WO2007026641A1

WO2007026641A1 - ステージ装置

Info

Publication number: WO2007026641A1
Application number: PCT/JP2006/316856
Authority: WO
Inventors: Hiroaki Noda
Original assignee: Olympus Corporation
Priority date: 2005-08-30
Filing date: 2006-08-28
Publication date: 2007-03-08
Also published as: EP1921483A4; US20090135477A1; JP4791106B2; EP1921483A1; JP2007065180A

Abstract

　簡易な構成で、スライドガラスを精度よく位置決め状態に固定する。スライドガラス２を載置する搭載面３と、該搭載面３に載置されたスライドガラス２の隣接する２つの側面２ｃ，２ｄを突き当てる突当部５ａ，５ｂと、該突当部５ａ，５ｂに突き当てられる２つの側面２ｃ、２ｄにそれぞれ対向する２つの側面２ａ，２ｂを突当部５ａ，５ｂ方向にそれぞれ押圧する押圧機構４とを備え、該押圧機構４が、スライドガラス２の２側面２ａ，２ｂを別々のタイミングで押圧する複数の押圧部材１１，１２を備えるステージ装置１を提供する。

Description

明細書

ステージ装置

技術分野

[0001] 本発明は、スライドガラスを位置決め状態に搭載するためのステージ装置に関するものである。

背景技術

[0002] 従来、顕微鏡に用いられるステージ装置として、スライドガラスを位置決め状態に支持する機構を有するものは知られている (例えば、特許文献 1参照。 ) o

このステージ装置は、搭載面に載置されたスライドガラスの隣接する 2つの側面を突き当てる突当部と、スライドガラスを突当部に向けて押圧するクランプアームとを備えている。クランプアームには、該突当部に突き当てられるスライドガラスの 2つの側面にそれぞれ対向する 2つの側面を突当部方向に押圧する 2つの突起が備えられている。

[0003] このクランプアームの突起によってスライドガラスを固定するには、クランプアームをその軸線回りに揺動させて、 2つの突起をスライドガラスの側面に押し当てることにより押圧する。

特許文献 1：米国特許出願公開第 2004Z0114227号公報

発明の開示

[0004] し力しながら、上記特許文献 1に開示されて、るステージ装置は、単一のクランプアームによって 2つの突起を移動させるため、 2つの突起をほぼ同時にスライドグラスの 2側面に接触させることになる。このため、スライドガラスは 2力所の突当部に対してもほぼ同時に押し付けられることになり、押し付けられたスライドガラスの側面と突当部との間に摩擦力が発生する。この場合において、搭載部に載置された状態でスライドガラスが突当部に対して傾斜して配置されて、ると、傾斜したままで押し当てられたスライドガラス側面と突当部との接触位置に摩擦力が発生し、場合によっては、スライドガラスが搭載部上において水平面内で傾斜したままの状態で固定されてしまう不都合がある。 [0005] また、このように、スライドガラスが水平面内において傾斜したままの状態で固定される場合、スライドガラスの固定は不安定となり、場合によっては、水平面内のみならず垂直方向にも傾斜して固定されてしまう不都合が考えられる。

[0006] 例えば、顕微鏡を用いて、より高分解能で観察する場合には、スライドガラス底面に照明用コンデンサレンズを近接させて照明する必要があり、その距離は lmm未満となるので、スライドガラスの搭載部はコンデンサレンズとの干渉を回避するために極めて薄く構成される。しかも、より広い観察範囲を確保するためにスライドガラスの搭載部にスライドガラスが接触する面積は極めて狭く設定されるため、搭載部の剛性が不足しがちとなる。

[0007] このような条件下において、スライドガラスの隣接する 2側面を単一のクランプアームで押し付ける場合には、いずれか一方の側面の押し付け力が必要以上に大きくなる場合があり、搭載部が弾性変形してしまい、スライドガラスが垂直方向に傾斜して固定されてしまうことになる。この場合には、スライドガラス上の標本の位置力対物レンズの光軸方向に変動するため、部分的にピントが合わない等の不都合が発生する。

[0008] 本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、簡易な構成で、スライドガラスを精度よく位置決め状態に固定することができるステージ装置を提供することを目的としている。

