JPH08313816A - 基板部材保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、所定部位上にガラス基板を位置決め
状態で確実に保持することができる基板部材保持装置を
提供する。 【構成】観察部位の吸着パット１５上に載置されたガラ
ス基板１１を、エアシリンダ１６、１８の付勢にともな
う押し付け部材１７、１９の押圧により基準部材１２、
１３、１４方向に移動させ、これら基準部材１２、１
３、１４への押し当てによりガラス基板１１の位置決め
を行い、また、この位置決め動作に連動して、操作板２
０に設けた押さえ板２５、２６を有するエアシリンダ２
３、２４および操作板２８に設けた押さえ板３３、３４
を有するエアシリンダ３１、３２をガラス基板１１近傍
まで移動させ、エアシリンダ２３、２４、３１、３２の
付勢にともなう押さえ板２５、２６、３３、３４の動作
によりガラス基板１１の側縁部を押圧する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶（ＬＣＤ）ガラス
基板などの薄板状り基板部材を顕微鏡の観察部位に位置
決め保持する基板部材保持装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＬＣＤの製造工程で取り扱われる
ＬＣＤガラス基板の品質を観察するのに用いられる顕微
鏡では、観察すべきガラス基板を、所定の観察部位に載
置するようにしているが、この時、ガラス基板を位置基
準となるピンに押し当てて常に同じ基準位置に位置決め
した状態で保持できるようにしている。

【０００３】図５は、このようなガラス基板保持装置の
一例を示すもので、この場合、ガラス基板１を保持する
観察部位に、ガラス基板１の２つの側縁を位置決めする
ための基準ピン２０１、２０２、２０３を配設するとと
もに、観察部位上に吸着パット３を配設し、また、基準
ピン２０１に対向してシリンダ４により移動可能にした
押し付けピン５と、基準ピン２０２、２０３に対向して
シリンダ６により移動可能にした押し付けピン７をそれ
ぞれ設けていて、吸着パット３より噴出される空気流に
よりガラス基板１を浮き上げた状態で観察部位上にセッ
トし、シリンダ４を付勢して押し付けピン５をＸ方向に
移動させガラス基板２側縁を基準ピン２０１に押し当て
るとともに、シリンダ６を付勢して押し付けピン７をＹ
方向に移動させガラス基板２側縁を基準ピン２０２、２
０３に押し当てることで位置決めを行い、これらの位置
決めの後に吸着パット３により吸着し固定するようにし
ている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
保持装置では、ガラス基板２の端部を基準ピン２０１、
２０２、２０３に押し当て、吸着パット３により吸着固
定するものでは、仮に、ガラス基板２の側縁部分が反っ
ているような場合、これら反り部分については吸着パッ
ト３への吸着固定が極めて不安定なものとなり、これが
原因でガラス基板２が吸着パット３から剥離して脱落し
てしまうという問題点があった。

【０００５】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、所定部位上に基板部材を位置決め状態で確実に保持
することができる基板部材保持装置を提供することを目
的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
所定部位に基板部材を位置決め保持する基板部材保持装
置において、前記所定部位上の位置基準を表す基準部材
と、前記基板部材を前記基準部材に対して移動させると
ともに該基準部材により前記基板部材の位置決めを行う
基板部材移動手段と、この基板部材移動手段による前記
基板部材の位置決めに連動して前記基板部材近傍に配置
され該基板部材側縁部を押圧する基板部材押圧手段とに
より構成している。

【０００７】請求項２記載の発明では、請求項１記載に
おいて、基板部材押圧手段は、駆動源と、この駆動源に
より駆動される押さえ板を有し、該押さえ板の駆動力に
より前記基板部材側縁部を押圧するようにしている。

【０００８】請求項３記載の発明では、請求項１記載に
おいて、基板部材押圧手段は、駆動源と、この駆動源に
より駆動されるリンク部材を有し、該リンク部材の駆動
力により前記基板部材側縁部を押圧するようにしてい
る。

