JP6311561B2 - ヘッドスタックアセンブリの製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、ヘッドスタックアセンブリの製造装置に関する。より詳細には、ハードディスク等の記録媒体に対して磁気記録の書き込み及び読み出しを行う磁気ヘッドと称呼される装置を複数備えるヘッドスタックアセンブリの製造装置に関する。

昨今の高記録密度化が進む所謂ハードディスク装置において、ハードディスクの記録密度の向上とハードディスク搭載枚数の増加に伴う薄層化とが進められる共に、該ハードディスクに対する記録の書き込み等を為す磁気ヘッドの小型化も進められている。また、特許文献１に例示されるように、単一のハードディスク装置内に複数枚のハードディスクを配することで記憶容量の増大化が図られた構成も一般化している。この場合、該複数のハードディスクの記録面各々に対して磁気ヘッドを配することを可能とする、複数の磁気ヘッドを一体化したヘッドスタックアセンブリ（以下ＨＳＡと称する）が用いられる。

磁気ヘッドそのものは、電気・磁気変換素子が作りこまれたスライダと称呼される部材からなる。配線等が接続された該スライダは、フレキシャと称呼される弾性を有する薄板状の部材の先端部により支持される。該フレキシャは、更に金属製のロードビームと称呼される部材によって支持され、これらフレキシャ、ロードビーム等は合わせてサスペンションと呼ばれ、スライダ等を含めてヘッドジンバルアセンブリ（以降ＨＧＡと称する。）を構成する。ここで、特許文献２に例示されるように、該サスペンションには、荷重曲げ部と称呼される所定角度折り曲げられる部分が配置されている。高速回転するハードディスクの表面に対して所定の高さを維持してスライダが保持されるためにこの荷重曲げ部の存在は必須である。しかし、従来は、当該荷重曲げ部が形成されたサスペンション上の所定位置にスライダを固定することから、特許文献３に示されるように、曲げ部を一端強制的に水平に戻す等の工程が必要であった。

特開２００７−１６４９６８号公報 特開２００４−０８２１６１号公報 特開２００２−０１５５３４号公報

前述したＨＧＡは、コアが固定される側とは逆の端部にて、ＨＧＡが略延在する方向とは垂直な軸周りに回動するＥブロックと称される剛体に接続されている。従来は、このＨＧＡ単体を製造し、その後これらをＥブロックに対して取付けることにより、磁気記録読み取り等のための前述したＨＳＡを一体部品として組み上げていた。しかし、当該工程の場合、フレキシャへのスライダ取付けの後に種々の工程をＨＧＡが経ることにより、その過程でコアが電気的或いは物理的に破損する可能性が高くなる。また、ＨＳＡ完成後に欠陥が見つけられたＨＧＡについては、Ｅブロックから取り除いたのちに該ＨＧＡの位置に適正なＨＧＡを組み付けることを要するが、当然この操作も新たなＨＧＡ或いは組み付け済のＨＧＡに対して損傷等の可能性を生じさせる。

このため、Ｅブロックに組み付けた後のサスペンションに対してスライダを取付ける工程が提案されている。しかしながら、荷重曲げ部を有するサスペンションに対してスライダを取付ける工程においては、スライダ搭載面が該スライダの搭載装置に対して常に一定の状態とならない。このため、１）位置決め用のマークの形状が変形して撮像されてしまう、２）スライダ固定用の樹脂のフレキシャ上の塗布位置或いは塗布量がばらつく、３）スライダの被搭載面とフレキシャ上の搭載面とが平行とならない、等の事態が生じ、より正確な搭載位置決めへの対応が困難となる恐れがある。

本発明は以上の状況に鑑みて為されたものであり、Ｅブロックに固定されたサスペンションに対して好適な位置決めを行いつつスライダの搭載を可能とするヘッドスタックアセンブリの製造装置の提供を目的とする。

