CN115156887B - 拆卸机构 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种拆卸机构，用于拆卸半导体腔室的密封盖，包括腔体，密封盖密封盖合在腔体的开口处，包括升降结构和工装滑台结构，升降结构适于驱动工装滑台结构沿升降结构的延伸方向朝靠近或远离半导体腔室的方向运动；吊臂结构的第一端与工装滑台结构活动连接，吊臂结构的第二端处于自由状态；吸盘结构设置在吊臂结构上并适于沿吊臂结构的长度方向进行往复运动，吸盘结构适于吸合密封盖，通过升降结构驱动工装滑台结构朝远离半导体腔室的方向进行运动，带动吊臂结构朝远离半导体腔室的方向进行运动，从而使得吸盘结构与密封盖之间的吸力大于密封盖与腔体之间的吸力。该拆卸机构具有稳定性好、通用性强以及不占用密闭腔室上方空间的优点。

Description

拆卸机构

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种拆卸机构。

背景技术

目前，随着半导体制造技术的不断创新，石英凭借其独特的透光耐热性已成为半导体设备中工艺腔室的首选材料。为满足负压的工艺条件，石英材质的顶盖多半采用弧形外凸设计增加强度。但是此种设计维护时石英上盖会紧紧吸附在密闭腔上，因缺少有效的受力点，无法采用敲击，翘边等的方式拆卸上盖。

如图1所示，针对弧形石英上盖10，现有技术采用的方式为：通过升降螺钉20的上升完成弧形石英上盖10与密闭腔30分离。该装置主要由吸盘40、横梁50、支撑板60以及升降螺钉20构成。其中，横梁50、支撑板60与升降螺钉20构成具有单侧升降功能的小型龙门架，吸盘40通过螺钉固定在横梁50上，支撑板60放置在密闭腔30的上表面的水平面上，龙门架的升降螺钉20与密闭腔30上表面的螺纹孔配合实现横梁50上的吸盘40的上下移动，拧紧螺钉，按压吸盘40以吸附弧形石英上盖10，拧松螺钉，吸盘40与弧形石英上盖10一同向上移动，完成弧形石英上盖10与密闭腔30的分离。

然而，上述装置需要保证与弧形石英上盖10形成的密闭腔30的上表面有足够的放置空间，且需要在密闭腔的上表面构造与升降螺钉20配合的螺纹孔。升降螺钉20控制吸盘40的上升和下降，弧形石英上盖10与密闭腔30的吸附力太大时，工作人员转动升降螺钉20上的旋钮困难，装置容易产生倾倒。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种拆卸机构。

为实现本发明的目的而提供一种拆卸机构，用于拆卸半导体腔室的密封盖，所述半导体腔室包括腔体，所述密封盖密封盖合在腔体的开口处，包括：升降结构，设置在所述半导体腔室的侧旁；工装滑台结构，设置在所述升降结构上，所述升降结构适于驱动所述工装滑台结构沿所述升降结构的延伸方向朝靠近或远离所述半导体腔室的方向运动；吊臂结构，所述吊臂结构的第一端与所述工装滑台结构活动连接，所述吊臂结构的第二端处于自由状态；吸盘结构，设置在所述吊臂结构上并适于沿所述吊臂结构的长度方向进行往复运动，所述吸盘结构适于吸合所述密封盖，通过所述升降结构驱动所述工装滑台结构朝远离所述半导体腔室的方向进行运动，带动所述吊臂结构朝远离所述半导体腔室的方向进行运动，从而使得所述吸盘结构与所述密封盖之间的吸力大于所述密封盖与所述腔体之间的吸力。

其中，所述升降结构包括升降结构本体、设置在所述升降结构本体内的转动导向部件以及设置在所述转动导向部件上的滑块，所述工装滑台结构设置在所述滑块上。

其中，所述工装滑台包括设置在所述滑块上的滑台外壳以及设置在所述滑台外壳内的滑动杆，所述滑动杆的两端均伸出到所述滑台外壳的外部，在所述滑动杆上设有轴向弹性伸缩部件，其中，所述轴向弹性伸缩部件的第一端与所述滑台外壳的下端相抵接，所述轴向弹性伸缩部件的第二端与设置在所述滑动杆上的限位挡块相抵接；所述吊臂结构的第一端与所述滑台外壳的上下两端活动连接。

