JP3954014B2

JP3954014B2 - 磁気ヘッドの製造方法および製造装置

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Inventors: 一明高貫; 修進藤; 明正中尾; 哲山口
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Description

本発明は、磁気ヘッドの製造方法および製造装置に係り、特にサスペンションに対し、スライダの後取付をなすのに好適な磁気ヘッドの製造方法および製造装置に関する。

固定磁気記録装置（以下、ＨＤＤと称す）は、容量の増大とともに薄型化が進み、これに伴い磁気ヘッド（２０％、３０％スライダ）も小型化が進んでいる。

ところで従来の磁気ヘッドの製造工程では、ＧＭＲ（Giant Magneto Resistive ）素子が形成されたスライダとサスペンションとを接合する際、まずスライダの外形を基準として前記スライダの位置決めを行う。そして前記スライダの位置決めを行った後は、当該スライダの背面側（ＡＢＳ（Air Bearing Surface）が形成された面の反対側）に接着剤を塗布するとともに、ツーリングホール等によって位置決めされたサスペンションの先端にスライダ背面側を接触させ、接着剤を介して双方を接合するようにしている。なおサスペンションの先端にスライダを移動させるには、スライダの面積より一回り小さな吸着ノズルが用いられるのが一般的である。

こうしてスライダとサスペンションとを接合し、ＨＧＡ（ヘッド・ジンバル・アッセンブリ）の形態にした後は、当該ＨＧＡをアクチュエータブロックに組み付けＨＳＡ（ヘッド・スタック・アッセンブリ）の形態とする（例えば、特許文献１を参照）。

特開平４−１７１７４号公報（［図４］、［図５］）

しかし上述した従来の磁気ヘッドの製造方式では、以下に示すような問題点があった。

すなわちスライダは、ＨＧＡとして組み立てられた後、さらにＨＳＡとして組み立てられる工程を経るので通過する工程が長く、このためＥＳＤ（Electro Static Discharge：静電気放電）などの要因によってスライダ内の素子が破壊されてしまうおそれがあった。そして前記ＨＧＡの組み立て段階では良品だったスライダが工程途中で不良になった場合、そのスライダの不良はＨＳＡ組み立て後に判明するので、完成品の歩留まりが低下するとともにコストダメージが大きなものになっていた。

このような問題点を解決するため、スライダを後付する方式も考えられたが、ＨＳＡにおいては、磁気ディスクを挟み込む一対のサスペンションが対面しているので、従来の吸着ノズルを用いて鉛直方向からスライダの取り付けを行う方式では、前記吸着ノズルが対面する他方サスペンションに干渉してしまいスライダの取り付けができないという問題があった。

さらにスライダを後付けする場合、アクチュエータブロックに取り付けられたサスペンションでは接着面が狭い間隔で向かい合った内側に位置するので、従来用いられていたシリンジ、ニードルでは接着剤を塗布することが出来なかった。このためスライダの後付けのための接着剤は、サスペンションに塗布するのではなくスライダの背面に塗布することが必要になるが、前記スライダにおける接着剤を塗布する面（すなわち背面）は、ＡＢＳの反対にあるのでスライダの姿勢を接着剤を塗布する際に反転させ、スライダを実装する際には元の姿勢に戻す必要があった。しかしこのスライダの反転動作は、製造装置が複雑になるとともに、スライダのハンドリング動作も増大し、これによりスライダ内の素子がＥＳＤによって破壊されるおそれが大きくなる。

本発明は上記従来の問題点に着目し、スライダの姿勢を反転させることなく、前記スライダをサスペンションの先端に後付けすることが可能な磁気ヘッドの製造方法および製造装置を提供することを目的とする。

本発明は、スライダにおけるＡＢＳが形成された面を撮影し、この撮影された画像からサスペンションへの取付位置（基準）を算出した後、この位置情報に基づいて算出されたスライダの背面側位置に接着剤を吐出し、当該接着剤によってサスペンションへの取り付けを行うようにすれば、スライダの姿勢を反転させることなく、当該スライダの後付けができるという知見に基づいてなされたものである。