上記課題を解決するために、本発明に係るＨＳＡ製造装置は、荷重曲げ部を有してヘッドスタックアセンブリのＥブロック支持される板状のロードビームに姿勢制御されたフレキシャの搭載面にスライダを搭載するＨＳＡ製造装置であって、スライダを保持してフレキシャのスライダ搭載面にスライダを載置可能なスライダ実装ヘッドと、ロードビームの一部と係合して荷重曲げ部の曲げ方向とは逆方向に向けてロードビームを押圧してフレキシャを所定の平面内に保持可能な荷重曲げ補正部と、荷重曲げ補正部により押圧されたロードビームに支持されたフレキシャの姿勢を検出するフレキシャ姿勢検出手段と、搭載面の位置を求めるためにフレキシャに設けられた基準マークを撮影する基準マーク撮影手段と、を有し、フレキシャ姿勢検出手段は、所定の平面内に含まれる撮影光軸を有する横方向撮影手段と横方向撮影手段により得られた画像を解析する画像解析手段とを有し、荷重曲げ補正部は所定の平面に平行に配置されてロードビームと直接当接する補正部材を有し、補正部材は、ロードビームの先端近傍であって、フレキシャと分離した領域においてロードビームに当接し、補正部材によりロードビームを押圧し、基準マーク撮影手段は、撮影領域に移動されたフレキシャを横方向撮影手段により撮影することで、フレキシャが所定の平面内に配置されたことをフレキシャ姿勢検出手段が検出した場合に、基準マークの撮影を実行し、スライダ実装ヘッドは、基準マークに基づいて算出された搭載位置へのスライダの載置を実行することを特徴とする。

なお、上述したＨＳＡ製造装置においては、ロードビーム及びフレキシャと荷重曲げ補正部との相対位置を変化可能な相対位置変更手段を有し、荷重曲げ補正部は、相対位置変更手段がロードビームと荷重曲げ補正部との相対位置を変更し、荷重曲げ補正部をロードビームに対して移動させることによりロードビームへの押圧を実行することが好ましい。

また、上述したＨＳＡ製造装置においては、スライダを保持してフレキシャのスライダ搭載面にスライダを載置可能なスライダ実装ヘッドを有し、スライダ実装ヘッドは、フレキシャが所定の平面内に配置されたことをフレキシャ姿勢検出手段が検出した場合に、スライダの載置を実行することが好ましい。

或いは、上述したＨＳＡ製造装置においては、スライダを保持してフレキシャのスライダ搭載面にスライダを載置可能なスライダ実装ヘッドを有し、スライダ実装ヘッドは、フレキシャが所定の平面内に配置されたことをフレキシャ姿勢検出手段が検出した場合に、基準マークに基づいて算出された搭載位置へのスライダの載置を実行することがより好ましい。或いは、上述したＨＳＡ製造装置においては、荷重曲げ補正部は所定の平面に平行に配置されてロードビームと直接当接する補正部材を有し、補正部材は、ロードビームの先端近傍であって、フレキシャと分離した領域においてロードビームに当接することがより好ましい。

或いは、上記課題を解決するために、本発明に係るＨＳＡ製造装置は、荷重曲げ部を有してヘッドスタックアセンブリのＥブロック支持される板状のロードビームに姿勢制御されたフレキシャの搭載面にスライダを搭載するＨＳＡ製造装置であって、スライダを保持してフレキシャのスライダ搭載面にスライダを載置可能なスライダ実装ヘッドと、ロードビームの一部と係合して荷重曲げ部の曲げ方向とは逆方向に向けてロードビームを押圧してフレキシャを所定の平面内に保持可能な荷重曲げ補正部と、ロードビーム及びフレキシャと荷重曲げ補正部との相対位置を変化可能な相対位置変更手段と、搭載面の位置を求めるためにフレキシャに設けられた基準マークを撮影する基準マーク撮影手段と、を有し、荷重曲げ補正部は、所定の平面に平行に配置されてロードビームと直接当接する補正部材を有し、補正部材は、ロードビームの先端近傍であって、フレキシャと分離した領域においてロードビームに当接し、相対位置変更手段がロードビームと荷重曲げ補正部との相対位置を変更して、荷重曲げ補正部をロードビームに対して移動させることにより補正部材によるロードビームへの押圧を実行し、基準マーク撮影手段は、撮影領域に移動されたフレキシャを所定の平面内の横方向より撮影することで、荷重曲げ補正部によりフレキシャが所定の平面内に配置されたことが確認された場合に、基準マークの撮影を実行し、スライダ実装ヘッドは、基準マークに基づいて算出された搭載位置へのスライダの載置を実行することを特徴とする。

なお、上述したＨＳＡ製造装置においては、荷重曲げ補正部は所定の平面に平行に配置されてロードビームと直接当接する補正部材を有し、補正部材は、ロードビームの先端近傍であって、フレキシャと分離した領域においてロードビームに当接することが好ましい。

