JPH10319154A

JPH10319154A - Ｚステージ

Info

Publication number: JPH10319154A
Application number: JP9126746A
Authority: JP
Inventors: Kiyotoshi Miura; 清敏三浦
Original assignee: Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 1997-05-16
Filing date: 1997-05-16
Publication date: 1998-12-04
Also published as: KR19980086713A

Abstract

(57)【要約】【課題】偏った荷重に対して載置台を支持し、この載
置台の傾斜を防止する。【解決手段】直接的に又は間接的に対象物を載置する
載置台５１と、この載置台５１を支持する基板５２と、
載置台５１を基板５２に対して昇降させる複数の昇降機
構部５３と、この複数の昇降機構部５３にそれぞれ連結
され、これらを同期させて駆動する同期駆動装置５４と
を備えた。各昇降機構部５３は、載置台５１に加えられ
る荷重を各昇降機構部５３に分散できる位置に配設し
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばＩＣウエハ
や液晶基板等の動作試験や特性試験等を行う際に用いる
Ｚステージに関し、特に対象物に加わる偏荷重による影
響を解消したＺステージに関する。

【０００２】

【従来の技術】Ｚステージとしては一般に、図２に示す
ような構成のものが知られている。図中の１は基板であ
る。この基板１に載置台２が昇降自在に取り付けられて
いる。この載置台２は、昇降機構部３によって昇降さ
れ、ガイド機構部４によって昇降移動が案内される。

【０００３】昇降機構部３は、基板１の中央に取り付け
られた駆動モータ５と、この駆動モータ５に取り付けら
れて回転する送りネジ６と、載置台２側に取り付けられ
ると共に送りネジ６に螺合してこの送りネジ６の回転で
昇降するナット７とから構成されている。

【０００４】ガイド機構部４は、基板１側に取り付けら
れたガイド８と、載置台２側に取り付けられガイド８に
嵌合して摺動するガイド軸９とから構成されている。こ
のガイド機構部４は、昇降機構部３の周囲に複数設けら
れ、載置台２がスムーズに昇降するように、この載置台
２を周囲から支持している。

【０００５】なお、載置台２には、対象物を回転させる
θステージが一体的に組み込まれている。

【０００６】以上のように構成されたＺステージ上に
は、ＩＣウエハや液晶基板等の動作試験等を行うため
に、その載置台２に対向して探針１１が取り付けられ
る。

【０００７】具体的には、図３に示すように、ＩＣウエ
ハ１２の動作試験等に用いられるＺステージでは、載置
台２が円形状に形成される。この円形の載置台２にＩＣ
ウエハ１２が載置され、このＩＣウエハ１２の表面に、
探針１１が接触して動作試験等が行われる。

【０００８】この際に、動作試験等の効率化を図るため
に、多数の探針１１を一体的にまとめて取り付けた探針
器１３が用いられる。この探針器１３をＩＣウエハ１２
の一端から接触させて測定が行われる。

【０００９】また、図４に示すように、液晶基板１４の
動作試験等に用いられるＺステージでは、載置台２が長
方形状に形成される。この長方形の載置台２に液晶基板
１４が載置され、この液晶基板１４の表面に、探針器１
５が接触して動作試験等が行われる。この探針器１５
は、液晶基板１４の隣り合う２つの辺１４Ａ，１４Ｂ
に、その全域に亘って複数個設けられる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記構成の
従来装置では次のような問題がある。

【００１１】動作試験等の際に、探針１１をＩＣウエハ
１２等の表面に接触させると、僅かな針圧がＩＣウエハ
１２等に加わる。そして、探針器１３，１５は、多数の
探針１１を有するので、その針圧は相応の大きさにな
る。

【００１２】これに対して、載置台２の昇降方向の支持
は主に中央の昇降機構部３が担っている。周囲のガイド
機構部４は、昇降方向の移動を許容している。このた
め、載置台２の端部に探針器１３，１５による力が加わ
ると、図２中の点線で示すように、載置台２が僅かに傾
斜してしまう。