[0009] 上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。

本発明は、スライドガラスを載置する搭載面と、該搭載面に載置されたスライドガラスの隣接する 2つの側面を突き当てる突当部と、該突当部に突き当てられる 2つの側面にそれぞれ対向する 2つの側面を突当部方向にそれぞれ押圧する押圧機構とを備え、該押圧機構が、スライドガラスの 2側面を別々のタイミングで押圧する複数の押圧部材を備えるステージ装置を提供する。

[0010] 本発明によれば、搭載面に載置されたスライドガラスが、押圧機構の作動により突当部に突き当てられる。この場合に、押圧機構が複数の押圧部材を備え、各押圧部材が別々のタイミングでスライドガラスの 2側面を押圧するので、スライドガラスの隣接する 2側面が別々に突当部に突き当てられる。すなわち、最初に押圧を開始した押圧部材によりスライドガラスの一側面が一突当部に突き当たった後に、次の押圧部材が他の側面の押圧を開始する。

[0011] 隣接する 2つの側面がほぼ同時に突当部に押しつけられてしまう場合には、スライドガラスが傾斜したまま固定されてしまう不都合があるが、本発明によれば、一の押圧部材によりスライドガラスが一突当部に突き当てられて一方向に位置決めされた後に、他の押圧部材により他方向に位置決め動作が開始されるので、 2つの側面がほぼ同時に突当部に押しつけられてしまうことを防止し、スライドガラスが傾斜したまま固定されてしまうことを防止できる。

[0012] 上記発明にお!/、ては、前記突当部が、スライドガラスの 2側面を異なるスパンで突き当て、前記押圧機構が、長いスパンで前記突当部に突き当てられる側面に対向する側面を押圧した後、短いスパンで前記突当部に突き当てられる側面に対向する側面を押圧することとしてもよい。

このようにすることで、押圧機構の作動により、最初に一の側面が長いスパンで突当部に突き当てられ、その後、他の側面が短いスパンで突当部に突き当てられる。その結果、最初に長いスパンで一側面を突き当てることにより、スライドガラスを傾斜しないように矯正することができる。そして、その後、その姿勢を維持したまま、突当部をガイドとして他の側面を他の突当部に突き当てることで、スライドガラスを精度よく位置決めすることができる。

[0013] 上記発明にお!/、ては、前記各押圧部材に、前記スライドガラスの側面を押圧する押圧力を発生する弾性部材が備えられてヽることが好ま、。

このようにすることで、押圧部材カスライドガラスに接触すると、弾性部材の弹発力に基づく押圧力でスライドガラスが押圧される。そして、スライドガラスの側面が突当部に突き当たると、弾性部材が弾性変形することで、弾発力に基づく押圧力が徐々に大きくなる。弾性部材が配置されていない場合には、スライドガラスの側面が突当部に突き当たると、押圧部材による押圧力が急激に大きくなる。その結果、スライドガラスの側面と突当部との間に生ずる摩擦力も急激に増大してその場で固定されてしまうことになる。本発明によれば、弾性部材の作動により、スライドガラスの側面と突当部との間に生ずる摩擦力の激増を防止して、スライドガラスが傾斜したまま固定されてしまうことを防止できる。 [0014] また、上記発明にお、ては、前記各押圧部材に、前記スライドガラスの側面を押圧する押圧力を発生する弾性部材が備えられ、短いスパンで前記突当部に突き当てられる側面に対向する側面を押圧する押圧部材の弾性部材が、長!、スパンで前記突当部に突き当てられる側面に対向する側面を押圧する押圧部材の弾性部材よりも大きな押圧力を発生することが好ま、。

[0015] このようにすることで、短いスパンで突き当てられる側面を突当部に突き当てる際に、長いスパンで突き当てられる側面を突当部に突き当てる場合よりも大きな押圧力が付与される。短いスパンで突き当てられる側面を突当部に突き当てる際には、既に、長いスパンで突き当てられる側面が突当部に突き当てられているので、これを移動させる際には摩擦力が発生する力本発明によれば、押圧部材が大きな押圧力を発生させて、るので、その摩擦力に抗してスライドガラスを移動させることができる。

