JP4318186B2 - 磁気ヘッドの静止姿勢角修正方法及び装置 - Google Patents

Description

本発明は、磁気ヘッドの静止姿勢角修正方法及び装置に関する。

浮上型の磁気ヘッド装置では、高密度記録再生を達成するため、ヘッド支持装置によって支持された磁気ヘッドの静止姿勢角が高精度に保持されていることが基本的な要求事項となる。磁気ヘッド装置の静止姿勢角には、ピッチ角と、ロール角とが含まれる。

ところが、磁気ヘッド装置は、ヘッド支持装置（サスペンション）の一端に磁気ヘッドを接着剤によって接着した構造になっているから、この接着構造のために、静止姿勢角が所定の角度からずれを生じることがある。

磁気ヘッド装置は、複雑なプロセスを経て製造された高価な磁気ヘッドを、高精度で高価なヘッド支持装置に取り付けて構成されており、磁気ヘッド装置の段階で、静止姿勢角が所定の角度内にないとして、不良品扱いにすることは、許されない。

静止姿勢角ずれを修正するための修正手段としては、押圧治具を用いた機械的押圧による修正手段が知られている。この押圧治具を用いた静止姿勢角修正方法では、磁気ヘッドを取り付けた可撓体（フレクシャ）を押圧することによって、可撓体を曲げ、それによって磁気ヘッドの静止姿勢角を修正する。

しかしながら、機械的押圧により、可撓体に大きな曲げ変位を与えても、可撓体の有する復元力のために、曲げが元に戻る。このことは、所定の静止姿勢角を与える曲げ変位よりも、著しく大きな曲げ変位で、可撓体を曲げなければならないことを意味する。

可撓体に大きな曲げ変位を与えると、ロードビームから可撓体に荷重を加える突起部（ディンプル）と、可撓体との間に隙間を生じ、いわゆるディンプル浮きが発生することがある。ディンプル浮きが発生すると、ロードビームから可撓体に荷重を与えることができなくなり、所定の磁気ヘッド浮上特性を確保することができなくなる。

更に、磁気ヘッドの支持機構として、磁気ヘッドをジンバルに取り付けたヘッド．ジンバル組立体（Head Gimbal Assembly, 以下ＨＧＡと称する）、ＨＧＡをアームに取り付けたヘッド．アーム組立体（Head Arm Assembly, 以下ＨＡＡと称する）及び複数のＨＡＡがスタックされたヘッド．スタック組立体（Head Stack Assembly, 以下ＨＳＡと称する）が知られている。

このうち、ＨＳＡは、２枚１組のＨＡＡを、磁気ヘッドが互いに向き合うようにして組み立てられているため、磁気ヘッドがジンバルの内側に入ってしまい、磁気ヘッドの姿勢角の検出及びレーザ照射が難しくなる。

上述した問題点を解決する手段として、特許文献１、２は、可撓体に静止姿勢角修正のための曲げを加え、曲げ領域にレーザを照射して、応力を開放することにより、加えられた曲げ角度に近い角度で曲げる技術を開示している。

確かに、この先行技術によれば、ヘッド支持装置を、小さな曲げ角度で曲げるだけで、大きな静止姿勢角変化量を確保することができるという優れた効果を得ることができる。
しかし、ＨＳＡに固有の問題点を解決する手段を、明確には開示していない。
特開２００１−３５７６４４号公報 特開２００１−３５７６４５号公報

本発明の課題は、上述した先行技術に更に改良を加え、ＨＳＡにおいても、静止姿勢角を、自動的に修正できる磁気ヘッドの静止姿勢角修正方法及び装置を提供することである。

上述した課題を解決するため、本発明に係る静止姿勢角修正方法は、ヘッド支持体の長手方向の一端側である自由端側に備えられた可撓体に取り付けられた磁気ヘッドの静止姿勢角を修正するに当たり、まず、前記磁気ヘッドを、少なくとも２つの撮像装置を用いて撮像して得られた画像信号を解析して修正条件を生成する。そして、前記修正条件に基づいて、前記可撓体に静止姿勢角修正のための曲げを加え、前記可撓体の曲げを生じる領域にレーザを照射する。

上述したように、本発明に係る静止姿勢角制御方法では、まず、前記磁気ヘッドを、少なくとも２つの撮像装置を用いて撮像して得られた画像信号を解析して修正条件を生成する。磁気ヘッドを撮像して画像信号を得ることの利点は、ＣＣＤカメラなどの撮像手段を用い、検出対象の磁気ヘッドを、任意の方向から撮像して、その姿勢角に関する情報を得ることができる点にある。即ち、検出対象となる磁気ヘッドがジンバルの内側に隠れてしまうＨＳＡにおいても、ＣＣＤカメラを、ＨＳＡの側方や前方など、任意の方向に配置して磁気ヘッドの画像信号を生成し、それを解析して、姿勢角の情報を得ることができるのである。ＣＣＤカメラに代えてレーザオートコリメータを用いることも考えられるが、レーザオートコリメータの場合は、反射光を捉えることになるので、ＣＣＤカメラほどには、設置位置の自由度は高くない。

