JP7285658B2 - 印字装置および印字方法 - Google Patents

Description

この発明は、印字装置および印字方法に関する。

特開２０１６－３６８４０号公報（特許文献１）には、対象物（以下、ワークとも書する）の表面にレーザビームを走査させることにより、ワークの表面にキャラクタを印字する印字装置を開示する。印字装置は、レーザビームを偏向させるためのガルバノミラーを有するレーザマーカを備えており、ワークの表面に設定された印字位置でレーザビームを二次元的に走査させることにより、印字位置にキャラクタを印字するように構成されている。

特開２０１６－３６８４０号公報

しかしながら、上記印字装置においては、ワークの表面の印字位置に異物が付着した状態で印字を行なうと、異物の材料の特性に起因して、異物が付着した部分においてキャラクタが濃く（または薄く）印字される、または、異物が付着した部分が印字されない場合が起こり得る。その結果、キャラクタの一部に印字ムラまたは欠けが生じてしまうことが懸念される。

この発明は、上述のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、レーザビームをワークの表面に当ててキャラクタを印字する印字装置および印字方法において、キャラクタの正確さおよび鮮明さを向上させることである。

この発明に係る印字装置は、レーザマーカと、レーザマーカを制御する制御装置とを備える。レーザマーカは、ワークの表面上でレーザビームを走査させることにより、ワークの表面に設定された印字箇所にキャラクタを印字するように構成される。制御装置は、ワークの表面に、平面視において印字箇所と重なるように処理箇所を設定するとともに、処理箇所をレーザビームで走査することにより、印字箇所に付着した異物を除去する異物除去処理を実行する。制御装置はさらに、異物除去処理が施された印字箇所をレーザビームで走査することにより、キャラクタを印字する印字処理を実行する。

この発明に係る印字方法は、ワークの表面上でレーザビームを走査させることにより、ワークの表面に設定された印字箇所にキャラクタを印字する印字方法である。印字方法は、ワークの表面に、平面視において印字箇所と重なるように処理箇所を設定するステップと、処理箇所をレーザビームで走査することにより、印字箇所に付着した異物を除去するステップと、異物除去処理が施された印字箇所をレーザビームで走査することにより、キャラクタを印字するステップとを備える。

この発明によれば、レーザビームをワークの表面に当ててキャラクタを印字する印字装置および印字方法において、キャラクタの正確さおよび鮮明さを向上させることができる。

実施の形態１に係る印字装置の上面図である。 実施の形態１に係る印字装置の正面図である。 ワークの構成例を示す図である。 レーザマーカの構成例を模式的に示す図である。 制御装置のハードウェア構成を示すブロック図である。 制御装置の機能的構成を概略的に示すブロック図である。 マーカヘッドのワーキングディスタンスの補正方法を説明する図である。 ワークごとに生じ得る印字箇所の変位を説明する図である。 印字箇所の補正方法を説明する図である。 異物除去処理を説明する図である。 実施の形態１に係る印字装置により実行されるワークの印字工程の処理手順を説明するフローチャートである。 ワークの上面図である。 印字箇所のサイズを縮小する方法を説明する図である。 実施の形態２に係る印字装置により実行されるワークの印字工程の処理手順を説明するフローチャートである。 実施の形態３に係る印字装置により実行されるワークの印字工程を説明する図である。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、以下では図中の同一または相当部分に同一符号を付してその説明は原則的に繰返さないものとする。

実施の形態１．
＜レーザ印字装置の構成＞
図１および図２は、実施の形態１に係る印字装置の全体構成を示す図である。図１は実施の形態１に係る印字装置の上面図であり、図２は実施の形態１に係る印字装置の正面図である。

実施の形態１に係る印字装置１００は、印字対象のワーク１の表面にキャラクタを印字するための装置である。本願明細書において、「キャラクタ」は、文字、数字、図形、記号またはコード（二次元コード、バーコード、ＱＲコード（登録商標）など）など識別可能な情報である。識別情報は、例えばワーク１の製品名、製造番号、製品の試験結果などの製品情報を含む。「印字」とはキャラクタをワーク１の表面に付すことである。

印字装置１００は、レーザビームをワーク１の表面に当てることで、非接触の熱加工によりワーク１の表面にキャラクタを印字するように構成される。

ワーク１には、樹脂、ガラス、木材および金属など様々な材料で形成されたワークを適用することができる。図３は、ワーク１の構成例を示す図である。図３（Ａ）はワーク１の上面図であり、図３（Ｂ）はワーク１の正面図である。ワーク１の表面にはニッケルめっきが施されている。

図３（Ａ）および（Ｂ）を参照して、ワーク１は、第１円柱体１ａおよび第２円柱体１ｂを有する。第２円柱体１ｂの直径は第１円柱体１ａの直径よりも小さい。第２円柱体１ｂは第１円柱体１ａの上面に配置される。図３（Ａ）に示すように、第１円柱体１ａおよび第２円柱体１ｂは同心円状に配置される。第１円柱体１ａの上面のうち、第１円柱体１ａの外周円と第２円柱体１ｂの外周円とで囲まれた円環状の領域（図３（Ａ）中の斜線領域ＲＧＮに相当）は、キャラクタを印字可能な領域（以下、「印字可能領域」とも称する）である。この印字可能領域ＲＧＮ内にキャラクタの印字箇所９が設定される。

キャラクタは例えば二次元コードであり、キャラクタの印字箇所９は矩形形状を有している。印字箇所９の中心点（図中の点Ｐ）は、第１円柱体１ａのＸ軸方向の中心線Ｌｘと、印字可能領域のＹ軸方向の中心線Ｌｃとの交点に設定される。Ｙ軸方向の中心線Ｌｃは、Ｘ軸方向の中心線Ｌｘと第２円柱体１ｂの外周面との交点を通りＹ軸方向に延びる直線Ｌｂと、Ｘ軸方向の中心線Ｌｘと第１円柱体１ａの外周面との交点を通りＹ軸方向に延びる直線Ｌａとの中間に位置する。

図１および図２を参照して、実施の形態１に係る印字装置１００は、搬送シャトル２と、複数の固定チャック３と、レーザ変位計４と、視覚センサ５と、レーザマーカ６と、Ｚ軸アクチュエータ７と、Ｙ軸アクチュエータ８と、制御装置１０とを備える。

搬送シャトル２は、図示しない電動モータを駆動源としてワーク１を搬送する。搬送シャトル２の端部には、印字前のワーク１を印字装置１００に搬入し、かつ、印字後のワーク１を印字装置１００から搬出するための搬入・搬出部２Ａが設けられる。