本発明によれば、Ｅブロックに固定されたサスペンション各々に対して好適な位置決めを行いつつスライダを搭載することが可能となる。

本発明のＨＳＡ製造装置が対象とするアセンブリ及びＨＳＡ製造装置の主要とを模式的に示す側面図である。 本発明の第一の実施形態に係るＨＳＡ製造方法の各工程を各々模式的に示す図である。 本発明の一実施形態に係るＨＳＡ製造装置の概略構成を模式的に示す図である。

本発明の説明に際し、実際にスライダが搭載される状態にある、本発明が対象とするロードビームとフレキシャとの位置関係について先に述べる。なお、本発明は、荷重曲げ部が形成され且つＥブロックに支持されたロードビームと、該ロードビームに配されたディンプルによって姿勢制御されるフレキシャが対象となる。本発明に係るＨＳＡ製造装置は、このフレキシャにおける搭載面にスライダを搭載することを目的とする。

図１はＨＳＡにおいて対向して配置される一組のＨＧＡの製造工程において、スライダ搭載前のロードビーム及びフレキシャを側方から見た状態を模式的に示している。ロードビーム１２は弾性を有する薄板状の金属から構成される。また、その先端部に外部荷重を受けるためのタブ１２ａと、一平面側につきだす球面からなるディンプル１２ｂと、を有する。フレキシャ１１は部分的にロードビーム１２に固定され、ディンプル１２ｂ近傍において分離されて、該ディンプル１２ｂによってロードビーム１２より所定の角度にて離間する。後述するようにスライダは該フレキシャ１１においてディンプル１２ｂに支持される面の反対側に取付けられる。これらフレキシャ１１及びロードビーム１２によりサスペンション１６が構成される。

本発明が対象とするＨＳＡでは、フレキシャ１１に取付けられたスライダが対向するようにＨＧＡ、即ちサスペンション１６が対となって配置される。図１（ａ）に示すように、一対のフレキシャ１１が先端部に至るにつれて互いの距離が近づくように配置されている。また、前述したように、ロードビーム１２は、不図示の水平線に対してフレキシャ１１の取付け側に曲がるように不図示の荷重曲げ部が作りこまれている。従って、図示される一対のロードビーム１２各々のロードビーム延在線２８は、タブ１２ａに近づくに従ってその距離が近づく。

以上の位置関係を維持しつつフレキシャ１１にスライダ１３（図２参照）の取付けを可能とする本発明の一実施形態について、以下に図面を参照して説明する。前述したように、ロードビーム１２には荷重曲げ部（不図示）が存在し、このために該ロードビーム１２の先端近傍の延在方向を示す延在線２８は水平方向に対して所定角度傾斜している。また、実際にスライダ１３が固定されるフレキシャ１１には、ディンプル１２ｂによって更なる傾斜が加えられている。本発明ではこの状態にあるフレキシャ１１に対するスライダ１３の搭載を目的としているが、課題として述べているように、この傾斜によって適切な搭載が困難となる可能性が高い。本発明では、ロードビーム１２に設けられたタブ１２ａを利用し、当該タブ１２ａに対して当接させる補正部材１４を用いて、この傾斜の補正を行うこととしている。

本実施形態では、補正部材１４として、直径０．３ｍｍの丸棒を用いている。例えば、図１（ａ）に示すように、該補正部材１４をタブ１２ａに当接させる。この状態より、更に図１（ｂ）に示すように、荷重曲げ部の曲げを補正する図中矢印方向に、補正部材１４にてタブ１２ａを押圧する。これによって、ロードビーム１２の延在線２８を水平に近づけ、ひいてはフレキシャ１１の姿勢を制御することが可能となる。なお、該補正部材１４はロードビーム１２に直接当接する部材であって、後述する荷重曲げ補正部の一部を構成する。

なお、本実施形態では、例えば対向するスライダの間隔が１ｍｍ前後のＨＳＡの製造を目的としている。従って、当該間隔に侵入容易である補正部材１４として径の小さな丸棒を用いているが、その形状はこれに限定されない。向かい合い互いに近接するロードビーム１２の間に入り込み、且つその一方に当接可能であることから棒状であることが好ましいが、当該条件を満たせば、種々の形状とすることが可能である。また、該補正部材１４は紙面即ち対向する延在線２８を含む平面に垂直な方向に延在することで該補正部材１４の配置空間をコンパクトとしている。即ち、本実施形態では、補正部材１４は所定の平面である水平面に平行に配される。しかし、荷重曲げ部等の曲がりの補正が可能であれば、延在方向等は種々の角度とすることが可能である。更には、先端部より延在線２８に沿って補正部材を配置し、該延在線２８に沿って該補正部材を進退させる態様としても良い。