そして、上述のようにして得られた画像信号を解析して修正条件を生成し、修正条件に基づいて、可撓体に静止姿勢角修正のための曲げを加え、可撓体の曲げを生じる領域にレーザを照射する。

可撓体に静止姿勢角修正のための曲げを加えた場合、可撓体には曲げに応じた応力が発生する。本発明では、可撓体の曲げを生じる領域にレーザを照射する。これにより、レーザを照射された曲げを生じる領域における応力が、レーザの照射に伴う熱により、開放される。このため、このレーザ照射を受けた領域では、可撓体の復元量が小さくなり、加えられた曲げ角度に近い角度で曲ることになる。このことは、可撓体に与えられる曲げ変化量が小さくとも、可撓体に対し、大きな曲げ角度を付与できることを意味する。よって、可撓体を、小さな曲げ角度で曲げるだけで、大きな静止姿勢角変化量を確保することができる。

姿勢角修正の基礎となる磁気ヘッドの撮像方法としては、次の手法が考えられる。
（ａ）ヘッド支持体の長手方向にとられた自由端の前方から前記磁気ヘッドを撮像するとともに、長手方向とは、略９０度異なる側方から磁気ヘッドを撮像し、両撮像による画像信号を解析して、修正条件を生成する。
（ｂ）ヘッド支持体の長手方向にとられた自由端の前方から前記磁気ヘッドを撮像するとともに、長手方向とは、方向が略９０度異なる両側方から磁気ヘッドを撮像し、その画像信号を解析して、修正条件を生成する。
（ｃ）ヘッド支持体の長手方向とは、方向が略９０度異なる両側方から磁気ヘッドを撮像し、その画像信号を解析して、修正条件を生成する。

また、姿勢角の判定方法として、画像信号上、磁気ヘッドの空気ベアリング面(以下、ＡＢＳ面と称する）の傾斜角が零であるとして想定された基準線に対し、ＡＢＳ面の成す角から姿勢角を特定する方法が有効である。具体的には、基準線と、ＡＢＳ面の稜線との成す角から姿勢角を特定する。

上述した静止姿勢角修正方法は、本発明が開示する磁気ヘッド静止姿勢角修正装置によって実施される。この磁気ヘッド静止姿勢角修正装置は、修正装置と、レーザ発振装置と、撮像装置と、コンピュータシステムとを含む。前記修正装置は、前記可撓体に曲げを加える。前記レーザ発振装置は、曲げ領域にレーザを照射する。前記撮像装置は、前記磁気ヘッドを撮像し、その画像信号を生成する。前記コンピュータシステムは、前記撮像装置から供給された画像信号を解析して、修正条件を生成する。前記修正装置は、前記コンピュータシステムから供給された修正条件に基づき、前記可撓体に曲げを加える。

上述した静止姿勢角修正装置によれば、本発明に係る静止姿勢角修正方法を、自動的に実行できることは明らかであるが、更に、この装置に含まれる構成要素について、好ましい態様を示すと次のとおりである。

まず、撮像装置は、第１の撮像装置と、第２の撮像装置とを含むことができる。前記第１の撮像装置は、前記長手方向にとられた自由端の前方から前記磁気ヘッドを撮像し、前記第２の撮像装置は、前記長手方向とは、略９０度異なる側方から前記磁気ヘッドを撮像する。

撮像装置の上記配置によれば、第１の撮像装置によって、磁気ヘッドのロール角に関する情報を得ることができ、第２の撮像装置によってピッチ角の情報を得ることができる。従って、撮像装置によって得られた画像信号を、ロール角及びピッチ角の修正に利用することができる。

撮像装置は、更に、第３の撮像装置を含むことができる。第３の撮像装置は、前記第２の撮像装置と対向する側方から前記磁気ヘッドを撮像する。この構成によれば、ピッチ角の情報を、第２の撮像装置及び第２の撮像装置の両者から得ることができ、精度の高いピッチ角修正を実行することが可能になる。

更に別の態様として、２つの撮像装置により、前記長手方向とは、方向が略９０度異なる両側方から前記磁気ヘッドを撮像する構成であってもよい。

次に、コンピュータシステムは、１つの好ましい態様として、ＣＰＵと、前記磁気ヘッドの静止姿勢角の値に対する修正条件をランク付けして予め記憶した記憶部とを有する。前記ＣＰＵは、前記ロール角又は前記ピッチ角に対応する修正条件を前記記憶部から読み出し、読み出された修正条件を前記修正装置に供給する。