すなわち本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、ＡＢＳ（Air Bearing Surface）が形成されたスライダをサスペンションに取り付けるための磁気ヘッドの製造方法であって、上側に位置する前記ＡＢＳが形成された面と、前記スライダの外形とを撮影した後、撮影された画像から前記ＡＢＳと、このＡＢＳ内に成形されている彫り込み領域とを識別するとともに前記サスペンションの取付指針となる基準を算出し、当該基準と前記スライダの外形との位置関係を紐付け情報として記憶し、前記サスペンションに前記スライダを取り付ける際、前記スライダの外形を前記スライダの下方から計測しこの計測値を前記紐付け情報に照合して前記基準を読み出し、この基準を基に前記スライダのサスペンション取付面に接着剤を下方から吐出し、前記ＡＢＳが上側に位置する状態を保持しつつ前記サスペンションに対する前記スライダの取付を行う手順とした。そして前記スライダの搬送は把持機構によって行われ、この把持機構に設けられた押圧面にて前記スライダの両側面を把持するとともに、この把持機構に形成された水平規制面に前記スライダのＡＢＳを当接させることで前記スライダの水平姿勢を規制し、前記把持機構によって保持された前記スライダを前記サスペンションの先端へと移動させることが望ましい。

また本発明に係る磁気ヘッドの製造装置は、ＡＢＳ（Air Bearing Surface）が形成されたスライダをサスペンションに取り付けるための磁気ヘッドの製造装置であって、
前記スライダの上方に配置され前記ＡＢＳが形成された面と前記スライダの外形の撮影をなす第１カメラと、
前記スライダの下方に配置され前記スライダの外形の撮影をなす第２カメラと、
前記スライダのサスペンション取付面に下方から接着剤を吐出可能とする接着剤吐出手段と、
前記ＡＢＳが上側に位置する状態で前記スライダの取付が可能になるよう姿勢が保持されたサスペンションとを前記スライダの搬送経路上に順に配置するとともに、互いに摺動可能な２ブロック構造体からなりこれらブロック体に押圧面がそれぞれ形成されいずれか一方の前記ブロック体に前記スライダのＡＢＳとの当接をなす水平規制面が形成された把持機構を前記搬送経路に沿って移動可能に設け、前記第１カメラにより撮影された前記ＡＢＳと当該ＡＢＳ内に成形されている彫り込み領域とを判別する画像処理手段と、この画像処理手段からの判別情報と前記第２カメラから前記サスペンションの取付指針となる基準を算出し当該基準と前記スライダの外形との位置関係を紐付け情報として記憶する座標演算手段とを前記接着剤吐出手段と前記把持機構に接続するよう構成した。

ここで前記第１カメラは、ＵＶ（Ultraviolet）光線を前記スライダに照射し当該スライダからの反射光をＵＶ光線検出カメラで撮影することが望ましく、さらに前記押圧面の縁部に面取部を形成し、当該面取部の両側に配置するブロック本体と前記スライダとに対し反射率を低減させることが望ましい。

上記構成によれば、例えば把持機構を用いて置き台にＡＢＳが上面になるようスライダを設置した後、スライダのＡＢＳ側を第１カメラによって撮影する。そしてその画像から画像処理手段によってＡＢＳと彫り込み領域とを識別する。一般的にＡＢＳは研磨加工がなされるため平滑面となっており、一方彫り込み領域はイオンミリングによって加工されるため粗面となっている。このため前記撮影の際、ＡＢＳと彫り込み領域との反射光量の差をもって２値化処理などをおこなえば、ＡＢＳと彫り込み領域との領域を画像によって容易に判別することができる。そして前記処理を行い異なる領域を判別した後は、再び把持機構にて前記置き台からスライダを把持し第２カメラの上方にスライダを移動させるとともに、座標演算手段を用いて前記異なる領域と第２カメラの画像から、サスペンション取付面における基準点（すなわちサスペンションへの取付位置）を算出する。

このようにサスペンション取付面に対し基準点を算出した後は、この基準点の座標情報を基に把持手段にてスライダを接着剤吐出手段の上方まで移動させ、この接着剤吐出手段から接着剤をサスペンション取付面の基準点に吐出する。