【００１３】この結果、対象物に接触した探針器１３，
１５の各探針１１が位置ずれを起こしたり、接触不良を
起こしてしまうという問題点がある。

【００１４】これに対して、載置台２の下側面にくさび
状のベースを設けて載置台２の傾斜を解消したものとし
て、特開平4-50693号公報記載の「微動ステージ」や特
開平3-53193号公報記載の「微動Ｚステージ装置」が知
られている。しかし、これらの場合は、載置台２の昇降
ストロークが短く、用途が限定されてしまう。

【００１５】また、載置台２の中心をベース側に固定さ
れたステージ支持台で支持すると共に、周囲を複数の昇
降アームで支持し、この昇降アームを昇降させることで
載置台２の傾斜角度を調整するものとして、特開平5-14
4892号公報記載の「ウエハプローバ」が知られている。
しかし、この場合は、載置台２の昇降を目的としておら
ず、載置台２の傾斜角調整を目的としている。即ち、載
置台２を探針器まで平行移動させると共に、この探針器
による針圧の影響を解消できる構成ではない。

【００１６】本発明は前記問題点に鑑みてなされたもの
で、載置台の傾きを抑制して探針の位置ずれ等を解消し
たＺステージを提供することを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】第１の発明に係るＺステ
ージは、直接的に又は間接的に対象物を載置する載置台
と、この載置台を支持する基板と、この基板と前記載置
台との間に設けられ進退動することで載置台を基板に対
して昇降させる棒部材を有する複数の昇降機構部と、こ
の複数の昇降機構部にそれぞれ連結され、これらを同期
させて駆動する同期駆動装置とを備えたことを特徴とす
る。

【００１８】前記構成により、同期駆動装置が各昇降機
構部を同期させて駆動し、載置面を傾斜させることなく
一定に保ちながら載置台を昇降させる。載置台を所定位
置まで平行移動させたところで、探針器等との接触によ
って載置面の端部に荷重が加わると、その荷重は複数設
けられた昇降機構部に分散される。即ち、各昇降機構部
が載置台を支持して、この載置台が傾斜するのを防ぐ。

【００１９】第２の発明に係るＺステージは、前記複数
の昇降機構部を、前記載置台に加えられる荷重を各昇降
機構部に分散できる位置に配設したことを特徴とする。

【００２０】前記構成により、載置台の端部に荷重が加
わるときにも、その荷重が各昇降機構部に分散され、こ
の載置台が傾斜するのを防止する。

【００２１】第３の発明に係るＺステージは、前記同期
駆動装置が、１つの駆動源と、この駆動源と各昇降機構
部とを連結して各昇降機構部を互いに同期させて駆動す
る同期連結機構とから構成されたことを特徴とする。

【００２２】前記構成により、駆動源からの駆動力が同
期連結機構によって各昇降機構部に伝達され、各昇降機
構部が互いに同期して駆動される。これにより、載置台
がその載置面を一定に保った状態で昇降（平行移動）す
ると共に、端部に加わる荷重に対して各昇降機構部が載
置台を支持して、その傾斜を確実に防止する。

【００２３】第４の発明に係るＺステージは、前記同期
駆動装置が、各昇降機構部に個別に連結された駆動源
と、各駆動源を互いに同期させて制御する同期制御部と
から構成されたことを特徴とする。

【００２４】前記構成により、同期制御部による制御に
よって、各駆動源が互いに同期して作動し、各昇降機構
部が互いに同期して駆動される。これにより、載置台が
その載置面を一定に保った状態で昇降すると共に、端部
に加わる荷重に対して載置台の傾斜を確実に防止でき
る。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るＺステージに
ついて、添付図面を参照しながら説明する。

