JP2020507762A - 回路基板をテストするためのテスト装置および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 回路基板
3 トラバース台ユニット
4 テスト・フィンガー
5 サブ・シャトル
6 サブ・シャトル
7 受入れ領域
8 テスト領域
9 搭載/取外し装置
10 供給スタック
11 スタック
12 スタック
13 搬送レール
14 搬送キャリッジ
15 把持アーム
16 吸引カップ
17 上昇装置
18 保持アーム
19 保持アーム
20 保持アーム
21 保持アーム
22 キャリッジ
23 キャリッジ
24 キャリッジ
25 キャリッジ
26 シャトル軌道手段
27 シャトル軌道手段
28 シャトル軌道
29 中央線
30 保持手段
31 保持要素
32 ヒンジ式接合部
33 締結顎部
34 ピックアップ・フォーク
35 尖った先端部
36 突出部
37 親ねじ
38 磁気要素
39 フレーム
40 上部横梁
41 下部横梁
42 横梁
43 貫通開口部
44 誘導レール
45 位置付け要素
46 テスト・フィンガー
47 テスト・プローブ
48 上昇テーブル
49 上昇プレート
50 吸引バー
51 吸引穴
52 フレーム
53 上昇シリンダ
54 カメラ
55 凹部
56 軌道
57 運動方向
Claims (25)
- テストされる回路基板(2)の回路基板テスト・ポイントに接触するよう構成された複数のテスト・フィンガー(4)を備え、前記テスト・フィンガー(4)には、各ケースでテスト・プローブ(47)が設けられ、前記テスト・フィンガー(4)は、それらのテスト・プローブ(47)を用いて所定のテスト領域(8)における任意のポイントに接触できるよう可動であり、シャトル(5、6)が回路基板(2)を、受入れ領域(7)と前記テスト領域(8)との間で搬送するために設けられた、特に装備されていない回路基板、または部分的に装備されている回路基板をテストするための、テスト装置であって、
前記シャトルが2つのサブ・シャトル(5、6)で形成され、前記2つのサブ・シャトル(5、6)の各々は、前記受入れ領域(7)と前記テスト領域(8)との間の移動経路に沿って移動可能な面に配置され、前記移動経路は平行におよび互いに隣り合って延び、前記サブ・シャトル(5、6)の各々は保持領域を備え、前記保持領域において、各ケースで1つの回路基板(2)を、1つまたは複数の保持要素によって保持することができることを特徴とする、テスト装置。 - 前記サブ・シャトル(5、6)は、それぞれ他のサブ・シャトル(5、6)に面した側に開くよう形成され、それによって回路基板(2)は両方の保持領域にわたって延びることができ、同時に両方のサブ・シャトル(5、6)によって保持され得ることを特徴とする、請求項1に記載のテスト装置。
- 各サブ・シャトル(5、6)は、各ケースで1つの回路基板(2)を受入れるための前記保持領域を定める、2つの平行の保持アームを備え、前記2つの保持アーム(18〜21)は、互いまでの距離が可変であるよう構成されることを特徴とする、請求項1または2に記載のテスト装置。
- 前記サブ・シャトル(5、6)のうちの一方の前記2つの保持アーム(18〜21)は、各ケースで、シャトル軌道手段(26、27)に沿って移動可能なキャリッジ(22〜25)に固定されることを特徴とする、請求項3に記載のテスト装置。
- 前記キャリッジ(22〜25)は、スペーサ(37)によって互いに連結され、それによって前記2つの保持アーム(18〜21)間の前記距離を調整できることを特徴とする、請求項4に記載のテスト装置。
- 前記サブ・シャトル(5、6)のうちの一方の、前記2つのキャリッジ(22、23または24、25)のうちの少なくとも一方は、前記キャリッジ(22、23または24、25)を前記シャトル軌道手段(26、27)に沿って動かすための駆動装置(38)と共に形成されることを特徴とする、請求項4または5に記載のテスト装置。
