CN111811459B - 一种夹持机构及检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及基板检测技术领域，公开了一种夹持机构及检测装置。所述夹持机构，用于夹持基板，所述夹持机构包括支撑本体、至少三组径向抵压组件及轴向抵压组件，所述支撑本体包括支撑平面，所述支撑平面用于支撑所述基板的底面；至少三组径向抵压组件设置在所述支撑本体上且能够分别沿所述基板的径向抵压所述基板的周面，以限定所述基板在所述支撑平面内的位置；轴向抵压组件设置在所述支撑本体上，所述轴向抵压组件能够沿所述基板的轴向将所述基板夹紧于所述支撑平面上。本发明的夹持机构夹持基板的过程简单、定位精度高且不会造成基板的损伤。本发明的检测装置通过采用上述的夹持机构能够简化基板夹持步骤且提高基板的测量准确性。

Description

一种夹持机构及检测装置

技术领域

本发明涉及基板检测技术领域，尤其涉及一种夹持机构及检测装置。

背景技术

为了基于基板加工形成目标产品，需要预先获取基板的表面形貌信息。基于该表面形貌信息在基板上完成预设工艺，最终获得目标产品。

以基板为晶圆为例，在晶圆生产或芯片制程中，晶圆常常会产生形貌变化，例如，在镀膜、蚀刻、化学机械研磨或热处理等工艺中，均可能引起晶圆的表面形貌变化，如果在光刻等工艺中未能知悉这种形貌变化，则无法根据形貌变化情况进行适应性调整，晶圆的表面形貌变化将不利于准确完成预设工艺。

以光刻工艺为例，需要预先获取晶圆的表面形貌等参数，并将掩膜版上图案光刻至该晶圆上。然而，由于晶圆可能产生表面形貌变化，故预先获取的表面形貌信息与晶圆的实际表面形貌有偏差，可能会导致光刻设备中的投影物镜聚焦模糊，严重时会造成离焦，若产生离焦则会影响产品的良率。因此，有必要对晶圆的表面形貌进行测量，可以采用检测装置测量晶圆的表面形貌，以获取晶圆的实际表面形貌，基于晶圆的实际表面形貌，既可以适应调整光刻工艺以避免产生离焦，又可以进行光刻前馈控制，进而提高套刻精度。

在对基板的表面形貌进行测量时，在现有技术中，采用机械手带动基板运动至测量工位。以基板为晶圆为例，如果在测量工位以水平姿态对晶圆进行测量，则晶圆的中间区域在重力的作用下会发生局部形貌变化，由于重力影响使得晶圆产生了额外的形貌变化，对测量结果造成干扰。因此，在现有技术中，为了降低重力对基板的表面形貌的影响，在测试工位处可以以竖直姿态固定晶圆，并对晶圆进行测量。

现有技术提供了一种夹持机构，用于夹持诸如晶圆、玻璃基板和蓝宝石基板等类型的基板，其可以将水平放置的基板夹持固定住，且在基板翻转至竖直姿态后保证基板仍能够被稳定地支撑。具体地，如图1所示，夹持机构包括中转平台和三组夹持组件，其中，中转平台包括水平设置的底座11′和可升降地设置于底座11′上的支撑件12′；夹持组件包括直线驱动源21′及连接在直线驱动源21′的输出端且夹持端面为弧形(或V型)的夹头22′。在实际作业时，以基板采用晶圆100′为例，机械手从盛装晶圆100′的片盒中抓取晶圆100′并将其水平放置在支撑件12′上，接着三个直线驱动源21′驱动夹头22′沿晶圆100′的径向靠近晶圆100′，当晶圆100′的边缘位于弧形夹头22′的作用区域后，支撑件12′下降取消对晶圆100′的支撑，此时三个弧形的夹头22′托住晶圆100′，三个夹头22′继续沿晶圆100′的径向运动，直至三个夹头22′以足够的夹紧力将晶圆100′夹持住，且该夹紧力能够保证当晶圆100′翻转至竖直姿态后仍不会从夹头22′中松脱。

但这种夹持机构存在以下问题：1)为保证基板在竖直姿态时也不容易松脱，则夹头需要施加较大的夹紧力以与基板产生足够的静摩擦力来克服重力，而较大的夹紧力会造成基板发生变形。2)需要设置中转平台辅助夹持组件的夹持工作，结构复杂、占用空间大。3)基板可能会卡在弧形(或V型)的夹头的非中心的位置，影响基板的位置精度。