本願明細書では、ワーク１に照射されるレーザビームの光軸方向をＺ軸方向とし、搬送シャトル２によるワーク１の搬送方向をＸ軸方向とし、搬送シャトル２の幅方向をＹ軸方向とする。なお、Ｘ軸方向はレーザマーカ６に向かう方向を正方向とし、レーザマーカ６から離れる方向を負方向とする。

複数の固定チャック３は、搬送シャトル２上にＸ軸方向に沿って等間隔に設置される。各固定チャック３は、ワーク１をチャックすることによりワーク１を固定することができる。Ｙ軸アクチュエータ８は各固定チャック３に取り付けられる。Ｙ軸アクチュエータ８は、対応する固定チャック３をＹ軸方向に移動可能に構成される。

搬送シャトル２の搬入・搬出部２Ａに位置する固定チャック３にワーク１が載置されると、ワーク１は固定チャック３に固定される。ワーク１は固定チャック３とともに搬送シャトル２によってＸ軸の正方向に搬送され、レーザマーカ６に搬入される。レーザマーカ６においてキャラクタが印字されたワーク１は、搬送シャトル２によってレーザマーカ６から搬出され、固定チャック３とともにＸ軸負方向に搬入・搬出部２Ａまで搬送される。

搬入・搬出部２Ａからレーザマーカ６に至る搬送シャトル２上には、レーザ変位計４および視覚センサ５が設置される。図２に示すように、レーザ変位計４は、搬送シャトル２のＺ軸方向の上方に配置される。レーザ変位計４は、ワーク１の印字面のＺ軸方向の位置を測定し、測定値を制御装置１０へ出力する。レーザ変位計４には公知のレーザ変位計を用いることができる。レーザ変位計は「変位計」の一実施例に対応する。変位計には、レーザ変位計などの光学式の変位計に代えて、接触式、渦電流式または超音波式の変位計を用いることができる。

視覚センサ５は、レーザ変位計４よりもＸ軸の正方向側であって、搬送シャトル２のＺ軸方向の上方に設置される。Ｚ軸アクチュエータ７は視覚センサ５に取り付けられる。Ｚ軸アクチュエータ７は、視覚センサ５をＺ軸方向に移動可能に構成される。これにより、視覚センサ５のワーキングディスタンスを調整することができる。なお、本願明細書において、「ワーキングディスタンス」とはレンズのワーク１側の面とワーク１の印字面との間の距離を意味する。

視覚センサ５は、印字前のワーク１を撮像して得られる画像データに対して画像処理を実行することにより、ワーク１の実際の印字箇所９を検出する。また、視覚センサ５は、印字後のワーク１を撮像して得られる画像データに対して画像処理を実行することにより、ワーク１にキャラクタが正常に印字されているかどうかを検査する。視覚センサ５は、取得した画像データおよび画像処理によって得られたデータを制御装置１０へ出力する。

具体的には、視覚センサ５は、ワーク１を撮像するための撮像部５ａと、撮像部５ａによって撮像された画像を処理するための画像処理部５ｂとを有する（図５参照）。撮像部５ａは、レンズおよび絞りなどの光学系と、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサまたはＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサなどの受光素子とを含む。

撮像部５ａの撮像範囲は、搬送シャトル２の幅方向の全体を含むように設定されている。撮像部５ａは、搬送シャトル２のＺ軸方向の上方から、搬送されるワーク１の上面を順次撮像する。画像処理部５ｂは、ワーク１ごとに、撮像部５ａの撮像画像に基づいて実際の印字箇所９を検出し、実際の印字箇所９の検出位置を示す信号を制御装置１０へ出力する。

レーザマーカ６は、視覚センサ５よりもＸ軸の正方向側に設置される。本実施の形態におけるレーザマーカ６は、ガルバノスキャナを利用したレーザ加工装置である。図４は、レーザマーカ６の構成例を模式的に示す図である。

図４を参照して、レーザマーカ６は、マーカヘッド６０および制御部６２を有する。マーカヘッド６０は、ワーク１のＺ軸方向の上方に設置される。マーカヘッド６０は、レーザ発振器６１と、ガルバノミラー６３ａ，６３ｂと、ガルバノモータ６４ａ，６４ｂと、ガルバノドライバ６５と、ｆθレンズ６６とを有する。

レーザ発振器６１は、レーザビームを発生する。マーカヘッド６０は、レーザ発振器６１から出力されるレーザビームをワーク１の表面上で走査させることにより、ワーク１の表面にキャラクタを印字するように構成される。

具体的には、ガルバノミラー６３ａ，６３ｂおよびガルバノモータ６４ａ，６４ｂは、レーザ発振器６１から出力されるレーザビームを走査する走査機構を構成する。第１ガルバノミラー６３ａおよび第１ガルバノモータ６４ａは、レーザ発振器６１から出力されるレーザビームをＸ軸方向に走査するＸ軸スキャナを構成する。第２ガルバノミラー６３ｂおよび第２ガルバノモータ６４ｂは、レーザビームをＹ軸方向に走査するＹ軸スキャナを構成する。

第１ガルバノミラー６３ａと第２ガルバノミラー６３ｂとは、互いに交差する回転軸にそれぞれ配置される。第１ガルバノモータ６４ａは、第１ガルバノミラー６３ａを軸回転させることによって、レーザビームをＸ軸方向に走査させる。第２ガルバノモータ６４ｂは、第２ガルバノミラー６３ｂを軸回転させることによって、レーザビームをＹ軸方向に走査させる。第２ガルバノミラー６３で偏向されたレーザビームはｆθレンズ６６に入射される。ｆθレンズ６６は、入射されたレーザビームを集光し、ワーク１の表面に向かって垂直に照射する。

ガルバノモータ６４ａ，６４ｂはガルバノドライバ６５に接続される。ガルバノドライバ６５はガルバノモータ６４ａ，６４ｂを駆動する。ガルバノドライバ６５およびレーザ発振器６１は制御部６２に接続されている。制御部６２から与えられる制御信号によって、レーザ発振器６１およびガルバノモータ６４ａ，６４ｂの動作が制御される。

＜制御装置１０の構成＞
図１および図２に戻って、制御装置１０は、搬送シャトル２、固定チャック３、レーザ変位計４、視覚センサ５、レーザマーカ６、Ｚ軸アクチュエータ７およびＹ軸アクチュエータ８の各々と通信可能に接続される。制御装置１０は、これらの機器との間でデータを遣り取りすることにより、印字装置１００全体を制御するように構成される。

（制御装置１０のハードウェア構成）
図５は、制御装置１０のハードウェア構成を示すブロック図である。

図５を参照して、制御装置１０は、印字装置１００全体を制御するためのＣＰＵ（Central Processing Unit）１２と、メモリと、通信部２２と、Ｉ／Ｏ（Input/Output）インターフェース１８と、表示部２４と、入力部２６とを備える。