このようなコンピュータシステムによれば、ＣＰＵを中心とした磁気ヘッド静止姿勢角修正システムを構築し、磁気ヘッドの静止姿勢角を、自動的に、再現性よく、修正することができることは明らかである。

前記コンピュータシステムにおける姿勢角特定に当たっては、前記画像信号上、前記磁気ヘッドのＡＢＳ面の傾斜角が零であるとして想定された基準線に対し、前記ＡＢＳ面の成す角から姿勢角を特定する手法を採用することができる。

より具体的には、前記コンピュータシステムは、前記空気ベアリング面の２つの稜線から前記基準線までの距離の差からロール角を特定する。

前記修正装置は、先端を前記可撓体の表面に押圧し得る複数の可動性修正ピンを有することができる。この修正装置によれば、修正ピンの配置、修正ピンの押込み量によって、ピッチ角及びロール角を容易に調整することができる。なお、前記修正条件は、前記可撓体に対する前記修正ピンの当接位置と、前記修正ピンの押込み量と、レーザ照射位置との条件を含むことができる。

前記修正ピンは、好ましくは、前記可撓体の表面に対して所定の角度をもって傾斜して配置される。この配置によれば、ＨＳＡにおいても、可撓体に修正ピンを当接させ、曲げを加えることができる。また、小型化された磁気ヘッド及び可撓体に対しても、複数備えられる修正ピン相互の接触、重なりなどの相互干渉を回避することができる。

以上述べたように、本発明によれば、ＨＳＡにおいても、静止姿勢角を、自動的に修正し得る磁気ヘッドの静止姿勢角修正方法及び装置を提供することができる。

本発明の他の目的、構成及び効果については、実施の形態である添付図を参照して詳しく説明する。

図１は本発明に係る静止姿勢角（以下、姿勢角と称する）修正方法の実施に直接に用いられる姿勢角修正装置の構成を示す図、図２は本発明に係る姿勢角修正方法が適用される磁気ヘッド装置の平面図である。図示された姿勢角修正装置は、ＨＳＡにおける姿勢角修正に適用されるものである。

ＨＳＡ９５は、２つのＨＡＡ９５１、９５２をスタックしたもので、ＨＡＡ９５１、９５２のそれぞれは、ヘッド支持装置１と、磁気ヘッド２とを含む。ヘッド支持装置１は、ロードビーム１１と、可撓体１２、アーム１３とを含む。ロードビーム１１は、中央を通る長手方向軸線Ｌの自由端近傍に突起部１１１を有する。図示されたロードビーム１１は、幅方向の両側に折り曲げ部１１８(図１参照）を有しており、この折り曲げ部１１８により、剛性を増加させてある。

可撓体１２は薄いバネ板材で構成され、一方の面がロードビーム１１の突起部１１１を有する側の面に取り付けられ、突起部１１１から押圧荷重を受けている。可撓体１２の他方の面には、磁気ヘッド２が取り付けられている。可撓体１２は、ロードビーム１１の突起部１１１を有する側に、スポット溶着等の手段により貼り合わされている。スポット溶着の代わりに、カシメ等の手段を用いてもよい。可撓体１２は、中央に舌状部１２０を有する。舌状部１２０は、一端が可撓体１２の横枠部１２１に結合されている。可撓体１２の横枠部１２１は両端が外枠部１２３、１２４に連なっている。外枠部１２３、１２４と舌状部１２０との間には、舌状部１２０の周りに、溝１２２が形成されている。舌状部１２０の一面には磁気ヘッド２が接着剤などで取り付けられ、突起部１１１の先端がバネ接触している。

ＨＡＡ９５１、９５２は、磁気ヘッド２のＡＢＳ面が互いに向き合うようにして、結合部材９５３によってスタックされている。ＨＳＡ９５は、その複数個が、例えば、ワークパレット９７１などの上に間隔を隔てて配置され、ワークパレット９７１は搬送冶具９７３の上に搭載され、押さえ冶具９７２により搬送冶具９７３の上に押し付けられている。

図１に図示された姿勢角修正装置は、上述したＨＳＡにおける磁気ヘッド２の姿勢角を修正するために用いられる。姿勢角には、ピッチ角及びロール角が含まれる。ピッチ角は、ロードビーム１１の長手方向軸線Ｌ（図２参照）の方向にとられた基準線と交差する角度であり、ロール角は長手方向軸線Ｌの周りにとられた角度である。姿勢角はヘッド支持装置１に対する磁気ヘッド２の組立状態、ヘッド支持装置１の曲り等の影響を受けて、さまざまに変化する。本発明に係る姿勢角修正方法及び修正装置は、この姿勢角を、要求される値に設定するために用いられる。

その手段として、本発明に係る姿勢角修正装置は、撮像装置Ａ〜Ｃと、修正装置９２と、レーザ発振装置９１１、９１２と、コンピュータシステム９４とを含む。次に、これの構成及び機能について説明する。