因此，亟需发明一种夹持机构及检测装置来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提出一种夹持机构，其夹持基板的过程简单、定位精度高且不会造成基板的损伤。

本发明的第二个目的在于提出一种检测装置，其通过采用上述的夹持机构能够简化基板夹持步骤且提高基板的测量准确性。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

提供了一种夹持机构，用于夹持基板，所述夹持机构包括：

支撑本体，包括支撑平面，所述支撑平面用于支撑所述基板的底面；

至少三组径向抵压组件，设置在所述支撑本体上且能够分别沿所述基板的径向抵压所述基板的周面，以限定所述基板在所述支撑平面内的位置；

轴向抵压组件，设置在所述支撑本体上，所述轴向抵压组件能够沿所述基板的轴向将所述基板夹紧于所述支撑平面上。

可选地，所述径向抵压组件包括：

推块，至少部分凸出于所述支撑平面，所述推块与所述支撑本体活动连接；

传动组件，在所述支撑本体内部与所述支撑本体铰接，所述传动组件的第一端与所述推块活动连接；

第一弹性件，其用于将所述传动组件弹性支撑于所述支撑本体；

所述基板放置于所述支撑平面能够挤压所述传动组件的第二端，以使所述第一端带动所述推块沿所述基板的径向抵压所述基板的周面。

可选地，所述径向抵压组件还包括连接杆，所述连接杆的两端分别与所述推块和所述支撑本体铰接，所述传动组件的第一端与所述推块铰接。

可选地，所述支撑本体上设置有沿所述基板的径向延伸的导轨，所述推块与所述导轨滑动配合；

所述推块上设置有沿所述基板的轴向延伸的长孔，所述传动组件的第一端与所述长孔滑动配合。

可选地，所述径向抵压组件还包括抵压件，所述抵压件与所述支撑本体滑动配合，所述抵压件的一端与所述第二端相抵接，另一端能够伸出所述支撑平面；

所述基板放置于所述支撑平面能够挤压所述抵压件以挤压所述第二端。

可选地，所述支撑本体包括第一支撑块和第二支撑块，所述支撑平面设置在所述第一支撑块上，所述第一支撑块与所述第二支撑块沿垂直于所述支撑平面的方向滑动配合；

所述传动组件的第二端上设置有凸块，所述凸块位于所述第一支撑块与所述第二支撑块之间；

所述基板放置于所述支撑平面能够使所述第一支撑块靠近所述第二支撑块以下压所述凸块。

可选地，所述支撑本体还包括导柱，所述导柱沿垂直于所述支撑平面的方向延伸；

所述导柱的一端与所述第一支撑块固定连接，另一端与所述第二支撑块滑动配合；或所述导柱的一端与所述第二支撑块滑动配合，另一端与所述第一支撑块固定连接。

可选地，所述传动组件包括：

第一传动杆，其与所述推块铰接；

第二传动杆，与所述第一传动杆呈夹角设置，所述第二传动杆或所述第二传动杆与所述支撑本体铰接，所述第一弹性件的两端分别与所述支撑本体和所述第二传动杆相连接。

可选地，所述轴向抵压组件包括：

支杆，其设置在所述支撑本体上；

压杆，其与所述支杆铰接；

驱动件，设置在所述支撑本体上，所述驱动件能够驱动所述压杆相对于所述支杆转动，以使所述支杆的一端沿所述基板的轴向将所述基板压紧于所述支撑平面上。

还提供了一种检测装置，所述检测装置包括所述的夹持机构。

本发明有益效果为：

本发明的夹持机构在夹持基板时，先通过机械手将基板以水平的姿态放置在支撑本体的支撑平面上，此时至少三组径向抵压组件分别抵压在基板的周面上，故能够对基板在支撑平面内的位置进行限定，同时轴向抵压组件沿基板的轴向将基板限定在支撑平面上，即对基板沿垂直于支撑平面的方向进行了限定。本发明的夹持机构将对基板的限位作用力解耦为沿基板的轴向和沿垂直于轴向两组，当基板转动至竖直姿态时，对基板的限位力仍保持轴向的限位和垂直于轴向不发生变化，故轴向抵压组件和径向抵压组件均不必施加较大的压力，只需保证基板在沿对应方向不会发生晃动即可，从而避免了因夹紧力过大造成基板变形的问题；其次，基板直接支撑于夹持机构上并被轴向抵压组件压紧，能够保证轴向的位置精度，而至少三组径向抵压组件在沿径向抵压基板的周面时能够对基板的径向位置进行修正，故本发明的夹持机构对晶圆的夹持定位精度高；此外，本发明的夹持机构不必单独设置中转平台进行配合，使得夹持机构结构更紧凑、夹持过程更方便。