[0016] また、上記発明においては、前記押圧機構が、前記各押圧部材を連動させるリンク機構を備えることとしてもよ、。

このようにすることで、リンク機構の作動により、複数の押圧部材を連動させるので、隣接する側面のタイミングの異なる押圧動作を簡単な操作で行うことが可能となる。

[0017] また、上記発明にお、ては、前記各押圧部材のスライドガラスの側面を押圧する押圧端に、前記搭載面に向力て漸次後退するテーパ面が備えられていることとしてもよい。

このようにすることで、押圧部材によってスライドガラスの側面を押圧すると、押圧部材に設けられたテーパ面がスライドガラスに接触するので、テーパ面によって側面が斜め下方に押圧され、スライドガラスの浮き上がりを防止することができる。これにより、スライドガラスが鉛直方向に斜めに傾斜して、得られる画像のピントが部分的にずれる等の不都合の発生を未然に防止することができる。

[0018] 本発明によれば、スライドガラスの隣接する 2側面を異なるタイミングで別々に位置決めすることで、簡易な構成により、スライドガラスを精度よく位置決め状態に固定することができると!/、う効果を奏する。

図面の簡単な説明

[0019] [図 1]本発明の一実施形態に係るステージ装置を示す部分的な平面図である。 [図 2]図 1のステージ装置を駆動するリンク機構を示す部分的な背面図である。

[図 3A]図 1のステージ装置の押圧部材の先端形状を示す部分的な側面図であり、スライドガラスに接触する前の状態を示す図である。

[図 3B]図 1のステージ装置の押圧部材の先端形状を示す部分的な側面図であり、スライドガラスを押圧して、る状態を示す図である。

[図 4A]図 1のステージ装置の突当部の先端形状を示す部分的な側面図であり、はスライドガラスを突き当てる前の状態を示す図である。

[図 4B]図 1のステージ装置の突当部の先端形状を示す部分的な側面図であり、図 4 ( b)はスライドガラスを突き当てた状態を示す図である。

[図 5]図 1のステージ装置にスライドガラスを移載するための搬送アームを模式的に示す側面図である。

[図 6]図 5の搬送アームによるスライドガラスの移載作業を説明する平面図である。

[図 7]図 6の移載作業終了後にステージ装置力搬送アームを抜き出す作業を説明する平面図である。

[図 8]図 1のステージ装置において、スライドガラスの短辺に沿う方向の位置決め作業を説明する平面図である。

[図 9]図 1のステージ装置において、スライドガラスの長辺に沿う方向の位置決め作業を説明する平面図である。

発明を実施するための最良の形態

[0020] 以下、本発明の一実施形態に係るステージ装置 1について、図 1から図 9を参照して以下に説明する。

本実施形態に係るステージ装置 1は、図 1に示されるように、スライドガラス 2を載置する搭載面 3と、該搭載面 3に載置されたスライドガラス 2の側面 2a, 2bを押圧する押圧機構 4と、押圧されたスライドガラス 2を突き当てる突当部 5a, 5bを備えている。スライドガラス 2は、例えば、 76mm X 26mm,厚さ 0. 8mm力ら 1. 5mm程度の寸法のものである。

[0021] 前記搭載面 3は、ステージ本体 6の下面に固定されたステンレス鋼等のスチール製薄板 7の上面により構成されている。ステージ本体 6は、例えば、アルミニウム合金を切削することにより構成されている。アルミニウム合金は被削性が良好で、精度よく部品加工できる一方、薄板状に形成する場合には強度が低ぐ高い精度の平面度を実現することができない。このため、搭載面 3をスチール製薄板 7により構成することで、搭載面 3の平面度を向上しつつ、搭載面 3に搭載されたスライドガラス 2の下面側力、広い観察範囲にわたってコンデンサレンズ（図示略)等をスライドガラス 2に近接配置する空間を確保できるようになって、る。

[0022] 搭載面 3を構成するスチール製薄板 7は、スライドガラス 2の少なくとも四隅を支持する位置に配置されている。図中、符号 8は、スチール製薄板 7を上方に露出させるとともに、後述する突当部 5a, 5bを精度よく加工するためにステージ本体 6に設けた切欠である。また、図中、符号 9は、後述するようにスライドガラス 2を搬送する搬送ァーム 10を挿入するためにステージ本体 6に設けた切欠である。

