CN113042991B - 一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置，其包括提升机构；提升机构包括驱动件、转动件和滑动件，滑动件能够与静电吸盘固定，转动件能够放置于机台，转动件设有倾斜面，驱动件能够驱动转动件转动并使滑动件相对沿倾斜面向上滑动，以带动静电吸盘向上移动并与机台脱离。该拆装装置能够稳定地拆装静电吸盘，避免静电吸盘滑落并可保证拆装效率。

Description

一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置

技术领域

本发明涉及拆装设备技术领域，具体涉及一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置。

背景技术

半导体刻蚀机台中，静电吸盘为芯片吸附及工艺反应处,当静电吸盘需要进行保养更换时，就需要对静电吸盘进行拆装操作，对工作人员的熟练程度和操作手法等要求较高。

由于静电吸盘与机台的陶瓷环之间的作用力较大，而如何将静电吸盘拆下使其与陶瓷环脱离，并且兼顾操作空间的限制、避免静电吸盘发生滑落的情况，保证拆装效率，是本领域技术人员所需要解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置，能够稳定地拆装静电吸盘，避免静电吸盘滑落并可保证拆装效率。

为解决上述技术问题，本发明提供一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置，其包括提升机构；所述提升机构包括驱动件、转动件和滑动件，所述滑动件能够与静电吸盘固定，所述转动件能够放置于机台，所述转动件设有倾斜面，所述驱动件能够驱动所述转动件转动并使所述滑动件相对沿所述倾斜面向上滑动，以带动所述静电吸盘向上移动并与所述机台脱离。

转动件能够在驱动件的驱动作用下相对于机台转动，使得转动件的上端面和滑动件之间发生相对转动，滑动件是与静电吸盘固定的，滑动件不发生转动，因此滑动件将沿倾斜面向上滑动，以带动静电吸盘沿倾斜面向上移动，从而能够克服静电吸盘与陶瓷环之间的作用力，使得静电吸盘与陶瓷环脱离。操作人员在将各部件安装好后，可通过驱动件驱动转动件转动即可实现静电吸盘相对于陶瓷环向上移动至二者脱离，在此过程中，无需人工操作将静电吸盘向上移动，从而降低对操作空间的要求，并且省时省力且效率较高。

可选地，还包括至少两根定位杆，所述定位杆的底部设有螺纹段，所述螺纹段能够穿过设于所述静电吸盘的安装孔并与设于陶瓷环的安装孔螺纹配合，所述提升机构能够作用于所述静电吸盘使其向上移动至与所述定位杆脱离。

可选地，所述滑动件包括连接件和第一滚轮，所述连接件能够与设于所述静电吸盘外周壁的螺纹孔连接，所述第一滚轮能够沿所述倾斜面滚动。

可选地，所述转动件的下端面还凸出有第二滚轮，所述驱动件驱动所述转动件转动时，所述第二滚轮能够在所述机台的上端面滚动。

可选地，所述转动件还包括安装螺栓，所述转动件的下端面设有用于容纳所述第二滚轮的安装腔，所述转动件的侧壁开设有与所述安装腔相适配的通孔结构，所述安装螺栓能够穿过所述通孔结构和所述第二滚轮并与所述转动件固定，所述第二滚轮能够绕所述安装螺栓的轴线转动。

可选地，还包括翻转机构，所述翻转机构包括翻转件和固定件，所述固定件能够与所述静电吸盘固定，所述翻转件能够作用于所述固定件使其带动所述静电吸盘翻转。

可选地，所述转动件还包括筒体，所述倾斜面设于所述筒体的内壁，所述驱动件能够驱动所述筒体转动，且所述筒体的顶端侧壁沿其轴向还开设有让位槽，所述固定件能够穿过所述让位槽并与所述静电吸盘固定。

、根据权利要求所述的半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置，其特征在于，所述固定件包括第一夹紧部和第二夹紧部，所述第一夹紧部能够从上端面抵接所述静电吸盘，所述第二夹紧部能够从下端面抵接所述静电吸盘，两个夹紧部能够分别从两侧夹紧所述静电吸盘。