其中，在所述滑动杆伸出到所述滑台外壳的下端的端部设有安装部和设置在所述安装部上的把手，其中，下拉所述把手，所述轴向弹性伸缩部件处于被压缩的状态，所述滑动杆的上端缩回所述滑台外壳；松开所述把手，所述滑动杆的上端在所述轴向弹性伸缩部件的弹性力的作用下，再次滑出到所述滑台外壳的上端。

其中，所述吊臂结构包括吊臂本体和设置在所述吊臂本体上的横梁，所述吊臂本体的第一端与所述滑台外壳活动连接。

其中，在所述安装部上构造有腰型孔，在所述吊臂本体的第一端构造有开口朝向外侧的凹口，在所述凹口的上端构造有轴向通孔，在所述凹口的下端构造有径向通孔，其中，所述轴向通孔适于与所述滑动杆的上端相适配，所述径向通孔适于与所述腰型孔通过销轴相连接。

其中，所述横梁包括与所述吊臂本体相连接的横梁本体，在所述横梁本体内沿其延伸方向构造有凹腔，在所述凹腔内设有滑轨，在所述滑轨上设有滑动块，所述滑动块适于沿所述滑轨的延伸方向进行往复滑动；在所述凹腔的延伸方向的侧壁上呈间隔式构造有多个定位孔。

其中，所述拆卸机构还包括设置在所述滑动块的内部的配合结构，所述配合结构与所述滑动块的延伸方向相垂直；所述拆卸机构还包括定位结构，所述定位结构设置在所述配合结构内并适于与对应的所述定位孔相适配。

其中，所述配合结构包括设置在所述滑动块的内部的阶梯孔，所述阶梯孔与所述滑轨在同一平面内相垂直，所述阶梯孔包括依次连通的第一通孔、第二通孔以及第三通孔，其中，所述第一通孔和所述第三通孔的孔径均大有所述第二通孔的孔径，在所述滑动块的侧端面且对应所述阶梯孔的部位构造有挡块，在所述挡块上构造有缺口。

其中，所述定位结构包括活动式设置在所述阶梯孔内的L形拉杆、设置在所述L形拉杆上的弹性部件以及设置在所述L形拉杆上且适于抵接所述弹性部件的挡环，其中，所述弹性部件设置在所述第三通孔内且处于被压缩的状态；所述L形拉杆的水平部与所述缺口相适配时，所述L形拉杆的竖直部在所述弹性部件的弹性力的作用下，朝外侧伸出并与相应的定位孔适配；朝外侧拉出所述L形拉杆的水平部，并使得所述水平部与所述缺口相错开后，所述L形拉杆的竖直部与相应的所述定位孔相分离，在所述弹性部件的弹性力的作用下，回缩至所述阶梯孔内。

其中，所述拆卸机构还包括连接结构，所述连接结构适于将所述横梁和所述吸盘结构连接为一体，其中，所述连接结构与所述滑动块相连接，通过所述滑动块沿所述滑轨的延伸方向进行往复运动，带动所述连接结构沿所述滑轨的延伸方向进行往复运动。

其中，所述连接结构包括固定部件和纵向调节组件，其中，所述固定部件适于与所述滑动块相连接；所述纵向调节组件适于调节所述吸盘结构在纵向上的距离。

其中，所述固定部件包括倒置几形固定支架，所述倒置几形固定支架与所述滑动块相连接；在所述倒置几形固定支架的凹腔内设有纵向调节组件，所述纵向调节组件的下端与所述吸盘结构相连接，适于带动所述吸盘结构朝靠近所述密封盖的方向进行运动。

其中，所述纵向调节组件包括设置在所述倒置几形固定支架的凹腔内的挡板；所述挡板的四个角通过导向件与所述倒置几形固定支架的凹腔底壁相连接；所述挡板适于沿所述导向件的延伸方向进行往复运动；在所述凹腔的底壁上构造有第一贯通孔；在所述挡板上构造有第二贯通孔；所述连接结构还包括适于穿过所述第一贯通孔和所述第二贯通孔的转动组件，所述转动组件的下端与所述吸盘结构相连接；所述纵向调节组件还包括设置在所述转动组件上的弹簧，所述弹簧设置在所述挡板和所述凹腔的底壁之间。

其中，所述转动组件包括吸盘固定座、活动式设置在所述吸盘固定座上的球头支撑杆、设置在所述球头支撑杆上的球头挡块，其中，所述球头挡块与所述吸盘固定座焊接为一体，所述吸盘固定座与所述吸盘结构固定连接。