【０００９】

【作用】この結果、請求項１記載の発明によれば、基板
部材を基板部材移動手段により所定部位上の位置基準を
表す基準部材方向に移動させながら該基準部材により前
記基板部材の位置決めを行うとともに、この位置決めに
連動して基板部材押圧手段を基板部材近傍に配置して基
板部材側縁部を押圧するようにしている。これにより、
仮に、基板部材の側縁部分が反っているような場合も、
この反り部分を基板部材押圧手段の押圧力により所定部
位上に押圧するようにできるので、基板部材全体を均一
状態で所定部位上に位置決め保持することができる。

【００１０】また、請求項２記載の発明によれば、基板
部材押圧手段として、駆動源により駆動される押さえ板
を有していて、この押さえ板の駆動力により基板部材側
縁部を押圧するようになるので、さらに基板部材側縁部
の押圧を適確に行うことができる。

【００１１】また、請求項３記載の発明によれば、基板
部材押圧手段として、駆動源により駆動されるリンク部
材を有していて、このリンク部材の駆動力により基板部
材側縁部を押圧するようになるので、この場合も基板部
材側縁部の押圧を適確に行うことができる。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に従い説明す
る。 （第１実施例）図１は第１実施例の概略構成を示すもの
で、この場合、所定の部位として顕微鏡の観察部位に基
板部材としてのガラス基板１１の２つの側縁１１ａ、１
１ｂを位置決めするための基準部材１２、１３、１４を
配設している。

【００１３】基準部材１２は、図２に示すように軸本体
１２１の基端部にベアリング１２２を介して樹脂製のロ
ーラ部１２３を回転可能に支持し、また、軸本体１２１
先端に螺装されたネジ１２４によりローラ部１２３の外
れを防止するように構成し、さらに、軸本体１２１の基
端部に形成したネジ部１２５により図示しない固定部に
固定するようになっている。

【００１４】なお、基準部材１３、１４についても、基
準部材１２とまったく同様に構成していて、それぞれ回
転可能なローラ部１３３、１４３を有している。この場
合、これら基準部材１２、１３、１４のそれぞれのロー
ラ部１２３、１３３、１４３は、ガラス基板１１端が押
し当てできる高さにすべて統一されている。

【００１５】また、ガラス基板１１の観察部位には、ガ
ラス基板１１の長手方向の側縁部に沿って、吸着パット
１５、１５を配設している。これら吸着パット１５、１
５は、観察部位上で位置決めされたガラス基板１１を吸
着保持するものである。

【００１６】基準部材１２に対向させてエアシリンダ１
６を設けている。このエアシリンダ１６は、図示しない
エアの給排制御により可動部１６１をＸ方向に進退動作
するもので、この可動部１６１の先端部に押し付け部材
１７を設けている。この押し付け部材１７も、上述した
基準部材１２とまったく同様に構成していて、回転可能
なローラ部１７１を有している。このローラ部１７１
は、ガラス基板１１端を押し当てできる高さに設定して
いる。

【００１７】基準部材１３、１４に対向させてエアシリ
ンダ１８を設けている。このエアシリンダ１８は、図示
しないエアの給排制御により可動部１８１をＹ方向に進
退動作するもので、この可動部１８１の先端部に押し付
け部材１９を設けている。この押し付け部材１９も、上
述した基準部材１２とまったく同様に構成していて、回
転可能なローラ部１９１を有している。このローラ部１
９１も、ガラス基板１１端を押し当てできる高さに設定
している。

【００１８】また、このエアシリンダ１８の可動部１８
１には、操作板２０を設けている。この操作板２０は、
ガラス基板１１の一方の長手方向側縁に沿って配置され
るもので、その両端部に、それぞれ支持台２１、２２を
設けている。

【００１９】これら支持台２１、２２は、Ｙ方向に敷設
されたガイド２１１、２２１に沿って移動可能に設けら
れ、エアシリンダ１８の可動部１８１の進退動作に伴っ
て操作板２０を介しガイド２１１、２２１に沿って進退
動作されるようになっている。

【００２０】支持台２１、２２には、それぞれエアシリ
ンダ２３、２４を設けている。これらエアシリンダ２
３、２４は、図示しないエアの給排制御により可動部２
３１、２４１を上下方向に進退動作するもので、これら
可動部２３１、２４１の先端部に樹脂製で円板状の押さ
え板２５、２６を設けている。

