JP6226204B2 - ヘッドスタックアセンブリ製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、ヘッドスタックアセンブリの製造装置に関する。より詳細には、ハードディスク等の記録媒体に対して磁気記録の書き込み及び読み出しを行う磁気ヘッドと称呼される装置を複数備えるヘッドスタックアセンブリの製造装置に関する。

昨今の高記録密度化が進む所謂ハードディスク装置において、ハードディスクの記録密度の向上とハードディスク搭載枚数の増加に伴う薄層化とが進められる共に、該ハードディスクに対する記録の書き込み等を為す磁気ヘッドの小型化も進められている。また、特許文献１に例示されるように、単一のハードディスク装置内に複数枚のハードディスクを配することで記憶容量の増大化が図られた構成も一般化している。この場合、該複数のハードディスクの記録面各々に対して磁気ヘッドを配することを可能とする、複数の磁気ヘッドを一体化したヘッドスタックアセンブリ（以下ＨＳＡと称する）が用いられる。

磁気ヘッドそのものは、電気・磁気変換素子が作りこまれたスライダと称呼される部材からなる。配線等が接続された該スライダは、フレキシャと称呼される弾性を有する薄板状の部材の先端部により支持される。該フレキシャは、更に金属製のロードビームと称呼される部材によって支持され、これらフレキシャ、ロードビーム等は合わせてサスペンションと呼ばれ、スライダ等を含めてヘッドジンバルアセンブリ（以降ＨＧＡと称する。）を構成する。ここで、特許文献２に例示されるように、該サスペンションには、荷重曲げ部と称呼される所定角度折り曲げられる部分が配置されている。高速回転するハードディスクの表面に対して所定の高さを維持してスライダが保持されるためにこの荷重曲げ部の存在は必須である。しかし、従来は、当該荷重曲げ部が形成されたサスペンション上の所定位置にスライダを固定することから、特許文献３に示されるように、曲げ部を一端強制的に水平に戻す等の工程が必要であった。

特開２００７−１６４９６８号公報 特開２００４−０８２１６１号公報 特開２００２−０１５５３４号公報

前述したＨＧＡは、スライダが固定される側とは逆の端部にて、ＨＧＡが略延在する方向とは垂直な軸周りに回転するＥブロックと称される剛体に接続されている。従来は、このＨＧＡ単体を製造し、その後これらをＥブロックに対して取り付けることにより、磁気記録読み取り等のための前述したＨＳＡを一体部品として組み上げていた。しかし、当該工程の場合、フレキシャへのスライダ取り付けの後に種々の工程をＨＧＡが経ることにより、その過程でスライダが電気的或いは物理的に破損する可能性が高くなる。また、ＨＳＡ完成後に欠陥が見つけられたＨＧＡについては、Ｅブロックから取り除いたのちに該ＨＧＡの位置に適正なＨＧＡを組み付けることを要するが、当然この操作も新たなＨＧＡ或いは組み付け済のＨＧＡに対して損傷等の可能性を生じさせる。

このため、Ｅブロックに組み付けた後のサスペンションに対して接着によってスライダを取り付ける工程が提案されている。しかしながら、既にＥブロックに組み付けられたサスペンションに対してスライダを取り付ける工程においては、ＨＧＡ単体にスライダ搭載時に接着物を介してＨＧＡ単体に係る搭載方向の力によってＨＧＡが撓むのを緩和させる固定の受けを配する事は困難である。

本発明は以上の状況に鑑みて為されたものであり、Ｅブロックに固定されたサスペンションに対してスライダを取り付ける工程において、スライダ搭載時に接着物を押し潰して所定厚さまで該接着物が押し潰される時間を短縮しつつ、搭載方向の力と同じ方向に対向したサスペンションと接触をする事を回避しつつ搭載を可能とするヘッドスタックアセンブリの製造装置の提供を目的とする。

上記課題を解決するために、本発明に係わるヘッドスタックアセンブリ製造装置は、荷重曲げ部を有してヘッドスタックアセンブリのＥブロックに支持される複数の板状のロードビーム各々に姿勢制御されたフレキシャの搭載面にスライダを搭載するヘッドスタックアセンブリ製造装置であって、スライダ搭載時に係る搭載方向の力によってＨＧＡにおいてロードビームが撓むのを制限するロードビーム支持部を有することを特徴とする。この特徴により、接着物の潰れが促進され、搭載時間を短縮する事が可能となる。