そして接着剤をサスペンション取付面の基準点に吐出した後は、再び把持機構スライダ搬送経路に沿ってサスペンション先端までスライダを移動させ、その後、把持機構を降下させれば、スライダをサスペンションの先端に取り付けることが可能になる。このようにＡＢＳが上側になるようスライダの姿勢を設定し、一定の姿勢を保持した状態で搬送経路を移動することができるので、姿勢反転による複雑な動作および複雑な工程が不要となりＥＳＤ等によってスライダ内の素子が破壊されるのを防止することができる。

なおＡＢＳと彫り込み領域とにＵＶ（紫外線）光線を照射し、この反射光をＵＶ光線検出カメラで捕らえれば、ＵＶ光線は通常光線に比べ波長が短いので、通常光線では困難であったＡＢＳと彫り込み領域との段差を確実に検出することができる。このためＵＶ光線の照射と、この反射光をＵＶ光線検出カメラで捕らえれば、ＡＢＳと彫り込み領域とを確実に識別することができ、基準の精度を向上させることが可能になる。

また把持機構における押圧面の端部に面取りを形成しておけば、スライダ周囲の光の反射率がスライダの背面に対し低減する。このためＵＶ光線の使用と組み合わせればさらにスライダの輪郭が明確となり、画像認識によってスライダの外形を正確に把握することができる。

以上説明したように本発明によれば、ＡＢＳ（Air Bearing Surface）が形成されたスライダをサスペンションに取り付けるための磁気ヘッドの製造方法であって、上側に位置する前記ＡＢＳが形成された面と、前記スライダの外形とを撮影した後、撮影された画像から前記ＡＢＳと、このＡＢＳ内に成形されている彫り込み領域とを識別するとともに前記サスペンションの取付指針となる基準を算出し、当該基準と前記スライダの外形との位置関係を紐付け情報として記憶し、前記サスペンションに前記スライダを取り付ける際、前記スライダの外形を計測しこの計測値を前記紐付け情報に照合して前記基準を読み出し、この基準を基に前記スライダのサスペンション取付面に接着剤を下方から吐出し、前記ＡＢＳが上側に位置する状態を保持しつつ前記サスペンションに対する前記スライダの取付を行うようにしたり、あるいはＡＢＳ（Air Bearing Surface）が形成されたスライダをサスペンションに取り付けるための磁気ヘッドの製造装置であって、
前記スライダの上方に配置され前記ＡＢＳが形成された面と前記スライダの外形の撮影をなす第１カメラと、
前記スライダの下方に配置され前記スライダの外形の撮影をなす第２カメラと、
前記スライダのサスペンション取付面に下方から接着剤を吐出可能とする接着剤吐出手段と、
前記ＡＢＳが上側に位置する状態で前記スライダの取付が可能になるよう姿勢が保持されたサスペンションとを前記スライダの搬送経路上に順に配置するとともに、互いに摺動可能な２ブロック構造体からなりこれらブロック体に押圧面がそれぞれ形成されいずれか一方の前記ブロック体に前記スライダのＡＢＳとの当接をなす水平規制面が形成された把持機構を前記搬送経路に沿って移動可能に設け、前記第１カメラにより撮影された前記ＡＢＳと当該ＡＢＳ内に成形されている彫り込み領域とを判別する画像処理手段と、この画像処理手段からの判別情報と前記第２カメラから前記サスペンションの取付指針となる基準を算出し当該基準と前記スライダの外形との位置関係を紐付け情報として記憶する画像処理手段とを前記接着剤吐出手段と前記把持機構に接続したことから、スライダの姿勢を反転させることなく、前記スライダをサスペンションの先端に後付けすることが可能になり、ＥＳＤ等によってスライダ内の素子が破壊されるのを防止することができる。

以下に本発明に係る磁気ヘッドの製造方法および製造装置に好適な具体的実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法を用いて製造された磁気ヘッドの斜視図である。同図に示すように、本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法を用いて製造された磁気ヘッド１０は、ＧＭＲ（Giant Magneto Resistive ）素子が組み込まれたスライダ１２と、このスライダ１２に固定されるサスペンション１４とを有している。ここで当該サスペンション１４は、前記スライダ１２に接着固定されるフレキシャ１６と、当該フレキシャ１６とスポット溶接により接続されるロードビーム１８と、前記スライダ１２に形成されたＧＭＲ素子との配線をなす図示しないＦＰＣ（Flexible Print Circuit）とで構成されている。