【００２１】これら押さえ板２５、２６は、可動部２３
１、２４１の進退動作により上下方向に移動し、このう
ち下方向の移動によりガラス基板１１の一方の長手方向
側縁部を吸着パット１５方向に押圧するようにしてい
る。

【００２２】一方、基準部材１３、１４が配置される側
にもエアシリンダ２７を設けている。このエアシリンダ
２７も、図示しないエアの給排制御により可動部２７１
をＹ方向に進退動作するものである。

【００２３】そして、このエアシリンダ２７の可動部２
７１には、操作板２８を設けている。この操作板２８
は、ガラス基板１１の他方の長手方向側縁に沿って配置
されるもので、その両端部に、それぞれ支持台２９、３
０を設けている。

【００２４】これら支持台２９、３０は、Ｙ方向に敷設
されたガイド２９１、３０１に沿って移動可能に設けら
れ、エアシリンダ２７の可動部２７１の進退動作に伴っ
て操作板２８を介しガイド２９１、３０１に沿って進退
動作されるようになっている。

【００２５】支持台２９、３０には、それぞれエアシリ
ンダ３１、３２を設けている。これらエアシリンダ３
１、３２は、図示しないエアの給排制御により可動部３
１１、３２１を上下方向に進退動作するもので、これら
可動部３１１、３２１の先端部に樹脂製で円板状の押さ
え板３３、３４を設けている。

【００２６】これら押さえ板３３、３４は、可動部３１
１、３２１の進退動作により上下方向に移動し、このう
ち下方向の移動によりガラス基板１１の他方の長手方向
側縁部を吸着パット１５方向に押圧するようにしてい
る。

【００２７】次に、以上のように構成した実施例の動作
を説明する。いま、ガラス基板１１が観察部位の吸着パ
ット１５上に載置されていない場合、エアシリンダ１６
は、可動部１６１を後退させて押し付け部材１７のロー
ラ部１７１を観察部位から開離させており、また、エア
シリンダ１８は、可動部１８１を前進させて、押し付け
部材１９のローラ部１９１を観察部位から開離させると
ともに、操作板２０も観察部位から開離させており、さ
らにエアシリンダ２７も可動部２７１を前進させて、操
作板２０を観察部位から開離させている（図面は、この
状態を示している。）。

【００２８】この状態から、吸着パット１５上にガラス
基板１１を載置する。この場合、ガラス基板１１を載置
する位置は、基準部材１２、１３、１４より多少離れた
位置でよい。

【００２９】次に、エアシリンダ１６を、図示しないエ
アの給排制御により付勢し、可動部１６１をＸ方向に前
進させる。すると、可動部１６１先端部に設けられた押
し付け部材１７のローラ部１７１がガラス基板１１端に
押し当てられるので、可動部１６１の前進動作ととも
に、ガラス基板１１は、基準部材１２のローラ部１２３
に押し当てられるまで移動される。

【００３０】次に、ガラス基板１１端が基準部材１２の
ローラ部１２３に押し当てられるのを待って、エアシリ
ンダ１８を、図示しないエアの給排制御により付勢し、
可動部１８１をＹ方向に後退させる。すると、可動部１
８１先端部に設けられた押し付け部材１９のローラ部１
９１がガラス基板１１端に押し当てられるので、可動部
１９１の後退動作とともに、ガラス基板１１は、基準部
材１３、１４のローラ部１３３、１４３に押し当てられ
るまで移動される。この場合、ガラス基板１１のＹ方向
の移動は、ガラス基板１１のＸ軸方向両端縁を回転可能
なローラ部１７１と１２３に押し当てられているので、
スムーズに行うことができる。

【００３１】また、エアシリンダ１８の可動部１８１の
後退動作とともに、操作板２０両端部に設けられた支持
台２１、２２もＹ方向に移動され、エアシリンダ２３、
２４のそれぞれの可動部２３１、２４１先端部の押さえ
板２５、２６をガラス基板１１の一方の長手方向側縁部
上に位置させる。