なお、上述したヘッドスタックアセンブリ製造装置においては、ロードビームの荷重曲げ部によって為されたフレキシャのスライダ載置面を、好適にスライダを載置可能な搭載予定面内に配置されるように補正する荷重曲げ補正部とを有することを特徴とする。

また、上述したヘッドスタックアセンブリ製造装置においては、荷重曲げ補正部により押圧されたロードビームに支持されたフレキシャの姿勢を検出するフレキシャ姿勢検出手段を有することが好ましい。或いは、該ヘッドスタックアセンブリ製造装置においては、荷重曲げ補正部により押圧されたロードビームの姿勢を検出するフレキシャ姿勢検出手段と、ロードビームを押圧してフレキシャの位置を変化させる荷重曲げ補正部とロードビーム支持部との相対位置を変化可能な相対位置変更手段を有し、ロードビーム支持部とロードビームとの相対位置が常に一定量に保たれた状態で搭載される事が好ましい。

荷重曲げ補正部は、相対位置変更手段がロードビームと荷重曲げ補正部との相対位置を変更して荷重曲げ補正部をロードビームに対して移動させることにより荷重曲げ補正部によるロードビームへの押圧を実行することが好ましい。また、フレキシャ姿勢検出手段は、搭載予定面に平行な撮影光軸を有する横方向撮影手段と横方向撮影手段により得られた画像を解析する画像解析手段とを有し、フレキシャの姿勢を検出する際に、相対位置変更手段はフレキシャを撮影手段の撮影領域に移動させることが好ましい。

或いは、上述したヘッドスタックアセンブリ製造装置においては、搭載面の位置を求めるためにフレキシャに設けられた基準マークを撮影する基準マーク撮影手段を有し、基準マーク撮影手段は、フレキシャが搭載予定面内に配置されたことをフレキシャ姿勢検出手段が検出した場合に、基準マークの撮影を実行することが好ましい。或いは、上述したヘッドスタックアセンブリ製造装置においては、スライダを保持してフレキシャのスライダ実装ヘッドを有し、スライダ実装ヘッドは、フレキシャが搭載予定面内に配置されたことをフレキシャ姿勢検出手段が検出した場合に、スライダの載置を実行することが好ましい。

或いは、上述したヘッドスタックアセンブリ製造装置においては、スライダを保持してフレキシャのスライダ搭載面にスライダを載置可能なスライダ実装ヘッドを有し、スライダ実装ヘッドは、フレキシャが搭載予定面内に配置されたことをフレキシャ姿勢検出手段が検出した場合に、基準マークに基づいて算出された搭載位置へのスライダの載置を実行することがより好ましい。

また、上述したヘッドスタックアセンブリ製造装置においては、荷重曲げ補正部によって、ロードビームの一部と係合して荷重曲げ部の曲げ方向とは逆方向に向けてロードビームを押圧してフレキシャを搭載予定面内に保持可能な荷重曲げ補正部と、ロードビーム及びフレキシャを押圧して位置を変化させる荷重曲げ補正部と前記ロードビーム支持部の相対位置を変化可能な相対位置変更手段を有し、荷重曲げ補正部は、相対位置変更手段がロードビームと荷重曲げ補正部との相対位置を変更して荷重曲げ補正部をロードビームに対して移動させることにより荷重曲げ補正部によるロードビームへの押圧を実行することがより好ましい。

或いは、上述したヘッドスタックアセンブリ製造装置においては、ロードビーム支持部は搭載予定面と平行に配置されてロードビームと直接当接する支持部材を有し、支持部材は、ロードビーム面内の荷重曲げ部よりも先端方向を支持することがより好ましい。