前記スライダ１２は、ＨＤＤのスピンドルモータに固定された磁気ディスク（図示せず）と対面する側にＡＢＳ２０が形成されており、このＡＢＳ２０によって高速回転する磁気ディスクとの間に正圧および負圧を発生させ、スライダ１２を前記磁気ディスクの上を任意の高さで浮上させるようにしている。

またスライダ１２に接着固定されるフレキシャ１６は、金属の薄板からなり、スライダ１２の上下方向、ピッチ方向、ロール方向に変形し、磁気ディスクの面ブレや、アッセンブルに伴う傾き等を吸収するようにしている。

そしてフレキシャ１６にスポット溶接されるロードビーム１８は、前記フレキシャ１６と同様に金属の薄板からなり、ばね付勢によって前記スライダ１２の浮上力と釣り合うだけの一定の荷重を発生させ、スライダ１２を磁気ディスクの表面に対して押圧するようにしている。なおロードビーム１８の両端部には、曲げ起こし片２２が形成され、ＨＤＤのシーク方向（すなわち磁気ディスクの面内方向）に対して、剛性を確保するようにしている。

ところで本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法を用いて製造された磁気ヘッド１０では、ＡＢＳ２０と、このＡＢＳ２０を形成するためにイオンミリング等によって形成された彫り込み領域２４を画像処理によって判別し、この判別された彫り込み領域２４の図心Ｇ２６を基準点（基準）として算出している。そしてスライダ１２におけるサスペンション取付面となるフレキシャ取付面２８において、前記図心Ｇ２６に相当する位置にディスペンサ等を用い接着剤を塗布するとともに、前記図心２６を基準としてフレキシャ１６への取付を行っている。また同磁気ヘッド１０の製造工程においては前記フレキシャ取付面２８にディスペンサ等を用いて接着剤を塗布する際、当該接着剤の塗布を下方から行い、スライダ１２の姿勢が反転しないので（すなわちＡＢＳ２０が上面に保持されたまま）、製造装置自体が複雑になるのを防止することができるとともに、姿勢反転による複雑な動作および複雑な工程が不要となりＥＳＤ等によってスライダ内の素子が破壊されるのを防止することができる。

そして前記スライダ１２の浮上姿勢を決定するＡＢＳ２０および彫り込み領域２４とを基準にスライダ１２とフレキシャ１６（すなわちサスペンション１４側）との接合を行えば、フレキシャ１６まわりにスライダ１２の正圧および負圧がバランス良く発生し、スライダ１２の浮上姿勢を安定させるとともに良好な電気特性を得ることが可能になる。

このように構成された磁気ヘッド１０を製造する手順を以下に説明する。

図２は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造装置を示す平面図である。

同図に示すように、本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造装置３０では、スライダ１２を複数収容可能とするトレイ３２側を始端とし、アクチュエータブロック３４に取り付けられたサスペンション３６を収容するパレット３８を終端側とする搬送経路４０が形成されている。なお前記トレイ３２においては、スライダ１２のＡＢＳ２０が上面になるよう収容されており、トレイ３２の底面等との接触により、前記ＡＢＳ２０に傷が生じるのを防止するようにしている。

そしてこの搬送経路４０に沿ってスライダ１２を搬送させるとともに、その搬送経路４０の途中には、前記スライダ１２と前記サスペンション３６との接合をなす種々の構成部材が設置されている。

これらの構成部材を搬送経路４０に沿って説明する。

まずスライダ１２を複数収容可能とするトレイ３２の後段には、仮置き台４２が設けられており、図示しないノズル等の吸引手段によって前記トレイ３２より単一のスライダ１２を前記仮置き台４２に置けるようにしている。

一方、仮置き台４２の上方には、第１カメラ４４が設置されており、当該第１カメラ４４によって、スライダ１２の外形およびＡＢＳ２０、彫り込み領域２４を撮影可能にしている。なお第１カメラ４４はＵＶ光線検出カメラであり、前記第１カメラ４４の周囲に配置されたＵＶ光源４６（図５を参照）から照射されたＵＶ光線の反射光を取り込み可能にしている。このように波長の短いＵＶ光線と、このＵＶ光線を検出するカメラを用いたことから、ＡＢＳ２０と彫り込み領域２４との小さな段差も確実に検知することができる。なお本実施の形態では、ＵＶ光源と、このＵＶ光源からの反射光を検出するＵＶ光線検出カメラを用いることとしたがこの形態に限定されることもなく、ＡＢＳ２０と彫り込み領域２４との段差が検出できるのであれば、例えば一般的に広く用いられている可視光用の光源（例えばＬＥＤ等）と可視光用の検出カメラの組み合わせを適用したり、あるいは前記ＵＶ光源と可視光用の検出カメラなどの組み合わせを適用するようにしてもよい。