可选地，所述第一夹紧部和所述第二夹紧部均沿周向作用于所述静电吸盘，且所述第二夹紧部能够与所述静电吸盘脱离。

可选地，所述第二夹紧部包括沿所述静电吸盘的周向间隔布置的多个第二夹爪，各所述第二夹爪能够通过转动与所述静电吸盘作用和脱离。

可选地，所述第一夹紧部包括沿所述静电吸盘的周向间隔布置的多个第一夹爪，各所述第一夹爪和各所述第二夹爪间隔错开布置。

可选地，所述第一夹紧部朝向所述第二夹紧部的一侧端面，以及所述第二夹紧部朝向所述第一夹紧部的一侧端面分别设有阳极膜防护层和/或缓冲垫；

和/或，所述翻转件和所述驱动件均能够设于机台，且所述翻转件与所述机台之间以及所述驱动件与所述机台之间分别设有阳极膜防护层和/或缓冲垫。

附图说明

图1是将提升机构与机台的结构示意图；

图2是图1中去掉转动件的结构示意图；

图3是转动件的俯视图；

图4是滑动件的结构示意图；

图5是翻转机构和静电吸盘的结构示意图；

图6是翻转前静电吸盘和固定件固定时的结构示意图；

图7是图6的侧视图；

图8是翻转后静电吸盘和固定件固定时的结构示意图；

图9是图8的侧视图；

图10是第二夹紧部与静电吸盘脱离时的结构示意图。

附图1-10中，附图标记说明如下：

1-提升机构，11-驱动件，12-转动件，121-倾斜面，122-第二滚轮，123-安装螺栓，124-筒体，125-让位槽，13-滑动件，131-连接件，132-第一滚轮；

2-翻转机构，21-翻转件，22-固定件，221-第一夹紧部，2211-第一夹爪，222-第二夹紧部，2221-第二夹爪，23-机座，24-限位件；

3-定位杆；

4-静电吸盘；

5-陶瓷环；

6-机台；

7-缓冲垫。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的详细说明。

本发明实施例提供了一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置，该半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置包括提升机构1，如图1和图2所示，提升机构1包括驱动件11、转动件12和滑动件13，滑动件13能够与静电吸盘4固定，转动件12能够放置于机台，并且该转动件12设有倾斜面121，驱动件11能够驱动转动件12转动并使滑动件13相对沿倾斜面121向上滑动，以带动静电吸盘4向上移动，使得静电吸盘4与机台6的陶瓷环5脱离。具体的，该倾斜面121可以是斜面也可以是弧形面均可，在此不做具体限制。

详细的讲，转动件12能够在驱动件11的驱动作用下相对于机台6转动，使得转动件12的上端面和滑动件13之间发生相对转动，滑动件13是与静电吸盘4固定的，滑动件13不发生转动，因此滑动件13将沿倾斜面121向上滑动，以带动静电吸盘4沿倾斜面121向上移动，从而能够克服静电吸盘4与陶瓷环5之间的作用力，使得静电吸盘4与陶瓷环5脱离。操作人员在将各部件安装好后，可通过驱动件11驱动转动件12转动即可实现静电吸盘4相对于陶瓷环5向上移动至二者脱离，在此过程中，无需人工操作将静电吸盘4向上移动，从而降低对操作空间的要求，并且省时省力且效率较高。

在上述实施例中，该拆装装置还包括至少两根定位杆3，各定位杆3的底部设有螺纹段，该螺纹段能够穿过设于静电吸盘4的安装孔并与设于陶瓷环5的安装孔螺纹配合以实现固定。其中，设于静电吸盘4的安装孔是用来与设于陶瓷环5的安装孔配合以实现静电吸盘4的安装。安装静电吸盘4时，将静电吸盘4对准并放置于陶瓷环5上后，可将定位杆3拆除，然后将静电吸盘4与陶瓷环5固定即可。

提升机构1能够作用于静电吸盘4使其向上移动，在此过程中，定位杆3能够对静电吸盘4进行定位，防止静电吸盘4、滑动件13随转动件12发生转动，并且由于静电吸盘4在与陶瓷环5脱离后并上升的过程中，其内部的液体会下落，避免由于转动使得液体在陶瓷环5的上表面大面积洒落，从而便于实现清理。具体的，本实施例中，对于定位杆3的数量不做限制，如可将其设置为两根、三根或四根等均可。另外，通过螺纹段和螺孔配合，能够避免发生静电吸盘4在向上移动的过程中，会与定位杆3作用并带动定位杆3移动的情况。