- 前記保持要素(31)は、各ケースで同じ前記サブ・シャトル(5、6)のそれぞれ他の前記保持アーム(18〜21)に面した、前記保持アーム(18〜21)のうちの1つの縁部に配置されることを特徴とする、請求項3〜6のいずれか一項に記載のテスト装置。
- 前記サブ・シャトル(5、6)に前記回路基板(2)を自動的に搭載/取外すための、搭載/取外し装置(9)は、前記受入れ領域(7)に設けられ、前記受入れ領域(7)において前記サブ・シャトル(5、6)に搭載/取外すことができるよう、かつ、前記サブ・シャトル(6、5)の他方がその間、回路基板(2)をテストするための前記テスト領域(8)において配置されるよう、前記受入れ領域(7)が前記テスト領域(8)から独立するように、前記サブ・シャトル(5、6)の移動経路が形成されることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載のテスト装置。
- 受入れ要素(48)は、回路基板(2)を受入れるため、少なくとも前記受入れ領域(7)において前記サブ・シャトル(5、6)の下方に配置されることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載のテスト装置。
- 前記受入れ要素(48)は、水平面に配分されるように配置されて上方に開いた複数の吸引ノズル(51)を備えることを特徴とする、請求項9に記載のテスト装置。
- 前記吸引ノズル(51)は、誘導レール(44)に対して平行に向けられた、少なくとも2つの棚部(50)に形成され、その上に前記テスト・フィンガー(4)が移動可能に取付けられることを特徴とする、請求項10に記載のテスト装置。
- 前記受入れ要素(48)には、高さを調整できるよう上昇手段(53)が設けられることを特徴とする、請求項9〜11のいずれか一項に記載のテスト装置。
- テストされる回路基板(2)を走査するための、サブ・シャトル(5、6)によって保持されたカメラ(54)を備えることを特徴とする、請求項1〜12のいずれか一項に記載のテスト装置。
- 2つの保持アーム(18〜21)を伴い、その上に保持要素(31)が、各ケースで前記保持アーム(18〜21)のうちの1つの縁部に配置され、前記保持アーム(18〜21)はそれぞれ他の前記保持アーム(18〜21)に面し、特に請求項1〜13のいずれか一項に記載のテスト装置のために回路基板を搬送するシャトルであって、
前記保持要素(31)が、それぞれの前記保持アーム(18〜21)に沿って移動可能であることを特徴とする、シャトル。 - テストされる回路基板(2)の一方の側の回路基板テスト・ポイントに接触するよう構成された、少なくとも4つのテスト・フィンガー(4)を備え、前記テスト・フィンガー(4)には各々、テスト・プローブ(47)が設けられ、各ケースで、前記テスト・フィンガー(4)のうちの2つは誘導レール(44)に沿って移動可能で、前記テスト・フィンガー(4)は前記テスト領域(8)に対して垂直に延びる軸の周りを回転でき、それによって前記テスト・フィンガー(4)は、それらのテスト・プローブ(47)を用いて所定のテスト領域(8)の任意のポイントに接触することができ、共通の誘導レール(44)に沿って移動可能な前記テスト・フィンガー(4)の各々は、ストリップ形状の走査領域をカバーし、前記テスト・フィンガー(4)の少なくとも2対の2つの走査区域は、ある程度重複し、保持要素(31)は、テストされる回路基板(2)を保持するための前記テスト領域(8)に設けられた、特に装備されていない回路基板、または部分的に装備されている回路基板をテストするための、テスト装置であって、
前記保持要素(31)には移動装置が設けられ、それによって前記保持要素(31)は、前記テスト領域(8)の面において、および前記誘導レール(44)を横断して、保持手段によって保持された回路基板(2)と共に移動可能であることを特徴とする、特に請求項1〜13のいずれか一項に記載のテスト装置。 - 前記誘導レール(44)は固定して配置されることを特徴とする、請求項15に記載のテスト装置。