本发明的检测装置，通过采用上述的夹持机构能够更方便地实现对基板的夹持且不会导致基板变形，进而提高基板检测的准确性。

附图说明

图1是现有技术提供的夹持机构的结构示意图；

图2是本发明实施例一所提供的夹持机构的俯视图；

图3是本发明实施例一所提供的夹持机构的局部结构示意图；

图4是本发明实施例一所提供的径向抵压组件的结构示意图；

图5是本发明实施例一所提供的轴向抵压组件的结构示意图；

图6是本发明实施例二所提供的轴向抵压组件的结构示意图；

图7是本发明实施例三所提供的径向抵压组件的结构示意图。

图中：

100′-晶圆；

11′-底座；12′-支撑件；21′-直线驱动源；22′-夹头；

100-晶圆；

1-支撑本体；11-支撑平面；12-第一支撑块；13-第二支撑块；14-导柱；

2-径向抵压组件；21-推块；22-传动组件；221-第一传动杆；222-第二传动杆；23-抵压件；24-连接杆；25-凸块；26-第一弹性件；

3-轴向抵压组件；31-支杆；32-压杆；33-驱动件；34-第二弹性件；35-弹性压片。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

为了降低基板表面形貌检测时受到重力的影响，通常将基板以竖直的姿态进行检测。而现有技术中的夹持机构存在易导致基板变形、夹持过程复杂及定位精度低的问题。针对上述问题，本发明提供了一种夹持机构，其可用于基板检测技术领域。其中，基板可以为晶圆、玻璃基板或蓝宝石基板等。

实施例一

本实施例以基板为晶圆为例进行说明，如图2和3所示，夹持机构包括支撑本体1、轴向抵压组件3及至少三组径向抵压组件2。其中，支撑本体1可以为一体板状结构，也可以为间隔设置的多个块状结构，还可以为框架机构等，本实施例中，支撑本体1为块状结构，且每组径向抵压组件2对应与一个支撑本体1连接。支撑本体1包括支撑平面11，支撑平面11可以用于支撑晶圆100的底面，径向抵压组件2设置在支撑本体1上且能够分别沿晶圆100的径向抵压晶圆100的圆周面，以限定晶圆100在支撑平面11内的径向位置，轴向抵压组件3设置在支撑本体1上，轴向抵压组件3能够沿晶圆100的轴向将所述晶圆100夹紧于所述支撑平面11上。

本实施例的夹持机构在夹持晶圆100时，先通过机械手将晶圆100以水平的姿态放置在支撑本体1的支撑平面11上，此时三组径向抵压组件2分别抵压在晶圆100的圆周面上，故能够对晶圆100的径向位置进行限定，同时轴向抵压组件3沿晶圆100的轴向将晶圆100限定在支撑平面11上，即对晶圆100沿垂直于支撑平面11的方向进行了限定。本实施例的夹持机构将对晶圆100的限位作用力解耦为沿晶圆100的轴向和沿垂直于轴向两组，当晶圆100转动至竖直姿态时，对晶圆100的限位力仍保持轴向的限位和垂直于轴向两组不发生变化，故轴向抵压组件3和径向抵压组件2均不必施加较大的压力，只需保证晶圆100在沿对应方向不会发生晃动即可，从而避免了因夹紧力过大造成晶圆100变形的问题；其次，晶圆直接支撑于夹持机构上并被轴向抵压组件3压紧，能够保证轴向的位置精度，而三组径向抵压组件2在沿径向抵压晶圆100的圆周面时能够对晶圆100在支撑平面11内的位置进行修正，故本实施例的夹持机构对晶圆的夹持定位精度高；此外，本实施例的夹持机构不必单独设置中转平台进行配合，使得夹持机构结构更紧凑、夹持过程更方便。