制御装置１０は一般的なコンピュータに相当する機能を有して構成することができる。制御装置１０は、少なくとも１台のコンピュータにより構成することができる。または、制御装置１０が有する機能の全部または一部をネットワーク上のサーバ（クラウドサーバなど）により実現することができる。

通信部２２は、制御装置１０と、レーザ変位計４、視覚センサ５、レーザマーカ６、Ｚ軸アクチュエータ７およびＹ軸アクチュエータ８との間におけるデータの遣り取りを仲介する機能を有する。

メモリは、例えば、ＣＰＵ１２で実行されるプログラムを記憶するためのメモリであるＲＯＭ（Read Only Memory）１４、ＣＰＵ１２で実行する際の作業領域となった計算値を記憶するためのメモリであるＲＡＭ（Random Access Memory）１６、およびＨＤＤ（Hard Disk Drive）２０を含む。

Ｉ／Ｏインターフェース１８は、制御装置１０への入力または制御装置１０からの出力のインターフェースである。Ｉ／Ｏインターフェース１８には、表示部２４および入力部２６が接続され、ユーザが入力部２６に対して入力した情報を受け付ける。入力部２６は、例えば、マウス、キーボード、タッチパネルまたはコントローラである。また、制御装置１０の処理結果（例えば、ワーク１の画像データおよびワーク１の外観検査結果など）を表示部２４へ出力する。表示部２４は、例えばＬＣＤ（Liquid Crystal Display）または有機ＥＬ（Electro-Luminescence）ディスプレイによって構成される。表示部２４は制御装置１０から出力される信号に従う映像または画像を表示する。

制御装置１０における処理は、各ハードウェアおよびＣＰＵ１２により実行されるソフトウェアによって実現される。このようなソフトウェアはＲＯＭ１４またはＨＤＤ２０に予め記憶されている場合がある。また、ソフトウェアは、図示しない記憶媒体に格納され、プログラムプロダクトとして流通している場合もある。あるいは、ソフトウェアは、インターネットに接続されている情報提供事業者によってダウンロード可能なプログラムプロダクトとして提供される場合もある。このようなソフトウェアは、読取装置により記憶媒体から読み取られて、あるいは通信部を介してダウンロードされた後、ＨＤＤに一旦格納される。そして、ソフトウェアは、ＣＰＵ１２によってＨＤＤ２０から読み出され、ＣＰＵ１２により実行可能な形式でＲＡＭに格納される。ＣＰＵ１２は、このプログラムを実行する。

（制御装置１０の機能的構成）
図６は、制御装置１０の機能的構成を概略的に示すブロック図である。

図６を参照して、制御装置１０は、データ処理部３０と、駆動部３２と、通信部２２と、表示部２４と、入力部２６とを有する。

データ処理部３０は、ＷＤ（ワーキングディスタンス）補正部４０と、印字箇所補正部４２と、異物除去処理部４４と、検査部４６とを有する。

（１）ＷＤ補正部４０
ＷＤ補正部４０は、視覚センサ５およびレーザマーカ６のマーカヘッド６０のワーキングディスタンスを補正する。具体的には、ＷＤ補正部４０は、レーザ変位計４から通信部２２を介してワーク１の印字面のＺ軸方向の位置の測定値を受信する。ＷＤ補正部４０は、受信した測定値に基づいて、視覚センサ５およびレーザマーカ６の各々のワーキングディスタンスを測定する。視覚センサ５のワーキングディスタンスは、撮像部５ａのレンズのワーク１側の面とワーク１の印字面との間の距離である。マーカヘッド６０のレンズのワーク１側の面とワーク１の印字面との間の距離である。

ＷＤ補正部４０は、視覚センサ５およびレーザマーカ６の各々について、ワーキングディスタンスの基準値を有している。ワーキングディスタンスの基準値は、レンズの焦点距離に設定されている。

図７は、マーカヘッド６０のワーキングディスタンスの補正方法を説明する図である。図７（Ａ）は、マーカヘッド６０のワーキングディスタンスＷＤとマーカヘッド６０の焦点距離Ｆとが等しい状態を示している。図７（Ｂ）は、ワーキングディスタンスＷＤが焦点距離Ｆより短い状態を示している。図７（Ｃ）は、ワーキングディスタンスＷＤが焦点距離Ｆより長い状態を示している。

図７（Ａ）に示すように、ワーキングディスタンスＷＤと焦点距離Ｆとが等しい場合には、印字面の高さでレーザビームＬＢが集光されるため、印字されるキャラクタを正確かつ鮮明に印字することができる。

これに対して、図７（Ｂ）に示すように、ワーキングディスタンスＷＤが焦点距離Ｆより短い場合には、印字面の高さでレーザビームＬＢが集光されないため、印字されるキャラクタが不鮮明になる、またはキャラクタが印字されない可能性がある。図７（Ｃ）のようにワーキングディスタンスＷＤが焦点距離Ｆよりより長い場合も同様のことが起こり得る。

図示は省略するが、視覚センサ５においても、ワーキングディスタンスと焦点距離とが一致しない場合には、印字面に焦点の合った画像を撮像することが困難となる可能性がある。

ＷＤ補正部４０は、視覚センサ５およびレーザマーカ６の各々について、ワーキングディスタンスの基準値（焦点位置）に対する測定値の偏差を算出する。算出された偏差は、ワーキングディスタンスの基準値に対する測定値のずれに相当する。このずれは、ワーク１の寸法誤差または、固定チャック３に対するワーク１の取り付け誤差などによって発生し得る。

ＷＤ補正部４０は、算出した偏差に基づいてワーキングディスタンスの補正量を設定する。ＷＤ補正部４０は、視覚センサ５のワーキングディスタンスの補正量をＺ軸アクチュエータ７に出力し、レーザマーカ６のワーキングディスタンスの補正量をレーザマーカ６に出力する。Ｚ軸アクチュエータ７は、補正量に基づいて視覚センサ５をＺ軸方向に移動させる。これにより、視覚センサ５のワーキングディスタンスを基準値（焦点距離）に一致させることができるため、視覚センサ５はワーク１の印字面に焦点の合った画像を撮像することが可能となる。レーザマーカ６は、補正量に基づいてマーカヘッド６０をＺ軸方向に移動させる。これにより、マーカヘッド６０のワーキングディスタンスを基準値（焦点距離）に一致させることができるため、印字面に正確かつ鮮明に印字することが可能となる。