[0023] 前記突当部 5a, 5bは、図 1に示されるように、スライドガラスの相互に隣接する 2つの側面 2c, 2dに対応する位置に設けられている。長辺側の側面 2cに対応する位置に設けられた突当部 5aは、長辺側の側面 2cのほぼ両端近傍を長、スパンで突き当てるように配置されている。短辺側の側面 2dに対応する位置に設けられた突当部 5b も、短辺側の側面 2dのほぼ両端近傍を突き当てるように配置されている力短辺の寸法が短!、ために、長辺側よりも短!、スパンで突き当てるように配置されて、る。

[0024] 前記押圧機構 4は、図 1に示されるように、スライドガラス 2を挟んで前記突当部 5a, 5bと対向する位置にそれぞれ設けられ、突当部 5a, 5bに突き当てられる側面 2c, 2 dとは反対側の側面 2a, 2bをそれぞれ押圧する押圧部材 11, 12を、スライドガラス 2 の長辺側に 2力所、短辺側に 1力所備えている。各押圧部材 11, 12は、スライドガラス 2の側面 2a, 2bに対して直交する方向に直線移動可能に支持されている。

[0025] また、押圧機構 4は、図 2に示されるように、これら複数の押圧部材 11, 12を連動させるリンク機構 13を備えている。リンク機構 13は、短辺側の側面 2bを押圧する押圧部材 12の移動方向とほぼ平行に移動可能に支持された連結リンク 14と、該連結リンク 14によって揺動させられるレバー 15, 16と、押圧部材 11, 12に固定されたスライダ 17, 18とを備えている。図中、符号 19は連結リンク 14に設けられた操作突起、符号 20は、ステージ本体 6に固定された摇動軸である。 [0026] スライダ 17, 18には、該スライダ 17, 18をステージ本体 6に対してスライドガラス 2 側に付勢するスプリング 21, 22が設けられている。これにより、スライダ 17, 18は常時、押圧部材 11, 12をスライドガラス 2に向けて押し付ける方向に付勢されている。スライドガラス 2の短辺側の側面 2bを押圧する押圧部材 12を固定したスライダ 18のスプリング 22には、スライドガラス 2の長辺側の側面 2aを押圧する押圧部材 11を固定したスライダ 17のスプリング 21より大きな弹発カを生じさせるものが採用されて、る。また、スプリング 21, 22は、スライドガラス 2の側面 2a, 2bをそれぞれ確実に保持するのに必要最小限の弹発カを生じさせるものが採用されている。

[0027] 連結リンク 14およびスライダ 17, 18には、レバー 15, 16との接続位置にそれぞれ長孔 23, 24が形成され、レバー 15, 16には長孔 23, 24に隙間をあけて挿入されるボス 25が設けられている。これにより、レバー 15, 16先端の円弧運動を連結リンク 14 およびスライダ 17, 18の直線運動に変換するための遊びが形成されている。

[0028] 各長孔 23, 24の位置は、各押圧部材 11, 12を移動させるための複数のレバー 15 , 16の作動タイミングを調節する位置に配置されて、る。

すなわち、図 2において、連結リンク 14を右方向に移動させると、まず、連結リンク 1 4の長孔 23と該長孔 23内のレバー 16のボス 25とが接触してレバー 16が半時計回りに揺動を開始させられる。これにより、レバー 16先端のボス 25がスライダ 18の長孔 2 4と接触してスライダ 18をスプリング 22の弹発カに抗して右方向に移動させるようになっている。これにより、スライドガラス 2の短辺側の側面 2bを押圧する押圧部材 12 力 Sスライドガラス 2の側面 2bから離れる方向に直線移動を開始させられるようになっている。

[0029] このとき、レバー 15のボス 25と連結リンク 14の長孔 23とは、まだ接触しておらず、レバー 15は静止した状態に維持されている。そして、押圧部材 12が所定距離だけ移動させられたところで、レバー 15のボス 25と該ボス 25を挿入している長孔 23とが接触して、レバー 15が反時計回りに揺動を開始させられるようになつている。これにより、該レバー 15のボス 25によって長孔 23が押圧され、スライダ 17がスライドガラス 2から離れる方向に直線移動を開始させられる。その結果、長辺側の側面 2aを押圧する押圧部材 11が、スライドガラス 2の側面 2aから離れる方向に直線移動を開始させられるようになっている。