具体而言，本实施例中，径向抵压组件2为三组，三组径向抵压组件2足够将晶圆100的径向位置完全限定住。在其他实施例中，径向抵压组件2的组数可以大于三组，根据使用需求设置即可。可选地，三组径向抵压组件2沿晶圆100的周向均匀分布，从而保证晶圆100能够被更平稳的支撑。在其他实施例中，三组径向抵压组件2位置也可以根据晶圆100处于竖直姿态时的受力需求非均匀分布设置。优选地，轴向抵压组件3也为三组，且沿垂直于支撑平面11的方向，三组轴向抵压组件3分别与三组径向抵压组件2一一向相对地设置。

为了实现径向抵压组件2能够沿径向抵压晶圆100的圆周面，如图4所示，径向抵压组件2包括推块21、传动组件22及第一弹性件26，其中，推块21至少部分凸出于支撑平面11，且推块21与支撑本体1活动连接；传动组件22在支撑本体1内部与支撑本体1铰接，传动组件22的第一端与推块21活动连接；第一弹性件26用于将传动组件22弹性支撑于支撑板1上；当晶圆100放置于支撑平面11上时，其能够挤压传动组件22的第二端，以使第一端带动推块21沿晶圆100的径向抵压圆周面。

在第一弹性件26的弹性支撑的作用下，整个径向抵压组件2相对于支撑本体1保持稳定不动的状态，当晶圆100放置于支撑平面11上后，会挤压传动组件22的第二端，并使传动组件22绕其与支撑本体1的铰接轴发生转动，故传动组件22的第一端也发生转动，第一端转动过程会带动推块21产生沿晶圆100径向的位移，故而可以抵压于晶圆100的圆周面。三个推块21从支撑平面11内的三个方向同时抵压晶圆100的圆周面，能够将晶圆100的位置固定。此过程中将晶圆100由上至下放置时的重力势能转化为第一弹性件26的弹性势能，及径向抵压组件2挤压晶圆的能量，不需要额外设置驱动源。当支撑平面11上的晶圆100取走后，传动组件22的第一端不再受挤压的力，而第一弹性件26释放所积攒的弹性势能，以使整个传动组件22及推块21实现复位。本实施例中，支撑本体1内设置有容纳腔，传动组件22位于容纳腔内。推块21可以部分容纳于容纳腔内，部分凸出于支撑平面11的上表面以能够接触晶圆100，当然，推块21也可以全部凸出于支撑平面11。

具体地，如图4所示，径向抵压组件2还包括抵压件23，抵压件23与支撑本体1滑动配合，抵压件23的一端与传动组件22的第二端相抵接，另一端能够伸出支撑平面11；晶圆100能够挤压抵压件23以挤压第二端。本实施例中，在支撑平面11上未放置晶圆100时，抵压件23处于一端伸出支撑平面11的状态，当将晶圆100放置在支撑平面11上的过程中，晶圆100首先下压抵压件23，此过程中，抵压件23相对于支撑本体1滑动并挤压传动组件22的第二端，从而实现推动沿径向压紧晶圆100。通过传动组件22、推块21与抵压件23的配合，无需设置其他驱动源即可实现晶圆100沿径向的夹紧动作，结构巧妙且紧凑。

本实施例中，晶圆100能够完全将抵压件23压入支撑平面11以下，晶圆100支撑在支撑平面11上，故实际使用时，可以通过调节推块21的尺寸、传动组件22的布置结构等参数，来控制推块21的最大位移量，从而可以将推块21对晶圆100的夹持力调整至较小的值，甚至可以调整至夹持力接近于零，即此时推块21对晶圆100只起限位作用，避免推块21对晶圆的夹持力造成晶圆100的变形翘曲。当然，在其他实施例中，也有可能晶圆100无法将抵压件23完全压入支撑平面11以下，这种情况也能够实现对晶圆100在支撑平面11内的位置进行限定，但是一方面，此时推块21对晶圆100圆周面的夹持力持续存在，可能会导致晶圆100发生翘曲，另一方面，此时晶圆100无法与支撑平面11相抵接，晶圆100的底面由三个抵压件23进行支撑，容易导致晶圆局部受力集中、发生变形的问题。

可选地，抵压件23为杆状件，支撑本体11内设置有垂直于支撑平面11的第一导槽，抵压件23与第一导槽滑动配合，抵压件23与传动组件22的第二端构成点面的接触。

优选地，抵压件23与传动组件22相抵接的一端设置有滚轮，抵压件23下压传动组件22且传动组件22发生转动时，抵压件23与传动组件22的接触面会发生相对滑动，滚轮的设置能够减小抵压件23与传动组件22之间的摩擦，使得传动组件22的转动过程更为顺畅。