或いは、上記解題を解決するために、本発明に係わるヘッドスタックアセンブリ製造装置は、荷重曲げ部を有してヘッドスタックアセンブリのＥブロック支持される複数の板状のロードビーム各々に姿勢制御されたフレキシャの搭載面にスライダを搭載するヘッドスタックアセンブリ製造装置であって、荷重曲げ部の曲げ方向とは逆方向にロードビームを押圧してフレキシャの位置を変化させる荷重曲げ補正部と、スライダ搭載時に接着物を介して係る力を受け、ロードビームの一部と係合して位置が変化されたフレキシャを、ロードビームを介して搭載予定面内で支持するロードビーム支持部と、荷重曲げ補正部とロードビーム支持部との相対位置を変化可能な相対位置変更手段と、を有し、ロードビーム支持部は相対位置変更手段により、ロードビーム支持部とロードビームが当接する箇所との相対位置関係を一定に保った状態でスライダの載置を実行することを特徴とする。この特徴により、フレキシャの取扱い時に生じる可能性のあるスライダへのダメージの負荷をなくすことが可能となる。

なお、上述したヘッドスタックアセンブリ製造装置においては、ロードビーム支持部は搭載予定面に平行に配置されてロードビームと直接当接する支持部材を有し、支持部材は、荷重曲げ部よりも先端方向にあって、スライダの載置実行中に、スライダとロードビーム支持部による挟み込みで、でディンプルが損傷しない箇所に配する事が好ましい。

本発明によれば、Ｅブロックに固定されたサスペンション各々に対して搭載時間を短縮しつつ、係る力の方向に対向したサスペンションとの接触を避けつつ、スライダを搭載することが可能となる。

本発明のＨＳＡ製造装置が対象となるアセンブリ及びＨＳＡ製造装置の主要動作を模式的に示す側面図である。 本発明の第一の実施形態に係わるＨＳＡ製造方法の各工程を各々模式的に示す図である。 本発明の一実施形態に係わるＨＳＡ製造装置の概略構成を模式的に示す図である。

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。また、上下左右等の位置関係は、相対的なものであり特に限定されず、以下の説明では、図面の上下左右に基づき説明する。さらに、図面の寸法比率は、図示の比率に限定されるものではない。また、以下の実施の形態は、本発明を説明するための例示であり、本発明はその実施の形態のみに限定されるものではない。

本発明の説明に際し、実際にスライダが搭載される状態にある、本発明が対象とするロードビームとフレキシャとの位置関係について先に述べる。なお、本発明は、荷重曲げ部が形成され且つＥブロックに支持されたロードビームと、該ロードビームに配されたディンプルによって姿勢制御されるフレキシャが対象となる。本発明に係わるＨＳＡ製造装置は、このフレキシャにおける搭載面にスライダを搭載することを目的とする。

図１はＨＳＡにおいて対向して配置される一組のＨＧＡの製造工程において、スライダ搭載前のロードビーム及びフレキシャを側方から見た状態を模式的に示している。ロードビーム１２は弾性を有する薄板状の金属から構成される。また、一平面側につきだす球面からなるディンプル１２ａと、を有する。フレキシャ１１は部分的にロードビーム１２に固定されディンプル１２ａ近傍において分離されて、該ディンプル１２ａによってロードビーム１２より所定の角度にて離間する。後述するようにスライダを該フレキシャ１１及びロードビーム１２によりサスペンション１６が構成される。

本発明が対象とするＨＳＡでは、フレキシャ１１に取り付けられたスライダが対向するようにＨＧＡ、即ちサスペンション１６が対となって配置される。図１（ａ）に示すように、一対のフレキシャ１１が先端部に至るにつれて互いの距離が近づくように配置されている。また、前述したように、ロードビーム１２は、不図示のＥブロックに支持されている該サスペンション１６が、当接している面がなす延在線に対してフレキシャ１１の取り付け側に曲がるように不図示の荷重曲げ部が作り込まれている。従って、図示される一対のロードビーム１２各々のロードビームの延在線２８は、タブ１２ｂに近づくに従ってその距離が近づく。

以上の位置関係を維持しつつフレキシャ１１にスライダ１３（図２参照）の取り付けを可能とする本発明の一実施形態について、以下に図面を参照して説明する。通常フレキシャ１１にスライダ１３を搭載して固定する為に、接着によって為される。その為、フレキシャ１１のスライダ１３搭載位置に接着物２２を配する。サスペンション１６はスライダ１３が接着物２２を介して係る力によって撓ませられる。本発明ではこの状態にあるフレキシャ１１に対するスライダ１３の搭載を目的としているが、課題として述べているように、この接着物２２を介して接着する事によって、接着物２２が潰れるまでの時間によって搭載時間が延長されるだけでなく、スライダ１３の搭載動作によって、接着物２２を介して一方のサスペンション１６が搭載方向の力と同じ方向に撓み、搭載方向の力と同じ方向に対向する他方のサスペンション１６に接触をして損壊させる可能性が高い。本発明では、ロードビーム１２に当接させる支持部材６５を用いて、この撓みを抑制することとしている。

