷重になり、４本のガイドポスト２５２にも偏荷重
が掛かる。ところが、ガイドポスト２５２では摺動体２
５２Ｃのニードルベアリング２５２Ｄが筒体２５２Ａの
膨出面２５２Ｆ及びロッド２５２Ｂの膨出面２５２Ｇに
線接触しているため、ガイドポスト２５２の剛性が高ま
り、検査時の偏荷重に対する力学的耐性が大きくなっ
て、電極パッドがプローブから位置ズレすることがな
く、正確な検査を行うことができる。この検査を終了し
た後、検査後のＬＣＤ基板Ｓを検査部４からカセットＣ
へ収納するが、この時には、基板搬送機構６のアンロー
ドアーム７Ｂを使ってＬＣＤ基板Ｓを搬送する。その動
作はロード時とは略逆の動作になる。

【００４１】以上説明したように本実施例によれば、上
記検査用載置台２５は、昇降して基板搬送機構６のロー
ダアーム７Ａとの間でＬＣＤ基板Ｓの受け渡しを行なう
受け渡し機構２５３と、この受け渡し機構２５３で受け
取ったＬＣＤ基板Ｓを固定する固定機構２５４とを有
し、且つ、受け渡し機構２５４は、ＬＣＤ基板Ｓを対向
する２辺で支持する支持部２５３Ｈ、２５３Ｈと、ＬＣ
Ｄ基板Ｓの４箇所で接触してＬＣＤ基板Ｓを支持部２５
３Ｈ、２５３Ｈへ落とし込むガイド部２５３Ｇ、２５３
Ｉを有すると共に、固定機構２５４は、受け渡し機構２
５３の支持部２５３Ｈ及びガイド部２５３Ｇ、２５３Ｉ
が嵌入する嵌入溝２５４Ｅ、２５４Ｆを有するため、ロ
ーダアーム７Ａにより引き渡されるＬＣＤ基板Ｓが本来
の固定位置である支持部２５３Ｈ、２５３Ｈと正確に一
致していなくても、ガイド部２５３Ｇ、２５３Ｉ上に位
置すれば、受け渡し機構２５３が固定機構２５４上へ接
触する間にガイド部２５３Ｇ、２５３ＩによりＬＣＤ基
板Ｓを支持部２５３Ｈ、２５３Ｈへ確実に落とし込んで
自動的且つ高精度に位置決めすることができる。従っ
て、ローダアーム７Ａからの引き渡し位置が多少安定せ
ず、多少の位置ズレがあっても、受け渡し機構２５３に
よってＬＣＤ基板Ｓを固定機構２５４の本来の位置へ確
実に位置決めした状態で引き渡すことができる。

【００４２】尚、上記実施例では、受け渡し機構２５３
の昇降機構として載置体２５１を昇降するボールネジを
利用したものについて説明したが、位置決めフレーム２
５３Ａをエアシリンダ等によって昇降させるようにして
も良い。

【００４３】

【発明の効果】本発明の請求項１〜請求項３に記載の発
明によれば、基板搬送機構から検査用載置台へのＬＣＤ
基板の引き渡し位置に多少のズレがあっても常に検査用
載置台の所定固定位置へＬＣＤ基板を正確に引き渡すこ
とができる検査装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査装置の一実施例を示す全体斜視図
である。

【図２】図２は図１に示す検査装置に適用された基板搬
送機構を示す側面図である。

【図３】図２に示す基板搬送装置の要部を示す正面図で
ある。

【図４】図２、図３に示す基板搬送装置の要部を示す平
面図である。

【図５】図１に示す検査用載置台の要部を示す斜視図で
ある。

【図６】図５に示す検査用載置台の受け渡し機構の片方
を示す図で、同図（ａ）はその平面図、同図（ｂ）は同
図（ａ）の側面図、同図（ｃ）はガイド部の横方向の断
面斜視図である。

【図７】図５に示す検査用載置台の固定機構を示す図
で、同図（ａ）はその平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）
の真空吸着用の凹陥部を拡大して示す部分斜視図、同図
（ｃ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ線方向の断面図である。

【図８】図５に示す検査用載置台の昇降用のガイド柱を
示す図で、同図（ａ）はその一部を示す側面図、同図
（ｂ）は同図（ａ）の横方向の断面図の要部図を示す部
分断面図、同図（ｃ）は同図（ｂ）を拡大して示す断面
図、同図（ｄ）はガイド柱の動きを示す説明図である。

【符号の説明】

１検査装置６基板搬送装置２５検査用載置台２５３受け渡し機構２５３Ｇガイド部２５３Ｈ支持部２５３Ｉガイド部２５３Ｈ支持部２５４Ｅ嵌入溝２５３Ｈ嵌入溝

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｘ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板搬送機構により液晶表示体基板を検
査用載置台上に載置し、この液晶表示体基板を裏面から
照明してその点灯検査を行う検査装置において、上記検
査用載置台は、昇降して上記基板搬送機構との間で上記
液晶表示体基板の受け渡しを行なう受け渡し機構と、こ
の受け渡し機構で受け取った液晶表示体基板を固定する
固定機構とを有し、且つ、上記受け渡し機構は、上記液
晶表示体基板を対向する２辺で支持する支持部と、上記
液晶表示体基板と少なくとも斜め方向で互いに対向する
隅角部で接触して上記液晶表示体基板を上記支持部へ落
とし込むガイド部を有することを特徴とする検査装置。
【請求項２】基板搬送機構により液晶表示体基板を検
査用載置台上に載置し、この液晶表示体基板を裏面から
照明してその点灯検査を行う検査装置において、上記検
査用載置台は、昇降して上記基板搬送機構との間で上記
液晶表示体基板の受け渡しを行なう受け渡し機構と、こ
の受け渡し機構で受け取った液晶表示体基板を固定する
固定機構とを有し、且つ、上記受け渡し機構は、上記液
晶表示体基板を対向する２辺で支持する支持部と、上記
液晶表示体基板と４箇所の隅角部で接触して上記支持部
へ落とし込むガイド部を有すると共に、上記固定機構
は、上記受け渡し機構の支持部及びガイド部が嵌入する
嵌入溝を有することを特徴とする検査装置。
【請求項３】上記ガイド部はテーパ面として形成され
ていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載
の検査装置。