优选地，如图4所示，传动组件22包括第一传动杆221和第二传动杆222，第一传动杆221与推块21活动连接，第二传动杆222与第一传动杆221固定且呈夹角设置，第一传动杆221或第二传动杆222与支撑本体1铰接，第一弹性件26的两端分别与支撑本体1和第二传动杆222相连接。第一传动杆221构成传动组件22的第一端，第二传动杆222构成传动组件22的第二端，第一传动杆221与第二传动杆222夹角设置，故在第二传动杆222受到抵压件23沿垂直于支撑平面11的下压力后，第二传动杆222能够产生沿平行于支撑平面11的运动分量。本实施例中，第一传动杆221与第二传动杆222垂直设置。可选地，第一传动杆221与第二传动杆222为一体成型，有利于提高整个传动组件22的可靠性。其他实施例中，第一传动杆221和第二传动杆222可以分别加工再进行固定连接。

为了实现推块21与支撑本体1的活动连接，如图4所示，径向抵压组件2还包括连接杆24，连接杆24的两端分别与推块21和支撑本体1铰接，传动组件22的第一端与推块21铰接。当第一传动杆221相对于支撑本体1发生转动并推动推块21时，推块21因与支撑本体1铰接连接，故推块21的运动方向不是完全平行于支撑平面11，但可以产生沿晶圆100径向的运动分量以能够抵压晶圆100的圆周面，而推块21与支撑本体1的铰接连接方式能够保证推块21的运动更为顺滑，即便在高频次的使用下也不会产生精度误差。

在其他实施例中，为实现推块21与支撑本体1的活动连接结构还可以是：支撑本体1上设置有沿晶圆100的径向延伸的导轨，推块21与导轨滑动配合，推块21上设置有沿圆100的轴向延伸的长孔，传动组件22的第一端与所述长孔滑动配合。本实施例中，第一传动杆221与长孔滑动配合。通过设置导轨，可以保证推块21只产生沿晶圆100径向的运动，故只对晶圆100产生沿其径向的压紧力。

为了实现轴向抵压组件3沿轴向抵压晶圆100，如图5所示，轴向抵压组件3包括支杆31、压杆32和驱动件33，其中，支杆31设置在支撑本体1上，压杆32与支杆31铰接；驱动件33设置在支撑本体1上，驱动件33能够驱动压杆32相对于支杆31转动，以使压杆32的一端沿晶圆100的轴向将晶圆100压紧于支撑平面11上。即驱动件33通过驱动压杆32转动，可以使得压杆32在能够压紧支撑平面11上的晶圆100的下压位置和能够使压杆32位于避让开支撑平面11上用于放置晶圆100的避让位置之间进行切换。

具体地，如图5所示，驱动件33的输出端与压杆32用于抵压基板的一端通过柔性铰链铰接，其他实施例中，驱动件32的输出端可以直接抵接在压杆32的下方，驱动件33与压杆32的连接只要满足能够释放水平自由度即可。轴向抵压组件3还包括第二弹性件34，第二弹性件34的两端分别与压杆32的另一端和支撑本体1相连接。在第二弹性件34的作用下，压杆32能够保持一个稳定的初始位置，当然，初始位置可以是下压位置，也可以是避让位置，操作人员根据需求设置第二弹性件34的长度即可。本实施例中，第二弹性件34为弹簧。可选地，驱动件33为单作用气缸，且第二弹性件34处于原长时，压杆32处于能够压紧晶圆100的下压位置。当需要放置晶圆100时，驱动件33充气，输出端伸出，以使压杆32转动至避让位置，当晶圆100放置在支撑平面11上后，驱动件33泄气，此时压杆32在第二弹性件34的作用下转动至初始的下压位置以压紧晶圆100。

优选地，为了避免压杆32在下压过程中对晶圆100的表面造成损伤，如图5所示，压杆32的端部设置有弹性压片35，当驱动件33驱动压杆32下压晶圆100时，弹性压片35能够缓冲下压的过程，避免与晶圆100发生刚性碰撞，从而对晶圆100的表面进行保护。

本实施例还提供了一种检测装置，检测装置包括上述的夹持机构，通过夹持机构能够简化晶圆100的夹持步骤且提高晶圆100的测量准确性。检测装置还包括翻转机构，翻转机构能够驱动夹持机构转动，以使夹持机构上的晶圆100能够从水平姿态转至竖直姿态。