本実施形態では、支持部材６５として、厚み０．３ｍｍの板材を用いている。例えば、図１（ａ）に示すように、該支持部材６５をロードビーム１２の撓み方向に配する。この状態より、更に図１（ｂ）に示すように、撓みを抑制する図中矢印方向に、支持部材６５とロードビーム１２が所定量となるまで近付ける。これによって、チャック２１によって保持されたスライダ１３によって、接着物２２を介して搭載方向の力によってサスペンション１６が撓み、支持部材６５に当接することによって、当該サスペンション１６の撓みが緩和される事によって接着物２２の潰れが促進され、搭載時間を短縮する事が可能となり、支持部材６５によって、一方のサスペンション１６が撓み係る力の方向に対向した他方のサスペンション１６に直接接触をする事がなくなり、損壊する事を抑制する事が可能となる。なお、該支持部材６５はロードビーム１２に直接当接する部材であって、後述するロードビーム支持部６７の一部を構成する。

なお、本実施形態では、例えば、ロードビームの延在線２８を、Ｅブロックのサスペンション１６が当接している面がなす延在線と平行にした場合に対向するスライダの間隔が０．６ｍｍ前後のＨＳＡ製造を目的としているため、当該間隔に侵入可能である支持部材６５として厚みの薄い板状を用いているが、その形状はこれに限定されない。対向するロードビーム１２の間に入り込み、且つロードビーム１２を支持するという条件を満たせば、種々の形状とすることが可能である。また、支持部材６５は紙面、即ち対向するロードビームの延在線２８を含む平面に垂直な方向に延在することで支持部材６５の配置空間をコンパクトとしている。即ち、本実施形態では、支持部材６５はスライダのフィクスチャへの搭載予定面に平行に配される。しかし、ロードビーム１２の撓みの支持が可能であれば、延在方向等は種々の角度とすることが可能である。更には、先端部よりロードビームの延在線２８に沿って支持部材６５を配置し、ロードビームの延在線２８に沿って支持部材６５を進退させる態様としても良い。

また、本実施形態では、支持部材６５が支持するロードビーム１２の部位として荷重曲げ部よりも先端方向を支持している。しかし、押圧によってロードビーム１２が撓むのを抑制し、載置実行中に係る力の方向と対向するサスペンション１６の損壊を抑制する事が可能であれば、支持部材６５の支持位置はこれに限定されない。例えば荷重曲げ部よりも後端方向を支持部材６５で支持しても良い。好適には、ディンプル１２ａに負荷を与えないように、ディンプル１２ａの近傍であって、ロードビーム１２に係る力の方向とは逆側の領域において支持部材６５によって支持することが望ましい。

次に、以上に述べた支持部材６５を有したＨＳＡ製造装置によるスライダ１３のフレキシャ１１への取り付け工程について、図２を参照して説明する。なお、図２は、図１と同様の様式にて取り付け工程の各段階における諸構成の位置関係等を模式的に示している。まずステップ１において、スライダ１３の搭載対象となるフレキシャ１１及びロードビーム１２が撮影領域２５内に配置されるように横カメラ４１（図３参照）とロードビーム１２等との相対位置を調整する。調整後、横カメラ４１が撮影領域２５内の構成を撮影する。撮影結果は画像解析され、搭載予定面がなす線２６とロードビーム１２の延在線２８との角度θである荷重曲げ角度或いはフレキシャ１１の延在方向と搭載予定面がなす線２６とのなす角が検出される。同時に、向かい合った一対のフレキシャ１１の間の間隔、及びスライダ取付け対象側のロードビーム１２のタブ１２ｂの配置を求め、補正部材１４の挿入位置を算出する。