【００２６】［第１の実施形態］図１は本実施形態に係
るＺステージ２１を示す正面図、図５はＹステージ部４
２を除いた状態でＺステージ２１を示す下面図、図６は
載置台５１を除いた状態で測定ステージ２１を示す平面
図、図７は液晶基板検査装置２３を示す概略側面図、図
８は液晶基板検査装置２３を示す正面図、図９は回路板
検査装置２４を示す正面図である。

【００２７】Ｚステージ２１は、その上面にＩＣウエハ
や液晶基板等の対象物を載置した状態で昇降させる装置
で、例えば載置したＩＣウエハ等を探針器と接触させる
ことで、動作試験や特性試験等を行ったり、探針器の各
探針の高さの検査等をする際に用いられる。なお、ここ
でいう昇降方向とは、鉛直方向に限ったものではなく、
斜め方向や水平方向等であることもある。

【００２８】この測定ステージ２１は、単体として用い
られる場合もあるが、液晶基板を測定する液晶基板検査
装置２３（図７及び図８参照）や、ＩＣウエハを測定す
る回路板検査装置２４（図９参照）等に組み込まれる場
合もある。

【００２９】液晶基板検査装置２３は、図７及び図８に
示すように、前面上部に傾斜面２５Ａを有する装置本体
２５と、この装置本体２５の傾斜面２５Ａに組み込まれ
たＸＹＺθステージ２６と、このＸＹＺθステージ２６
の前面に位置して傾斜面２５Ａに取り付けられた探針器
支持板２７と、この探針器支持板２７に取り付けられた
探針器２８とから構成されている。探針器２８は、前記
従来の探針器１３，１５と同様に、多数の探針を有して
構成されている。

【００３０】また、回路板検査装置２４は、図９に示す
ように主に、ベース３１と、このベース３１に固定され
たＸＹＺθステージ３２と、このＸＹＺθステージ３２
にチャックホルダ３３を介して支持された高低温チャッ
ク３４と、この高低温チャック３４の上側面を覆うパー
ジ板３５と、このパージ板３５を支持するベースプレー
ト３６と、このベースプレート３６に取り付けられる探
針３７と、前記ベースプレート３６に取り付けられて探
針３７を支持するマニピュレータ３８と、全体を覆うシ
ールドカバー３９とから概略構成されている。なお、探
針３７とマニピュレータ３８の代わりに前述した探針器
が用いられる場合もある。

【００３１】前記各ＸＹＺθステージ２６，３２は、と
もに同じ構成を有している。具体的には、図７に示すよ
うに、載置した液晶基板等をそれと同一の平面上で前後
左右に移動させるＸステージ部４１及びＹステージ部４
２と、液晶基板等を探針器２８（探針３７）に近接させ
る方向に昇降させるＺステージ２１と、液晶基板等を回
転させるθステージ部４４とから構成されている。

【００３２】このＺステージ２１は、図１、図５及び図
６に示すように、測定対象物である液晶基板等を載置す
る載置台５１と、この載置台５１を支持する基板５２
と、この基板５２と載置台５１との間に設けられ、基板
５２で載置台５１を支持した状態で昇降させる３つの昇
降機構部５３と、各昇降機構部５３にそれぞれ連結され
た状態でこれらを同期させて駆動する同期駆動装置５４
と、前記昇降機構部５３と共に基板５２と載置台５１と
の間に設けられ、基板５２に対する載置台５１の昇降を
案内して支持する３つのガイド機構部５５とから構成さ
れている。なお、載置台５１には、図７のθステージ部
４４が一体的に組み込まれている。基板５２は、肉厚の
円盤状に成形され、内部が中空となっている。この基板
５２はＹステージ部４２に固定されている。

【００３３】昇降機構部５３は主に、基板５２側に取り
付けられた３本の送りネジ６１と、載置台５１側に取り
付けられると共に各送りネジ６１にそれぞれ螺合してこ
の送りネジ６１の回転で昇降するナット６２とから構成
されている。そして、この送りネジ６１が、ナット６２
（載置台５１）に対して、相対的に進退動する棒部材と
なっている。