また、本実施形態では、補正部材１４と係合するロードビーム１２上の部位としてタブ１２ａを用いている。該タブ１２は、ＨＳＡが搭載されたハードディスクドライブが稼働する際に用いられる構造物であるが、これに補正部材１４を当接させる態様が配置上及び効率上等の観点から好適である。しかし、荷重曲げ部の曲がりを修正し且つフレキシャ１１のスライダ載置面を水平に維持可能であれば、補正部材１４の係合位置はタブ１２ａに限定されない。例えば図１（ａ）におけるタブ１２の配置とは逆側等、荷重曲げ部により近い位置に対して補正部材１４が当接することとしても良い。好適には、フレキシャ１１に負荷を与えないように、ロードビーム１２の先端近傍であって、フレキシャ１１と分離された領域において補正部材１４が当接することが望ましい。

次に、以上に述べた補正部材１４を有したＨＳＡ製造装置によるスライダ１３のフレキシャ１１への取付け工程について、図２を参照して説明する。なお、図２は、図１と同様の様式にて取付け工程の各段階における諸構成の位置関係等を模式的に示している。まずステップ１において、スライダ１３の搭載対象となるフレキシャ１１及びロードビーム１２が撮影領域２５内に配置されるように横カメラ４１（図３参照）とロードビーム１２等との相対位置を調整する。調整後、横カメラ４１が撮影領域２５内の構成を撮影する。撮影結果は画像解析され、水平線２６とロードビーム１２の延在線２８との角度θである荷重曲げ角度或いはフレキシャ１１の延在方向と水平線とのなす角が検出される。同時に、向かい合った一対のフレキシャ１１の間の間隔、及びスライダ取付け対象側のロードビーム１２のタブ１２ａの配置を求め、補正部材１４の挿入位置を算出する。

ステップ２では、ステップ１において算出された挿入位置に補正部材１４が位置するように、スライダ取付け前のＨＳＡを保持するテーブル部６１（図３参照）と補正部材１４との相対位置を変化させる。この操作により、補正部材１４は、図中ステップ２に示されるようにタブ１２上に近接する位置に配置される。その後、テーブル部６１と補正部材１４とは更に相対位置を変化させ、補正部材１４をタブ１２に当接させた後、不図示の荷重曲げ部の曲がりを戻す方向（図中矢印にて示す下方向）に該タブ１２を押圧する。この押圧操作は、ステップ３に示すように、フレキシャ１１におけるスライダ搭載面が水平線２６と平行となる或いは一致するまで継続される。具体的な操作としては、例えばスライダ搭載面を含むフレキシャ１１の先端部及びその近傍であってロードビーム１２より離間している部分の延在方向を画像より求め、当該方向が水平線２６と平行となるか否か等を検知する。しかし、フレキシャ１１におけるスライダ１３搭載面が水平姿勢にあることが検知できれば、検知様式はこれに限定されない。なお、この一致等の検知は、横カメラ４１により撮影領域２５についての画像処理を連続的に行うことによって実行される。該横カメラ４１は、本発明において、水平面に含まれる撮影光軸を有する横方向撮影手段として機能する。また、前述した検知等は、該横方向撮影手段により得られた画像を解析する不図示の画像解析手段による公知の画像解析法を用いて実行される。