まず、撮像装置Ａ〜Ｃは、第１の撮像装置Ａと、第２の撮像装置Ｂと、第３の撮像装置Ｃを含む。図３〜図５は、第１の撮像装置Ａ、第２の撮像装置Ｂ及び第３の撮像装置Ｃの見え方を、模式的に示す図である。図２の配置状態を念頭に置きながら、これらの図を見ると、まず、第１の撮像装置Ａは、図２に図示するように、長手軸線方向Lにとられた自由端の前方から磁気ヘッド２を撮像し、図３に図示するような画像を得る。画像には、画像信号上、磁気ヘッド２のＡＢＳ面のロール角が零であるとして想定された基準線ＬＡ０が設定される。

第２の撮像装置Ｂは、図２に図示するように、長手軸線方向Lとは、略９０度異なる側方から磁気ヘッド２を撮像し、図４に図示するような画像を得る。画像には、画像信号上、磁気ヘッド２のＡＢＳ面のピッチ角が零であるとして想定された基準線ＬＢ０が設定される。

第３の撮像装置Ｃは、図２に図示するように、第２の撮像装置Ｂとは反対の方向から磁気ヘッド２を撮像し、図５に図示するように、第２の撮像装置Ｂとは左右反対の画像を得る。画像には、画像信号上、磁気ヘッド２のＡＢＳ面のロール角が零であるとして想定された基準線ＬＣ０が設定される。

撮像装置Ａ〜Ｃの上記配置によれば、第１の撮像装置Ａによって、磁気ヘッド２のロール角に関する情報を得ることができ、第２の撮像装置Ｂ及び第３の撮像装置Ｃによってピッチ角の情報を得ることができる。従って、撮像装置によって得られた画像信号を、ロール角及びピッチ角の修正に利用することができる。

ピッチ角は、最低限、第２の撮像装置Ｂがあれば、検出することができるが、図示では、第２の撮像装置Ｂのほかに、第３の撮像装置Ｃを含んでいる。この構成によれば、ピッチ角の情報を、第２の撮像装置Ｂ及び第３の撮像装置Ｃの両者から得ることができ、精度の高いピッチ角修正を実行することが可能になる。

更に、別の態様として、ロール角の情報を、磁気ヘッドの稜線の位置を第２の撮像装置Ｂ及び第３の撮像装置Ｃの両者から得ることによって、ロール角を算出することができる。

この場合は、ロール角測定用の第１の撮像装置Ａを省略してもよい。

＜修正装置＞
図６は修正装置９２を示す図である。図６を参照すると、修正装置９２は、先端を可撓体１２の表面に押圧し得る複数の可動性修正ピン９２２〜９２５を有する。この実施例では、修正装置９２は、４つの修正ピン９２２〜９２５と、駆動部９３２〜９３５を有する。修正ピン９２２〜９２５は、何れも、駆動部９３２〜９３５によって直線的に送られる可動ピンであり、先端部が可撓体１２の外枠部１２３、１２４に接触できる位置に配置されている。修正ピン９２２、９２４は、可撓体１２の一面側（磁気ヘッド２を取り付けた面側）に配置され、修正ピン９２３、９２５は可撓体１２の他面側に配置されている。図示では、修正ピン９２２と修正ピン９２３とが対向し、修正ピン９２４と修正ピン９２５とが対向しているが、対向していなくてもよい。即ち、互いに異なる位置に配置してもよい。

修正ピン９２２〜９２５は、好ましくは、可撓体１２の表面に対して所定の角度をもって傾斜して配置される。この配置によれば、ＨＳＡにおいても、可撓体１２に修正ピン９２２〜９２５を当接させ、曲げを加えることができる。また、小型化された磁気ヘッド２及び可撓体１２に対しても、複数備えられる駆動部９３２〜９３５の相互の接触、重なりなどの相互干渉を回避することができる。

＜レーザ発振装置＞
図７はレーザ発振装置の配置状態を示す図である。レーザ発振装置９１１、９１２は、可撓体１２の領域にレーザＬＡ(図１参照）を照射する。レーザ発振装置９１１、９１２は、ＹＡＧレーザを含め、各種のものを用いることができる。図示されたレーザ発振装置９１１、９１２は、可撓体１２において、曲げられる部分に向けられている。図示の実施例では、２つのレーザ発振装置９１１、９１２が備えられているが、その個数は任意である。また、実施例では、レーザ発振装置９１１、９１２は、可撓体１２の表面に対して所定の角度をもって傾斜して配置される。この傾斜配置によれば、ＨＳＡにおいても、他のＨＡＡによって妨げられることなく、可撓体１２の必要な箇所に、斜め方向からレーザを照射することができる。