本发明具有以下有益效果：

本申请通过增设升降结构，并将工装滑台结构设置在该升降结构上，该升降结构适于驱动该工装滑台结构沿该升降结构的延伸方向朝靠近或远离该半导体腔室的方向运动。此外，本申请还增设了吊臂结构，该吊臂结构的第一端与该工装滑台结构活动连接，该吊臂结构的第二端处于自由状态。这样，在升降结构驱动该工装滑台结构沿该升降结构的延伸方向朝靠近或远离该半导体腔室的方向运动时，也会同步带动该吊臂结构在纵向上朝靠近或远离该半导体腔室的方向进行运动。吸盘结构设置在该吊臂结构上并适于沿该吊臂结构的长度方向进行往复运动，该吸盘结构适于吸合该密封盖，当需要将密封盖从半导体腔室的腔体上拆卸下来时，则需要通过该升降结构驱动该工装滑台结构朝远离该半导体腔室的腔体的方向进行运动，带动该吊臂结构朝远离该半导体腔室的腔体的方向进行运动，从而使得该吸盘结构与该密封盖之间的吸力大于该密封盖与该半腔体腔室的腔体之间的吸力。这样，就实现了将密封盖从半导体腔室的腔体中顺利地拆卸下来。可见，本申请的拆卸机构无需在半导体腔室的上表面设置升降结构，对于半导体腔室的上端面的空间不做限定，同时，本申请的升降结构比较稳定，不会因受力过大，导致工装倾覆的情况。这样，本申请的拆卸机构的应用场景会更加的多样，该吸盘结构设置在吊臂结构上，可以拆卸各类安装在半导体腔室的腔体的表面上的密封盖。本申请的拆卸机构的通用性更加广泛，设置在吊臂结构上的吸盘结构可以沿着吊臂结构的延伸方向进行往复运动，以调节吸盘结构与密封盖之间的位置，同时，由于吊臂结构的第一端与工装滑台结构活动连接，从而可以调节吸盘结构相对密封盖的前后位置，以便可以较好地吸附在密封盖上，达到拆卸密封盖的目的。

附图说明

图1为现有技术中的石英上盖拆卸工装的整体结构示意图；

图2为本申请的实施例的拆卸机构的整体结构示意图；

图3为图2中的升降结构与工装滑台的连接结构示意图；

图4为图2中的工装滑台的整体结构示意图；

图5为图2中的吊臂结构、工装滑台结构、横梁、连接结构以及吸盘结构的连接结构示意图；

图6为图2中的横梁的整体结构示意图；

图7为图2中的滑动块与连接结构的整体结构示意图；

图8为图6中的定位结构与滑动块相适配的整体结构示意图；

图9为图2中的滑动块的整体结构示意图；

图10为图2中的连接结构与吸盘相连接的整体结构示意图；

图11为图10中的转动组件的整体结构示意图；

图12为本申请的实施例的拆卸机构中的升降结构与工装滑台的连接结构的侧视结构示意图。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的温度控制装置及应用其的反应腔室进行详细描述。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

如图2至图12所示，本申请提供一种拆卸机构，该拆卸机构用于拆卸半导体腔室的密封盖1，该半导体腔室包括腔体2，该密封盖1密封盖合在半导体腔室的腔体2的开口处。

需要说明的是，本申请的密封盖1可为扁平式，也可为朝远离半导体腔室的方向进行凸出的弧形密封盖。其中，该密封盖1的材质可为石英。

如图2至图12所示，图中示意性地显示了该拆卸机构包括升降结构3、工装滑台结构4、吊臂结构5、定位结构6、连接结构7以及吸盘结构8。

在本申请的实施例中，该升降结构3设置在半导体腔室的侧旁，该工装滑台结构4设置在该升降结构3上，该升降结构3适于驱动该工装滑台结构4沿该升降结构3的延伸方向朝靠近或远离该半导体腔室的方向运动。