实施例二

本实施例与实施例一的不同之处在于，为了实现轴向抵压组件3沿轴向抵压晶圆100，如图6所示，驱动件33为单作用复位气缸，单作用复位气缸的输出端与压杆32远离基板的一端通过柔性铰链铰接。本实施例中，单作用复位气缸初始状态时，其输出端使压杆32处于下压位置，当需要放置晶圆100时，单作用复位气缸充气，其输出端缩回，从而使压杆32转动至避让位置，当将晶圆100放置于支撑平面11上后，单作用复位气缸泄气，并在其内部的复位元件的作用下伸出输出端，以使压杆32回到能够压紧晶圆100的下压位置。

实施例三

本实施例与实施例一的不同之处在于，为了实现径向抵压组件2沿径向抵压晶圆100，如图7所示，支撑本体1包括第一支撑块12和第二支撑块13，支撑平面11设置在第一支撑块12上，第一支撑块12与第二支撑块13沿垂直于支撑平面11的方向滑动配合；传动组件22的第二端上设置有凸块25，凸块25位于第一支撑块12与第二支撑块13之间；晶圆100放置于支撑平面11能够使第一支撑块12靠近第二支撑块13以下压凸块25。当晶圆100放置于第一支撑块12的支撑平面11上后，在晶圆100的重力作用下，第一支撑块12相对于第二支撑块13向下滑动，滑动过程中会挤压凸块25，凸块25进而挤压传动组件22的第二端，以使传动组件22的第一端带动推块21沿晶圆100的径向抵压晶圆100的圆周面。与实施例一相比，本实施例不设置抵压件23，晶圆100直接与支撑平面11接触，一方面避免晶圆100与支撑平面11接触前，晶圆100上的局部位置集中受力，且相应简化该部位的结构，有利于沿径向减小支撑平面11与晶圆100搭接区域的面积。具体而言，本实施例中，连接杆24分别与推块21及第一支撑块12铰接，且推块21与第一传动杆221铰接。第一支撑块12内设置有容纳腔，推块21的局部区域及连接杆24的局部区域设置在第一支撑块12内部，第二支撑块13内也设置有容纳空间，第二传动杆222设置在第二支撑块13的容纳空间内，第一传动杆221一端与第二传动杆222相连接，另一端伸入第一支撑块12的容纳空间中并与推块21铰接。在其他实施例中，第一支撑块12上设置有沿基板径向延伸的导轨，推块21与导轨滑动配合，推块21上设置有沿基板轴向延伸的长孔，第一传动杆221与长孔滑动配合。第一支撑块12内设置有容纳腔，推块21的局部区域设置在第一支撑块12内的容纳腔中。可选地，凸块25设置在第二传动杆222上。

当传动组件22相对于支撑本体1发生转动时，凸块25与第一支撑块12之间会发生相对滑动，优选地，如图7所示，凸块25朝向第一支撑块12的一侧的轮廓为球面，从而能够减小凸块25与第一支撑块12的接触面积，进而减小凸块25相对于第一支撑块12滑动时的摩擦力，使传动组件22的运动过程更为顺滑。

为了保证第一支撑块12相对于第二支撑块13支撑稳定、滑动过程顺滑，如图7所示，支撑本体1还包括导柱14，导柱14沿垂直于支撑平面11的方向延伸，导柱14的一端与第一支撑块12滑动配合，另一端与第二支撑块13固定。优选地，第一支撑块12上设置有沿垂直于支撑平面11延伸的第二导槽，导柱14与第二导槽滑动配合。当晶圆100下压第一支撑块12时，第一支撑块12沿导柱14滑动，运动轨迹更加精确，不仅能够使第一支撑块12上的晶圆100运动平稳，且能够保证传动组件22的转动精度，进而保证推块21的运动精度。本实施例中，导柱14和第二导槽对应设置有两组，在其他实施例中，第二导槽和导柱14的数量不做限定。可选地，第一支撑块12的导向结构还可以是：支撑本体1还包括导柱14，导柱14沿垂直于支撑平面11的方向延伸，第二支撑块13上设置有第三导槽，导柱14的一端与第一支撑块12固定，另一端与第三导槽滑动配合。