【００３４】各送りネジ６１は、互いに等間隔の位置
（正三角形の頂点の位置）に取り付けられている。具体
的には、基板５２のうち各送りネジ６１が取り付けられ
る位置にベアリング６３がそれぞれ固定され、このベア
リング６３に各送りネジ６１が回転自在に支持されてい
る。ナット６２は、載置台５１の裏面のうち、前記各送
りネジ６１に対応する位置（正三角形の頂点の位置）に
固定されている。なおここでは、載置台５１が円形であ
り、昇降機構部５３が３つであるので、この載置台５１
に加えられる荷重を分散できる各昇降機構部５３の位置
としては、正三角形の頂点の位置が望ましい。また、載
置台５１に加わる荷重が、特定の位置に集中しているよ
うな場合には、その特定の位置に２つの昇降機構部５３
を偏らせて設ける。

【００３５】同期駆動装置５４は、基板５２の中央に１
つだけ取り付けられた駆動モータ６４と、この駆動モー
タ６４と３つの昇降機構部５３とを連結して各昇降機構
部５３を互いに同期した状態で駆動する同期連結機構６
５とから構成されている。同期連結機構６５は、基板５
２内に延出した駆動モータ６４の回転軸６４Ａに取り付
けられた３つの駆動プーリ６６と、各送りネジ６１の基
端部（各送りネジ６１のうち、基板５２内に位置する端
部）にそれぞれ取り付けられた従動プーリ６７と、これ
ら各駆動プーリ６６と各従動プーリ６７とを個別に連結
する３つのベルト６８と、各ベルト６８の弛みによる空
回りを防止するテンションローラ６９とから構成されて
いる。なお、駆動モータ６４としては、ステッピングモ
ータやサーボモータが用いられる。また、モータ駆動回
路を備えた制御部（図示せず）が駆動モータ６４に接続
されている。

【００３６】ガイド機構部５５は、基板５２側に支持軸
７１Ａを介して取り付けられたガイド７１と、載置台５
１側に取り付けられガイド７１に嵌合して昇降方向（図
１中の上下方向）に摺動するガイド軸７２とから構成さ
れている。このガイド機構部５５は前記昇降機構部５３
と同様に、互いに等間隔の位置（正三角形の頂点の位
置）に配設されている。さらに、各ガイド機構部５５
は、各昇降機構部５３の間にそれぞれ位置して、この各
昇降機構部５３に対しても等間隔に配設されている。こ
れにより、各昇降機構部５３及びガイド機構部５５が、
正六角形の頂点の位置にそれぞれ配設されている。な
お、ガイド７１及びガイド軸７２としては、ありみぞ構
造や、直動式ベアリング等が用いられる。

【００３７】［動作］次に、前記構成のＺステージ２１
の動作を説明する。なおここでは、Ｚステージ２１の動
作をのみを説明する。ＸＹＺθステージ２６に組み込ま
れた場合のＸステージ部４１等の他のステージについて
は、公知であり、ここではその動作説明を省略する。

【００３８】載置台５１を昇降させるときは、先ず同期
駆動装置５４の駆動モータ６４を駆動させる。これによ
り、回転軸６４Ａに一体的に取り付けられた３つの駆動
プーリ６６が同時に回転し、各ベルト６８を介して３つ
の従動プーリ６７が互いに同期して回転する。そして、
各従動プーリ６７が取り付けられた３つの送りネジ６１
が各ベアリング６３に支持された状態で、互いに同期し
て回転する。これにより、各送りネジ６１に螺合した３
つのナット６２が同時に同じピッチで押し上げられ、ま
たは引き下げられる。この結果、載置台５１は、その上
側の載置面が傾斜することなく一定に保たれた状態で、
ガイド機構部５５に支持されて正確に平行移動する。こ
れにより、載置面のＩＣウエハ１２等が、傾斜すること
なく正確に支持された状態で、探針３７等へ移動され
る。