[0030] これとは逆に、押圧部材 11, 12がスライドガラス 2の側面 2a, 2bから離れた状態において、連結リンク 14を、図 2の左方向に移動させると、まず、押圧部材 11がスライドガラス 2の長辺側の側面 2aに接触させられて、スプリング 21の弹発力によってスライドガラス 2を押圧するようになつている。そして、スライドガラス 2が移動させられて、突当部 5aに突き当たると、スライドガラス 2が押圧部材 11と突当部 5aとの間に挟まれるようになっている。

[0031] このとき、短辺側の側面 2bと押圧部材 12とは接触していない。その後、連結リンク 1 4がさらに左方向に移動させられることにより、押圧部材 12がスライドガラス 2の短辺側の側面 2bに接触してこれを押圧するようになって、る。

[0032] 前記押圧部材 11, 12のスライドガラス 2の側面 2a, 2bと接触する先端部は、図 3A 、図 3Bに示されるように、先端に向力つて漸次上向きに傾斜するテーパ面 26を有している。また、前記突当部 5a, 5bにも、図 4A、図 4Bに示されるように、先端に向かつて漸次上向きに傾斜するテーパ面 27が備えられている。テーパ面 26, 27はその高さ方向の途中位置にスライドガラス 2の上面の角部を接触させることができる寸法を有している。各テーパ面 26, 27の傾斜角度は、 45° 以上であることが好ましい。

[0033] このように構成された本実施形態に係るステージ装置 1の作用について以下に説明する。

本実施形態に係るステージ装置 1により、スライドガラス 2を固定するには、まず、手動で、あるいは、搬送アーム 10に搭載して、スライドガラス 2を搭載面 3上に移載する

[0034] 搬送アーム 10としては、例えば、図 5に示されるように、スライドガラス 2の下面を支持する支持部 10aと、該支持部 10aの一端から上方に延びる L字状のアーム部 10b とを備えている。

アーム部 10bは、支持部 10aを片持ち梁状に支持し、図示しない移動機構によって支持部 10aを 3次元的に移動させることができるようになつている。支持部 10aには、図 6および図 7に示されるように、スライドガラス 2の下面を吸着する吸着部 10cが設けられており、搬送時に、スライドガラス 2を吸着部 10cにより吸着して、安定的に搬送することができるようになって!/、る。

[0035] ステージ装置 1においては、操作突起 19に外力をカ卩えて連結リンク 14を移動させ、図 6に示されるように、押圧部材 11, 12を突当部 5a, 5bとの間隔を広げる方向に退避させておく。このとき、スライドガラス 2の短辺側の側面 2bを押圧する押圧部材 12が最初に退避を開始させられる。その後、長辺側の側面 2aを押圧する押圧部材 11が退避させられる。これにより、短辺側の押圧部材 12は長辺側の押圧部材 11よりも大きく退避させられること〖こなる。

[0036] そして、図 5のようにして、支持部 10aにスライドガラス 2を搭載し吸着部 10cによつて吸着した状態で搬送アーム 10によって搬送する。さらに、図 6に示されるように、ステージ装置 1に設けられた搭載面 3に 4隅を接触させた状態で、吸着部 10cによる吸着を解除する。これにより、スライドガラス 2を搬送アーム 10からステージ装置 1の搭載面 3に移載することができる。

搭載面 3にスライドガラス 2を移載した後の搬送アーム 10は、図 7に示されるように、ステージ本体 6に設けた切欠 9からステージ本体 6上方に抜け出して、ステージ装置 1の移動の邪魔にならない位置に退避させられる。

[0037] この状態で、操作突起 19に加えていた外力を解放する。各スライダ 17, 18はスプリング 21, 22の弹発力によって、押圧部材 11 , 12をスライドガラス 2の側面 2a, 2bに向かわせる方向に付勢されているので、外力の解除によって連結リンク 14が移動させられる。

[0038] 連結リンク 14の移動が開始されると、全てのレバー 15, 16の時計回りの揺動が開始され、スライダ 17, 18およびこれに固定されている押圧部材 11, 12が直線移動させられる。スライドガラス 2の短辺側の側面 2bを押圧する押圧部材 12は長辺側の側面 2aを押圧する押圧部材 11よりも大きく退避させられているので、まず、図 8に示されるように、押圧部材 11の先端力 Sスライドガラス 2の長辺側の側面 2aに接触してこれを押圧する。これにより、スライドガラス 2が短辺に沿う方向に移動させられて、スライドガラスの側面 2cが突当部 5aに突き当てられる。