在上述实施例中，如图4所示，滑动件13包括连接件131和第一滚轮132，静电吸盘4的外周壁设有螺纹孔，连接件131能够与螺纹孔配合连接，并将第一滚轮132与静电吸盘4相对固定，此时，第一滚轮132是可以相对静电吸盘4滚动的，转动件12转动时，第一滚轮132能够沿倾斜面121滚动。当然，本实施例中，也可以将滑动件13设置为固定于静电吸盘4的滑块，该滑块外可套设有耐磨材质的滑套，滑块沿倾斜面121滑动即可。而第一滚轮132的设置能够减少该滑动件13与倾斜面121之间的摩擦，减小阻力的同时还能够保证其使用寿命。具体的，第一滚轮132可以设有沉孔，连接件131的端部位于该沉孔内，以简化整体结构，连接件131可以设置为螺栓或销钉等均可。

在上述实施例中，转动件12的下端面还凸出有第二滚轮122，驱动件11驱动转动件12转动时，第二滚轮122能够在陶瓷环5的上端面滚动，详细的讲，第二滚轮122凸出于转动件12的下端面，当将转动件12放置于陶瓷环5上后，第二滚轮122与陶瓷环5接触，转动件12在转动时，第二滚轮122能够在陶瓷环5的上端面滚动，减小摩擦、减小阻力并可避免对陶瓷环5造成损伤。

进一步的，转动件12还包括安装螺栓123，转动件12的下端面设有用于容纳第二滚轮122的安装腔，转动件12的侧壁开设有与安装腔相适配的通孔结构，安装螺栓123能够穿过通孔结构和第二滚轮122并与转动件12固定，该第二滚轮122能够绕安装螺栓123的轴线转动。具体的，该安装腔可以是设于转动件12的孔结构也可以是设于转动件12下端面的槽结构均可。如此便于第二滚轮122的拆装操作。

在上述实施例中，该拆装装置还包括翻转机构2，该翻转机构2包括翻转件21和固定件22，固定件22能够与静电吸盘4固定，翻转件21能够作用于固定件22使其带动静电吸盘4翻转。在静电吸盘4与陶瓷环5脱离后，可通过翻转机构2将静电吸盘4快速翻转，避免静电吸盘4内的液体从下端面的连接孔流出，然后可对其进行更换即可。具体在更换时，可将新的静电吸盘4或者是维修后的静电吸盘4放置于翻转机构2，找正其放置位置后，通过翻转机构2翻转并将静电吸盘4扣合于陶瓷环5上，然后可将静电吸盘4与陶瓷环5固定即可完成更换操作。

当然，本实施例中，当通过提升机构1将静电吸盘4向上移动使其与机台6脱离后，操作人员可手动翻转该静电吸盘4，并对其进行维修或更换，而通过翻转机构2实现静电吸盘4的翻转操作，能够简化人工操作、省时省力且高效。

在翻转机构2对静电吸盘4进行翻转操作时，要保证该静电吸盘4是与机台6完全脱离的，因此，提升机构1需要将静电吸盘4提升至预设高度，具体的，当设有定位杆3时，该定位杆3的高度可根据静电吸盘4与机台6完全脱离时的高度设置，提升机构1带动静电吸盘4向上移动至与定位杆3脱离后，翻转机构2即可作用于静电吸盘4使其翻转。

在上述实施例中，如图3所示，转动件12还包括筒体124，倾斜面121设于该筒体124的内壁，提升机构1在提升静电吸盘4使其向上移动时，筒体124套设于静电吸盘4外，并且筒体124的顶端沿其轴向还开设有让位槽125，驱动件11能够驱动筒体124转动并带动倾斜面121转动，使得静电吸盘4沿倾斜面121向上移动，在此过程中，静电吸盘4位于该筒体124内，当静电吸盘4移动至预设位置时，固定件22能够穿过该让位槽125与静电吸盘4连接固定，然后即可通过翻转机构2的带动静电吸盘4翻转即可。当然，本实施例中，也可以不设置筒体124，通过支架等结构设置倾斜面121，而筒体124的设置能够简化倾斜面121的设置，如可将倾斜面121设于筒体124的内壁，并且筒体124便于对位于其内部的各部件进行防护。

在上述实施例中，固定件22包括第一夹紧部221和第二夹紧部222，其中，如图7所示，第一夹紧部221能够从上端面抵接静电吸盘4，第二夹紧部222能够从下端面抵接静电吸盘4，两个夹紧部能够分别从上下两侧夹紧静电吸盘4，然后翻转机构2可通过固定件22带动静电吸盘4翻转。或者，本实施例中，还可以将固定件22设置为与静电吸盘4的侧壁的螺孔固定均可，而通过夹紧作用实现与静电吸盘4之间的固定时，能够简化固定操作、方便快速。

