JP3000274B1 - マウント装置およびマウント方法 - Google Patents

Abstract

【要約】 【課題】 フレクスチャー板の裏面にピポットが存在す
る磁気ヘッドにおいて、コアスライダを高精度にマウン
トすることができるマウント装置およびマウント方法を
提供する。 【解決手段】 スライダチャック１０に挟持されたコア
スライダ２４の上方にあって、コアスライダ２４の挟持
姿勢を認識する上部ＣＣＤカメラ１２と、ワークテーブ
ル４にセットされたジンバル２１の下方にあって、ジン
バル２１の被接着部の位置を検出する下部ＣＣＤカメラ
１３と、上部ＣＣＤカメラ１２および下部ＣＣＤカメラ
１３により得られるコアスライダ２４の姿勢情報および
ジンバル２１の被接着部の位置情報に基づいて、ジンバ
ル２１の被接着部とコアスライダ２４との位置合わせ誤
差を補正する位置合せ補正部３０とを具備してなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、マウント装置およ
びマウント方法に関し、特に、ハードディスクドライブ
の磁気ヘッドを構成するジンバルにコアスライダをマウ
ントするためのマウント装置およびマウント方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、磁気ヘッドの構成部品であるコア
スライダをジンバルに搭載する場合、被接着部を有する
ジンバルが治具盤に固定され、ディスペンサによりジン
バルの被接着部に接着剤が塗布された後、コアスライダ
収納部よりコアスライダがロボットヘッドのチャックに
より吸着および移送される。

【０００３】コアスライダは位置決めユニットに一旦載
置され、治具盤に固定されたジンバルのずれ量が画像処
理で検出され、これをアクチュエータで補正し、コアス
ライダとジンバルとの位置合わせが高精度に行なわれ
る。位置補正方法は、高精度なＸＹθアクチュエータ上
にジンバルまたはコアスライダを固定し、画像処理から
得られたずれ量分移動することで行なう。

【０００４】そして、コアスライダはロボットヘッドの
チャックにより吸着され、ジンバルの被接着部に移送さ
れた後、吸着状態のまま被接着部に当接され、スポット
照射部よりＵＶ光線が照射され、接着剤が硬化される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、磁気ヘッド
は、フレクスチャー板の裏面にピポット（突起部）が存
在し、このピポットを支点としてディスク面に平行とな
るようにコンプライアンスする機構となり、コアスライ
ダの位置合わせ精度を必要とする基準がピポットにな
る。

【０００６】しかしながら、ピポットは、フレクスチャ
ー板に隠れてしまうので、ピポット中心をジンバルの外
形などの特徴から予測すると、部品精度が位置合わせ精
度に影響するという問題点がある。

【０００７】特に、今日、磁気ヘッドの性能向上に伴
い、高精度にピポットを予測する必要性が高くなってい
る。

【０００８】また、コアスライダとジンバルとを位置合
わせしたときのジンバルの姿勢が確認できないので、コ
アスライダをジンバルに押し付けたときのずれやアクチ
ュエータの移動時の機械的精度などが位置合わせ精度に
影響するという問題点がある。

【０００９】本発明は、上記のような課題に鑑みてなさ
れたものであって、その目的とするところは、フレクス
チャー板の裏面にピポットが存在する磁気ヘッドにおい
て、コアスライダを高精度にマウントすることができる
マウント装置およびマウント方法を提供することにあ
る。