なお、本実施の形態では、視覚センサ５およびマーカヘッド６０をＺ軸方向に移動させることによりワーキングディスタンスを補正する構成としたが、固定チャック３をＺ軸方向に移動可能に構成されたＺ軸アクチュエータを固定チャック３に取り付け、Ｚ軸アクチュエータによって固定チャック３をＺ軸方向に移動させることにより、ワーキングディスタンスを補正する構成としてもよい。

（２）印字箇所補正部４２
図６に戻って、印字箇所補正部４２は、視覚センサ５から通信部２２を介して、ワーク１ごとの実際の印字箇所９の検出位置を示す信号を受信する。印字箇所補正部４２は、受信した信号に基づいて、ワーク１ごとに印字箇所を補正する。

図８は、ワーク１ごとに生じ得る印字箇所の変位（ずれ）を説明する図である。図８（Ａ）および（Ｂ）はワーク１の正面図である。

図８（Ａ）は、ワーク１が正規の姿勢で固定チャック３に固定されている状態を示している。ワーク１は、第１円柱体１ａのＹ軸方向の中心線Ｌｙが、固定チャック３のＹ軸方向の中心線Ｌ３に一致するように固定される。印字箇所９は、固定チャック３の中心線Ｌ３を基準として設定される。印字箇所９のＹ軸方向の中心線Ｌｃの位置は、固定チャック３の中心線Ｌ３からの距離ｄ１で定められる。

図８（Ｂ）は、ワーク１が正規でない姿勢で固定チャック３に固定されている状態を示している。図８（Ｂ）では、ワーク１のＹ軸方向の中心線Ｌｙは固定チャック３のＹ軸方向の中心線Ｌ３からＸ軸方向にずれている。そのため、固定チャック３の中心線Ｌ３から距離ｄ１だけ離して印字箇所９の中心線Ｌｃを定めると、図８（Ｂ）のように、印字箇所９の一部分がワーク１の印字可能領域からはみ出すことがある。これにより、ワーク１に印字されるキャラクタに欠けが生じてしまう。キャラクタの欠けを防ぐためには、ワーク１の姿勢に応じて印字箇所９を補正する必要がある。

印字箇所補正部４２は、予め設定されている印字箇所９の基準位置を、視覚センサ５により検出されたワーク１の実際の印字箇所９に一致させるように補正する。図９は、印字箇所の補正方法を説明する図である。図９には、ワーク１の印字可能領域ＲＧＮが部分的に拡大して示されている。

図９において、印字箇所９は、固定チャック３の中心線Ｌ３を基準として設定された印字箇所の基準位置である。印字箇所９における所定の１点（例えば中心点とする）を、点Ｐ０（Ｘ０，Ｙ０）で表すこととする。

視覚センサ５において、画像処理部５ｂは、撮像部５ａにより撮像された印字前のワーク１の画像データを画像処理することで、実際の印字箇所９ａを検出する。具体的には、画像処理部５ｂは、画像処理によってワーク１の表面の印字可能領域ＲＧＮを検出し、印字可能領域ＲＧＮの内周側のエッジＥｂおよび外周側のエッジＥａを抽出する。画像処理部５ｂは、エッジＥｂとＸ軸方向の中心線Ｌｘとの交点を通りＹ軸方向に延びる直線Ｌｂと、エッジＥａと中心線Ｌｘとの交点を通りＹ軸方向に延びる直線Ｌａとを引き、これら２つの直線Ｌａ，Ｌｂの中間に中心線Ｌｃを引く。画像処理部５ｂは、中心線Ｌｘと中心線Ｌｃとの交点を実際の印字箇所９ａの中心点とする。図９では、実際の印字箇所９ａにおける中心点を、点Ｐ１（Ｘ１，Ｙ１）で表している。

画像処理部５ｂは、実際の印字箇所９ａの中心点Ｐ１（Ｘ１，Ｙ１）を示す信号を、通信部２２を介して印字箇所補正部４２へ出力する。印字箇所補正部４２は、画像処理部５ｂからの信号に基づいて、印字箇所９を補正する。具体的には、印字箇所補正部４２は、印字箇所９の基準位置の中心点Ｐ０（Ｘ０，Ｙ０）に対する、実際の印字箇所９ａの中心点Ｐ１（Ｘ１，Ｙ１）の変位量を算出する。変位量は、Ｘ軸方向の変位量ΔＸおよびＹ軸方向の変位量ΔＹを含む。Ｘ軸方向の変位量ΔＸ＝Ｘ１－Ｘ０であり、Ｙ軸方向の変位量ΔＹ＝Ｙ１－Ｙ０である。

算出された変位量ΔＸ，ΔＹは撮像画像上でのピクセル値で与えられる。印字箇所補正部４２は、ピクセル値で与えられた変位量ΔＸ，ΔＹを実際の変位量（単位はｍｍ）に変換する。算出した変位量ΔＸ，ΔＹに従って印字箇所９を変位させることにより、印字箇所９を実際の印字箇所９ａに一致させることができる。

図６に戻って、印字箇所補正部４２は、算出したＸＹ軸方向の変位量ΔＸ，ΔＹのうち、Ｘ軸方向の変位量ΔＸをレーザマーカ６へ出力し、Ｙ軸方向の変位量ΔＹをＹ軸アクチュエータ８に出力する。

Ｙ軸アクチュエータ８は、変位量ΔＹに基づいて固定チャック３をＹ軸方向に移動させる。レーザマーカ６では、制御部６２は、Ｘ軸方向の変位量ΔＸに従って、印字箇所９の基準位置をＸ軸方向に移動させることにより、印字箇所９を補正する。ワーク１に印字する処理において、制御部６２は、補正された印字箇所９に基づいて、マーカヘッド６０のガルバノミラー６３ａ，６３ｂを駆動する。これによると、ワーク１が正規の姿勢で固定チャック３に固定されていない場合においても、ワーク１の印字領域ＲＧＮに設定された基準位置にキャラクタを印字することが可能となる。

なお、本実施の形態では、マーカヘッド６０において印字箇所９のＸ軸方向の変位を補正し、かつ、Ｙ軸アクチュエータ８によって印字箇所９のＹ軸方向の変位を補正する構成としたが、マーカヘッド６０において印字箇所９のＸ軸方向の変位およびＹ軸方向の変位の両方を補正する構成としてもよい。

あるいは、固定チャック３をＸ軸方向に移動可能に構成されたＸ軸アクチュエータを固定チャック３にさらに取り付け、Ｘ軸アクチュエータおよびＹ軸アクチュエータ８によって固定チャック３をＸＹ軸方向に移動させることにより、印字箇所９のＸ軸方向の変位およびＹ軸方向の変位の両方を補正する構成としてもよい。