フレキシャ１１上には、スライダ１３の搭載位置を算出するための少なくとも二つの基準点を得るための基準マークが存在する。本実施形態では、これら二つの基準点算出のための第一の基準マーク３１及び第二の基準マーク３３として二つの穴が設けられている。基準点はスライダ１３の搭載位置を算出するために用いられる。即ち、フレキシャ１１の搭載面を平面座標系とした場合の、該平面座標上のＸＹ値と該座標系に対する傾き角であるθ値を決定できればよく、基準点を形成する基準マークの形状や数量は問わない。ステップ３に示すフレキシャ１１先端部近傍が水平となることにより、搭載位置と共に基準マークも水平面内にて整列することとなる。これにより、基準マークを撮影する際に、フレキシャ１１の傾き等による基準マーク個々の歪みや焦点ずれを考慮する必要がなくなる。ステップ３に示す状態が得られた後、ステップ４において、下カメラ１９（図３参照）により、スライダ搭載面におけるこれら第一の基準マーク３１及び第二の基準マーク３３を撮影する。撮影された画像中のこれら基準マークに基づいて、スライダ１３のフレキシャ１１上の搭載位置が算出される。なお、該下カメラ１９は、本発明において、搭載面の位置を求めるためにサスペンション１６に設けられた基準マークを撮影する基準マーク撮影手段を構成する。該基準マーク撮影手段は、フレキシャ１１が所定の平面である水平面内に配置されることが横カメラ４１等を介して検出された場合に、該基準マークの撮影を実行する。

ここで、フレキシャ１１は水平線２６と平行の状態が維持されており、スライダ１３の被搭載面も該水平線２６に対して平行となるよう、該スライダ１３の保持姿勢が修正等されている。この状態を維持することによって、前述した荷重曲げ部の存在に依存する前述した三つの課題はすべて解消されることとなり、好適な搭載が可能となる条件が充足される。搭載位置算出後、ステップ５においてチャック２１に保持されたスライダ１３が搬送されてくる。なおこの段階で、スライダ１３とフレキシャ１１上の搭載面とが接着可能となるように、これらの間に樹脂等の接着剤が供給されている。ステップ６では、フレキシャ１１上の搭載位置に対してスライダ１３が当接され、その後チャック２１がスライダ１３を開放する。以上の操作により、スライダ１３の取付け工程が終了する。

以上に述べた本発明の一実施形態であるＨＳＡ製造装置を用いることにより、Ｅブロックに対するロードビームやフレキシャ等の取付け終了後にスライダを好適に搭載することが可能となる。よって、Ｅブロック取付け後にスライダ１３の取付け工程を行うことが可能となり、スライダ実装後のフレキシャを取り扱う工程を減少させることも可能となる。その結果、フレキシャの取り扱い時に生じる可能性のあるスライダへのダメージの負荷をなくし、ＨＳＡの製造効率の向上が望める。また、最終検査段階で不良とされたスライダ単体の取外し及び新たなスライダの実装も本装置により対応することが可能となり、ＨＳＡ状態での再生率の向上も望める。なお、図２においては対向するサスペンション１６等は省略して示されているが、実際の工程ではこれらは存在しており、チャック２１等も対向するサスペンション１６間に侵入して該取付け工程が可能な構造であることは言うまでもない。

以上に述べた本発明の主たる構成についてまとめる。なお、ロードビーム１２は荷重曲げ方向として定義される特定の方向への曲がり（荷重曲げ部）を有している。荷重曲げ補正部は、ロードビーム１２の一部であるタブ１２ａと係合して、この曲げ方向とは逆方向にロードビーム１２を押圧する。これによってフレキシャ１１は所定の平面である水平面内に保持される。荷重曲げ補正部は、フレキシャ１１を水平面内に保持可能な構成として定義される。また、横カメラ４１は、画像処理をする不図示の制御装置を含めてロードビームに支持されたフレキシャの姿勢を検出するフレキシャ姿勢検出手段を構成する。

次に、これら構成を包含するＨＳＡ製造装置の具体的な構成について説明する。図３は、先の実施形態で述べた補正部材１４を包含するＨＳＡ製造装置を模式的に示した平面図である。なお、本実施例では、対向するフレキシャ１１間に挿入可能なミラーと、図２等に示す水平線に沿った光軸を有するカメラとによって前述した二つの基準マークを撮像することとしている。この場合、図２のステップ４において、フレキシャ１１の間に該ミラー１５が挿入され、カメラ１７が該ミラー１５を介して第一の基準マーク３１及び第二の基準マーク３３を撮影することとなる。当該態様とすることにより、例えば図１に示したサスペンション１６の対が複数ある場合であっても、個々の搭載位置を容易に算出することが可能となる。