＜コンピュータシステム＞
コンピュータシステム９４は、ＣＰＵ９４１と、磁気ヘッド２の姿勢角の値に対する修正条件をランク付けして予め記憶した記憶部９４２（例えばＲＯＭ）とを有する。ＣＰＵ９４１は、撮像装置Ａ〜Ｃから供給された測定値に対応する修正条件を記憶部９４２から読み出し、読み出された修正条件を修正装置９２に供給する。修正装置９２は、コンピュータシステム９４から供給された修正条件に基づき、可撓体１２１２に曲げを加える。コンピュータシステム９４は、ＣＰＵ９４１及びメモリ装置を含むプログラム実行装置であり、パソコンやマイコン以外にも、例えばシーケンサユニットと称されるものなども含まれるものとする。

次に、先に挙げた図、特に図１とともに、図８を参照し、本発明に係る姿勢角修正方法について説明する。図８は本発明に係る姿勢角修正方法のフローチャートである。

まず、ワークパレット９７１のセット、運転開始、ワークパレット搬入、ワーク固定などの準備段階を経ることにより、図１に図示したように、ＨＳＡ９５及びワークパレット９７１が搬送冶具９７３の上に搭載され、押さえ冶具９７２により押し付けられている。

この状態で、撮像装置Ａ〜Ｃによって、磁気ヘッド２の姿勢角を検出する。次に図９〜図１２を参照して、撮像装置Ａ〜Ｃによる磁気ヘッド２の姿勢角検出手法について説明する。第１〜第３の撮像装置Ａ〜Ｃによって得られた画像信号は、コンピュータシステム９４に供給され、解析される。そして、ロール角及びピッチ角が検出される。

まず、ロール角の検出手法について、図９を参照して説明する。ロール角は第１の撮像装置Ａの画像信号を解析することよって特定される。ロール角は、基本的には、画像信号上、磁気ヘッド２のＡＢＳ面のロール角が零であるとして想定された基準線ＬＡ０に対し、ＡＢＳ面の成す角として特定される。具体的には、図９に図示するように、第１の撮像装置Ａの画像信号を解析して、ＡＢＳ面の２つの稜線ＬＡ１，ＬＡ２から基準線ＬＡ０までの距離ΔＡ１、ΔＡ２の差（ΔＡ１−ΔＡ２）を検出し、ロール角を特定することができる。

ピッチ角は、第２の撮像装置Ｂ、第３の撮像装置Ｃの画像信号を解析することよって特定される。ピッチ角は、画像信号上、磁気ヘッド２のＡＢＳ面のピッチ角が零であるとして想定された基準線ＬＢ０、ＬＣ０に対し、ＡＢＳ面の成す角として特定される。具体的には、第２の撮像装置Ｂの場合は、図１０に示すように、ＡＢＳ面の２つの稜線ＬＢ１，ＬＢ２から基準線ＬＢ０までの距離ΔＢ１、ΔＢ２の差（ΔＢ１−ΔＢ２）から、ピッチ角を特定することができる。第３の撮像装置Ｃの場合は、図１１に示すように、ＡＢＳ面の２つの稜線ＬＣ１，ＬＣ２から基準線ＬＣ０までの距離ΔＣ１、ΔＣ２の差（ΔＣ１−ΔＣ２）から、ピッチ角を特定することができる。

ロール角は、第２の撮像装置Ｂ、第３の撮像装置Ｃの画像信号を解析することよっても特定可能である。図１２はその具体例を示す図である。図１２を参照すると、ロール角は、第２の撮像装置Ｂ、第３の撮像装置Ｃの各々の校正された原点を結んだ基準線ＬＡ０に対し、ＡＢＳ面の成す角として特定される。具体的には、第２の撮像装置Ｂ、第３の撮像装置Ｃの校正基準線ＬＡ０からＡＢＳ面の２つの稜線ＬＡ１，ＬＡ２の距離ΔＡ３、ΔＡ４の差（ΔＡ３−ΔＡ４）から、ロール角を特定することができる。

コンピュータシステム９４のＣＰＵ９４１は、第１〜第３の撮像装置Ａ〜Ｃの画像信号を解析して得られたロール角（（ΔＡ１−ΔＡ２）、及び、ピッチ角（ΔＢ１−ΔＢ２）、（ΔＣ１−ΔＣ２）の測定値に対応する修正条件を、記憶部９４２から読み出し、読み出された修正条件を修正装置９２に供給する。修正装置９２では、コンピュータシステム９４から供給された修正条件に基づき、修正ピン９２２〜９２５に修正移動動作が与えられ、それによって可撓体１２に曲げを加える。修正条件は、可撓体１２に対する修正ピン９２２〜９２５の当接位置、修正ピン９２２〜９２５の押込み量と、レーザ照射位置の条件を含む。更に、修正条件は、レーザＬＡの照射時間を含むことができる。