（３）異物除去処理部４４
異物除去処理部４４は、ワーク１にキャラクタを印字する処理の前処理として、ワーク１の印字面に付着している異物（粉塵、汚れ、酸化物など）を除去する処理を行なうように構成される。具体的には、印字のために用いるレーザビームよりもパワーの小さいレーザビームを印字面に走査させることにより、印字面に付着している異物を溶融または蒸発させる。

図１０は、異物除去処理を説明する図である。図１０には、ワーク１の印字可能領域ＲＧＮが部分的に拡大して示されている。

図１０に示すように、ワーク１の印字可能領域ＲＧＮには、印字箇所９に対応して、異物除去処理が施される処理箇所１３が設定される。処理箇所１３は、平面視において印字箇所９と重なるように配置される。

処理箇所１３の面積は、印字箇所９の面積以上である。印字箇所９の面積以上であれば、異物除去処理によって印字箇所９全体に付着する異物を除去することができる。図１０の例では、処理箇所１３は、矩形形状の印字箇所９の各辺をΔＬ×２だけ拡大させた形状を有する。このΔＬは、印字処理において印字箇所９に照射されるレーザビームの照射径などに応じて設定することができる。例えば、レーザビームの照射径が大きい場合には、レーザビームの照射径が小さい場合に比べて、ΔＬを大きくすることができる。

印字箇所９に異物が付着した状態で印字を行なうと、異物の材料の特性に起因して、異物が付着した部分においてキャラクタが濃く（または薄く）印字される、または、異物が付着した部分が印字されない場合がある。その結果、キャラクタの一部にムラまたは欠けが生じてしまう。

あるいは、キャラクタの印字を均一に行なうことができても、ワーク１の表面がニッケルめっきされている場合には、めっき膜の平坦性が低いことから、印字後のワーク１の撮像画像において、キャラクタとその周辺部分とでコントラストに明確な差が現れにくい。このような場合には、撮像画像上ではキャラクタが周辺部分に同化してしまい、キャラクタを識別できないとして、外観検査において印字不良と判定されることが懸念される。

本実施の形態によれば、印字前のワーク１の印字箇所９に異常除去処理を施すことで、印字箇所９の表面に付着した異物を除去するとともに、印字箇所９の表面状態を均一にならして平坦性を高めることができる。これにより、ワーク１にキャラクタを正確かつ鮮明に印字することが可能となる。

異物除去処理部４４は、ワーク１がマーカヘッド６０の作業領域に到着すると、レーザマーカ６の制御部６２に対して異物除去処理の実行指令を出力する。制御部６２は、異物除去処理の実行指令を受けると、マーカヘッド６０を制御することにより、ワーク１の印字可能領域ＲＧＮ内に設定された処理箇所１３にレーザビームを走査させる。

レーザビームの走査が終了すると、異物除去処理部４４は、制御部６２に対して印字処理の実行指令を出力する。制御部６２は、印字処理の実行指令を受けると、マーカヘッド６０を制御することにより、ワーク１の印字箇所９にレーザビームを走査させることにより、キャラクタを印字する。

（４）検査部４６
検査部４６は、視覚センサ５により取得された画像データに基づいて、印字後のワーク１の外観検査を行なう。検査部４６は、通信部を介して画像データを受信すると、印字後のワーク１の撮像画像を表示部２４に表示する。また、検査部４６は、視覚センサ５の画像処理部５ｂによる画像処理に基づいて、ワーク１の印字箇所９にキャラクタが正常に印字されているか否かを判定し、判定結果を表示部２４に表示する。

＜印字装置１００の動作＞
次に、実施の形態１に係る印字装置１００の動作について説明する。

図１１は、実施の形態１に係る印字装置１００により実行されるワーク１の印字工程の処理手順を説明するフローチャートである。図１１のフローチャートは、１個のワーク１についての印字工程の手順を示したものである。搬送シャトル２上を複数のワーク１が搬送される場合、ワーク１ごとに図１１の印字工程が実行される。

図１１を参照して、最初に、搬送シャトル２の搬入・搬出部２Ａに配置された固定チャック３にワーク１が載置されたことが検知されると（Ｓ０１）、制御装置１０は、固定チャック３をチャックすることによりワーク１を固定し、搬送シャトル２によってワーク１を搬入する（Ｓ０２）。なお、ステップＳ０１，Ｓ０３，Ｓ０８，Ｓ１６における検知は、例えば、搬送シャトル２に設置された光電センサの検知信号に基づいて行なうことができる。

レーザ変位計４の測定位置にワーク１が到着したことが検知されると（Ｓ０３）、レーザ変位計４はワーク１の印字面のＺ軸方向の位置を測定する。制御装置１０は、レーザ変位計４の測定値と、視覚センサ５およびレーザマーカ６の各々のレンズのＺ軸方向の位置とに基づいて、視覚センサ５およびレーザマーカ６の各々のワーキングディスタンス（ＷＤ）を測定する（Ｓ０４）。

制御装置１０は、視覚センサ５およびレーザマーカ６の各々について、ワーキングディスタンスの基準値（焦点距離）に対する測定値の偏差を算出する。制御装置１０は、算出した偏差が閾値より大きいか否かを判定する（Ｓ０５）。ワーキングディスタンスの偏差が閾値より大きい場合（Ｓ０５にてＹＥＳ）、制御装置１０は、上記偏差をワーキングディスタンスの補正量としてＺ軸アクチュエータ７およびレーザマーカ６に出力する。

Ｚ軸アクチュエータ７は、制御装置１０から、視覚センサ５のワーキングディスタンスの補正量を受信すると、当該補正量に基づいて視覚センサ５をＺ軸方向に移動させることにより、ワーキングディスタンスを基準値に補正する（Ｓ０６）。

レーザマーカ６は、制御装置１０から、レーザマーカ６のワーキングディスタンスの補正量を受信すると、当該補正量に基づいてマーカヘッド６０をＺ軸方向に移動させることにより、ワーキングディスタンスを基準値に補正する（Ｓ０７）。なお、ステップＳ０５においてワーキングディスタンスの偏差が閾値以下である場合（Ｓ０５にてＮＯ）、ステップＳ０６およびＳ０７の処理がスキップされる。

視覚センサ５の撮像範囲にワーク１が到着したことが検知されると（Ｓ０８）、視覚センサ５はワーク１を撮像する（Ｓ０９）。視覚センサ５は、撮像した画像データに画像処理を施すことにより、ワーク１の実際の印字箇所９ａ（図９参照）を検出する（Ｓ１０）。