【００３９】ＩＣウエハ１２等が所定位置で探針３７等
に接触した後、電気的接触を確実なものとするために、
数ミクロン単位で僅かに載置台５１が押し上げられる。
これにより、互いの電気的接触が確実なものとなり、動
作試験等が行われる。

【００４０】一方、この探針器２８等との接触の際に、
探針器２８等による針圧によって載置台５１の端部で偏
った荷重が加わってしまう。そして、この偏った荷重
は、均等間隔に配設された３つの昇降機構部５３に分散
され、これら３つの昇降機構部５３で支持される。

【００４１】［効果］以上のように、載置台５１が、均
等間隔に配設された３つの昇降機構部５３で支持されて
いるため、載置台５１に加わった偏荷重は各昇降機構部
５３に分散され、載置台５１の傾斜を確実に防止するこ
とができる。

【００４２】この結果、探針器２８等は、ＩＣウエハ１
２等の接触面で位置ずれや接触不良を起こすことがな
く、確実に測定対象物に接触させることができるように
なる。

【００４３】［第２の実施形態］以下に、第２の実施形
態に係るＺステージを、図１０及び図１１に基づいて説
明する。本実施形態に係るＺステージ８１の全体構成
は、前記第１実施形態のＺステージ２１とほぼ同様であ
るので、同一部材には同一符号を付して、その説明を省
略する。本実施形態のＺステージ８１では、同期駆動装
置８２の構造を改良した点に特徴がある。

【００４４】本実施形態の同期駆動装置８２は、基板５
２に取り付けられた３つの昇降機構部５３のうちの１つ
に直接に連結された駆動モータ６４と、この駆動モータ
６４と他の２つの昇降機構部５３とを連結して３つの昇
降機構部５３を互いに同期した状態で駆動する同期連結
機構８３とから構成されている。

【００４５】同期連結機構８３は、基板５２内に延出し
た昇降機構部５３の送りネジ６１の基端部に駆動モータ
６４と共に取り付けられた駆動プーリ８４と、他の２つ
の昇降機構部５３の各送りネジ６１の基端部にそれぞれ
取り付けられた従動プーリ８５と、これら１つの駆動プ
ーリ８４と２つの従動プーリ８５とを同時に連結する１
つのベルト８６と、このベルト８６の弛みによる空回り
を防止する３つのテンションローラ８７とから構成され
ている。なお、３つのテンションローラ８７は、ベルト
８６と各プーリ８４，８５とが接触する角度を大きくす
るために、極力接近した位置に設けるのが望ましい。

【００４６】以上の構成のＺステージ８１によっても、
前記第１の実施形態と同様の作用、効果を奏することが
できる。

【００４７】［第３の実施形態］以下に、第３の実施形
態に係るＺステージを、図１２及び図１３に基づいて説
明する。本実施形態に係るＺステージ９１の全体構成
は、前記第１実施形態のＺステージ２１とほぼ同様であ
るので、同一部材には同一符号を付して、その説明を省
略する。本実施形態のＺステージ９１では、同期駆動装
置９２の構造を改良した点に特徴がある。

【００４８】本実施形態の同期駆動装置９２は、基板５
２に取り付けられた３つの昇降機構部５３にそれぞれ連
結された３つ駆動モータ６４と、これらの駆動モータ６
４に接続されて各駆動モータ６４を互いに同期させて制
御する同期制御部（図示せず）とから構成されている。

【００４９】同期制御部は、単一のモータ駆動回路を備
えて構成されており、この回路に各駆動モータ６４が並
列に接続されている。これにより、同期制御部で３つの
駆動モータ６４が同時に制御される。即ち、各駆動モー
タ６４が互いに同期して作動する。