ステップ２では、ステップ１において算出された挿入位置に補正部材１４が位置するように、スライダ取り付け前のＨＳＡを保持するテーブル部６１（図３参照）と補正部材１４との相対位置を変化させる。この操作により、補正部材１４は、図中ステップ２に示されるようにタブ１２ｂ上に近傍する位置に配置される。その後、テーブル部６１と補正部材１４とは更に相対位置を変化させ、補正部材１４をタブ１２に当接させた後、不図示の荷重曲げ部がＥブロックに支持されているサスペンション１６が当接している面がなす延在線と平行となるように（図中矢印にて示す下方向）該タブ１２ｂを押圧する。この押圧操作は、ステップ３に示すように、フレキシャ１１におけるスライダ搭載面が延在線２６と平行となる或いは一致するまで継続される。具体的な操作としては、例えばスライダ搭載面を含むフレキシャ１１の先端部及びその近傍であってロードビーム１２より離間している部分の延在方向を画像より求め、当該方向が延在線２６と平行となるか否か等を検知する。しかし、フレキシャ１１におけるスライダ１３搭載面が延在線２６と平行姿勢にあることが検知できれば、検知様式はこれに限定されない。なお、この一致等の検知は、横カメラ４１により撮影領域２５についての画像処理を連続的に行うことによって実行される。横カメラ４１は、本発明において、搭載予定面に平行な撮影光軸を有する横方向撮影手段として機能する。また、前述した検知等は、横方向撮影手段により得られた画像を解析する不図示の画像解析手段による公知の画像解析法を用いて実行されることによりステップ３の状態となる。

ステップ４では、ステップ２と同様の態様にて撮影された撮影領域２５についての画像処理、もしくはステップ２で撮影された撮影領域２５についての画像処理を用いて支持部材６５とロードビーム１２の相対位置を算出して、相対距離を０．３ｍｍとして、テーブル部６１（図３参照）と支持部材６５とは更に相対位置を変化させる。

ステップ５では、フレキシャ１１上には、スライダ１３の搭載位置を算出するための少なくとも二つの基準点を得るための基準マークが存在する。本実施形態では、これら二つの基準点算出のための第一の基準マーク３１及び第二の基準マーク３３として二つの穴が設けられている。基準点はスライダ１３の搭載位置を算出するために用いられる。即ち、フレキシャ１１の搭載面を平面座標系とした場合の、平面座標上のＸＹ値と座標系に対する傾き角であるθ値を決定できればよく、基準点を形成する基準マークの形状や数量は問わない。ステップ３に示すフレキシャ１１先端部近傍が延在線２６と平行となることにより、搭載位置と共に基準マークも平行面にて整列することとなる。これにより、基準マークを撮影する際に、フレキシャ１１の傾き等による基準マーク個々の歪みや焦点ずれを考慮する必要がなくなる。下カメラ１９（図３参照）により、スライダ搭載面におけるこれら第一の基準マーク３１及び第二の基準マーク３３を撮影する。撮影された画像中のこれら基準マークに基づいて、スライダ１３のフレキシャ１１上の搭載位置が算出される。なお、下カメラ１９は、本発明において、搭載面の位置を求めるためにサスペンション１６に設けられた基準マークを撮影する基準マーク撮影手段を構成する。基準マーク撮影手段は、フレキシャ１１が搭載予定面内に配置されることが横カメラ４１等を介して検出された場合に、該基準マークの撮影を実行する。これによって求められたフレキシャ１１上の搭載面とスライダ１３とが接着可能となるように、樹脂等の接着物２２が樹脂塗布部５９（図３参照）によって供給される。

ステップ６では、搭載位置にチャック２１に保持されたスライダ１３が搬送されてくる。

ステップ７では、該搭載位置に樹脂塗布部５９によって供給された接着物２２がチャック２１に保持されたスライダ１３が当接して、搭載方向の力と同じ方向にサスペンション１６を撓ませようとする。この時に、支持部６５がサスペンション１６を構成するロードビーム１２に当接する事によりサスペンション１６が撓むのを阻害する。これによって接着物２２が潰れるのが促進され搭載時間を短縮する事が可能となり、一方のサスペンション１６が支持部材６５を介して、係る力方向に対向する他方のサスペンション１６に接触しようとしても、支持部材６５によって直接接触する事が出来ない為、搭載方向の力と同じ方向に対応する一方のサスペンション１６を損壊する事を抑制する事となる。その後、フレキシャ１１上の搭載位置に対してスライダ１３が当接され、その後チャック２１がスライダ１３を開放する。以上の操作により、スライダ１３の取り付け工程が終了する。

