JP6311561B2 - ヘッドスタックアセンブリの製造装置 - Google Patents
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- 荷重曲げ部を有してヘッドスタックアセンブリのEブロックに支持される板状のロードビームに姿勢制御されたフレキシャの搭載面にスライダを搭載するヘッドスタックアセンブリ製造装置であって、
前記スライダを保持して前記フレキシャのスライダ搭載面に前記スライダを載置可能なスライダ実装ヘッドと、
前記ロードビームの一部と係合して前記荷重曲げ部の曲げ方向とは逆方向に向けて前記ロードビームを押圧して前記フレキシャを所定の平面内に保持可能な荷重曲げ補正部と、
前記荷重曲げ補正部により押圧された前記ロードビームに支持された前記フレキシャの姿勢を検出するフレキシャ姿勢検出手段と、
前記搭載面の位置を求めるために前記フレキシャに設けられた基準マークを撮影する基準マーク撮影手段と、を有し、
前記フレキシャ姿勢検出手段は、前記所定の平面内に含まれる撮影光軸を有する横方向撮影手段と前記横方向撮影手段により得られた画像を解析する画像解析手段とを有し、
前記荷重曲げ補正部は前記所定の平面に平行に配置されて前記ロードビームと直接当接する補正部材を有し、前記補正部材は、前記ロードビームの先端近傍であって、前記フレキシャと分離した領域において前記ロードビームに当接し、前記補正部材により前記ロードビームを押圧し、
前記基準マーク撮影手段は、撮影領域に移動された前記フレキシャを前記横方向撮影手段により撮影することで、前記フレキシャが前記所定の平面内に配置されたことを前記フレキシャ姿勢検出手段が検出した場合に、前記基準マークの撮影を実行し、
前記スライダ実装ヘッドは、前記基準マークに基づいて算出された搭載位置への前記スライダの載置を実行することを特徴とするヘッドスタックアセンブリ製造装置。 - 前前記ロードビーム及び前記フレキシャと前記荷重曲げ補正部との相対位置を変化可能な相対位置変更手段を有し、
前記荷重曲げ補正部は、前記相対位置変更手段が前記ロードビームと前記荷重曲げ補正部との相対位置を変更し、前記荷重曲げ補正部を前記ロードビームに対して移動させることにより前記ロードビームへの押圧を実行することを特徴とする請求項1に記載のヘッドスタックアセンブリ製造装置。 - 荷重曲げ部を有してヘッドスタックアセンブリのEブロック支持される板状のロードビームに姿勢制御されたフレキシャの搭載面にスライダを搭載するヘッドスタックアセンブリ製造装置であって、
前記スライダを保持して前記フレキシャのスライダ搭載面に前記スライダを載置可能なスライダ実装ヘッドと、
前記ロードビームの一部と係合して前記荷重曲げ部の曲げ方向とは逆方向に向けて前記ロードビームを押圧して前記フレキシャを所定の平面内に保持可能な荷重曲げ補正部と、
前記ロードビーム及び前記フレキシャと前記荷重曲げ補正部との相対位置を変化可能な相対位置変更手段と、
前記搭載面の位置を求めるために前記フレキシャに設けられた基準マークを撮影する基準マーク撮影手段と、を有し、
前記荷重曲げ補正部は、前記所定の平面に平行に配置されて前記ロードビームと直接当接する補正部材を有し、前記補正部材は、前記ロードビームの先端近傍であって、前記フレキシャと分離した領域において前記ロードビームに当接し、 前記相対位置変更手段が前記ロードビームと前記荷重曲げ補正部との相対位置を変更して、前記荷重曲げ補正部を前記ロードビームに対して移動させることにより前記補正部材による前記ロードビームへの押圧を実行し、
前記基準マーク撮影手段は、撮影領域に移動された前記フレキシャを前記所定の平面内の横方向より撮影することで、前記荷重曲げ補正部により前記フレキシャが前記所定の平面内に配置されたことが確認された場合に、前記基準マークの撮影を実行し、
前記スライダ実装ヘッドは、前記基準マークに基づいて算出された搭載位置への前記スライダの載置を実行することを特徴とするヘッドスタックアセンブリ製造装置。
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