该吊臂结构5的第一端与该工装滑台结构4活动连接，该吊臂结构5的第二端处于自由状态。

该吸盘结构8设置在该吊臂结构5上并适于沿该吊臂结构5的长度方向进行往复运动，该吸盘结构8适于吸合该密封盖1，通过该升降结构3驱动该工装滑台结构4朝远离该半导体腔室的方向进行运动，带动该吊臂结构5朝远离该半导体腔室的方向进行运动，从而使得该吸盘结构8与该密封盖1之间的吸力大于该密封盖1与该腔体2之间的吸力。具体地，本申请通过增设升降结构3，并将工装滑台结构4设置在该升降结构3上，该升降结构3适于驱动该工装滑台结构4沿该升降结构3的延伸方向朝靠近或远离该半导体腔室的方向运动。此外，本申请还增设了吊臂结构5，该吊臂结构5的第一端与该工装滑台结构4活动连接，该吊臂结构5的第二端处于自由状态。这样，在升降结构3驱动该工装滑台结构4沿该升降结构3的延伸方向朝靠近或远离该半导体腔室的方向运动时，也会同步带动该吊臂结构5在纵向上朝靠近或远离该半导体腔室的方向进行运动。吸盘结构8设置在该吊臂结构5上并适于沿该吊臂结构5的长度方向进行往复运动，该吸盘结构8适于吸合该密封盖1，当需要将密封盖1从半导体腔室的腔体2上拆卸下来时，则需要通过该升降结构3驱动该工装滑台结构4朝远离该半导体腔室的腔体2的方向进行运动，带动该吊臂结构5朝远离该半导体腔室的腔体2的方向进行运动，从而使得该吸盘结构8与该密封盖1之间的吸力大于该密封盖1与该半导体腔室的腔体2之间的吸力。这样，就实现了将密封盖1从半导体腔室的腔体2上顺利地拆卸下来。可见，本申请的拆卸机构无需在半导体腔室的上表面设置升降结构，对于半导体腔室的上端面的空间不做限定，同时，本申请的升降结构3比较稳定，不会因受力过大，导致工装倾覆的情况。这样，本申请的拆卸机构的应用场景会更加的多样，该吸盘结构8设置在吊臂结构5上，可以拆卸各类安装在半导体腔室的腔体2的表面上的密封盖1。本申请的拆卸机构的通用性更加广泛，设置在吊臂结构5上的吸盘结构8可以沿着吊臂结构5的延伸方向进行往复运动，以调节吸盘结构8与密封盖1之间的位置，同时，由于吊臂结构5的第一端与工装滑台结构4活动连接，从而可以调节吸盘结构8相对密封盖1的前后位置，以便可以较好地吸附在密封盖1上，达到拆卸密封盖1的目的。

如图2、图3和图12所示，在本申请的一个可选的实施例中，该升降结构3包括升降结构本体31、设置在该升降结构本体31内的转动导向部件32以及设置在该转动导向部件32上的滑块33，该工装滑台结构4设置在该滑块33上。具体地，转动导向部件32为丝杠结构，其两端设置在升降结构本体31上，并可以在外力作用下进行周向转动，具体地，通过驱动该转动导向部件32进行周向转动，从而可以带动该滑块33沿该导向部件32的轴向(即，为图1所示的竖向)进行往复运动，该工装滑台结构4通过螺钉、铆钉或其它方式固定安装在该滑块33上，通过该滑块33的运动，带动该工装滑台结构4随之进行同步运动，通过该工装滑台结构4的上下运动，从而带动吊臂结构5随之进行同步的上下运动，通过吊臂结构5的上下运动，带动该吸盘结构8朝靠近或远离该密封盖1的方向进行运动，以便吸盘结构8能够顺利地吸住密封盖1，实现密封盖1与半导体腔室的腔体2的分离。

需要说明的是，本申请的升降结构3除了采用升降结构本体31、转动导向部件32以及滑块相适配的方式实现升降以外，还可采用电机或液压驱动的方式实现升降。

如图2和图4所示，在本申请的一个可选的实施例中，该工装滑台4包括滑台外壳41以及设置在该滑台外壳41内的滑动杆42，该滑动杆42的两端均伸出到该滑台外壳41的外部，在该滑动杆42上设有轴向弹性伸缩部件43，其中，该轴向弹性伸缩部件43的第一端与该滑台外壳41的下端相抵接，该轴向弹性伸缩部件43的第二端与设置在该滑动杆42上的限位挡块44相抵接，该吊臂结构5的第一端与滑台外壳41的上下两端活动连接。具体地，该滑动杆42的从滑台外壳1的底端插入，在滑动杆42上依次安装弹性伸缩部件43和限位挡块44，其中，限位挡块44与滑动杆42连接为一体，弹性伸缩部件43套设在滑动杆42上并位于限位挡块44和滑台外壳41的底端之间，最后，该滑动杆42的上端穿过滑台外壳41的顶端，滑动杆42在弹性伸缩部件43的弹性作用下，可以上下运动。