以上に述べた本発明の一実施形態であるＨＳＡ製造装置を用いることにより、Ｅブロックに対するロードビームやフレキシャ等の取り付け終了後にスライダを好適に搭載することが可能となる。よって、Ｅブロック取り付け後にスライダ１３の取り付け工程を行うことが可能となり、スライダ実装後にフレキシャを取り扱う工程を減少させることも可能となる。その結果、フレキシャの取扱い時に生じる可能性のあるスライダへのダメージの負荷をなくし、ＨＳＡの製造効率の向上が望める。また、最終検査段階で不良とされたスライダ単体の取り外し及び新たなスライダの実装も本装置により対応することが可能となり、ＨＳＡ状態での再生率の向上も望める。なお、図２においては対向するサスペンション１６等は省略して示されているが、実際の工程ではこれらは存在しており、チャック２１等も対向するサスペンション１６間に侵入して該取り付け工程が可能な構造であることは言うまでもない。

以上に述べた本発明の主たる構成についてまとめる。なお、ロードビーム１２は荷重曲げ方向として定義される特定の方向への曲がり（荷重曲げ部）を有している。荷重曲げ補正部４２は、補正部材１４と不図視の駆動部等により構成され、ロードビーム１２の一部であるタブ１２ｂと係合してロードビーム１２を押圧する。これによってフレキシャ１１は搭載予定面に保持される。搭載予定面に対して、スライダ１３搭載時のサスペンション１６の撓み方向に支持部材６５が配される。これによって、サスペンション１６の撓みは抑制される。ロードビーム支持部６７は、支持部材６５と不図視の駆動部によって構成され、サスペンション１６の撓みを抑制する構成として定義される。また、フレキシャ姿勢検出手段は横カメラ４１と、画像解析をする不図示の制御装置を含めて構成され、ロードビームに支持されたフレキシャの姿勢を検出する。

次に、これら構成を包含するＨＳＡ製造装置の具体的な構成について説明する。図３は、先の実施形態で述べた支持部６５を包含するＨＳＡ製造装置を模式的に示した平面図である。なお、本実施例では、対向するフレキシャ１１間に挿入可能なミラーと、図２等に示す延在線に沿った光軸を有するカメラとによって前述した二つの基準マークを撮像することとしている。この場合、図２のステップ５において、フレキシャ１１の間に該ミラー１５が挿入され、カメラ１７が該ミラー１５を介して第一の基準マーク３１及び第二の基準マーク３３を撮影することとなる。当該態様とすることにより、例えば図１に示したサスペンション１６の対が複数ある場合であっても、個々の搭載位置を容易に算出することが可能となる。

本発明の一実施形態に係わるＨＳＡ製造装置１００は、カメラ１７、下カメラ１９、横カメラ４１、荷重曲げ補正部４２、ロードビーム支持部６７、パレット供給部４７、パレット排出部４９、スライダ実装ヘッド５１、スライダ供給部５７、樹脂塗布部５９、パレットテーブル６１、ミラー部６３、及びパレット搬送部５３、５５を有する。ロードビーム支持部６７は、パレットテーブル６１等と連動してＸＹＺ方向の相対的に変更可能となっており、前述した支持部材６５を支持する。また、ロードビーム支持部６７は、独立してＸＹＺ方向の位置変更も可能である。支持部材６５は、このパレットテーブル６１等との連動により、前述した図２における各ステップでの動作を実行する。即ち、ロードビーム支持部６７を駆動する工程とパレットテーブル６１を駆動する構成とは、合わせて、ロードビーム１２及びフレキシャ１１を押圧して位置を変化させる該補正部材１４と支持部材６５との相対位置を変化可能な相対位置変更手段を構成する。なお、該相対位置変更手段は、公知のＸＹＺの駆動機構から構築することが可能である。また、ロードビーム支持部６７を駆動する構成とパレットテーブル６１等を駆動する構成との両者から相対位置変更手段を構成せず、これらの一方のみから相対位置変更手段を構築することも可能である。