次に、コンピュータシステム９４による修正条件の設定、及び、修正ピン９２２〜９２５の移動制御について説明する。既に述べたように、姿勢角には、ピッチ角及びロール角が含まれており、姿勢角はヘッド支持装置１に対する磁気ヘッド２の組立状態、ヘッド支持装置１の曲り等の影響を受けて、さまざまに変化する。しかも、ピッチ角及びロール角は、水平位置を基準値０として、正、及び、負の値をとる。したがって、ピッチ角及びロール角は、正又は負の所定値に設定しなければならない。

その手段として、磁気ヘッド２の姿勢角の値に対する修正条件をランク付けし、これをて予め記憶部９４２に記憶しておく。図１３はその概念を表わすグラフで、縦軸にピッチ角の測定値に対する修正条件を、正側ランク（ｍ１〜ｍ９）及び負側ランク（−ｍ１〜−ｍ９）のようにランク付けしておく。また、横軸では、ロール角の測定値に対する修正条件を、正側ランク（ｎ１〜ｎ９）及び負側ランク（−ｎ１〜−ｎ９）のようにランク付けしておく。これらは、予め記憶部９４２に記憶しておく。もっとも、ランク数は任意である。そして、第１〜第３の撮像装置Ａ〜Ｃから姿勢角の信号が供給されたとき、ＣＰＵ９４１により、供給された測定値に対応する修正条件を、記憶部９４２から読み出し、読み出された修正条件を修正装置９２に供給する。

例えば、図１３に示す場合、ロール角の測定値に対する修正条件が、正側ランク（ｎ２）であり、ピッチ角の測定値に対する修正条件が負側ランク（−ｍ４）であり、これらが、記憶部９４２から読み出される。

修正装置９２は、コンピュータシステム９４から供給された修正条件に基づき、磁気ヘッド２を支持する可撓体１２に曲げを加える。このとき加えられる曲げは、ロール角に関しては、正側ランク（ｎ２）を、図１３のグラフ上で、原点ＯＫに戻す方向であり、ピッチ角に関しては、負側ランク（−ｍ４）を原点ＯＫに戻す方向である。そのような修正条件が、コンピュータシステム９４から修正装置９２に供給され，修正装置９２において，修正ピン９２２〜９２５の移動制御が実行される。

次に、修正ピン９２２〜９２５を用いた姿勢角修正方法について、具体的に説明する。図１４、図１５は、図６に示した修正装置９２によるピッチ角修正方法を示す図である。まず、図１４に示すように、修正ピン９２３、９２５を方向Ｐ１に直線的に移動させ、その先端で、可撓体１２の外枠部１２３、１２４を押すことにより、ピッチ角を修正することができる。この場合のピッチ角の修正方向Ｐ１を正方向とする。

図１５は、ピッチ角を負方向Ｐ２に修正する場合を示し、修正ピン９２２、９２４を方向Ｐ２に直線的に移動させ、その先端で、可撓体１２の外枠部１２３、１２４を押す。これにより、ピッチ角を負方向Ｐ２に修正することができる。

図１６、図１７は、図６に示した修正装置９２によるロール角修正方法を示す図である。まず、図１６に示すように、修正ピン９２３を、方向Ｐ１に直線的に移動させ、その先端で、可撓体１２の外枠部１２３を押すと同時に、修正ピン９２４を方向Ｐ２に直線的に移動させ、その先端で、可撓体１２の外枠部１２４を押す。これにより、ロール角を方向Ｒ１に修正することができる。この場合のロール角の修正方向Ｒ１を正方向とする。

図１７は、ロール角を負方向Ｒ２に修正する場合を示し、修正ピン９２２を方向Ｐ２に直線的に移動させ、その先端で、可撓体１２の外枠部１２３を押すと同時に、修正ピン９２５を方向Ｐ１に直線的に移動させ、その先端で、可撓体１２の外枠部１２４を押す。これにより、ロール角を負方向Ｒ２に修正することができる。

図１４〜図１７に示したピッチ角及びロール角の修正プロセス中に、レーザ発振装置９１１、９１２から可撓体１２の表面にレーザＬＡが照射される。レーザＬＡは、図１８に示すように、可撓体１２の曲げを生じる領域６に照射される。レーザＬＡの照射は、一点ではなく、ある長さで、間隔をおいて複数のポイント(例えば１０ポイント）に実行する。レーザＬＡは、可撓体１２の裏面に照射してもよい。

図１４〜図１７に図示し、説明した操作によって、可撓体１２に機械的な曲げを加えた場合、可撓体１２には曲げに応じた応力が発生する。本発明において、可撓体１２の曲げを生じる領域６にレーザＬＡを照射するので、レーザＬＡを照射された領域６における応力が、レーザＬＡの照射に伴う熱により、開放される。このため、このレーザＬＡの照射を受けた領域６では、可撓体１２の復元量が小さくなり、加えられた曲げ角度に近い角度で曲ることになる。このことは、可撓体１２に与えられる曲げ変化量が小さくとも、可撓体１２に対し、大きな曲げ角度を付与できることを意味する。レーザＬＡは、可撓体１２の照射を受ける領域６がステンレススチールで構成されている場合、その表面温度が、例えば、Ｎ₂を吹き付けた状態で、３００〜４００℃となるように照射するのが好ましい。