在本申请的一个实施例中，在该滑台外壳41的上下两端分别设有轴承47，该轴承47适于供滑动杆42的上下两端穿过并能实现周向上的自由转动。

如图4和图5所示，在本申请的一个可选的实施例中，在该滑动杆42伸出到该滑台外壳41的下端的端部设有安装部45和设置在该安装部45上的把手46，其中，下拉该把手46，该轴向弹性伸缩部件43处于被压缩的状态，该滑动杆42的上端缩回该滑台外壳41。松开该把手46，该滑动杆42的上端在该轴向弹性伸缩部件43的弹性力的作用下，再次滑出到该滑台外壳41的上端。具体地，下拉该滑动杆42上的把手46，该滑动杆42上的限位挡块44会压缩弹性伸缩部件43，同时，该弹性伸缩部件43被压缩时，会向下拉动该滑动杆42，使得该滑动杆42的上端回缩至滑动外壳41的内部。

反之，松开该滑动杆42上的把手46，该滑动杆42在弹性伸缩部件43的弹性恢复力的作用下，会促使滑动杆42的上端再次滑出滑台外壳41，适于与如下所述的吊臂结构5的轴向通孔53相适配。

在本申请的一个实施例中，该轴向弹性伸缩部件43可为弹簧或其他具有弹簧功能的部件。

如图5所示，在本申请的一个可选的实施例中，该吊臂结构5包括吊臂本体51和设置在该吊臂本体51上的横梁52，该吊臂本体51的第一端与该滑台外壳41活动连接。具体地，在该横梁52的上端面的两端分别构造有吊耳，该吊耳通过紧固件(螺钉、螺栓或铆钉等)固定在该吊臂本体51上，通过使得该吊臂本体51的第一端与该滑台外壳41活动连接，从而可以使得该吊臂本体51带动该横梁52绕该工装滑台结构4的滑动杆42的周向进行自由摆动，以使得吸盘结构8适应设置在不同位置的半导体腔室上的密封盖1，不受密封盖1设置位置的限制。

如图5所示，在本申请的一个可选的实施例中，在该安装部45上构造有腰型孔451，在该吊臂本体51的第一端构造有开口朝向外侧的凹口，在该凹口的上端构造有轴向通孔53，在该凹口的下端构造有径向通孔54，其中，该轴向通孔53适于与该滑动杆42的上端相适配，该径向通孔54适于与该腰型孔451通过销轴相连接。这样，便实现了该吊臂本体51与该工装滑台结构4上的滑动杆42的活动连接，即，该吊臂本体51可以绕该滑动杆42的周向进行灵活的摆动，以适应设置在不同位置的半导体腔室上的密封盖1，不受密封盖1设置位置的限制。

需要说明的是，在该安装部45上构造的腰型孔451，该腰型孔451适于与吊臂结构5中的径向通孔54相适配，这样，通过滑动杆42的上端与如下所述的吊臂结构5的轴向通孔53相适配，该腰型孔451适于与吊臂结构5中的径向通孔54相适配，从而可以实现吊臂结构5与工装滑台结构4的活动连接。

此外，上述腰型孔451的设置，可以起到适于与设置在吊臂本体51的第一端上的通孔相适配的作用。

如图2和图6所示，在本申请的一个可选的实施例中，该横梁52包括与该吊臂本体51相连接的横梁本体521，在该横梁本体521内沿其延伸方向构造有凹腔，在该凹腔内设有滑轨522、在该滑轨522上设有滑动块523，该滑动块523适于沿该滑轨522的延伸方向进行往复滑动。其中，该滑动块523与如下所述的连接结构7相连接，在该凹腔的延伸方向的侧壁上呈间隔式构造有多个定位孔525。具体地，通过在该横梁本体521内沿其延伸方向构造有凹腔，在该凹腔内设有滑轨522，该滑轨522的设置方位与凹腔的延伸方向相同，滑动块523能够沿滑轨522的延伸方向进行往复运动，从而带动连接结构7也随之进行同步运动，通过连接结构7的往复运动，可以带动该吸盘结构8随之进行往复运动，从而实现对吸盘结构8的位置调节，以适应密封盖1的所在位置。