【００１０】本発明の上記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく、
本発明に係るマウント装置は、少なくとも１箇所以上の
被接着部を有し、裏面に上記被接着部の位置を示す位置
決めマーカを有する第１のワークが治具盤を介してセッ
トされ、上記第１のワークをＸＹ軸方向およびθ角方向
に変位させ、所定位置に移送するテーブルと、上記第１
のワークの被接着部の所定箇所に光硬化性の接着剤を塗
布するディスペンサと、少なくとも１つ以上の第２のワ
ークを収容するワーク収容部と、上記ワーク収容部より
抽出された上記第２のワークを挟持または吸着して移送
し、上記第１のワークの被接着部上に載置するチャック
部と、上記ディスペンサより塗布された上記接着剤にＵ
Ｖ光線を照射するスポット照射部と、上記チャック部に
挟持または吸着された上記第２のワークの上方にあっ
て、上記第２のワークの挟持姿勢を検出する姿勢検出手
段と、上記テーブルにセットされた上記第１のワークの
下方にあって、上記第１のワークの被接着部の位置を上
記位置決めマーカより検出する位置検出手段と、上記姿
勢検出手段および上記位置検出手段により得られる上記
第２のワークの姿勢情報および上記第１のワークの被接
着部の位置情報に基づいて、上記接着剤の硬化による上
記第２のワークの上記第１のワークの被接着部への接着
直前の上記第１のワークの被接着部と上記第２のワーク
との位置合わせ誤差を補正する位置合せ補正手段と、を
具備したことを特徴としている。

【００１２】また、本発明に係るマウント装置は、被接
着部を有し、裏面に上記被接着部の位置を示す位置決め
マーカを有するジンバルが治具盤を介してセットされ、
上記ジンバルをＸＹ軸方向およびθ角方向に変位させ、
所定位置に移送するテーブルと、上記ジンバルの被接着
部の所定箇所に光硬化性の接着剤を塗布するディスペン
サと、少なくとも１つ以上のコアスライダを収容するコ
アスライダ収容部と、上記コアスライダ収容部より抽出
された上記コアスライダを挟持または吸着して移送し、
上記ジンバルの被接着部上に載置するスライダチャック
部と、上記ディスペンサより塗布された上記接着剤にＵ
Ｖ光線を照射するスポット照射部と、上記スライダチャ
ック部に挟持された上記コアスライダの上方にあって、
上記コアスライダの挟持姿勢を検出する姿勢検出手段
と、上記テーブルにセットされた上記ジンバルの下方に
あって、上記ジンバルの被接着部の位置を上記位置決め
マーカより検出する位置検出手段と、上記姿勢検出手段
および上記位置検出手段により得られる上記コアスライ
ダの姿勢情報および上記ジンバルの被接着部の位置情報
に基づいて、上記接着剤の硬化による上記コアスライダ
の上記ジンバルの被接着部への接着直前の上記ジンバル
の被接着部と上記コアスライダとの位置合わせ誤差を補
正する位置合せ補正手段と、を具備したことを特徴とし
ている。

【００１３】さらに、上記姿勢検出手段および上記位置
検出手段は、上記コアスライダの姿勢および上記ジンバ
ルの被接着部の位置を画像により検出する光学的カメラ
であることを特徴としている。

【００１４】さらに、上記姿勢検出手段および上記位置
検出手段として、レーザーセンサを用い、上記コアスラ
イダの姿勢および上記ジンバルの被接着部の位置を検出
することを特徴としている。

【００１５】さらに、上記ジンバルの上面の所定位置に
突起部が形成され、上記突起部上に上記コアスライダが
接着される片持ちのフレクスチャー板が載置され、上記
突起部と同位置の上記ジンバルの裏面または上記突起部
の位置が推定可能な上記ジンバルの裏面に上記位置決め
マーカを有することを特徴としている。

【００１６】さらに、上記位置決めマーカは、上記突起
部の加工時に形成されたディンプルであることを特徴と
している。

【００１７】また、本発明に係るマウント方法は、テー
ブル上に治具盤を介してジンバルをセットする工程と、
上記ジンバルの位置決めマーカを検出することにより得
られる上記ジンバルの突起部の位置情報に基づいて、上
記フレクスチャー板の所定箇所に接着剤を塗布する工程
と、コアスライダを上記接着剤を介して上記フレクスチ
ャー板上に押し付け載置する工程と、上記姿勢検出手段
により上記コアスライダの姿勢情報を検出すると同時
に、上記位置検出手段により上記ジンバルの突起部の位
置情報を検出する工程と、上記コアスライダの姿勢情報
および上記ジンバルの突起部の位置情報に基づいて、上
記コアスライダを上記フレクスチャー板上に接着する直
前の上記コアスライダと上記ジンバルの突起部との位置
合わせ誤差を補正する工程と、ＵＶ照射し、上記接着剤
を硬化させる工程と、を含むことを特徴としている。