【００３２】次いで、エアシリンダ２７も、図示しない
エアの給排制御により付勢し、可動部２７１をＹ方向に
後退させる。操作板２８両端部に設けられた支持台２
９、３０もＹ方向に移動され、エアシリンダ３１、３２
のそれぞれの可動部３１１、３２１先端部の押さえ板３
３、３４をガラス基板１１の他方の長手方向側縁部上に
位置させる。

【００３３】そして、この状態から、エアシリンダ２
３、２４、３１、３２を、図示しないエアの給排制御に
より付勢し、それぞれ可動部２３１、２４１、３１１、
３２１を下方向に動作させることにより、これら可動部
２３１、２４１、３１１、３２１先端部の押さえ板２
５、２６、３３、３４も下方向に移動し、これによりガ
ラス基板１１の長手方向の両側縁部は、これら押さえ板
２５、２６、３３、３４により吸着パット１５方向に押
圧され固定される。

【００３４】従って、このようにすれば観察部位の吸着
パット１５上に載置されたガラス基板１１を、エアシリ
ンダ１６、１８の付勢にともなう押し付け部材１７、１
９の押圧により基準部材１２、１３、１４方向に移動さ
せ、これら基準部材１２、１３、１４への押し当てによ
りガラス基板１１の位置決めを行い、また、この位置決
め動作に連動して、操作板２０に設けた押さえ板２５、
２６を有するエアシリンダ２３、２４および操作板２８
に設けた押さえ板３３、３４を有するエアシリンダ３
１、３２をガラス基板１１近傍まで移動させ、エアシリ
ンダ２３、２４、３１、３２の付勢にともなう押さえ板
２５、２６、３３、３４の動作によりガラス基板１１の
側縁部を押圧するようにしたので、仮に、ガラス基板１
１の側縁部分が反っているような場合でも、この反り部
分を押さえ板２５、２６、３３、３４の押圧力により吸
着パット１５方向に押圧するようにでき、ガラス基板１
１全体を均一の状態で観察部位の吸着パット１５上に位
置決め保持することができる。このことは、従来、ガラ
ス基板の反り部分が吸着パットへの吸着固定を不安定な
ものにしていたが、かかる要因を除去することができ、
これによりガラス基板１１が吸着パット１５から剥離し
て脱落するのを防止でき、観察部位上にガラス基板１１
を確実に保持することができるようになる。

【００３５】また、ガラス基板１１側縁部を押圧するの
に、エアシリンダ２３、２４、３１、３２の付勢により
駆動される円板状の押さえ板２５、２６、３３、３４を
用い、これら押さえ板２５、２６、３３、３４の直線駆
動力を利用しているので、さらにガラス基板１１の側縁
部の押圧を適確に行うことができる。 （第２実施例）図３は、第２実施例の概略構成を示すも
ので、図１と同一部分には、同符号を付している。

【００３６】この場合、エアシリンダ１８の可動部１８
１に設けられた操作板２０両端部の支持台２１、２２に
エアシリンダ４１、４２を設けている。これらエアシリ
ンダ４１、４２も、図示しないエアの給排制御により可
動部４１１、４２１を上下方向に進退動作するもので、
これら可動部４１１、４２１の先端にリンク４３、４４
を接続している。

【００３７】この場合、リンク４３は、図４に示すよう
に可動部４１１先端に接続したリンク４３の中間部を支
点４３１に支持していて、可動部４１１の進退動作にと
もなう上下方向の移動により、リンク４３が支点４３１
を中心に回動され、このうち可動部４１１の上方向の移
動にともなう図示実線で示すリンク４３の回動でガラス
基板１１の一方の長手方向側縁部を吸着パット１５方向
に押え付けるようにしている。

【００３８】なお、リンク４４についても、リンク４３
とまったく同様に構成して、可動部４２１の進退動作に
ともなう上下方向の移動により、ガラス基板１１の一方
の長手方向側縁部を吸着パット１５方向に押圧するよう
にしている。