- 前記移動装置は、進んだ移動経路を測定するための経路測定装置を備え、前記経路測定装置は、好ましくは少なくとも10μm以下の空間解像度、特に少なくとも1μm以下の空間解像度、好ましくは0.1μm以下の空間解像度を有することを特徴とする、請求項15または16に記載のテスト装置。
- 前記経路測定装置は、光学スケールおよび光学センサを備え、それらは互いに対して移動可能に配置され、前記光学センサは、前記移動経路を検出するためのスケールを走査することを特徴とする、請求項17に記載のテスト装置。
- 請求項1〜18のいずれか一項に記載の装置を使用して、回路基板をテストする方法であって、
第1のサブ・シャトル(5、6)に配置された、テストされる回路基板(2)は、第1のテスト・プロセスにおいてテスト・フィンガー(4)によって走査され、同時に、第2のテスト・シャトル(6、5)は取外され、テストされる別の回路基板(2)が搭載され、前記第2のサブ・シャトル(6、5)は、前記第1のテスト・プロセスが実質的に完了されたときに、前記回路基板(2)をそこで走査するために、第2のテスト・プロセスにおいて前記テスト・フィンガー(4)によって、テスト領域(8)に移動されることを特徴とする、方法。 - 前記テスト・フィンガー(4)による走査を受ける前に、前記第2のサブ・シャトル(6、5)における前記回路基板(2)は、カメラ(54)によって検出され、前記第2のサブ・シャトル(6、5)に対する前記回路基板(2)の位置を判定することを特徴とする、請求項19に記載の方法。
- 請求項9〜18のいずれか一項に記載の装置を使用して、回路基板をテストする方法であって、
第1の回路基板(2)のテスト・プロセスの終了後、前記第1の回路基板(2)は、一方または両方のサブ・シャトル(5、6)によって受入れ領域(7)に移動され、受入れ要素(48)上に設置されるか、または把持アーム(15)によってピックアップされ、別の第2の回路基板(2)は、前記把持アーム(15)または前記受入れ要素(48)によって一方または両方のサブ・シャトル(5、6)に設置され、前記第2の回路基板(2)は前記テスト領域(8)に移動され、前記第1の回路基板(2)は、前記把持アーム(15)によって前記ピックアップ区域(7)の前記ピックアップ要素(48)でピックアップされて、前記受入れおよび前記テスト領域(7、8)の外部に預けるか、または前記把持アーム(15)によって直接ピックアップされるかのいずれかであることを特徴とする、特に請求項19または20に記載の方法。 - 請求項15〜18のいずれか一項に記載の装置を使用して、回路基板をテストする方法であって、
テストされる回路基板は、テスト・プロセス中に、誘導レール(44)を横断して1回または複数回動かされ、前記誘導レール(44)上でテスト・フィンガーは、前記テスト・フィンガー(4)の運動を最小にするよう移動可能に取付けられることを特徴とする、特に請求項19〜21のいずれか一項に記載の方法。 - 高密度または多くのテストされる回路基板テスト・ポイントを有する前記回路基板のセクションは、テスト・フィンガーの走査区域が重複する区域に搬入されることを特徴とする、請求項22に記載の方法。
- 同時に接触可能な3つまたは4つの回路基板テスト・ポイントを備える前記回路基板のセクションは、各ケースで、前記テスト・フィンガーの前記走査区域が重複する前記区域のうちの1つに搬入されることを特徴とする、請求項22または23に記載の方法。
- テストされる前記回路基板(2)は、前記テスト・プロセスの前のみで較正され、前記テスト・プロセス中に、前記テスト・フィンガーに対する前記回路基板(2)の位置は、前記誘導レール(44)を横断する移動経路を検出する経路測定装置によって追跡されることを特徴とする、請求項22〜24のいずれか一項に記載の方法。
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