【００１８】従って、本発明は、コアスライダ（第２の
ワーク）をジンバル（第１のワーク）の被接着部（フレ
クスチャー板）に載置した際の画像認識またはレーザー
センサによるコアスライダの姿勢情報およびジンバルの
被接着部の位置情報に基づいて、コアスライダとジンバ
ルの被接着部との総合的な位置合わせが行なわれ、コア
スライダとジンバルの被接着部との位置合わせ誤差を補
正した後、接着剤を硬化させ、コアスライダをマウント
するので、搬送機械系の誤差要因が少なく、コアスライ
ダのマウントの精度が向上する。

【００１９】この場合、ジンバルの被接着部の位置情報
は、位置決めマーカの画像認識またはレーザーセンサに
より得られ、フレクスチャー板の裏面にピポット（突起
部）が存在する磁気ヘッドの場合においても、位置検出
手段によりジンバルの裏面の位置決めマーカを検出する
ことにより、ピポットを基準とするフレクスチャー板の
位置が確実に検出される。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。実施の形態を説明するに当
たって、同一機能を奏するものは同じ符号を付して説明
する。

【００２１】図１は、本発明の実施の形態に係るマウン
ト装置の正面図、図２は、本発明の実施の形態に係るマ
ウント装置におけるコアスライダとジンバルとの位置合
せ補正部の構成図、図３は、本発明の実施の形態に係る
磁気ヘッドの平面図、図４は、図３のＡ−Ａ断面図、図
５は、図３のＢ−Ｂ断面図、図６は、本発明の実施の形
態に係るマウント装置におけるコアスライダとジンバル
との位置合せ部の斜視図、図７は、本発明の実施の形態
に係るマウント装置におけるジンバルのＸＹ軸方向およ
びθ角方向を示す図、図８は、本発明の他の実施の形態
に係るマウント装置の吸着ヘッドの要部斜視図、図９
は、図８のＣ−Ｃ断面図、図１０は、本発明の他の実施
の形態に係るマウント装置の吸着ヘッドの要部平面図で
ある。

【００２２】図１に示すマウント装置は、脚ベース１上
の作業者側に少なくとも１箇所以上の被接着部を有する
ワークを搬入、搬出するためのワーク入替部２が設けら
れている。

【００２３】ワーク入替部２より下流側には、ワークが
治具盤３を介してセットされ、ワークをＸＹ軸方向およ
びθ角方向に移送するワークテーブル４が配設され、こ
のワークテーブル４上には、ワークを固定するワークク
ランパ５が設けられている。

【００２４】また、ワークテーブル４の上方には、ワー
クの被接着部の所定箇所に光硬化性の接着剤を塗布する
ディスペンサ６とワークテーブル４にセットされたワー
クのワーク姿勢を光学的に認識して得られるワーク姿認
識情報に基づいて、ワークの被接着部とコアスライダ２
４（図３参照）との位置合わせ誤差を補正するワーク姿
認識手段に相当する光学カメラ７が配設されている。な
お、ディスペンサ６は、ワーク姿認識手段（光学カメラ
７）からのワーク姿認識情報に基づいて、ワークの被接
着部の端部に接着剤を塗布するようになっている。

【００２５】また、脚ベース１上のワーク入替部２とは
反対側には、コアスライダ２４が所定数整然と収容され
たコアスライダ収容部８が設けられ、このコアスライダ
収容部８は、コアテーブル９によりＸＹ軸方向に移動可
能になっている。

【００２６】コアスライダ収容部８の近傍には、コアス
ライダ収容部８よりコアスライダ２４を、空気圧操作さ
れた１対の爪部１０ａ，１０ａにより水平方向に挟み込
み抽出し移送するスライダチャック１０が設けられてい
る。

【００２７】スライダチャック１０の上方には、コアス
ライダ２４のスライダチャック１０による挟持姿勢を認
識する上部ＣＣＤカメラ１２が配置され、下方には、ワ
ークの被接着部の位置を検出する下部ＣＣＤカメラ１３
が上部ＣＣＤカメラ１２と向かい合うように配置されて
いる。