上記プロセスにより、可撓体１２の小さな曲げ角度で、大きな姿勢角変化量を確保することができる。上述した姿勢角修正装置によれば、ＣＰＵ９４１を中心とした姿勢角修正システムを構築し、磁気ヘッド２の姿勢角を、自動的に、確実に、修正することができる。

上述のようにして、磁気ヘッド２の姿勢角を修正した後、再度、第１〜第３の撮像装置Ａ〜Ｃによって、磁気ヘッド２の姿勢角を検出し、検出された姿勢角が許容される角度範囲内（図１３の原点ＯＫ）であるかどうかを、コンピュータシステム９４のＣＰＵ９４１で判断する。判断の結果、検出された姿勢角が、許容される角度範囲内にないときは、コンピュータシステム９４のＣＰＵ９４１は、修正装置９２に修正条件を再度供給する。修正装置９２は、コンピュータシステム９４から供給された修正条件に基づき、修正ピン９２２〜９２５に修正移動動作を与え、それによって可撓体１２に曲げが加えられる。そして、レーザ発振装置９１１、９１２により、可撓体１２の曲げ部分にレーザＬＡが照射される。

上述した姿勢角の検出、修正ピン移動、レーザ照射の各プロセスを、ロール角およびピッチ角の修正条件が、図１３の原点ＯＫに到るまで繰り返される。そして、検出された姿勢角が許容される角度範囲内（図１３の原点ＯＫ）にあると判断されたときは、修正完了とし、次のワーク(ＨＳＡ９５）の処理に移り、当該ワークに対して、上述したプロセスが実行される。用意された全ワークの処理が終了した後は、ワークパレットを排出し、運転が終了され、ワークパレットが取り出される。

図１９は本発明に係る姿勢角修正装置の具体的な構造を示す平面図、図２０は図１９に示した姿勢角修正装置の具体的な構造を示す正面図、図２１は図１９及び図２０に示した姿勢角修正装置の側面図である。これらの図は、機械的部分のみを抽出して示したものである。図において、先に示した図面に現れた構成部分に相当する部分については、同一の参照符号を付してある。

レーザ発振装置９１１、９１２は、直交３軸Ｘ，Ｙ，Ｚで見て、Ｘ軸(横方向）及びＹ軸(奥行き方向）の２軸方向に移動しえるＸＹテーブルを備えている。

修正装置９２は、４つの修正ピン９２２〜９２５と、駆動部９３２〜９３５を有する。修正ピン９２２〜９２５は、何れも、斜めに配置され、斜めの状態を保って、駆動部９３２〜９３５により、Ｙ軸及びＺ軸の方向に駆動される。

第１〜第３の撮像装置Ａ〜Ｃは、ＣＣＤカメラで構成され、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、Ｘ軸周りθＸ、及び、Ｙ軸周りθＹの各方向に可動であり、それによって位置調整ができるように配置されている。

ワークであるＨＳＡ９５は、ワークパレット９７１、押さえ冶具９７２及び搬送冶具９７３により支持(図１参照）され、磁気ヘッド２が、修正ピン９２２〜９２５により押される位置、レーザ発振装置９１１、９１２によるレーザ照射を受けうる位置、及び、第１〜第３の撮像装置Ａ〜Ｃによる姿勢角測定を受ける位置に搬入される。

図１９〜図２１に示した姿勢角修正装置によれば、図１〜図１８を参照して説明した姿勢角修正を、自動的に、効率よく実行することができる。

以上、好ましい実施例を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種々の変形態様を採り得ることは自明である。例えば、修正装置９２はピンタイプに限らず、可撓体１２を挟み込んで曲げるタイプのものでもよい。

本発明に係る姿勢角修正方法の実施に直接に用いられる姿勢角修正装置の構成を示す図である。 本発明に係る姿勢角修正装置適用される撮像装置配置を示す図である。 第１の撮像装置による画像を示す図である。 第２の撮像装置による画像を示す図である。 第３の撮像装置による画像を示す図である。 本発明に係る姿勢角修正装置に含まれる修正装置のピン配置を示す図である。 本発明に係る姿勢角修正装置に含まれるレーザ発振装置の配置を示す図である。 本発明に係る姿勢角修正方法のフローチャートである。 第１の撮像装置によって撮像される画像とそれを利用したロール角修正方法を説明する図である。 第２の撮像装置によって撮像される画像とそれを利用したピッチ角修正方法を説明する図である。 第３の撮像装置によって撮像される画像とそれを利用したピッチ角修正方法を説明する図である。 第２の撮像装置及び第３の撮像装置によるロール角検出方法を説明する図である。 姿勢角の検出値に対する修正条件のランク付けについて説明するグラフである。 修正装置によるピッチ角調整方法を説明する図である。 修正装置によるもう一つのピッチ角調整方法を説明する図である。 修正装置によるロール角調整方法を説明する図である。 修正装置によるもう一つのロール角調整方法を説明する図である。 可撓体に対するレーザ照射位置を示す図である。 本発明に係る姿勢角修正装置の具体的な構造を示す平面図である。 図１９に示した姿勢角修正装置の正面図である。 図１９、図２０に示した姿勢角修正装置の側面図である。

