JP5218957B2 - 形状測定装置、形状測定方法、及び形状測定プログラム - Google Patents
形状測定装置、形状測定方法、及び形状測定プログラム Download PDFInfo
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Description
(形状測定装置の概略構成)
先ず、図1を参照して、第1実施形態に係る形状測定装置を説明する。図1は、第1実施形態に係る形状測定装置(表面性状測定機)の外観斜視図である。なお、形状測定装置は、輪郭形状測定機、表面粗さ測定機、真円度測定機あるいは3次元測定機や非接触画像測定機等、他の表面性状測定機などであってもよい。
次に、ワーク4の配置に伴う測定経路について説明する。ワーク4は、図3に示すように、非球面形状に構成され頂点Tを有する上部4aと、円形平面状の底部4bとから構成されている。
次に、図8を参照して、制御部41の動作を説明する。図8は、制御部41の動作を示すフローチャートである。図8に示すフローチャートは、主に、上記のようにワーク4が水平に配置されていない場合(図6,図7)を想定したものである。
次に、第1実施形態に係る形状測定装置の効果を説明する。上記のように、第1実施形態に係る形状測定装置は、ワーク4の配置状態に基づき対応測定経路Laiを推定し、対応測定経路Laiからワーク4の対応値Dxiを推定することができる。したがって、照合計算の前段階において、ワーク4を水平に配置する手順を省略することができる。つまり、第1実施形態に係る形状測定装置によれば、ワーク4の測定から照合計算までに要する時間を短縮化することができる。
(第2実施形態に係る形状測定装置の制御部41の動作)
次に、図15を参照して、本発明の第2実施形態に係る形状測定装置の制御部41の動作を説明する。図15は、第2実施形態における制御部41の動作を示すフローチャートである。第2実施形態に係る形状測定装置の構成は、第1実施形態と同様であるので、その説明を省略する。その他、第2実施形態に係る形状測定装置において、第1実施形態と同様の工程については、その説明を省略し、同一符号を付す。
次に、第2実施形態に係る形状測定装置の効果を説明する。上記のような動作により、第2実施形態に係る形状測定装置は、第1実施形態と同様の効果を奏する。
Claims (5)
- 非球面ワークの形状を測定する形状測定装置であって、
前記非球面ワークの面における所定方向に亘る3次元測定により3次元測定値を取得する測定値取得部と、
予め定められた非球面ワークの設計関数にて特定されるワークモデルを前記測定値取得部により取得された3次元測定値と照合させて、前記非球面ワークの傾きを含む配置状態を推定する配置状態推定部と、
推定された前記配置状態に基づき、前記ワークモデルが当該配置状態とされている場合における断面測定の際の測定経路を推定する測定経路推定部と、
推定された前記測定経路で前記ワークモデルを前記断面測定した場合に得られる前記非球面ワークの測定値に対応する対応値を推定する対応値推定部と
を備えることを特徴とする形状測定装置。 - 前記非球面ワークを載置可能であり且つ傾斜可能に構成されたテーブルと、
前記対応値推定部により推定された対応値に基づき前記テーブルの傾斜を調整する傾斜制御部とを備え、
前記測定値取得部は、前記傾斜制御部により前記テーブルの傾斜が調整された場合に、前記配置状態の推定に用いられる3次元測定値を再度取得する
ことを特徴とする請求項1記載の形状測定装置。 - 前記対応値推定部によって前記ワークモデルを用いて推定された対応値と、前記非球面ワークの測定値とを照合し、当該非球面ワークの測定値が許容範囲内であるか否かを判定するワーク形状判定部を備える
ことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の形状測定装置。 - 非球面ワークの形状を測定する形状測定方法であって、
前記非球面ワークの面における所定方向に亘る3次元測定により3次元測定値を取得する測定値取得ステップと、
予め定められた非球面ワークの設計関数にて特定されるワークモデルを前記測定値取得部により取得された3次元測定値と照合させて、前記非球面ワークの傾きを含む配置状態を推定する配置状態推定ステップと、
推定された前記配置状態に基づき、前記ワークモデルが当該配置状態とされている場合における断面測定の際の測定経路を推定する測定経路推定ステップと、
推定された前記測定経路で前記ワークモデルを前記断面測定した場合に得られる前記非球面ワークの測定値に対応する対応値を推定する対応値推定ステップと
を備えることを特徴とする形状測定方法。 - 非球面ワークの形状を測定させる形状測定プログラムであって、
コンピュータに、
前記非球面ワークの面における所定方向に亘る3次元測定により3次元測定値を取得する測定値取得ステップと、
予め定められた非球面ワークの設計関数にて特定されるワークモデルを前記測定値取得部により取得された3次元測定値と照合させて、前記非球面ワークの傾きを含む配置状態を推定する配置状態推定ステップと、
推定された前記配置状態に基づき、前記ワークモデルが当該配置状態とされている場合における断面測定の際の測定経路を推定する測定経路推定ステップと、
推定された前記測定経路で前記ワークモデルを前記断面測定した場合に得られる前記非球面ワークの測定値に対応する対応値を推定する対応値推定ステップと
を実行させるための形状測定プログラム。
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