【００２８】上部ＣＣＤカメラ１２の近傍には、ディス
ペンサ６より塗布された接着剤にＵＶ光線を照射するス
ポット照射部１１が配設されている。

【００２９】ワークテーブル４には、図２に示すよう
に、ワークの被接着部とコアスライダ２４との位置合わ
せ誤差を補正するための位置合せ補正部３０が接続され
ている。

【００３０】位置合せ補正部３０は、補正制御部１４を
有し、この補正制御部１４には上部ＣＣＤカメラ１２、
下部ＣＣＤカメラ１３およびワークテーブル４を駆動す
るモータ駆動部１５が接続されている。

【００３１】補正制御部１４では、コアスライダ２４の
姿勢情報およびワークの被接着部の位置情報が入力さ
れ、これら情報に基づいてコアスライダ２４およびワー
クの被接着部の位置補正量が演算され、補正制御部１４
からの補正指令によりモータ駆動部１５がワークテーブ
ル４を駆動するようになっている。

【００３２】上記ワークは、図３〜図５に示す磁気ヘッ
ド２０を構成するジンバル２１であり、ジンバル２１に
おいては、ロードビーム２１ａ上にフレーム部２１ｂの
大部分が重ねて溶接され、フレーム部２１ｂの先端部
は、逆コ字状に打ち抜かれた切欠部２２が設けられ、切
欠部２２の中央部には、片持ちのフレクスチャー板２３
が形成されており、このフレクスチャー板２３上にコア
スライダ２４が接着される。

【００３３】ロードビーム２１ａの先端部にはピポット
（突起部）２５が形成され、ピポット２５上にフレクス
チャー板２３が載置され、ロードビーム２１ａの裏面の
ピポット２５と同位置に位置決めマーカとしてのディン
プル２６がピポット２５の加工と同時に形成されてい
る。なお、この場合、位置決めマーカは、ピポット２５
の位置が推定可能なものであれば、ディンプル２６に限
定されない。

【００３４】次に、かかるマウント装置を用いたマウン
ト方法を述べる（図６参照）。

【００３５】まず、作業者はジンバル２１を治具盤３に
セットする。治具盤３をリフター（図示略す）で上昇さ
せ、ワークテーブル４上に載せる。

【００３６】ワーククランパ５を下降させてジンバル２
１をワークテーブル４に固定する。ワークテーブル４に
セットされたジンバル２１の有無および姿勢を光学カメ
ラ７で認識し、ワーク姿認識情報を得る。なお、この場
合、下部ＣＣＤカメラ１３によりジンバル２１のディン
プル２６の位置から基準位置に対するずれ量を求め、ワ
ーク姿認識情報を得てもよい。

【００３７】光学カメラ７からのワーク姿認識情報に基
づいて、ジンバル２１の被接着部であるフレクスチャー
板２３上にディスペンサ６より接着剤を塗布する。この
とき、予め、ディスペンサ６により接着剤を捨て打ちす
る。

【００３８】コアスライダ２４をスライダチャック１０
によりコアスライダ収容部８より抽出し、ワークテーブ
ル４にセットされたジンバル２１のフレクスチャー板２
３上に接着剤を介して押し付け載置する。

【００３９】上部ＣＣＤカメラ１２によりスライダチャ
ック１０に挟持されたコアスライダ２４の基準位置に対
するずれ量よりコアスライダ２４の姿勢情報を検出する
と同時に、下部ＣＣＤカメラ１３によりディンプル２６
の基準位置に対するずれ量よりピポット２５を基準とす
るフレクスチャー板２３の位置情報を検出する。

【００４０】補正制御部１４は、コアスライダ２４の姿
勢情報およびフレクスチャー板２３の位置情報に基づい
て位置合せの補正量を演算した後、モータ駆動部１５に
補正指令を発し、ワークテーブル４を駆動し、ワークテ
ーブル４にセットされたジンバル２１をＸＹ軸方向およ
びθ角方向に移動させる（図７参照）ことにより、コア
スライダ２４とフレクスチャー板２３との位置合わせ誤
差を補正する。これにより、コアスライダ２４とフレク
スチャー板２３とが高精度に位置合せされる。