符号の説明

２ 磁気ヘッド
１２ 可撓体
９１ レーザ発振装置
９２ 修正装置
９４ コンピュータシステム
Ａ〜Ｃ 第１〜第３の撮像装置

Claims (9)

1. ヘッド支持体の長手方向の一端側である自由端側に備えられた可撓体に取り付けられた磁気ヘッドの静止姿勢角を修正する静止姿勢角修正方法であって、
   少なくとも２つの撮像装置を用いて、前記長手方向とは、方向が略９０度異なる両側方から前記磁気ヘッドを撮像して画像信号を得て、
   前記画像信号上、前記両側方から見た前記磁気ヘッドの空気ベアリング面の２つの稜線から、前記空気ベアリング面の傾斜角が零であるとして想定された基準線までの各距離の差より特定したロール角に対応する修正条件を生成し、
   前記修正条件に基づいて、前記可撓体に静止姿勢角修正のための曲げを加え、
   前記可撓体の曲げを生じる領域にレーザを照射する、ステップを含む
   静止姿勢角修正方法。
2. 請求項１に記載された磁気ヘッドの静止姿勢角修正方法であって、
   さらに、前記画像信号上、前記基準線に対し、前記空気ベアリング面の成す角から特定したピッチ角に対応する修正条件を生成するステップを含む、
   静止姿勢角修正方法。
3. 請求項１又は２に記載された磁気ヘッドの静止姿勢角修正方法であって、
   複数の可動性修正ピンの先端を前記可撓体の表面に押圧することにより前記曲げを加え、
   前記修正条件は、前記可撓体に対する前記修正ピンの当接位置と、前記修正ピンの押込み量と、前記レーザの照射位置とを含む、
   静止姿勢角修正方法。
4. 請求項３に記載された磁気ヘッドの静止姿勢角修正方法であって、
   前記修正ピンは、前記可撓体の表面に対して所定の角度をもって配置される、
   静止姿勢角修正方法。
5. 修正装置と、レーザ発振装置と、少なくとも２つの撮像装置と、コンピュータシステムとを含み、ヘッド支持体の長手方向の一端側である自由端側に備えられた可撓体に取り付けられた磁気ヘッドの静止姿勢角を修正する静止姿勢角修正装置であって、
   前記２つの撮像装置は、前記長手方向とは、方向が略９０度異なる両側方から前記磁気ヘッドを撮像し、その画像信号を生成するものであり、
   前記コンピュータシステムは、前記撮像装置から供給された前記画像信号上、前記両側方から見た前記磁気ヘッドの空気ベアリング面の２つの稜線から、前記空気ベアリング面の傾斜角が零であるとして想定された基準線までの各距離の差より特定したロール角に対応する修正条件を生成し、
   前記修正装置は、前記修正条件に基づき、前記可撓体に曲げを加え、
   前記レーザ発振装置は、曲げ領域にレーザを照射する、
   静止姿勢角修正装置。
6. 請求項５に記載された磁気ヘッドの静止姿勢角修正装置であって、
   前記コンピュータシステムは、前記画像信号上、前記基準線に対し、前記空気ベアリング面の成す角から特定したピッチ角に対応する修正条件を生成する、
   静止姿勢角修正装置。
7. 請求項５又は６に記載された磁気ヘッドの静止姿勢角修正装置であって、
   前記コンピュータシステムは、ＣＰＵと、前記磁気ヘッドの静止姿勢角の値に対する修正条件をランク付けして予め記憶した記憶部とを有し、
   前記ＣＰＵは、前記ロール角又は前記ピッチ角に対応する修正条件を前記記憶部から読み出して前記修正装置に供給する、
   静止姿勢角修正装置。
8. 請求項５乃至７の何れかに記載された磁気ヘッドの静止姿勢角修正装置であって、
   前記修正装置は、先端を前記可撓体の表面に押圧し得る複数の可動性修正ピンを有し、
   前記修正条件は、前記可撓体に対する前記修正ピンの当接位置と、前記修正ピンの押込み量と、前記レーザの照射位置とを含む、
   静止姿勢角修正装置。
9. 請求項８に記載された磁気ヘッドの静止姿勢角修正装置であって、
   前記修正ピンは、前記可撓体の表面に対して所定の角度をもって配置されている、
   静止姿勢角修正装置。