在本申请的一个可选的实施例中，该拆卸机构还包括设置在该滑动块523的内部的配合结构，该配合结构与该滑动块523的延伸方向相垂直。

该拆卸机构还包括定位结构，该定位结构设置在该配合结构内并适于与对应的该定位孔525相适配。具体地，通过在该滑动块523的内部构造有配合结构，在该配合结构内还设有定位结构，通过使得该定位结构与对应的定位孔525相适配，从而可以实现对滑动块523在滑轨522上的位置固定。反之，当定位结构与对应的定位孔525向分离后，该滑动块523将将被解除在滑轨522上的位置限定，即，可以调节滑动块523在滑轨522上的位置，实现该滑动块523在滑轨522上的位置调节。

如图6和图7所示，在本申请的一个可选的实施例中，该配合结构包括设置在该滑动块523的内部的阶梯孔523a，该阶梯孔523a与该滑轨522在同一平面内相垂直，该阶梯孔523a包括依次连通的第一通孔、第二通孔以及第三通孔，其中，该第一通孔和该第三通孔的孔径均大于该第二通孔的孔径，在该滑动块523的侧端面且对应该阶梯孔523a的部位构造有挡块524，在该挡块524上构造有缺口。具体地，该挡块524的设置，适于与如下所述的定位结构6进行限位，即，当定位结构6刚好对准缺口部位时，该定位结构6的伸出端将插入到对应的定位孔525内，从而实现对滑动块523在滑轨522上的定位；反之，当该定位结构6与缺口相错开时，则定位结构6的伸出端将被缩回，以与对应的定位孔525相分离，此时，滑动块523的定位将被解除。

如图7和图8所示，在本申请的一个可选的实施例中，该定位结构6包括活动式设置在该阶梯孔523a内的L形拉杆61、设置在该L形拉杆61上的弹性部件62以及设置在该L形拉杆61上且适于抵接该弹性部件62的挡环63，其中，该弹性部件62设置在该第三通孔内且处于被压缩的状态。

该L形拉杆61的水平部611与该缺口相适配时，该L形拉杆61的竖直部612在该弹性部件62的弹性力的作用下，朝外侧伸出并与相应的定位孔525适配。

朝外侧拉出该L形拉杆61的水平部611，并使得该水平部611与该缺口相错开后，该L形拉杆61的竖直部612与相应的该定位孔525相分离，在该弹性部件62的弹性力的作用下，回缩至该阶梯孔523a内。具体地，该挡环63安装在滑动块523的阶梯孔523a上，与定位孔525的设置位置相反，该阶梯孔523a的内部依次安装L形拉杆61、设置在该L形拉杆61上的弹性部件62以及设置在该L形拉杆61上且适于抵接该弹性部件62的挡环63，其中，该弹性部件62设置在阶梯孔523a的第三通孔内，当该L形拉杆61中的水平部611转动位置与挡块524开的缺口位置不一致时，该L形拉杆61被挡块524阻挡，无法全部插入到滑动块523内，另一端不伸出定位滑块。此时，该定位结构6处于解锁状态，该滑动块523可以在滑轨522上自由滑动。

当该L形拉杆61中的水平部611的转动位置与挡块524的开口位置相同时，该L形拉杆61中的竖直部612完全插入到滑动块523中，另一端从滑动块523中伸出并插入到定位孔525中，此时，该定位结构6处于锁定状态，滑动块523在滑轨522上位置固定不变。

需要说明的是，定位孔525的高度与滑动块523中的阶梯孔523a的高度相同，数量为15～20个，相邻的定位孔525之间的间隔为15～20mm。

根据密封盖1的型号尺寸，在吸盘结构8到达合适的位置后，定位结构6被锁定，该滑动块523在滑轨522上固定，该吸盘结构8的横向位置保持不变。

在本申请的一个可选的实施例中，该弹性部件62可为弹簧。

如图2和图10所示，在本申请的一个可选的实施例中，该拆卸机构还包括连接结构7，该连接结构7适于将该横梁52和该吸盘结构8通过连接结构7连接为一体，其中，该连接结构7与该滑动块523相连接，通过该滑动块523沿该滑轨522的延伸方向进行往复运动，带动该连接结构7沿该滑轨522的延伸方向进行往复运动。具体地，通过使得该连接结构7沿该滑轨522的延伸方向进行往复运动，从而带动该吸盘结构8沿该滑轨522的延伸方向进行往复运动，从而实现该吸盘结构8沿该滑轨522的延伸方向的位置调节，以使该吸盘结构8能够与设置在不同位置的密封盖1相吸合，实现对密封盖1的顺利拆卸。