【００３９】一方、エアシリンダ２７の可動部２７１に
設けられた操作板２８両端部の支持台２９、３０にもエ
アシリンダ４５、４６を設けている。これらエアシリン
ダ４５、４６も、図示しないエアの給排制御により可動
部４５１、４６１を上下方向に進退動作するもので、こ
れら可動部４５１、４６１の先端にリンク４７、４８を
接続している。この場合、これらリンク４７、４８も上
述したリンク４３とまったく同様に構成して、可動部４
５１、４６１の進退動作にともなう上下方向の移動によ
り、ガラス基板１１の他方の長手方向側縁部を吸着パッ
ト１５方向に押圧するようにしている。

【００４０】しかして、このような構成によっても、ま
ず、エアシリンダ１６を付勢し、可動部１６１をＸ方向
に前進させて、押し付け部材１７のローラ部１７１をガ
ラス基板１１端に押し当て、さらに可動部１６１が前進
動作することで、ガラス基板１１を基準部材１２のロー
ラ部１２３に押し当てられるまで移動させ、次いで、エ
アシリンダ１８を付勢し、可動部１８１をＹ方向に後退
させて押し付け部材１９のローラ部１９１をガラス基板
１１端に押し当て、さらに可動部１９１を後退動作する
ことで、ガラス基板１１を基準部材１３、１４のローラ
部１３３、１４３に押し当てるまで移動させる。

【００４１】また、エアシリンダ１８の可動部１８１の
後退動作とともに、操作板２０両端部に設けられた支持
台２１、２２もＹ方向に移動させ、エアシリンダ４１、
４２のそれぞれの可動部４１１、４２１先端部のリンク
４３、４４の先端部をガラス基板１１の一方の長手方向
側縁部上に位置させる。

【００４２】次いで、エアシリンダ２７も付勢し、可動
部２７１をＹ方向に後退させて、操作板２８両端部に設
けられた支持台２９、３０もＹ軸方向に移動させ、エア
シリンダ４５、４６のそれぞれの可動部４５１、４６１
先端部のリンク４７、４８の先端部をガラス基板１１の
他方の長手方向側縁部上に位置させる。

【００４３】そして、この状態から、エアシリンダ４
１、４２、４５、４６を付勢し、それぞれ可動部４１
１、４２１、４５１、４６１を上方向に動作させること
により、これら可動部４１１、４２１、４５１、４６１
先端部に接続したリンク４３、４４、４７、４８の回動
によりガラス基板１１の長手方向の両側縁部は、吸着パ
ット１５方向に押圧され固定される。

【００４４】従って、このようにしても、第１実施例と
同様な効果を期待でき、さらに、ガラス基板１１側縁部
を押圧するのに、エアシリンダ４１、４２、４５、４６
の付勢により駆動されるリンク４３、４４、４７、４８
を用い、これらリンク４３、４４、４７、４８の回動力
を利用しているので、さらにガラス基板１１の側縁部の
押圧を適確に行うことができる。

【００４５】なお、本発明による装置は、ガラス基板以
外の薄板状の基板部材であっても同様に使用できる。以
上、実施例に基づいて説明したが、本発明中には以下の
発明が含まれる。

【００４６】（１）所定部位に基板部材を位置決め保持
する基板部材保持装置において、前記所定部位上の位置
基準を表す基準部材と、前記基板部材を前記基準部材に
対して移動させるとともに該基準部材により前記基板部
材の位置決めを行う基板部材移動手段と、この基板部材
移動手段による前記基板部材の位置決めに連動して前記
基板部材近傍に配置され該基板部材側縁部を押圧する基
板部材押圧手段とを具備したことを特徴とする基板部材
保持装置。

【００４７】このようにすれば、基板部材を基板部材移
動手段により所定部位上の位置基準を表す基準部材方向
に移動させながら該基準部材により前記基板部材の位置
決めを行うとともに、この位置決めに連動して基板部材
押圧手段を基板部材近傍に配置して基板部材側縁部を押
圧するようにしているので、仮に、基板部材の側縁部分
が反っているような場合も、この反り部分を基板部材押
圧手段の押圧力により所定部位上に押圧するようにで
き、基板部材全体を均一状態で所定部位上に位置決め保
持することができ、これにより、基板部材が所定の部位
から剥離して脱落するのを防止でき、かかる所定部位上
に基板部材を確実に保持固定することができる。