【００４１】次に、スポット照射部１３よりＵＶ照射
し、接着剤を硬化させる。この場合、対象となるコアス
ライダ２４の形状や特性によりスポット照射部１１の設
置台数や照射角度などが異なる。

【００４２】しかる後、コアスライダ２４がスライダチ
ャック１０より解放され、コアスライダ２４のマウント
が終了したジンバル２１はワークテーブル４上に戻さ
れ、ワーク入替部２より搬出される。

【００４３】このように、本実施の形態のマウント装置
によれば、コアスライダ２４をフレクスチャー板２３に
載置した際のコアスライダ２４およびディンプル２６の
位置ずれ量に基づいて、コアスライダ２４およびピポッ
ト２５を基準とするフレクスチャー板２３の画像認識に
よる総合的な位置合わせが行なえ、コアスライダ２４と
フレクスチャー板２３との位置合わせ誤差を補正した
後、接着剤を硬化させ、コアスライダ２４をマウントす
るので、搬送機械系の誤差要因が少なく、コアスライダ
２４のマウントの精度が向上する。

【００４４】また、コアスライダ２４およびディンプル
２６を個別に位置認識するので、製品の機能上必要とな
る基準位置と各部品の位置認識のポイントが一致するた
め、製品精度に影響を与えない。

【００４５】さらに、コアスライダ２４およびディンプ
ル２６を上部ＣＣＤカメラ１２および下部ＣＣＤカメラ
１３によりそれぞれ個別に画像認識するので、コアスラ
イダ２４およびディンプル２６の個別の光学系設計が可
能となり、良好な画像認識条件を作り易い。

【００４６】また、上部ＣＣＤカメラ１２および下部Ｃ
ＣＤカメラ１３は、向かい合うように配置されているの
で、同一物を基準に各画像のキャリブレーションが行な
えるため、画像間の相対精度が保証し易い。

【００４７】他の実施の形態のマウント装置として、上
部ＣＣＤカメラ１２および下部ＣＣＤカメラ１３に代え
て、レーザーセンサを用い、コアスライダ２４およびジ
ンバル２１の位置を検出してもよい。

【００４８】また、コアスライダ２４のマウントに光硬
化性の接着剤を使用したが、これに代えて、熱硬化性の
接着剤を用い、加熱手段により熱硬化させてもよい。

【００４９】本実施の形態では、１対の爪部１０ａ，１
０ａを有するスライダチャック１０によりコアスライダ
２４を水平方向に挟持して移送しているが、これに代え
て、図８および図９に示すスライダチャック４０により
コアスライダ２４を真空吸着して移送してもよい。

【００５０】ここで、スライダチャック４０の先端より
の裏面には、コアスライダ２４の外形と同形でコアスラ
イダ２４が嵌入する凹部４３が形成され、幅方向両端部
の異なる箇所には、凹部４３に嵌入されたコアスライダ
２４の対角線上の角が露出するように一対の切欠部４１
が形成され、吸着時のコアスライダ２４の姿勢が上部Ｃ
ＣＤカメラ１２により確実に検出されるようになってい
る。

【００５１】スライダチャック４０内部の長手方向に
は、真空路４２が形成され、この真空路４２の先端の吸
着部４２ａが凹部４３に開口され、吸着部４２ａにコア
スライダ２４が吸着される。

【００５２】図１０に示すスライダチャック５０は、ス
ライダチャック４０と同様にコアスライダ２４を吸着し
て移送するものであり、吸着時のコアスライダ２４の対
角線上の角が露出するように一対の貫通孔５１が穿設さ
れ、上部ＣＣＤカメラ１２によるコアスライダ２４の姿
勢が確実に検出されるようになっている。

【００５３】また、本実施の形態のマウント装置に、コ
アスライダ２４をＸ軸方向（またはＹ軸方向）より挟み
込み位置合わせを行なうための位置合わせ爪を有するコ
アスライダポジショナー（図示略す）を設置し、コアス
ライダ２４をスライダチャック１０、４０または５０に
よりコアスライダ収容部８より抽出した後、コアスライ
ダポジショナーに吸着し、位置合わせ爪によりＸ軸方向
（またはＹ軸方向）より挟み込み位置合わせを行なった
後、コアスライダ２４をスライダチャック１０、４０ま
たは５０によりマウントポジションに移送してもよい。