在本申请的一个可选的实施例中，该连接结构7包括固定部件和纵向调节组件72，其中，该固定部件适于与该滑动块523相连接。

该纵向调节组件72适于调节该吸盘结构8在纵向上的距离。具体地，本申请的连接结构7中的固定部件的上端适于与滑动块523相连接，该纵向调节组件72与吸盘结构8相连接，该纵向调节组件72具有纵向调节功能，适于调节吸盘结构8的纵向位置，即，当吊臂结构5携带该吸盘结构8朝密封盖1的方向运动至一定距离后，该距离可为5毫米到10毫米，通过该纵向调节组件72在纵向上的微调，即可实现对该吸盘结构8到密封盖1之间的纵向距离的调节。

如图10所示，在本申请的一个可选的实施例中，该固定部件包括倒置几形固定支架71，该倒置几形固定支架71与该滑动块523相连接。

在该倒置几形固定支架71的凹腔内设有纵向调节组件72，该纵向调节组件72的下端与该吸盘结构8相连接，适于带动该吸盘结构8朝靠近该密封盖1的方向进行运动。具体地，该倒置几形固定支架71的两端与滑动块523通过紧固件(螺钉、铆钉或螺栓)连接为一体，以方便对倒置几形固定支架71进行安装和拆卸。此外，通过在该倒置几形固定支架71的凹腔内设有纵向调节组件72，该纵向调节组件72的下端与该吸盘结构8相连接，当吸附密封盖1时，吸盘结构8同吊臂结构5、定位结构6以及连接结构7一起向下进行运动，当吸盘结构8与密封盖1之间的距离为5～10mm时，吊臂结构5停止向下运动，用手掌向下按压纵向调节组件72中的挡板721或向下按压吸盘结构8，纵向调节组件72同吸盘结构8一同下降，可实现与密封盖1的完全贴合，以方便工作人员的操作。

如图10所示，在本申请的一个可选的实施例中，该纵向调节组件72包括设置在该倒置几形固定支架71的凹腔711内的挡板721。

该挡板721的四个角通过导向件722与该倒置几形固定支架71的凹腔711底壁相连接。

该挡板721适于沿该导向件722的延伸方向进行往复运动。

在该凹腔711的底壁上构造有第一贯通孔(图中未示出)。

在该挡板721上构造有第二贯通孔(图中未示出)。

该连接结构7还包括适于穿过该第一贯通孔和该第二贯通孔的转动组件73，该转动组件73的下端与该吸盘结构8相连接。

该纵向调节组件72还包括设置在该转动组件73上的弹簧723，该弹簧723设置在挡板721和凹腔711的底壁之间。具体地，当吸盘结构8需要吸合密封盖1时，通过使得滑块沿转动导向部件32的轴向向下进行运动，从而带动该吊臂结构5一起随之沿转动导向部件32的轴向向下进行运动，通过该吊臂结构5的运动，带动该吸盘结构8也随之进行同步运动，当吸盘结构8运动到距离密封盖15～10mm时，吊臂结构5停止向下运动，向下按压该纵向调节组件72或向下按压吸盘结构8，挡板721向下压缩弹簧723，与此同时，促使转动组件73向下运动，从而带动吸盘结构8朝靠近密封盖1的方向进行运动，从而实现吸盘结构8与密封盖1的吸合，达到了吸盘结构8与密封盖1在纵向位置上的微调。

需要说明的是，该第一贯通孔与第二贯通孔上下相对设置。

在本申请的一个可选的实施例中，该导向件722可为导杆。

如图11所示，在本申请的一个可选的实施例中，该转动组件73包括吸盘固定座731、活动式设置在该吸盘固定座731上的球头支撑杆732、设置在该球头支撑杆732上的球头挡块733，其中，该球头挡块733与该吸盘固定座731焊接为一体，该吸盘固定座731与该吸盘结构8固定连接。具体地，通过使得球头挡块733与吸盘固定座731焊接为一体，这样，就对设置在吸盘固定座731内的球头支撑杆732上的球头进行了限位，避免其在纵向上发生窜动，同时，该球头支撑杆732中的球头可以在吸盘固定座731内进行自由的周向转动。

需要说明的是，该弹簧723设置在球头支撑杆732上并位于挡板721和凹腔711的底壁之间。需要说明的是，该球头支撑杆732向下运动，会带动该吸盘结构8朝靠近密封盖1的方向进行运动。