【００５０】以上の構成のＺステージ９１によっても、
前記第１の実施形態と同様の作用、効果を奏することが
できる。

【００５１】［第４の実施形態］以下に、第４の実施形
態に係るＺステージを、図１４から図１６に基づいて説
明する。本実施形態に係るＺステージ１０１の全体構成
は、前記第１実施形態のＺステージ２１とほぼ同様であ
る。ただし、本実施形態のＺステージ１０１は、長方形
状の液晶基板の動作試験等に用いられる装置である。こ
のため、載置台１０３は、液晶基板に合わせて長方形状
に形成されている。

【００５２】本実施形態では、４つの昇降機構部５３及
びガイド機構部５５が、四角形状の基板１０５の四隅に
それぞれ取り付けられている。

【００５３】本実施形態の同期駆動装置１０６は、四角
形状の基板１０５の中央部に取り付けられた駆動モータ
６４と、この駆動モータ６４と４つの昇降機構部５３と
を連結して各昇降機構部５３を互いに同期した状態で駆
動する同期連結機構１０７とから構成されている。

【００５４】同期連結機構１０７は、基板１０５内に延
出した駆動モータ６４の回転軸６４Ａに取り付けられた
２つの駆動プーリ１０８と、４つの昇降機構部５３の各
送りネジ６１の基端部にそれぞれ取り付けられた従動プ
ーリ１０９と、１つの駆動プーリ１０８と２つの従動プ
ーリ１０９とを連結する２つのベルト１１０と、各ベル
ト１１０の弛みによる空回りを防止するためにそれぞれ
に３つずつ設けられたテンションローラ１１１とから構
成されている。

【００５５】以上の構成のＺステージ１０１の場合も、
駆動モータ６４を駆動させることで、駆動プーリ１０
８、ベルト１１０及び従動プーリ１０９を介して、４つ
の昇降機構部５３の各送りネジ６１を互いに同期させて
回転されることができる。さらに、各昇降機構部５３が
長方形状の載置台１０３の四隅近傍に取り付けられてい
るので、載置台１０３に加わる偏った加重を各昇降機構
部５３に分散させることができる。これにより、前記第
１の実施形態と同様の効果を奏することができる。

【００５６】［第５の実施形態］以下に、第５の実施形
態に係るＺステージを、図１７及び図１８に基づいて説
明する。本実施形態に係るＺステージ１２１の全体構成
は、前記第４実施形態のＺステージ１０１とほぼ同様で
あるので、同一部材には同一符号を付してその説明を省
略する。本実施形態では、同期駆動装置１２６の構造を
改良した点に特徴がある。

【００５７】この同期駆動装置１２６は、基板１０５に
取り付けられた４つの昇降機構部５３のうちの１つに直
接に連結された駆動モータ６４と、この駆動モータ６４
と他の３つの昇降機構部５３とを連結して４つの昇降機
構部５３を互いに同期した状態で駆動する同期連結機構
１２７とから構成されている。

【００５８】同期連結機構１２７は、基板１０５内に延
出した昇降機構部５３の送りネジ６１の基端部に駆動モ
ータ６４と共に取り付けられた駆動プーリ１２８と、他
の３つの昇降機構部５３の各送りネジ６１の基端部にそ
れぞれ取り付けられた従動プーリ１２９と、これら１つ
の駆動プーリ１２８と３つの従動プーリ１２９とを同時
に連結する１つのベルト１３０と、このベルト１３０の
弛みによる空回りを防止する６つのテンションローラ１
３１とから構成されている。

【００５９】以上の構成のＺステージ１２１によって
も、前記第１の実施形態と同様の作用、効果を奏するこ
とができる。

【００６０】［第６の実施形態］以下に、第６の実施形
態に係るＺステージを、図１９及び図２０に基づいて説
明する。本実施形態に係るＺステージ１３１の全体構成
は、前記第４実施形態のＺステージ１０１とほぼ同様で
あるので、同一部材には同一符号を付してその説明を省
略する。本実施形態では、同期駆動装置１３５の構造を
改良した点に特徴がある。