本発明の一実施形態に係るＨＳＡ製造装置１００は、カメラ１７、下カメラ１９、横カメラ４１、荷重曲げ補正部４２、パレット供給部４７、パレット排出部４９、スライダ実装ヘッド５１、スライダ供給部５７、樹脂塗布部５９、パレットテーブル６１、ミラー部６３、及びパレット搬送部５３、５５を有する。荷重曲げ補正部４２は、パレットテーブル６１等と連動してＸＹＺ方向の相対位置が変更可能となっており、前述した補正部材１４を支持する。また、荷重曲げ補正部４２は、独立してＸＹＺ方向の位置変更も可能である。該補正部材１４は、このパレットテーブル６１等との連動により、前述した図２における各ステップでの動作を実行する。即ち、荷重曲げ補正部４２を駆動する構成とパレットテーブル６１を駆動する構成とは、合わせて、ロードビーム１２及びフレキシャ１１と荷重曲げ補正部４２との相対位置を変化可能な相対位置変更手段を構成する。なお、該相対位置変更手段は、公知のＸＹＺの駆動機構から構築することが可能である。また、荷重曲げ補正部４２を駆動する構成とパレットテーブル６１等を駆動する構成との両者から相対位置変更手段を構成せず、これらの一方のみから相対位置変更手段を構築することも可能である。

ミラー部６３は、前述したカメラ１７とミラー１５とを備え、水平方向での位置関係、及びカメラ１７の撮影光軸方向のミラー１５とのカメラ１７との距離とが規定された一体構造とされている。横カメラ４１は、前述した撮影領域２５を撮影する本実施形態では、下カメラ１９はスライダ１３のチャック２１による把持姿勢を検知する。パレット供給部４７には、Ｅブロック３５にサスペンション１６が固定されたスライダ取付け前ＨＳＡが複数個載置されたパレットが供給される。該パレットはパレット搬送部５５を経てパレットテーブル６１に載置される。その際、樹脂塗布部５９によってフレキシャ１１上のスライダ１３の略固定位置に樹脂の塗布がなされる。

スライダ供給部５７は、スライダトレイ４５上に載置されている取付け予定のスライダ１３を供給する。スライダ実装ヘッド５１は、前述したチャック２１を有する。該スライダ１３はスライダ供給部５７より取出された後、一旦仮置きステージ上に仮置きされ、チャック２１による把持がなされる。パレットテーブル６１上のスライダ取付け前ＨＳＡはパレットテーブル６１によって移動され、横カメラ４１による水平位置検出、及びミラー部６３による基準マーク３１、３３に基づく基準点の検出が行われる。同時にチャック２１に把持されたスライダ１３の把持姿勢等が下カメラ１９によって検知される。その後、フレキシャ１１に対するスライダ１３の取付けが、チャック２１によって実行される。全てのフレキシャ１１にスライダ１３が取付けられた後、ＨＳＡはパレット搬送部５３を介してパレット排出部４９に搬送される。パレット排出部４９にパレットごと搬送された各ＨＳＡは、その後の検査工程等に運ばれる。

以上のＨＳＡ製造装置を用いることによって、微小な間隔を空けて配置される複数のサスペンション１６各々に対して、荷重曲げ部を好適に補正しつつスライダを搭載することが可能となる。なお、ここで例示したＨＳＡ製造装置における補正部材１４とスライダ取付け前のフレキシャ１１との相対位置の変化及びその検出に関する横カメラを含めた機構は、公知の種々の構成への置き換えが可能である。また、Ｅブロックと他の構成との相対移動についても、公知のスライダ駆動装置、モータ、等、駆動範囲と必要な停止精度が得られれば種々の駆動装置の使用が可能である。

以上述べたように、本発明は所謂磁気ヘッドの製造装置として好適である。しかし、１ｍｍ程度の狭い間隔を保持して配置される板状の部材に対して、位置精度良く部材を搭載する工程であれば、本装置等を適用することも可能である。

１１：フレキシャ、 １２：ロードビーム、 １２ａ：タブ、 １２ｂ：ディンプル、 １３：スライダ、 １４：補正部材、 １５：ミラー、 １６：サスペンション １７：カメラ、 １９：下カメラ、 ２１：チャック、 ２３：撮影光、 ２５：撮影領域、 ２６：水平線、 ２８：ロードビーム延在線、 ３１：第一の基準マーク、 ３３：第二の基準マーク、 ３５：Ｅブロック、 ４１：横カメラ、 ４２：荷重曲げ補正部、 ４５：スライダトレイ、 ４７：パレット供給部、 ４９：パレット排出部、 ５１：スライダ実装ヘッド、 ５３、５５：パレット搬送部、 ５７：スライダ供給部、 ５９：樹脂塗布部、 ６１：パレットテーブル、 ６３：ミラー部