在其他实施例中，为了保证第一支撑块12相对于第二支撑块13支撑稳定、滑动顺畅，支撑本体1还包括直线导轨和滑块，第一支撑块12和第二支撑块13中其中一个上固定设置有直线导轨，另一个设置有滑块，滑块和直线导轨滑动配合。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定，对于本领域的普通技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种夹持机构，用于夹持基板，其特征在于，所述夹持机构包括：

支撑本体(1)，包括支撑平面(11)，所述支撑平面(11)用于支撑所述基板的底面；

至少三组径向抵压组件(2)，设置在所述支撑本体(1)上且能够分别沿所述基板的径向抵压所述基板的周面，以限定所述基板在所述支撑平面(11)内的位置；

轴向抵压组件(3)，设置在所述支撑本体(1)上，所述轴向抵压组件(3)能够沿所述基板的轴向将所述基板夹紧于所述支撑平面(11)上；

所述径向抵压组件(2)包括：

推块(21)，至少部分凸出于所述支撑平面(11)，所述推块(21)与所述支撑本体(1)活动连接；

传动组件(22)，在所述支撑本体(1)内部与所述支撑本体(1)铰接，所述传动组件(22)的第一端与所述推块(21)活动连接；

第一弹性件(26)，其用于将所述传动组件(22)弹性支撑于所述支撑本体(1)；

所述基板放置于所述支撑平面(11)能够挤压所述传动组件(22)的第二端，以使所述第一端带动所述推块(21)沿所述基板的径向抵压所述基板的周面。

2.如权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，所述径向抵压组件(2)还包括连接杆(24)，所述连接杆(24)的两端分别与所述推块(21)和所述支撑本体(1)铰接，所述传动组件(22)的第一端与所述推块(21)铰接。

3.如权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，所述支撑本体(1)上设置有沿所述基板的径向延伸的导轨，所述推块(21)与所述导轨滑动配合；

所述推块(21)上设置有沿所述基板的轴向延伸的长孔，所述传动组件(22)的第一端与所述长孔滑动配合。

4.如权利要求1-3任一项所述的夹持机构，其特征在于，所述径向抵压组件(2)还包括抵压件(23)，所述抵压件(23)与所述支撑本体(1)滑动配合，所述抵压件(23)的一端与所述第二端相抵接，另一端能够伸出所述支撑平面(11)；

所述基板放置于所述支撑平面(11)能够挤压所述抵压件(23)以挤压所述第二端。

5.如权利要求1-3任一项所述的夹持机构，其特征在于，所述支撑本体(1)包括第一支撑块(12)和第二支撑块(13)，所述支撑平面(11)设置在所述第一支撑块(12)上，所述第一支撑块(12)与所述第二支撑块(13)沿垂直于所述支撑平面(11)的方向滑动配合；

所述传动组件(22)的第二端上设置有凸块(25)，所述凸块(25)位于所述第一支撑块(12)与所述第二支撑块(13)之间；

所述基板放置于所述支撑平面(11)能够使所述第一支撑块(12)靠近所述第二支撑块(13)以下压所述凸块(25)。

6.如权利要求5所述的夹持机构，其特征在于，所述支撑本体(1)还包括导柱(14)，所述导柱(14)沿垂直于所述支撑平面(11)的方向延伸；

所述导柱(14)的一端与所述第一支撑块(12)固定连接，另一端与所述第二支撑块(13)滑动配合；或所述导柱(14)的一端与所述第二支撑块(13)滑动配合，另一端与所述第一支撑块(12)固定连接。

7.如权利要求1-3任一项所述的夹持机构，其特征在于，所述传动组件(22)包括：

第一传动杆(221)，其与所述推块(21)活动连接；

第二传动杆(222)，与所述第一传动杆(221)呈夹角设置，所述第二传动杆(222)或所述第二传动杆(222)与所述支撑本体(1)铰接，所述第一弹性件(26)的两端分别与所述支撑本体(1)和所述第二传动杆(222)相连接。

8.如权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，所述轴向抵压组件(3)包括：

支杆(31)，其设置在所述支撑本体(1)上；

压杆(32)，其与所述支杆(31)铰接；

驱动件(33)，设置在所述支撑本体(1)上，所述驱动件(33)能够驱动所述压杆(32)相对于所述支杆(31)转动，以使所述支杆(31)的一端沿所述基板的轴向将所述基板压紧于所述支撑平面(11)上。

9.一种检测装置，其特征在于，所述检测装置包括如权利要求1-8任一项所述的夹持机构。

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