进一步的，第一夹紧部221和第二夹紧部222均沿周向作用于静电吸盘4，以保证夹紧作用的稳定性，并且，第二夹紧部222能够单独与静电吸盘4脱离，也就是说，当静电吸盘4在提升机构1的作用下上升至一定高度后，通过两个夹紧部从上下两侧夹紧静电吸盘4(如图7所示)，然后可通过翻转机构2作用于静电吸盘4使其翻转(如图5所示)，并且当静电吸盘4翻转180°后(如图8所示)，其下端面朝上，此时，如图9所示，静电吸盘4内的液体不会掉落，第二夹紧部222位于上方，第一夹紧部221位于下方，然后可将第二夹紧部222与静电吸盘4脱离(如图10所示)，更换新的静电吸盘4后，重新将第二夹紧部222与静电吸盘4配合，再次通过翻转机构2反向翻转并带动静电吸盘4与机台6配合、安装。也就是说，通过该翻转机构2翻转静电吸盘4后，第一夹紧部221的状态始终保持不变，可将更换后的静电吸盘4倒置于该第一夹紧部221，同时找正静电吸盘4与固定件22之间的相对位置，如此便可保证在翻转后能够实现精确安装，也就是说，在找正的过程中，静电吸盘4处于倒置的情况，内部的液体不会洒落。

更进一步的，第二夹紧部222包括沿静电吸盘4的周向间隔布置的多个第二夹爪2221，各第二夹爪2221能够通过转动实现与静电吸盘4作用和脱离，也就是说，每个第二夹爪2221均可单独转动，并且各第二夹爪2221的转动轴线均与放置于第一夹紧部221的静电吸盘4的轴线平行，第二夹爪2221转动至与静电吸盘4配合时，静电吸盘4夹紧固定于两个夹紧部之间，当第二夹爪2221转动至与静电吸盘4脱离时，静电吸盘4可取下并维修、更换等。或者，本实施例中，还可以将第二夹紧部222设置为能够直接拆卸的结构，以撤除其对静电吸盘4的作用，而通过转动夹爪转动实现与静电吸盘4之间的配合和脱离时，能够简化整体结构，同时还能够简化拆装操作，并可无需考虑部件拆卸后部件的放置问题。

在上述实施例中，第一夹紧部221包括沿静电吸盘4的周向间隔布置的多个第一夹爪2211，各第一夹爪2211和各第二夹爪2221间隔错开布置(如图6所示)，如此设置，能够使得两个夹紧部的夹爪能够分别从两侧对静电吸盘4的夹紧力更均匀。或者，还可以将该第一夹紧部221设置为环形结构，以从静电吸盘4的上端面沿周向与其贴合作用即可，而将其设置为包括夹爪的结构时，能够简化整体结构并减轻整体重量，降低成本。

在上述实施例中，翻转件21为翻转气缸，或者也可以是液压缸或者通过电机、齿轮、连接臂等实现固定件22的翻转均可，而翻转气缸的结构更为简单并且转动角度也便于控制。并且，翻转机构2还包括机座24，该机座24用于与机台6固定，翻转件21设于该机座24，并且该机座23还可设置限位件24，如图8所示，该限位件24用于限制翻转机构2带动固定件22的翻转角度，便于控制。机座可通过锁扣、螺栓等方式与机台6固定均可，在此不做具体限制。另外，本实施例中，对于上述驱动件11的结构并不做限制，如可将其设置为电机和齿轮组件以实现能够驱动转动件12转动的结构均可。

在上述实施例中，第一夹紧部221朝向第二夹紧部222的一侧端面，以及第二夹紧部222朝向第一夹紧部221的一侧端面分别设有阳极膜防护层和/或缓冲垫7，也就是说，两个夹紧部用于静电吸盘4接触的一侧端面均镀有阳极膜防护层，或者都设置有缓冲垫7，亦或者既有阳极膜防护层也有缓冲垫7，以避免在夹紧固定时对静电吸盘4造成损伤的情况。在对静电吸盘4进行拆装的过程中，翻转件21和驱动件11均设于机台6，并且翻转件21与机台6之间以及驱动件11与机台6之间分别设有阳极膜防护层和/或缓冲垫7，以对机台6进行防护。