制御装置１０は、平面視において実際の印字箇所９ａと重なるように処理箇所１３（図１０参照）を設定する（Ｓ１１）。

制御装置１０は、予め設定されている印字箇所９の基準位置（図９参照）に対する、実際の印字箇所９ａのＸＹ軸方向の変位量を算出する（Ｓ１２）。制御装置１０は、印字箇所９の基準位置の所定の点（例えば、中心点Ｐ０（Ｘ０，Ｙ０））に対する、実際の印字箇所９ａの所定の点（中心点Ｐ１（Ｘ１，Ｙ１））の変位量ΔＸ，ΔＹを算出する。

制御装置１０は、算出した変位量ΔＸ，ΔＹが閾値より大きいか否かを判定する（Ｓ１３）。Ｘ軸方向の変位量ΔＸが閾値よりも大きい場合（Ｓ１３にてＹＥＳ）、制御装置１０は、変位量ΔＸをレーザマーカ６へ出力する。レーザマーカ６は、変位量ΔＸに従って、印字箇所９の基準位置をＸ軸方向に移動させることにより、印字箇所９を補正する（Ｓ１３）。

Ｙ軸方向の変位量ΔＹが閾値よりも大きい場合（Ｓ１３にてＹＥＳ）、制御装置１０は、変位量ΔＹをＹ軸アクチュエータ７へ出力する。Ｙ軸アクチュエータ８は、変位量ΔＹに基づいて固定チャック３をＹ軸方向に移動させる（Ｓ１５）。なお、ステップＳ１３において変位量ΔＸ，ΔＹがいずれも閾値以下である場合（Ｓ１３にてＮＯ）、ステップＳ１４およびＳ１５の処理がスキップされる。

ワーク１がマーカヘッド６０の作業領域に到着したことが検知されると（Ｓ１６）、制御装置１０は、最初に、ワーク１の印字箇所９に対して異物除去処理を実行する（Ｓ１７）。制御装置１０は、ステップＳ１１で設定した処理箇所１３の位置情報をレーザマーカ６へ出力する。制御部６２は、処理箇所１３の位置情報に基づいて、マーカヘッド６０から照射されるレーザビームが処理箇所１３を走査するように、マーカヘッド６０を制御する。

異物除去処理（Ｓ１７）が終了すると、制御装置１０は、レーザマーカ６の制御部６２に対して、印字開始指令を出力する。制御部６２は、印字開始指令に従って、ワーク１の印字処理を実行する（Ｓ１８）。制御部６２は、Ｘ軸スキャナ（第１ガルバノミラー６３ａおよび第１ガルバノモータ６４ａ）およびＹ軸スキャナ（第２ガルバノミラー６３ｂおよび第２ガルバノモータ６４ｂ）を制御することにより、ワーク１の表面の印字箇所９（補正された印字箇所９を含む）にレーザビームを走査させる。これにより、印字箇所９にキャラクタが印字される。印字処理（Ｓ１８）が終了すると、制御部６２は、印字後のワーク１をレーザマーカ６から搬出する。

ワーク１が視覚センサに到着すると（Ｓ１９）、視覚センサ５はワーク１を撮像する。制御装置１０は、視覚センサ５によるワーク１の撮像画像に基づいて、ワーク１の外観検査を実行する（Ｓ１９）。制御装置１０は、ワーク１の撮像画像に基づいて、印字箇所９にキャラクタが正確かつ鮮明に印字されているか否かを判定し、判定結果を撮像画像とともに表示部２４に出力する。外観検査（Ｓ２０）が終了すると、制御装置１０は、印字装置１００からワーク１を搬出する（Ｓ２１）。

以上説明したように、実施の形態１に係る印字装置１００によれば、ワークの表面に設定された印字箇所と重なるように処理箇所を設定し、キャラクタを印字する処理の前に、当該処理箇所に異物除去処理を施すことにより、異物によるキャラクタの印字ムラおよび欠けを防止することができる。また、印字箇所の平坦性を高めることができるため、印字後のワークの表面においてキャラクタとその周辺部分とのコントラストの差が明確となる。これにより、ワークの外観検査において印字不良と誤って判定されることを抑制することができる。

なお、実施の形態１では、搬送シャトル２に設置された１台のレーザマーカ６によって異物除去処理および印字処理を実行する構成を例示したが、異物除去処理用のレーザマーカと印字処理用のレーザマーカとを搬送シャトル２に設置する構成としてもよい。これによると、異物除去処理と印字処理とを並行して実行することができるため、印字工程のサイクルタイムを短縮することができる。

実施の形態２.
実施の形態１では、ワーク１が正規の姿勢で固定されておらず、実際の印字箇所９ａが予め設定されている印字箇所９の基準位置から変位している場合に、その変位量に応じて印字箇所９を補正する構成について説明した。

しかしながら、ワーク１が正規の姿勢で固定されている場合であっても、ワーク１自体の寸法誤差などに起因して、ワーク１の印字可能領域ＲＧＮが正規の印字可能領域ＲＧＮに比べて狭くなり、結果的に印字箇所９が印字可能領域ＲＧＮからはみ出す場合が起こり得る（図１２参照）。

図１２は、ワーク１の上面図である。図１２（Ａ）は、ワーク１が正規の寸法を有する場合の印字可能領域ＲＧＮと印字箇所９との位置関係を示している。図１２（Ｂ）は、ワーク１の寸法が正規の寸法と異なる場合の印字可能領域ＲＧＮと印字箇所９との位置関係を示している。

図８（Ａ）で示したように、ワーク１が正規の姿勢で固定されている場合、ワーク１のＹ軸方向の中心線Ｌｙと固定チャック３のＹ軸方向の中心線Ｌ３とは一致する。したがって、固定チャック３の中心線Ｌ３を基準とし、中心線Ｌ３から距離ｄ１離れて印字箇所９のＹ軸方向の中心線Ｌｃが位置するように、印字箇所９の基準位置が設定される。

ワーク１が正規の寸法を有する場合には、図１２（Ａ）に示すように、印字箇所９は印字可能領域ＲＧＮ内に収まっている。一方、ワーク１の寸法が正規の寸法と異なる場合には、図１２（Ｂ）に示すように、ワーク１の印字可能領域ＲＧＮが、正規の印字可能領域ＲＧＮよりも狭くなる場合がある。図１２（Ｂ）の例では、第１円柱体１ａの直径が正規の寸法である一方で、第２円柱体１ｂの直径が正規の寸法よりも大きい。そのため、図１２（Ａ）に比べて印字可能領域ＲＧＮの幅が狭くなっている。

このような場合において、固定チャック３の中心線Ｌ３から距離ｄ１離して印字箇所９の中心線Ｌｃを設定すると、印字箇所９の一部が印字可能領域ＲＧＮからはみ出してしまう可能性がある。

図１２（Ｂ）の例では、狭められた印字可能領域ＲＧＮ内に印字箇所９を収めるためには、印字箇所９を基準位置から変位させるとともに、印字箇所９のサイズを縮小することが必要となる。