[0039] この場合において、スライドガラス 2は搭載面 3上に自由状態で載置され、長辺側の側面 2aに接触する押圧部材 11のみによって外力を受けるので、搭載面 3との間の摩擦力を除き、他の外力によってその動作を拘束されることなぐ押圧部材 11から受ける外力に倣って移動させられる。そして、押圧部材 11に対向して配置されている突当部 5aに接触し、該突当部 5aと押圧部材 11との間に、スプリング 21の弹発力によつて挟まれるようになる。

[0040] したがって、スライドガラス 2が搭載面 3上で傾斜したまま固定されてしまうことが防止される。また、本実施形態においては、スライドガラス 2の長辺側の側面 2aを押圧する押圧部材 11は長辺側の両端近傍に 2力所設けられているので、スライドガラス 2 は 2つの押圧部材 11によって押圧される。 2つの押圧部材 11は、連結リンク 14、レバ一 15およびスライダ 17によってほぼ同一位置に先端を配置しながら移動するので、スライドガラス 2が水平面内にぉ、て傾斜して、る場合には、最初に!/、ずれか一方の押圧部材 11が長辺側の側面 2aに突き当たる。これにより、スライドガラス 2を水平面内で回転させて姿勢を修正し、最終的に 2つの押圧部材 11と、 2つの突当部 5aとの間に挟まれた状態に位置決めされること〖こなる。

[0041] また、この場合において、長辺側の側面 2cを突き当てる突当部 5aは、スライドガラス 2のほぼ両端近傍の側面を突き当てるように広、スパンをあけて配置されて、る。このため、この突当部 5aにスライドガラス 2の側面 2cを突き当てることでスライドガラス 2 が短辺に沿う方向に精度よく位置合わせされることになる。

[0042] さらに、本実施形態においては、押圧部材 11の先端にテーパ面 26が設けられ、スライドガラス 2の側面 2aは、このテーパ面 26に接触するので、テーパ面 26とスライドガラス 2との接触位置において、押圧力が水平方向の押圧力成分と鉛直方向の押圧力成分とに分配される。すなわち、スライドガラス 2は水平方向の押圧力成分によって側面 2cが突当部 5aに突き当たるまで移動させられる一方、鉛直方向の押圧力成分によって搭載面 3に密着する方向に押し付けられることになる。したがって、搭載面 3 に搭載されたスライドガラス 2が何らかの原因によって鉛直方向に傾斜していた場合であっても、押圧部材 11との接触によって搭載面 3に密着する方向に押されることで、鉛直方向の傾斜が補正される。

[0043] さらに、本実施形態においては、突当部 5aの先端にもテーパ面 27が設けられているので、スライドガラス 2の側面 2cは、このテーパ面 27に接触したときに鉛直方向の押圧力成分を突当部 5a側からも受けることになり、さらに強く搭載面 3に密着させた状態に位置決めされることになる。

[0044] 次いで、連結リンク 14がさらに移動すると、スライドガラス 2の短辺側の側面 2bに押圧部材 12が接触して、これを押圧するようになる。このとき、スライドガラス 2は既に短辺に沿う方向に位置決めされて、るので、押圧部材 12から加えられる押圧力によつて、スライドガラス 2は長辺に沿う方向のみに移動させられる。そして、スライドガラス 2 の側面 2dが突当部 5bに接触した位置でスライドガラス 2が突当部 5bと押圧部材 12との間に挟まれ、長辺に沿う方向にも位置決めされる。

[0045] この場合にお、て、本実施形態に係るステージ装置 1によれば、スライドガラス 2の短辺側の側面 2bを押圧する押圧部材 12は長辺側の側面 2aを押圧する押圧部材 1 1よりも強い弹発力によって押圧されている。このため、既に短辺方向に位置決めされたスライドガラス 2の側面 2a, 2cと押圧部材 11および突当面 5aとの間に生ずる摩擦力に杭してスムーズにスライドガラス 2を移動させることができ、長辺に沿う方向にも精度よく位置決めすることができる。