ミラー部６３は、前述したカメラ１７とミラー１５とを備え、撮影光軸とミラーの位置関係、及びカメラ１７の撮影光軸方向のミラー１５とのカメラ１７との距離とが規定された一体構造とされている。横カメラ４１は、前述した撮影領域２５を撮影する本実施形態では、下カメラ１９はスライダ１３のチャック２１による把持姿勢を検知する。パレット供給部４７には、Ｅブロック３５にサスペンション１６が固定されたスライダ取付け前ＨＳＡが複数個載置されたパレットが供給される。該パレットはパレット搬送部５５を経てパレットテーブル６１に載置される。その際、樹脂塗布部５９によってフレキシャ１１上のスライダ１３の略固定位置に樹脂の塗布がなされる。

スライダ供給部５７は、スライダトレイ４５上に載置されている取り付け予定のスライダ１３を供給する。スライダ実装ヘッド５１は、前述したチャック２１を有する。該スライダ１３はスライダ供給部５７より取り出された後、一旦仮置きステージ上に仮置きされ、チャック２１による把持がなされる。パレットテーブル６１上のスライダ１３取付け前ＨＳＡはパレットテーブル６１によって移動され、横カメラ４１による搭載予定位置検出、及びミラー部６３による基準マーク３１、３３に基づく基準点の検出が行われる。同時にチャック２１に把持されたスライダ１３の把持姿勢等が下カメラ１９によって検知される。その後、フレキシャ１１に対するスライダ１３の取り付けが、チャック２１によって実行される。全てのフレキシャ１１にスライダ１３が取り付けられた後、ＨＳＡはパレット搬送部５３を介してパレット排出部４９に搬送される。パレット排出部４９にパレットごと搬送された各ＨＳＡは、その後の検査工程等に運ばれる。

以上のＨＳＡ製造装置を用いることによって、微小な間隔を空けて配置される複数のサスペンション１６各々に対して、実装時間を短縮しつつサスペンション１６の損壊を抑制しつつ、好適にスライダ１３を搭載することが可能となる。なお、ここで例示したＨＳＡ製造装置における支持部材６５とスライダ取付け前のフレキシャ１１との相対位置の変化及びその検出に関する横カメラを含めた機構移動についても、公知のスライダ駆動装置、モータ、等、駆動範囲と必要な停止精度が得られれば種々の駆動装置の使用が可能である。

以上述べたように、本発明は所謂磁気ヘッドの製造装置として好適である。しかし、１ｍｍ程度の狭い間隔を保持して配置される板状の部材に対して、接着物により接着する工程であれば、本装置等適用することも可能である。

１１：フレキシャ、１２：ロードビーム、１２ａ：ディンプル、１２ｂ：タブ、１３：スライダ、１４：補正部材、１５：ミラー、１６：サスペンション、１７：カメラ、１９：下カメラ、２１：チャック、２２：接着物、２３：撮影光、２５：撮影領域、２６：搭載予定面がなす線、２８：延在線、３１：第一の基準マーク、３３：第二の基準マーク、３５：Ｅブロック、４１：横カメラ、４２：荷重曲げ補正部、４５：スライダトレイ、４７：パレット供給部、４９：パレット排出部、５１：スライダ実装ヘッド、５３、５５：パレット搬送部、５７：スライダ供給部、５９：樹脂塗布部、６１：パレットテーブル、６３：ミラー部、６５：支持部材、６７：ロードビーム支持部

Claims (11)