また第１カメラ４４の後段には、スライダ１２の下方に接着剤吐出手段となる吐出ノズル４８が配置されている。そしてこの吐出ノズル４８を可動させることでノズル先端より接着剤の粒５０（図５を参照）を吐出し、前記スライダ１２におけるフレキシャ取付面２８に接着剤を塗布可能にしている。

さらに吐出ノズル４８の後段には、第２カメラ５２がスライダ１２の下方に設置されている。そしてこの第２カメラ５２によって、スライダ１２の外形をフレキシャ取付面２８側から撮影可能にしている。

そして第２カメラ５２の後段には、前記搬送経路４０の終端側となるパレット３８が設置されている。ここで当該パレット３８にはサスペンション３６付きのアクチュエータブロック３４が２個搭載されており、スライダ１２の取付対象となるサスペンション３６は可動アーム５４の挿入により、あらかじめ設定された高さ（図５における寸法Ａを参照）に設定されている。また前記パレット３８は、サーボモータ等の図示しない駆動手段によって搬送経路４０の終端から第２カメラ５２上まで移動可能にしており（図中、矢印５６を参照。および矢印５８の方向にも移動可能としている。）、当該パレット３８の移動によってサスペンション３６の先端に設けられたスライダの取付基準位置を第２カメラ５２で撮影可能にしている。

ところで前記搬送経路４０上には、スライダ１２の把持をなす把持機構６０が設けられている。そしてこの把持機構６０を稼働させることで、仮置き台４２から第２カメラ５２に至るまでのスライダ１２の搬送と、当該スライダ１２とサスペンション３６との接続を行うようにしている。

図３は、把持機構の要部拡大図である。

同図に示すように把持機構６０は、前記スライダ１２の挟み込みが可能なように２つのブロック体となる第１ブロックと第２ブロックとで構成されている。

把持機構６０を構成する第１ブロックにおいては、第１突出片６２が形成されている。なお前記第１突出片６２の厚みは少なくとも把持対象となるスライダ１２の厚みよりも薄肉に形成されており、第１突出片６２の先端に形成された第１押圧面６４によってスライダ１２の側面を把持し当該スライダ１２をサスペンション３６に取り付ける際、前記第１突出片６２がサスペンション３６に干渉しないようにしている。

一方、第１ブロックとともに、把持機構６０を構成する第２ブロックも前記第１ブロックと同様、第２突出片６６が形成されている。なお第２突出片６６の先端部６８は中腹部７０に対し肉厚に形成されており、この中腹部７０から先端部６８に至る隆起部分に設けられた第２押圧面７２と、前記第１ブロックの先端に形成された第１押圧面６４とで、スライダ１２を把持可能にしている。また前記中腹部７０におけるスライダ１２のＡＢＳ２０と対面する側には水平規制面７４が設けられており、前記スライダ１２のＡＢＳ２０をこの水平規制面７４に密着させることで前記スライダ１２の姿勢を第２プレート部に倣わせることができる（スライダ１２を水平に把持することができる）。

ところでスライダ１２を把持する第１押圧面６４と第２押圧面７２の縁部には面取部７６が形成されており、スライダ１２におけるフレキシャ取付面２８と比較して鉛直方向の光の反射率が低減するように設定されている。

図４は、面取部の有無による画像認識の違いを示す説明図であり、同図（１）は面取部が無い場合の画像であり、同図（２）は面取部が有る場合の画像である。これらの図に示すように、第１押圧面６４と第２押圧面７２の縁部に面取部７６が無い場合は、スライダ１２の縁部境界線が不明確となり、スライダ１２の位置検出精度が低減するおそれがある。しかし同図（２）に示すように第１押圧面６４と第２押圧面７２の縁部に面取部７６が設けられている場合は、スライダ１２の縁部境界線が明確となり、スライダ１２の位置検出精度を向上させることができるのである。