【００５４】

【発明の効果】以上の説明から理解されるように、本発
明は、コアスライダをワークの被接着部に載置した際の
コアスライダの姿勢情報および位置決めマーカによるワ
ークの被接着部の位置情報に基づいて、コアスライダと
ワークの被接着部との位置合わせ誤差を補正した後、接
着剤を硬化し、コアスライダをマウントするので、搬送
機械系の誤差要因が少なくなり、コアスライダのマウン
トの精度を向上することができる。

【００５５】また、コアスライダおよび位置決めマーカ
を個別に位置認識するので、製品の機能上必要となる基
準位置と各部品の位置認識のポイントが一致するため、
製品精度への影響を回避することができる。

【００５６】さらに、コアスライダおよび位置決めマー
カをそれぞれ個別に画像またはレーザーセンサ認識する
ので、コアスライダおよび位置決めマーカの個別の光学
系設計が可能となり、良好な画像認識条件を得ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態であるマウント装置の正面
図。

【図２】本発明の実施の形態であるマウント装置におけ
るコアスライダとジンバルとの位置合せ補正部の構成
図。

【図３】本発明の実施の形態である磁気ヘッドの平面
図。

【図４】図３のＡ−Ａ断面図。

【図５】図３のＢ−Ｂ断面図。

【図６】本発明の実施の形態であるマウント装置におけ
るコアスライダとジンバルとの位置合せ部の斜視図。

【図７】本発明の実施の形態であるマウント装置におけ
るジンバルのＸＹ軸方向およびθ角方向を示す図。

【図８】本発明の他の実施の形態であるマウント装置の
吸着ヘッドの要部斜視図。

【図９】図８のＣ−Ｃ断面図。

【図１０】本発明の他の実施の形態であるマウント装置
の吸着ヘッドの要部平面図。

【符号の説明】

１ 脚ベース ２ ワーク入替部 ３ 治具盤 ４ ワークテーブル ５ ワーククランパ ６ ディスペンサ ７ 光学カメラ ８ コアスライダ収容部 ９ コアテーブル １０ スライダチャック １０ａ 爪部 １１ スポット照射部 １２ 上部ＣＣＤカメラ １３ 下部ＣＣＤカメラ １４ 補正制御部 １５ モータ駆動部 ２０ 磁気ヘッド ２１ ジンバル ２１ａ ロードビーム ２１ｂ フレーム部 ２２ 切欠部 ２３ フレクスチャー板 ２４ コアスライダ ２５ ピポット（突起部） ２６ ディンプル（位置決めマーカ） ３０ 位置合せ補正部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浅野 好文 千葉県習志野市屋敷４丁目３番１号 セ イコー精機株式会社内 (56)参考文献 特開 平９−22508（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−129843（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−129735（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−83475（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−150597（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−274835（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−161843（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−135528（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−325460（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−12668（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−64367（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G11B 5/127 - 5/255 G11B 5/49 G11B 5/60 G11B 21/16 - 21/26 B23P 19/00 - 21/00 307