以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (11)

1.一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置，其特征在于，包括提升机构(1)；

所述提升机构(1)包括驱动件(11)、转动件(12)和滑动件(13)，所述滑动件(13)能够与静电吸盘(4)固定，所述转动件(12)能够放置于机台(6)，所述转动件(12)设有倾斜面(121)，所述驱动件(11)能够驱动所述转动件(12)转动并使所述滑动件(13)相对沿所述倾斜面(121)向上滑动，以带动所述静电吸盘(4)向上移动并与所述机台(6)脱离；

所述滑动件(13)包括连接件(131)和第一滚轮(132)，所述连接件(131)能够与设于所述静电吸盘(4)外周壁的螺纹孔连接，所述第一滚轮(132)能够沿所述倾斜面(121)滚动。

2.根据权利要求1所述的半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置，其特征在于，还包括至少两根定位杆(3)，所述定位杆(3)的底部设有螺纹段，所述螺纹段能够穿过设于所述静电吸盘(4)的安装孔并与设于陶瓷环(5)的安装孔螺纹配合，所述提升机构(1)能够作用于所述静电吸盘(4)使其向上移动至与所述定位杆(3)脱离。

3.根据权利要求1所述的半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置，其特征在于，所述转动件(12)的下端面还凸出有第二滚轮(122)，所述驱动件(11)驱动所述转动件(12)转动时，所述第二滚轮(122)能够在所述机台(6)的上端面滚动。

4.根据权利要求3所述的半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置，其特征在于，所述转动件(12)还包括安装螺栓(123)，所述转动件(12)的下端面设有用于容纳所述第二滚轮(122)的安装腔，所述转动件(12)的侧壁开设有与所述安装腔相适配的通孔结构，所述安装螺栓(123)能够穿过所述通孔结构和所述第二滚轮(122)并与所述转动件(12)固定，所述第二滚轮(122)能够绕所述安装螺栓(123)的轴线转动。

5.根据权利要求1-4任一项所述的半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置，其特征在于，还包括翻转机构(2)，所述翻转机构(2)包括翻转件(21)和固定件(22)，所述固定件(22)能够与所述静电吸盘(4)固定，所述翻转件(21)能够作用于所述固定件(22)使其带动所述静电吸盘(4)翻转。

6.根据权利要求5所述的半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置，其特征在于，所述转动件(12)还包括筒体(124)，所述倾斜面(121)设于所述筒体(124)的内壁，所述驱动件(11)能够驱动所述筒体(124)转动，且所述筒体(124)的顶端侧壁沿其轴向还开设有让位槽(125)，所述固定件(22)能够穿过所述让位槽(125)并与所述静电吸盘(4)固定。

7.根据权利要求5所述的半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置，其特征在于，所述固定件(22)包括第一夹紧部(221)和第二夹紧部(222)，所述第一夹紧部(221)能够从上端面抵接所述静电吸盘(4)，所述第二夹紧部(222)能够从下端面抵接所述静电吸盘(4)，两个夹紧部能够分别从两侧夹紧所述静电吸盘(4)。

8.根据权利要求7所述的半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置，其特征在于，所述第一夹紧部(221)和所述第二夹紧部(222)均沿周向作用于所述静电吸盘(4)，且所述第二夹紧部(222)能够与所述静电吸盘(4)脱离。

9.根据权利要求8所述的半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置，其特征在于，所述第二夹紧部(222)包括沿所述静电吸盘(4)的周向间隔布置的多个第二夹爪(2221)，各所述第二夹爪(2221)能够通过转动与所述静电吸盘(4)作用和脱离。

10.根据权利要求9所述的半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置，其特征在于，所述第一夹紧部(221)包括沿所述静电吸盘(4)的周向间隔布置的多个第一夹爪(2211)，各所述第一夹爪(2211)和各所述第二夹爪(2221)间隔错开布置。

11.根据权利要求7所述的半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置，其特征在于，所述第一夹紧部(221)朝向所述第二夹紧部(222)的一侧端面，以及所述第二夹紧部(222)朝向所述第一夹紧部(221)的一侧端面分别设有阳极膜防护层和/或缓冲垫(7)；

和/或，所述翻转件(21)和所述驱动件(11)均能够设于机台(6)，且所述翻转件(21)与所述机台(6)之间以及所述驱动件(11)与所述机台(6)之间分别设有阳极膜防护层和/或缓冲垫(7)。

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