【００６１】この同期駆動装置１３５は、基板１０５に
取り付けられた４つの昇降機構部５３にそれぞれ連結さ
れた４つ駆動モータ６４と、これらの駆動モータ６４に
接続されて各駆動モータ６４を互いに同期させて制御す
る同期制御部（図示せず）とから構成されている。

【００６２】同期制御部は、単一のモータ駆動回路を備
えて構成されており、この回路に各駆動モータ６４が並
列に接続されている。これにより、同期制御部で４つの
駆動モータ６４が同時に制御される。即ち、各駆動モー
タ６４が互いに同期して作動する。

【００６３】以上の構成のＺステージ１３１によって
も、前記第１の実施形態と同様の作用、効果を奏するこ
とができる。

【００６４】［第７の実施形態］以下に、第７の実施形
態に係るＺステージを、図２１及び図２２に基づいて説
明する。本実施形態に係るＺステージ１４１の全体構成
は、前記第４実施形態のＺステージ１０１とほぼ同様で
あるので、同一部材には同一符号を付してその説明を省
略する。本実施形態では、同期駆動装置１４２の構造を
改良した点に特徴がある。

【００６５】この同期駆動装置１４２は２系統の駆動系
から構成されている。具体的には、基板１０５の中央近
傍に２つ取り付けられた駆動モータ６４と、各駆動モー
タ６４とその近傍の２つの昇降機構部５３とを連結して
それぞれ２つの昇降機構部５３を互いに同期した状態で
駆動する同期連結機構１４３と、２つの駆動モータ６４
に接続されて各駆動モータ６４を互いに同期させて制御
する同期制御部（図示せず）とから構成されている。

【００６６】同期連結機構１４３は、基板１０５内に延
出した駆動モータ６４の回転軸６４Ａに取り付けられた
２つの駆動プーリ１４４と、４つの昇降機構部５３の各
送りネジ６１の基端部にそれぞれ取り付けられた従動プ
ーリ１４５と、１つの駆動プーリ１４４と近傍の２つの
従動プーリ１４５とを個別に連結する２つのベルト１４
６と、各ベルト１４６の弛みによる空回りを防止するた
めにそれぞれに１つずつ設けられたテンションローラ１
４７とから構成されている。

【００６７】同期制御部は、単一のモータ駆動回路を備
えて構成されており、この回路に各駆動モータ６４が並
列に接続されている。これにより、同期制御部で２つの
駆動モータ６４が同時に制御される。即ち、各駆動モー
タ６４が互いに同期して作動する。

【００６８】以上の構成のＺステージ１４１によって
も、前記第１の実施形態と同様の作用、効果を奏するこ
とができる。

【００６９】［変形例］（１）前記各実施形態では、ガイド機構部５５を設け
たが、このガイド機構部５５を設けず、昇降機構部５３
のみで載置台５１を支持するようにしてもよい。この場
合でも、複数設けられた昇降機構部５３によって載置台
５１を確実に支持することができ、前記同様の作用、効
果を奏することができる。

【００７０】（２）前記実施形態では、昇降機構部５
３を送りネジ６１とナット６２で構成したが、この昇降
機構部５３は駆動モータ６４の回転を直線運動に変換で
きるものであればよいため、ウォームギアと進退動する
棒部材としてのラックや、ラックとピニオンギアを用い
てもよい。この場合、ラックが載置台５１に固定され、
ウォームギアやピニオンギアが駆動モータ６４に取り付
けられる。なお、ピニオンギアの場合には、減速機を設
けて、その回転角度を正確に制御できるようにすると共
に、載置台５１に取り付けられたラックを確実に支持で
きるようにする。

【００７１】また、昇降機構部５３を、リニアモータや
超音波モータ等の、直動式の駆動源を用いてもよい。さ
らに、スコッチヨーク機構や、大きなストロークを有す
るカム機構を用いてもよい。