1. 荷重曲げ部を有してヘッドスタックアセンブリのＥブロックに支持される複数の板状のロードビーム各々に支持されたフレキシャの搭載面にスライダを搭載するヘッドスタックアセンブリ製造装置であって、スライダ搭載時における前記ロードビームの搭載方向の撓みを制限するロードビーム支持部を有することを特徴とするヘッドスタックアセンブリ製造装置。
2. 前記ロードビーム支持部と前記ロードビームとの相対位置関係が一定となるように、前記ロードビームを押圧して前記フレキシャを搭載予定面内に保持可能な荷重曲げ補正部を更に有することを特徴とする請求項１記載のヘッドスタックアセンブリ製造装置。
3. 前記荷重曲げ補正部により押圧された前記ロードビームに支持された前記フレキシャの姿勢を検出するフレキシャ姿勢検出手段を更に有することを特徴とする請求項２記載のヘッドスタックアセンブリ製造装置。
4. 前記ロードビームを押圧して前記フレキシャの位置を変化させる前記荷重曲げ補正部と前記ロードビーム支持部との相対位置を変化可能な相対位置変更手段を更に有し、
   前記荷重曲げ補正部は、前記相対位置変更手段が前記ロードビームと前記荷重曲げ補正部との相対位置を変更して前記荷重曲げ補正部を前記ロードビームに対して移動させることにより前記荷重曲げ補正部による前記ロードビームへの前記押圧を実行し、前記ロードビーム支持部と前記ロードビームとの前記相対位置関係が一定となるようにすることを特徴とする請求項３に記載のヘッドスタックアセンブリ製造装置。
5. 前記フレキシャ姿勢検出手段は、前記搭載予定面に平行な撮影光軸を有する横方向撮影手段と前記横方向撮影手段により得られた画像を解析する画像解析手段とを有し、
   前記フレキシャの姿勢を検出する際に、前記相対位置変更手段は前記フレキシャを前記横方向撮影手段の撮影領域に移動させることを特徴とする請求項４に記載のヘッドスタックアセンブリ製造装置。
6. 前記搭載面の位置を求めるために前記フレキシャに設けられた基準マークを撮影する基準マーク撮影手段を更に有し、
   前記基準マーク撮影手段は、前記フレキシャが前記搭載予定面内に配置されたことを前記フレキシャ姿勢検出手段が検出した場合に、前記基準マークの撮影を実行することを特徴とする請求項３乃至５の何れか一項に記載のヘッドスタックアセンブリ製造装置。
7. 前記スライダを保持して前記フレキシャのスライダ搭載面に前記スライダを載置可能なスライダ実装ヘッドを更に有し、
   前記スライダ実装ヘッドは、前記フレキシャが前記搭載予定面内に配置されたことを前記フレキシャ姿勢検出手段が検出した場合に、前記スライダの載置を実行することを特徴とする請求項３乃至６の何れか一項に記載のヘッドスタックアセンブリ製造装置。
8. 前記スライダを保持して前記フレキシャのスライダ搭載面に前記スライダを載置可能なスライダ実装ヘッドを更に有し、
   前記スライダ実装ヘッドは、前記フレキシャが前記搭載予定面内に配置されたことを前記フレキシャ姿勢検出手段が検出した場合に、前記基準マークに基づいて算出された搭載位置への前記スライダの載置を実行することを特徴とする請求項６に記載のヘッドスタックアセンブリ製造装置。
9. 前記ロードビーム支持部は前記搭載予定面に配置された前記ロードビームと直接当接する支持部材を有し、
   前記支持部材は、前記ロードビームの面内の前記荷重曲げ部よりも先端方向を支持することを特徴とする請求項２乃至８の何れか一項に記載のヘッドスタックアセンブリ製造装置。
10. 荷重曲げ部を有してヘッドスタックアセンブリのＥブロック支持される複数の板状のロードビーム各々に姿勢制御されたフレキシャの搭載面にスライダを搭載するヘッドスタックアセンブリ製造装置であって、
    前記荷重曲げ部の曲げ方向とは逆方向に前記ロードビームを押圧して前記フレキシャの位置を変化させる荷重曲げ補正部と、
    前記ロードビームの一部と係合して前記位置が変化された前記フレキシャを、前記ロードビームを介して搭載予定面内で支持するロードビーム支持部と、
    前記荷重曲げ補正部と前記ロードビーム支持部との相対位置を変化可能な相対位置変更手段と、を有し、
    前記ロードビーム支持部は前記相対位置変更手段により、前記ロードビーム支持部と前記ロードビームとの相対位置関係を一定とすることを特徴とするヘッドスタックアセンブリ製造装置。
11. 前記ロードビーム支持部は前記搭載予定面に平行に配置されて前記ロードビームと直接当接する支持部材を有し、前記支持部材は、前記荷重曲げ部よりも先端方向にあって、前記ロードビームにおけるディンプルの形成位置を避けた箇所に配することを特徴とする請求項１０に記載のヘッドスタックアセンブリ製造装置。

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