実施の形態２では、印字箇所９のサイズを縮小する方法について説明する。なお、実施の形態２に係る印字装置１００は、実施の形態１に係る印字装置１００と比較して、制御装置１０の機能的構成のみが異なる。したがって、制御装置１０以外の構成については説明を繰り返さない。

実施の形態２に係る印字装置１００の制御装置１０において、印字箇所補正部４２は、印字箇所９のＸＹ軸方向の位置を補正する機能に加えて、印字箇所９のサイズを縮小する機能を有する。

図１３は、印字箇所のサイズを縮小する方法を説明する図である。図１３には、ワーク１の印字可能領域ＲＧＮが部分的に拡大して示されている。

図１３において、印字箇所９ａは、視覚センサ５による撮像画像から検出された実際の印字箇所である。印字箇所９ａの中心点Ｐ１（Ｘ１，Ｙ１）は、Ｘ軸方向の中心線ＬｘとＹ軸方向の中心線Ｌｃとの交点である。印字箇所９ａは矩形形状であって、正規の寸法を有している。

図１３では、印字可能領域ＲＧＮが正規の寸法よりも狭いため、印字箇所９ａの端部の一部分が印字可能領域ＲＧＮからはみ出している。

印字箇所補正部４２は、撮像画像上で印字可能領域ＲＧＮに印字箇所９ａの輪郭線を重ね合わせて表示させ、この輪郭線が印字可能領域ＲＧＮ内に収まっているか否かを判定する。輪郭線の少なくとも一部が印字可能領域ＲＧＮの外部にある場合、印字箇所補正部４２は、印字箇所９ａは印字可能領域ＲＧＮからはみ出していると判定する。印字箇所補正部４２は、輪郭線の全体が印字可能領域ＲＧＮ内に収まるように、印字箇所９ａを縮小する。

具体的には、図１３に示すように、印字箇所補正部４２は、中心点Ｐ１を固定した状態で相似形状を保ったまま、印字箇所９ａを縮小する。図中の印字箇所９ｂは、縮小された印字箇所を示す。印字箇所９ｂの輪郭線が印字可能領域ＲＧＮのエッジＥａ，Ｅｂとの間に所定の間隔を有するように、印字箇所９ａを縮小する。印字箇所９ａを相似形状を保って縮小することで、キャラクタの有する情報が改ざんされることを防ぐことができる。

また、縮小した印字箇所９ｂと印字可能領域ＲＧＮのエッジＥａ，Ｅｂとの間に所定の間隔を保つことで、異物除去処理のための処理箇所を確保することができる。また、印字処理の誤差に起因して、印字されたキャラクタの一部が欠けてしまうことを防ぐことができる。この結果、印字可能領域ＲＧＮが正規の寸法よりも狭いワーク１に対しても、正確かつ鮮明にキャラクタを印字することができる。

＜印字装置１００の動作＞
次に、実施の形態２に係る印字装置１００の動作について説明する。

図１４は、実施の形態２に係る印字装置１００により実行されるワーク１の印字工程の処理手順を説明するフローチャートである。図１４のフローチャートは、図１１のフローチャートと同様に１個のワーク１についての印字工程の手順を示したものである。

図１４のフローチャートは、図１１のフローチャートにステップＳ２２，Ｓ２３の処理を追加したものである。図１１と共通するステップＳ０１～Ｓ２１についての説明は省略する。

図１４を参照して、図１１と同じステップＳ１０にて、ワーク１の実際の印字箇所９ａ（図９参照）が検出されると、制御装置１０は、視覚センサ５の撮像画像に基づいて、ワーク１の印字可能領域ＲＧＮから印字箇所９ａがはみ出しているかどうかを判定する（図１３参照）。印字箇所９ａが印字可能領域ＲＧＮからはみ出している場合（Ｓ２２にてＹＥＳ）、制御装置１０は、印字可能領域ＲＧＮ内に印字箇所が収まるように、印字箇所９ａを相似形状で縮小する（Ｓ２３）。印字箇所９ａが印字可能領域ＲＧＮからはみ出していない場合（Ｓ２２にてＮＯ）、ステップＳ２３の処理はスキップされる。

制御装置１０は、印字箇所９ａ（縮小された印字箇所９ｂ（図１３参照）を含む）に基づいて、処理箇所１３を設定する（Ｓ１１）。制御装置１０は、印字可能領域ＲＧＮ内で、平面視において実際の印字箇所９ａ（縮小された印字箇所９ｂを含む）と重なるように処理箇所１３を設定する。

以上説明したように、実施の形態２に係る印字装置１００によれば、印字可能領域が正規の寸法よりも狭いワークについては、印字箇所を相似形状で縮小するとともに、印字可能領域内で、平面視において縮小された印字箇所と重なるように処理箇所が設定される。これによれば、ワークの寸法誤差に影響されることなく、正確かつ鮮明にキャラクタを印字することができる。

実施の形態３．
上述した実施の形態１および２では、印字箇所がＸＹ平面に平行な面であるワークの印字方法について説明したが、本発明に係る印字装置は、印字面がＸＹ平面に平行な面でないワークの印字にも適用することができる。実施の形態３では、ワーク１の印字箇所９が球面形状を有する場合における印字方法について説明する。

図１５は、実施の形態３に係る印字装置１００により実行されるワーク１の印字方法を説明する図である。なお、実施の形態３に係る印字装置１００の構成は、実施の形態１に係る印字装置の構成と同じであるため図示および説明は繰返さない。

図１５（Ａ）は、ワーク１の表面の印字箇所９のある１点を基準点として、マーカヘッド６０と当該基準点との間のワーキングディスタンスを基準値（マーカヘッド６０の焦点距離Ｆ）に設定した場合における印字処理の様子を示している。

図１５（Ａ）に示すように、印字箇所９上の基準点以外の点では、マーカヘッド６０との間のワーキングディスタンスが基準値と一致していない。そのため、レーザビームＬＢが印字箇所の高さで集光されないため、印字されるキャラクタが不鮮明になる、またはキャラクタが印字されないことが懸念される。

図１５（Ｂ）に示すように、印字箇所におけるワーキングディスタンスの変化に応じて、マーカヘッド６０の焦点距離を変化させることができれば、常にマーカヘッド６０のワーキングディスタンスをマーカヘッド６０の焦点距離に一致させることができる。

実施の形態３では、印字箇所にマトリクス状に複数の測定点を設定し、レーザ変位計４を用いて、各測定点とマーカヘッド６０との間のワーキングディスタンスを測定する。なお、レーザ変位計４には、レーザ変位計４をＸＹ軸方向に駆動可能なＸＹ軸アクチュエータが取り付けられる。