[0046] また、この場合の押圧部材 12および突当面 5bの先端にもテーパ面 26, 27が設けられているので、スライドガラス 2はさらに強く搭載面 3に密着させられ、鉛直方向にも精度よく水平を保った状態に位置決めされることになる。

また、この場合において、スプリング 21, 22の弹発力がスライドガラス 2の側面 2a, 2bをそれぞれ確実に保持するのに必要最小限に設定されているので、スライドガラス 2の搭載面 3を構成して、るステンレス鋼等のスチール製薄板 7に鉛直方向に作用する力を最小限に抑え、スチール製薄板 7の鉛直方向の歪みの発生を防止してスライドガラスを精度よく固定することができる。

[0047] このように、本実施形態に係るステージ装置 1によれば、スライドガラス 2の長辺側の側面 2aを最初に押圧して位置決めし、次いで、短辺側の側面 2bを押圧して位置決めするように、押圧のタイミングをずらしている。このため、隣接する 2側面 2a. 2bを同時に押圧することにより生ずる不都合、すなわち、水平面内で傾斜して固定されてしまったり、鉛直方向に傾斜してしまったりする不都合の発生を未然に防止し、スライドガラス 2を精度よく位置決め状態に固定することができるという利点がある。 [0048] なお、本実施开態においては、 76mm X 26mm,厚さ 0. 8mm力ら 2. Ommの寸法のスライドガラス 2を位置決め状態に固定するステージ装置 1を例示して説明した 1S 本発明は、これに限定されるものではない。例えば、 76mm X 52mm,厚さ 0. 8 mmから 2. Ommの寸法のスライドガラス 2を固定するステージ装置 1に適用してもよい。また、これに限定されることなく他の寸法のスライドガラス 2を固定するステージ装置 1に適用してもよい。

[0049] また、本実施形態の説明にお、ては、スライドガラス 2の長辺側の側面 2aを最初に押圧することで、長辺側の突当部 5aに長いスパンで突き当てて位置決めすることとした。これに代えて、長いスパンで突き当てる突当部 5aが短辺側に配置されている場合には、短辺側の側面 2bを最初に押圧することとしてもよい。

[0050] また、上記連結リンク 14の操作突起 19に作用させる外力は手動でもよい。また、ステージ装置 1の水平移動によって外部の固定部材（図示略）に操作突起 19を接触させることで外力を作用させることとしてもよい。これにより、スライドガラス 2の装着作業を自動ィ匕することができる。

[0051] また、本実施形態に係るステージ装置 1としては、ステージ本体を駆動する駆動機構（図示略)を備えるものの他、駆動機構により駆動される部材に着脱可能に取り付けられるアダプタ状のものも含まれる。

Claims

請求の範囲

[1] スライドガラスを載置する搭載面と、

該搭載面に載置されたスライドガラスの隣接する 2つの側面を突き当てる突当部と、該突当部に突き当てられる 2つの側面にそれぞれ対向する 2つの側面を突当部方向にそれぞれ押圧する押圧機構とを備え、

該押圧機構が、スライドガラスの 2側面を別々のタイミングで押圧する複数の押圧部材を備えるステージ装置。

[2] 前記突当部が、スライドガラスの 2側面を異なるスパンで突き当て、

前記押圧機構が、長いスパンで前記突当部に突き当てられる側面に対向する側面を押圧した後、短いスパンで前記突当部に突き当てられる側面に対向する側面を押圧する請求項 1に記載のステージ装置。

[3] 前記各押圧部材に、前記スライドガラスの側面を押圧する押圧力を発生する弾性部材が備えられて！/、る請求項 1に記載のステージ装置。

[4] 前記各押圧部材に、前記スライドガラスの側面を押圧する押圧力を発生する弾性部材が備えられ、

短いスパンで前記突当部に突き当てられる側面に対向する側面を押圧する押圧部材の弾性部材が、長いスパンで前記突当部に突き当てられる側面に対向する側面を押圧する押圧部材の弾性部材よりも大きな押圧力を発生する請求項 2に記載のステージ装置。

[5] 前記押圧機構が、前記各押圧部材を連動させるリンク機構を備える請求項 1に記載のステージ装置。

[6] 前記各押圧部材のスライドガラスの側面を押圧する押圧端に、前記搭載面に向かつて漸次後退するテーパ面が備えられて、る請求項 1に記載のステージ装置。