このように構成された磁気ヘッドの製造装置３０を用いてサスペンション３６にスライダ１２を取り付ける手順を説明する。

図５は、磁気ヘッドの製造過程を示す説明図である。

同図に示すように、サスペンション３６にスライダ１２を取り付けるには、まず仮置き台４２上に置かれたスライダ１２を、第１カメラ４４を用いてＡＢＳ２０側より撮影する。なおこの撮影の際、前記第１カメラ４４の周囲に配置されたリング状のＵＶ光源４６を点灯させ、スライダ１２からの反射光を第１カメラ４４によって取り込めばよい。ところで本実施の形態では、前記仮置き台４２にバックライトが内蔵されている。そして第１カメラ４４による撮影時に前記バックライトをスライダ１２の背後から点灯させることで、スライダ縁部のコントラストを向上させ、これによりスライダ１２における外形認識の精度を向上させることが可能になる。そして第１カメラ４４によって撮影された画像を基に、画像処理手段（図示せず）により、スライダ１２の外形、ＡＢＳ２０、彫り込み領域２４を画像処理によって判別し、その後、座標演算手段（図示せず）によってこの判別された彫り込み領域２４の図心Ｇ２６を基準点（基準）として算出する（Ｓｔｅｐ１）。

このようにスライダ１２を第１カメラ４４にて撮影した後は、把持機構６０を用いてスライダ１２を第２カメラ５２の上方まで移動させ、スライダ１２の下方側から第２カメラ５２によって前記スライダ１２の外形検出を行う。ところで第２カメラ５２は、前記座標演算手段と接続されており、第２カメラ５２にて得られたスライダの外形座標と、第１カメラ４４で得られた座標情報とを照合し、図心Ｇ２６に相当するフレキシャ取付面２８側での位置を算出し、これを接着ポイントとする（Ｓｔｅｐ２）。

そして前記接着ポイントを算出した後は、再度把持機構６０を搬送経路４０に沿って吐出ノズル４８上まで移動させる。なお接着工程の際には、把持機構６０を微動させ、吐出ノズル４８の先端から吐出される接着剤の粒５０の着弾位置が、スライダ１２における前記接着ポイントに一致するように双方の位置を設定すればよい（Ｓｔｅｐ３）。
なお上述した説明では、図心Ｇ２６を接着ポイントとして説明を行ったが、接着剤の粒５０の着弾位置は、前記図心Ｇ２６に限定されることもなく、スライダ１２をサスペンション３６の先端に取り付けた際、前記接着剤がスライダ１２のフレキシャ取付面２８からはみ出さず、且つ確実に双方の接合ができる場所であれば、他の位置であってもよい。また上述したＳｔｅｐ２とＳｔｅｐ３の工程は、Ｓｔｅｐ３、Ｓｔｅｐ２の順番としてもよく、これは設計上の都合により適宜設定されればよい。

一方、搬送経路４０の終端側では、パレット３８上に位置するサスペンション３６に対し、可動アーム５４を挿入し、サスペンション３６の先端をあらかじめ設定された高さ（図中、寸法Ａ）に保持しておく（Ｓｔｅｐ４）。

そしてサスペンション３６の先端高さを規定高さに設定した後は、パレット３８を移動させ、スライダ１２の取り付け対象となるサスペンション３６の先端を第２カメラ５２の上方まで移動させ、第２カメラ５２によってサスペンション３６の先端に形成されたスライダを取り付けるための基準位置を検出する（Ｓｔｅｐ５）。

こうしてスライダ１２側におけるＳｔｅｐ３、およびパレット３８側におけるＳｔｅｐ５が完了した後は、互いの座標位置をもとに把持機構６０を稼働させ、サスペンション３６の先端に接着剤を介してスライダ１２を取り付ければよい。

このような工程を経れば、スライダ１２の姿勢を反転させることもなく、フレキシャ取付面２８に接着剤を塗布することができるので、製造装置自体の構造が複雑になるのを防止することができるとともに、姿勢反転による複雑な動作および複雑な工程が不要となりＥＳＤ等によってスライダ内の素子が破壊されるのを防止することができる。