Claims (3)

1. 荷重曲げ部を有してヘッドスタックアセンブリのＥブロックに支持される板状のロードビームに姿勢制御されたフレキシャの搭載面にスライダを搭載するヘッドスタックアセンブリ製造装置であって、
   前記スライダを保持して前記フレキシャのスライダ搭載面に前記スライダを載置可能なスライダ実装ヘッドと、
   前記ロードビームの一部と係合して前記荷重曲げ部の曲げ方向とは逆方向に向けて前記ロードビームを押圧して前記フレキシャを所定の平面内に保持可能な荷重曲げ補正部と、
   前記荷重曲げ補正部により押圧された前記ロードビームに支持された前記フレキシャの姿勢を検出するフレキシャ姿勢検出手段と、
   前記搭載面の位置を求めるために前記フレキシャに設けられた基準マークを撮影する基準マーク撮影手段と、を有し、
   前記フレキシャ姿勢検出手段は、前記所定の平面内に含まれる撮影光軸を有する横方向撮影手段と前記横方向撮影手段により得られた画像を解析する画像解析手段とを有し、
   前記荷重曲げ補正部は前記所定の平面に平行に配置されて前記ロードビームと直接当接する補正部材を有し、前記補正部材は、前記ロードビームの先端近傍であって、前記フレキシャと分離した領域において前記ロードビームに当接し、前記補正部材により前記ロードビームを押圧し、
   前記基準マーク撮影手段は、撮影領域に移動された前記フレキシャを前記横方向撮影手段により撮影することで、前記フレキシャが前記所定の平面内に配置されたことを前記フレキシャ姿勢検出手段が検出した場合に、前記基準マークの撮影を実行し、
   前記スライダ実装ヘッドは、前記基準マークに基づいて算出された搭載位置への前記スライダの載置を実行することを特徴とするヘッドスタックアセンブリ製造装置。
2. 前前記ロードビーム及び前記フレキシャと前記荷重曲げ補正部との相対位置を変化可能な相対位置変更手段を有し、
   前記荷重曲げ補正部は、前記相対位置変更手段が前記ロードビームと前記荷重曲げ補正部との相対位置を変更し、前記荷重曲げ補正部を前記ロードビームに対して移動させることにより前記ロードビームへの押圧を実行することを特徴とする請求項１に記載のヘッドスタックアセンブリ製造装置。
3. 荷重曲げ部を有してヘッドスタックアセンブリのＥブロック支持される板状のロードビームに姿勢制御されたフレキシャの搭載面にスライダを搭載するヘッドスタックアセンブリ製造装置であって、
   前記スライダを保持して前記フレキシャのスライダ搭載面に前記スライダを載置可能なスライダ実装ヘッドと、
   前記ロードビームの一部と係合して前記荷重曲げ部の曲げ方向とは逆方向に向けて前記ロードビームを押圧して前記フレキシャを所定の平面内に保持可能な荷重曲げ補正部と、
   前記ロードビーム及び前記フレキシャと前記荷重曲げ補正部との相対位置を変化可能な相対位置変更手段と、
   前記搭載面の位置を求めるために前記フレキシャに設けられた基準マークを撮影する基準マーク撮影手段と、を有し、
   前記荷重曲げ補正部は、前記所定の平面に平行に配置されて前記ロードビームと直接当接する補正部材を有し、前記補正部材は、前記ロードビームの先端近傍であって、前記フレキシャと分離した領域において前記ロードビームに当接し、 前記相対位置変更手段が前記ロードビームと前記荷重曲げ補正部との相対位置を変更して、前記荷重曲げ補正部を前記ロードビームに対して移動させることにより前記補正部材による前記ロードビームへの押圧を実行し、
   前記基準マーク撮影手段は、撮影領域に移動された前記フレキシャを前記所定の平面内の横方向より撮影することで、前記荷重曲げ補正部により前記フレキシャが前記所定の平面内に配置されたことが確認された場合に、前記基準マークの撮影を実行し、
   前記スライダ実装ヘッドは、前記基準マークに基づいて算出された搭載位置への前記スライダの載置を実行することを特徴とするヘッドスタックアセンブリ製造装置。

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