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも１箇所以上の被接着部を有
   し、裏面に上記被接着部の位置を示す位置決めマーカを
   有する第１のワークが治具盤を介してセットされ、上記
   第１のワークをＸＹ軸方向およびθ角方向に変位させ、
   所定位置に移送するテーブルと、 上記第１のワークの被接着部の所定箇所に光硬化性の接
   着剤を塗布するディスペンサと、 少なくとも１つ以上の第２のワークを収容するワーク収
   容部と、 上記ワーク収容部より抽出された上記第２のワークを挟
   持または吸着して移送し、上記第１のワークの被接着部
   上に載置するチャック部と、 上記ディスペンサより塗布された上記接着剤にＵＶ光線
   を照射するスポット照射部と、 上記チャック部に挟持または吸着された上記第２のワー
   クの上方にあって、上記第２のワークの挟持姿勢を検出
   する姿勢検出手段と、 上記テーブルにセットされた上記第１のワークの下方に
   あって、上記第１のワークの被接着部の位置を上記位置
   決めマーカより検出する位置検出手段と、 上記姿勢検出手段および上記位置検出手段により得られ
   る上記第２のワークの姿勢情報および上記第１のワーク
   の被接着部の位置情報に基づいて、上記接着剤の硬化に
   よる上記第２のワークの上記第１のワークの被接着部へ
   の接着直前の上記第１のワークの被接着部と上記第２の
   ワークとの位置合わせ誤差を補正する位置合せ補正手段
   と、 を具備したことを特徴とするマウント装置。
2. 【請求項２】 被接着部を有し、裏面に上記被接着部の
   位置を示す位置決めマーカを有するジンバルが治具盤を
   介してセットされ、上記ジンバルをＸＹ軸方向およびθ
   角方向に変位させ、所定位置に移送するテーブルと、 上記ジンバルの被接着部の所定箇所に光硬化性の接着剤
   を塗布するディスペンサと、 少なくとも１つ以上のコアスライダを収容するコアスラ
   イダ収容部と、 上記コアスライダ収容部より抽出された上記コアスライ
   ダを挟持または吸着して移送し、上記ジンバルの被接着
   部上に載置するスライダチャック部と、 上記ディスペンサより塗布された上記接着剤にＵＶ光線
   を照射するスポット照射部と、 上記スライダチャック部に挟持された上記コアスライダ
   の上方にあって、上記コアスライダの挟持姿勢を検出す
   る姿勢検出手段と、 上記テーブルにセットされた上記ジンバルの下方にあっ
   て、上記ジンバルの被接着部の位置を上記位置決めマー
   カより検出する位置検出手段と、 上記姿勢検出手段および上記位置検出手段により得られ
   る上記コアスライダの姿勢情報および上記ジンバルの被
   接着部の位置情報に基づいて、上記接着剤の硬化による
   上記コアスライダの上記ジンバルの被接着部への接着直
   前の上記ジンバルの被接着部と上記コアスライダとの位
   置合わせ誤差を補正する位置合せ補正手段と、 を具備したことを特徴とするマウント装置。
3. 【請求項３】 上記姿勢検出手段および上記位置検出手
   段は、上記コアスライダの姿勢および上記ジンバルの被
   接着部の位置を画像により検出する光学的カメラである
   ことを特徴とする請求項２記載のマウント装置。
4. 【請求項４】 上記姿勢検出手段および上記位置検出手
   段として、レーザーセンサを用い、上記コアスライダの
   姿勢および上記ジンバルの被接着部の位置を検出するこ
   とを特徴とする請求項２記載のマウント装置。
5. 【請求項５】 上記ジンバルの上面の所定位置に突起部
   が形成され、上記突起部上に上記コアスライダが接着さ
   れる片持ちのフレクスチャー板が載置され、上記突起部
   と同位置の上記ジンバルの裏面または上記突起部の位置
   が推定可能な上記ジンバルの裏面に上記位置決めマーカ
   を有することを特徴とする請求項３または４記載のマウ
   ント装置。
6. 【請求項６】 上記位置決めマーカは、上記突起部の加
   工時に形成されたディンプルであることを特徴とする請
   求項５記載のマウント装置。
7. 【請求項７】 テーブル上に治具盤を介してジンバルを
   セットする工程と、 上記ジンバルの位置決めマーカを検出することにより得
   られる上記ジンバルの突起部の位置情報に基づいて、上
   記フレクスチャー板の所定箇所に接着剤を塗布する工程
   と、 コアスライダを上記接着剤を介して上記フレクスチャー
   板上に押し付け載置する工程と、 上記姿勢検出手段により上記コアスライダの姿勢情報を
   検出すると同時に、上記位置検出手段により上記ジンバ
   ルの突起部の位置情報を検出する工程と、 上記コアスライダの姿勢情報および上記ジンバルの突起
   部の位置情報に基づいて、上記コアスライダを上記フレ
   クスチャー板上に接着する直前の上記コアスライダと上
   記ジンバルの突起部との位置合わせ誤差を補正する工程
   と、 ＵＶ照射し、上記接着剤を硬化させる工程と、 を含むことを特徴とするマウント方法。