【００４８】（２）（１）記載の基板部材保持装置にお
いて、基板部材押圧手段は、駆動源と、この駆動源によ
り駆動される押さえ板を有し、該押さえ板の駆動力によ
り前記基板部材側縁部を押圧するようにしている。

【００４９】このようにすれば、基板部材押圧手段とし
て、駆動源により駆動される押さえ板を有していて、こ
の押さえ板の駆動力により基板部材側縁部を押圧するよ
うになるので、さらに基板部材側縁部の押圧を適確に行
うことができる。

【００５０】（３）（１）記載の基板部材保持装置にお
いて、基板部材押圧手段は、駆動源と、この駆動源によ
り駆動されるリンク部材を有し、該リンク部材の駆動力
により前記基板部材側縁部を押圧するようにしている。

【００５１】このようにすれば、基板部材押圧手段とし
て、駆動源により駆動されるリンク部材を有していて、
このリンク部材の駆動力により基板部材側縁部を押圧す
るようになるので、この場合も基板部材側縁部の押圧を
適確に行うことができる。

【００５２】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、基板
部材を基板部材移動手段により位置決めを行うととも
に、この位置決めに連動して基板部材押圧手段を基板部
材近傍に配置して基板部材側縁部を押圧するように構成
したことで、基板部材の側縁部分が反っているような場
合も、この反り部分を基板部材押圧手段の押圧力により
押圧するようにでき、基板部材全体を均一状態で所定部
位上に位置決め保持することができ、これにより、さら
に基板部材が所定の部位から剥離して脱落するのを防止
でき、かかる所定部位上に確実に保持固定することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の概略構成を示す図。

【図２】第１実施例に用いられる基準部材の概略構成を
示す断面図。

【図３】本発明の第２実施例の概略構成を示す図。

【図４】第２実施例に用いられるリンクの概略構成を示
す図。

【図５】従来のガラス基板保持装置の一例の概略構成を
示す図。

【符号の説明】

１１…ガラス基板、１２、１３、１４…基準部材、１２
１…軸本体、１２２…ベアリング、１２３…ローラ部、
１２４…ネジ、１５…吸着パット、１６…エアシリン
ダ、１６１…可動部、１７…押し付け部材、１７１…ロ
ーラ部、１８…エアシリンダ、１８１…可動部、１９…
押し付け部材、１９１…ローラ部、２０…操作板、２
１、２２…支持台、２１１、２２１…ガイド、２３、２
４…エアシリンダ、２３１、２４１…可動部、２５、２
６…押さえ板、２７…エアシリンダ、２７１…可動部、
２８…操作板、２９、３０…支持台、２９１、３０１…
ガイド、３１、３２…エアシリンダ、３１１、３２１…
可動部、３３、３４…押さえ板、４１、４２…エアシリ
ンダ、４１１、４２１…可動部、４３、４４…リンク、
４５、４６…エアシリンダ、４５１、４６１…可動部、
４７、４８…リンク。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定部位に基板部材を位置決め保持する
   基板部材保持装置において、 前記所定部位上の位置基準を表す基準部材と、 前記基板部材を前記基準部材に対して移動させるととも
   に該基準部材により前記基板部材の位置決めを行う基板
   部材移動手段と、 この基板部材移動手段による前記基板部材の位置決めに
   連動して前記基板部材近傍に配置され該基板部材側縁部
   を押圧する基板部材押圧手段とを具備したことを特徴と
   する基板部材保持装置。
2. 【請求項２】 基板部材押圧手段は、駆動源と、この駆
   動源により駆動される押さえ板を有し、該押さえ板の駆
   動力により前記基板部材側縁部を押圧することを特徴と
   する請求項１記載の基板部材保持装置。
3. 【請求項３】 基板部材押圧手段は、駆動源と、この駆
   動源により駆動されるリンク部材を有し、該リンク部材
   の駆動力により前記基板部材側縁部を押圧することを特
   徴とする請求項１記載の基板部材保持装置。