本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法を用いて製造された磁気ヘッドの斜視図である。本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造装置を示す平面図である。把持機構の要部拡大図である。面取部の有無による画像認識の違いを示す説明図であり、同図（１）は面取部が無い場合の画像であり、同図（２）は面取部が有る場合の画像である。磁気ヘッドの製造過程を示す説明図である。

符号の説明

１０………磁気ヘッド
１２………スライダ
１４………サスペンション
１６………フレキシャ
１８………ロードビーム
２０………ＡＢＳ
２２………曲げ起こし片
２４………彫り込み領域
２６………図心Ｇ
２８………フレキシャ取付面
３０………磁気ヘッドの製造装置
３２………トレイ
３４………アクチュエータブロック
３６………サスペンション
３８………パレット
４０………搬送経路
４２………仮置き台
４４………第１カメラ
４６………ＵＶ光源
４８………吐出ノズル
５０………接着剤の粒
５２………第２カメラ
５４………可動アーム
５６………矢印
５８………矢印
６０………把持機構
６２………第１突出片
６４………第１押圧面
６６………第２突出片
６８………先端部
７０………中腹部
７２………第２押圧面
７４………水平規制面
７６………面取部

Claims

ＡＢＳ（Air Bearing Surface）が形成されたスライダをサスペンションに取り付けるための磁気ヘッドの製造方法であって、上側に位置する前記ＡＢＳが形成された面と、前記スライダの外形とを撮影した後、撮影された画像から前記ＡＢＳと、このＡＢＳ内に成形されている彫り込み領域とを識別するとともに前記サスペンションの取付指針となる基準を算出し、当該基準と前記スライダの外形との位置関係を紐付け情報として記憶し、前記サスペンションに前記スライダを取り付ける際、前記スライダの外形を前記スライダの下方から計測しこの計測値を前記紐付け情報に照合して前記基準を読み出し、この基準を基に前記スライダのサスペンション取付面に接着剤を下方から吐出し、前記ＡＢＳが上側に位置する状態を保持しつつ前記サスペンションに対する前記スライダの取付を行うことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
前記スライダの搬送は把持機構によって行われ、この把持機構に設けられた押圧面にて前記スライダの両側面を把持するとともに、この把持機構に形成された水平規制面に前記スライダのＡＢＳを当接させることで前記スライダの水平姿勢を規制し、前記把持機構によって保持された前記スライダを前記サスペンションの先端へと移動させることを特徴とする請求項１に磁気ヘッドの製造方法。
ＡＢＳ（Air Bearing Surface）が形成されたスライダをサスペンションに取り付けるための磁気ヘッドの製造装置であって、
前記スライダの上方に配置され前記ＡＢＳが形成された面と前記スライダの外形の撮影をなす第１カメラと、
前記スライダの下方に配置され前記スライダの外形の撮影をなす第２カメラと、
前記スライダのサスペンション取付面に下方から接着剤を吐出可能とする接着剤吐出手段と、
前記ＡＢＳが上側に位置する状態で前記スライダの取付が可能になるよう姿勢が保持されたサスペンションとを前記スライダの搬送経路上に順に配置するとともに、互いに摺動可能な２ブロック構造体からなりこれらブロック体に押圧面がそれぞれ形成されいずれか一方の前記ブロック体に前記スライダのＡＢＳとの当接をなす水平規制面が形成された把持機構を前記搬送経路に沿って移動可能に設け、前記第１カメラにより撮影された前記ＡＢＳと当該ＡＢＳ内に成形されている彫り込み領域とを判別する画像処理手段と、この画像処理手段からの判別情報と前記第２カメラから前記サスペンションの取付指針となる基準を算出し当該基準と前記スライダの外形との位置関係を紐付け情報として記憶する座標演算手段とを前記接着剤吐出手段と前記把持機構に接続したことを特徴とする磁気ヘッドの製造装置。
前記第１カメラは、ＵＶ（Ultraviolet）光線を前記スライダに照射し当該スライダからの反射光をＵＶ光線検出カメラで撮影することでなされることを特徴とする請求項３に記載の磁気ヘッドの製造装置。
前記押圧面の縁部に面取部を形成し、当該面取部の両側に配置するブロック本体と前記スライダとに対し反射率を低減させたことを特徴とする請求項３または請求項４に記載の磁気ヘッドの製造装置。