印字処理において、制御装置１０は、各測定点において、ワーキングディスタンスの測定値とマーカヘッド６０の焦点距離Ｆとが一致するように、マーカヘッド６０におけるレーザビームの出力条件を調整する。具体的には、制御装置１０は、ワーキングディスタンスの測定値に応じて、制御装置１０が有している設定焦点距離を変化させることで、焦点距離Ｆを調整することができる。例えば、ワーキングディスタンスが長くなるに従って、設定焦点距離をワーキングディスタンスの延長分補正することで、焦点距離Ｆを長くすることができる。このようにレーザビームの出力条件を調整しながら、印字箇所にレーザビームを走査させることにより、印字箇所に正確かつ鮮明にキャラクタを印字することができる。

異物除去処理においても、印字処理と同様の方法によって、測定点ごとにワーキングディスタンスに応じてレーザビームの出力条件を調整することにより、処理箇所全体に亘って異物を除去することができる。

なお、図１５では印字箇所９が球面形状を有する場合の印字方法を説明したが、印字箇所９が凹凸形状を有する場合においても本印字方法を用いてキャラクタを印字することができる。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ ワーク、１ａ 第１円柱体、１ｂ 第２円柱体、２ 搬送シャトル、２Ａ 搬入・搬出部、３ 固定チャック、４ レーザ変位計、５ 視覚センサ、５ａ 撮像部、５ｂ 画像処理部、６ レーザマーカ、７ Ｚ軸アクチュエータ、８ Ｙ軸アクチュエータ、９，９ａ，９ｂ 印字箇所、１０ 制御装置、１２ ＣＰＵ、１４ ＲＯＭ、１６ ＲＡＭ、１８ Ｉ／Ｏインターフェース、２０ ＨＤＤ、２２ 通信部、２４ 表示部、２６ 入力部、３０ データ処理部、３２ 駆動部、４０ ＷＤ補正部、４２ 印字箇所補正部、４４ 異物除去処理部、４６ 検査部、６０ マーカヘッド、６１ レーザ発振器、６２ 制御部、６３ａ，６３ｂ ガルバノミラー、６４ａ，６４ｂ ガルバノモータ、６５ ガルバノドライバ、６６ ｆθレンズ、１００ 印字装置、ＬＢ レーザビーム、ＲＧＮ 印字可能領域、ＷＤ ワーキングディスタンス、Ｆ 焦点距離。

Claims (6)

1. ワークの表面上でレーザビームを走査させることにより、前記ワークの表面に設定された印字箇所にキャラクタを印字するレーザマーカと、
   前記レーザマーカを制御する制御装置とを備え、
   前記制御装置は、
   前記ワークの表面に、平面視において前記印字箇所と重なるように処理箇所を設定するとともに、前記処理箇所をレーザビームで走査することにより、前記印字箇所に付着した異物を除去する異物除去処理を実行し、かつ、
   前記異物除去処理が施された前記印字箇所をレーザビームで走査することにより、前記キャラクタを印字する印字処理を実行し、
   前記ワークの表面は、前記キャラクタを印字可能な印字可能領域を有しており、
   前記ワークの表面を撮像するように構成された視覚センサと、
   レーザビームの光軸方向における前記印字箇所の変位を測定するための変位計とをさらに備え、
   前記異物除去処理の前に、前記制御装置は、
   前記視覚センサによる撮像画像に基づいて、前記ワークの前記印字可能領域を検出し、
   前記印字可能領域から前記印字箇所がはみ出す場合には、前記印字可能領域内に収まるように前記印字箇所を相似形状で縮小し、かつ、
   前記印字可能領域内において、平面視において前記印字箇所と重なるように前記処理箇所を設定し、
   前記変位計の測定値に基づいて、前記視覚センサおよび前記レーザマーカの各々と前記印字箇所との間のワーキングディスタンスを測定するとともに、
   基準値に対する前記ワーキングディスタンスの測定値の偏差が零となるように、前記視覚センサおよび前記レーザマーカの各々のワーキングディスタンスを補正する、印字装置。
2. 前記制御装置は、前記処理箇所の面積が前記印字箇所の面積以上となるように、前記処理箇所を設定する、請求項１に記載の印字装置。
3. 前記制御装置は、前記異物除去処理に使用するレーザビームのパワーが前記印字処理に使用するレーザビームのパワーよりも小さくなるように、前記レーザマーカを制御する、請求項１または２に記載の印字装置。
4. 前記異物除去処理の前に、前記制御装置は、
   前記視覚センサによる撮像画像に基づいて、レーザビームの光軸に垂直な方向における前記印字箇所の現在位置を取得し、
   前記印字箇所の基準位置からの前記現在位置の変位量に基づいて、前記印字箇所を補正し、
   前記ワークの表面に、平面視において補正した前記印字箇所と重なるように前記処理箇所を設定する、請求項１に記載の印字装置。
5. 前記ワークを前記レーザマーカに搬送するための搬送シャトルをさらに備え、
   前記視覚センサは、前記ワークの搬送方向に沿って前記レーザマーカの上流側に設置され、
   前記変位計は、前記搬送方向に沿って前記視覚センサの上流側に設置される、請求項１または４に記載の印字装置。
6. レーザマーカによってワークの表面上でレーザビームを走査させることにより、前記ワークの表面に設定された印字箇所にキャラクタを印字する印字方法であって、
   前記ワークの表面に、平面視において前記印字箇所と重なるように処理箇所を設定するステップと、
   前記処理箇所をレーザビームで走査することにより、前記印字箇所に付着した異物を除去するステップと、
   前記異物が除去された前記印字箇所をレーザビームで走査することにより、前記キャラクタを印字するステップとを備え、
   前記ワークの表面は、前記キャラクタを印字可能な印字可能領域を有しており、
   前記異物を除去するステップの前に、
   前記ワークの表面を撮像するように構成された視覚センサによる撮像画像に基づいて、前記ワークの前記印字可能領域を検出するステップと、
   前記印字可能領域から前記印字箇所がはみ出す場合には、前記印字可能領域内に収まるように前記印字箇所を相似形状で縮小するステップと、
   前記印字可能領域内において、平面視において前記印字箇所と重なるように前記処理箇所を設定するステップと、
   レーザビームの光軸方向における前記印字箇所の変位を測定するための変位計の測定値に基づいて、前記視覚センサおよび前記レーザマーカの各々と前記印字箇所との間のワーキングディスタンスを測定するステップと、
   基準値に対する前記ワーキングディスタンスの測定値の偏差が零となるように、前記視覚センサおよび前記レーザマーカの各々のワーキングディスタンスを補正するステップとをさらに備える、印字方法。

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