【００７２】これによっても、前記同様の作用、効果を
奏することができる。

【００７３】（３）前記実施形態では、同期連結機構
（６５等）として、プーリ（６６，６７等）とベルト
（６８等）を用いたが、トルクを伝達できる構成であれ
ばよいため、スプロケットとチェーンや、昇降機構部５
３の送りネジ６１と駆動モータ６４にそれぞれ取り付け
られて互いに噛合する歯車を用いてもよい。

【００７４】これによっても、前記同様の作用、効果を
奏することができる。

【００７５】

【発明の効果】以上、詳述したように本発明によれば、
次のような効果を奏する。

【００７６】複数の昇降機構部で載置台を支持すると共
に、同期駆動装置で各昇降機構部を同期させて駆動する
ので、載置台を確実に支持することができると共に、偏
った荷重に対しても傾斜することなく載置面を正確に支
持することができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態に係るＺステージを示す正面図で
ある。

【図２】従来のＺステージを示す正面図である。

【図３】ＩＣウエハ用の載置台を示す斜視図である。

【図４】液晶基板用の載置台を示す斜視図である。

【図５】第１実施形態に係るＺステージを示す下面図で
ある。

【図６】第１実施形態に係るＺステージを示す平面図で
ある。

【図７】液晶基板検査装置を示す概略側面図である。

【図８】液晶基板検査装置を示す正面図である。

【図９】回路板検査装置を示す正面図である。

【図１０】第２実施形態に係るＺステージを示す正面図
である。

【図１１】第２実施形態に係るＺステージを示す下面図
である。

【図１２】第３実施形態に係るＺステージを示す正面図
である。

【図１３】第３実施形態に係るＺステージを示す下面図
である。

【図１４】第４実施形態に係るＺステージを示す正面図
である。

【図１５】第４実施形態に係るＺステージを示す下面図
である。

【図１６】第４実施形態に係るＺステージを示す平面図
である。

【図１７】第５実施形態に係るＺステージを示す正面図
である。

【図１８】第５実施形態に係るＺステージを示す下面図
である。

【図１９】第６実施形態に係るＺステージを示す正面図
である。

【図２０】第６実施形態に係るＺステージを示す下面図
である。

【図２１】第７実施形態に係るＺステージを示す正面図
である。

【図２２】第７実施形態に係るＺステージを示す下面図
である。

【符号の説明】

２１：Ｚステージ、４２：Ｙステージ部、５１：載置
台、５２：基板、５３：昇降機構部、５４：同期駆動装
置、５５：ガイド機構部、６１：送りネジ、６２：ナッ
ト、６４：駆動モータ、６５：同期連結機構。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】直接的に又は間接的に対象物を載置する
載置台と、この載置台を支持する基板と、この基板と前記載置台との間に設けられ進退動すること
で載置台を基板に対して昇降させる棒部材を有する複数
の昇降機構部と、この複数の昇降機構部にそれぞれ連結され、これらを同
期させて駆動する同期駆動装置とを備えたことを特徴と
するＺステージ。
【請求項２】請求項１に記載のＺステージにおいて、前記複数の昇降機構部を、前記載置台に加えられる荷重
を各昇降機構部に分散できる位置に配設したことを特徴
とするＺステージ。
【請求項３】請求項１又は２に記載のＺステージにお
いて、前記同期駆動装置が、１つの駆動源と、この駆動源と各
昇降機構部とを連結して各昇降機構部を互いに同期させ
て駆動する同期連結機構とから構成されたことを特徴と
するＺステージ。
【請求項４】請求項１又は２に記載のＺステージにお
いて、前記同期駆動装置が、各昇降機構部に個別に連結された
駆動源と、各駆動源を互いに同期させて制御する同期制
御部とから構成されたことを特徴とするＺステージ。