需要说明的是，若该密封盖1为弧形，则该吸盘结构8朝向密封盖1的表面也为弧形且与密封盖1的轮廓形状相适配。

若该密封盖1为扁平状，则该吸盘结构8可为扁平状或弧形。

该吸盘结构8由柔性材质制造而成，例如为橡胶等。

在本申请的一个可选的实施例中，该拆卸机构还包括固定支撑座9，本申请的升降结构3以及工装滑台结构4均安装在该固定支撑座9上，该固定支撑座9的设置，大大地提高了该拆卸机构整体的稳定性，可以较好地避免其发生倾覆的情况。

需要说明的是，该摇杆70与升降结构3中的转动导向部件32相连接。

如图2、图3和图12所示，当吸盘结构8与密封盖1之间的吸力大于该密封盖1与半导体腔室中的腔体2之间的吸力时，安装在横梁吊臂结构5的横梁52上的吸盘结构8通过摇杆70摇动升降结构3中的转动导向部件32，带动滑块33沿该转动导向部件32的轴向向上进行运动，从而带动吊臂结构5携带吸盘结构8朝靠近密封盖1的方向进行运动，当吸盘结构8运动到与密封盖1相距5～10mm时，转动导向部件32停止转动，双手向下按压该纵向调节组件72或向下按压吸盘结构8，挡板721向下压缩弹簧723，与此同时，促使转动组件73向下运动，从而带动吸盘结构8朝靠近密封盖1的方向进行运动，从而实现吸盘结构8与密封盖1的吸合，达到了吸盘结构8与密封盖1在纵向位置上的微调，通过摇杆70反向摇动升降结构3中的转动导向部件32，吸盘结构8缓慢上升，在此过程中，该吸盘结构8与密封盖1之间的吸附力逐渐增大，当吸盘结构8上升一定高度后，停止摇动该转动导向部件32，密封盖1在恒定吸附力的作用下缓缓上升，直至脱离半导体腔室中的腔体2，实现对密封盖1的拆卸。

综上所述，本申请通过增设升降结构3，并将工装滑台结构4设置在该升降结构3上，该升降结构3适于驱动该工装滑台结构4沿该升降结构3的延伸方向朝靠近或远离该半导体腔室的方向运动。此外，本申请还增设了吊臂结构5，该吊臂结构5的第一端与该工装滑台结构4活动连接，该吊臂结构5的第二端处于自由状态。这样，在升降结构3驱动该工装滑台结构4沿该升降结构3的延伸方向朝靠近或远离该半导体腔室的方向运动时，也会同步带动该吊臂结构5在纵向上朝靠近或远离该半导体腔室的方向进行运动。吸盘结构8设置在该吊臂结构5上并适于沿该吊臂结构5的长度方向进行往复运动，该吸盘结构8适于吸合该密封盖1，当需要将密封盖1从半导体腔室的腔体2上拆卸下来时，则需要通过该升降结构3驱动该工装滑台结构4朝远离该半导体腔室的腔体2的方向进行运动，带动该吊臂结构5朝远离该半导体腔室的腔体2的方向进行运动，从而使得该吸盘结构8与该密封盖1之间的吸力大于该密封盖1与该半导体腔室的腔体2之间的吸力。这样，就实现了将密封盖1从半导体腔室的腔体2中顺利地拆卸下来。可见，本申请的拆卸机构无需在半导体腔室的上表面设置升降结构，对于半导体腔室的上端面的空间不做限定，同时，本申请的升降结构3比较稳定，不会因受力过大，导致工装倾覆的情况。这样，本申请的拆卸机构的应用场景会更加的多样，该吸盘结构8设置在吊臂结构5上，可以拆卸各类安装在半导体腔室的腔体2的表面上的密封盖1。本申请的拆卸机构的通用性更加广泛，设置在吊臂结构5上的吸盘结构8可以沿着吊臂结构5的延伸方向进行往复运动，以调节吸盘结构8与密封盖1之间的位置，同时，由于吊臂结构5的第一端与工装滑台结构4活动连接，从而可以调节吸盘结构8相对密封盖1的前后位置，以便可以较好地吸附在密封盖1上，达到拆卸密封盖1的目的。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (13)

1.一种拆卸机构，用于拆卸半导体腔室的密封盖，所述半导体腔室包括腔体，所述密封盖密封盖合在腔体的开口处，其特征在于，包括：

升降结构，设置在所述半导体腔室的侧旁；

工装滑台结构，设置在所述升降结构上，所述升降结构适于驱动所述工装滑台结构沿所述升降结构的延伸方向朝靠近或远离所述半导体腔室的方向运动；

吊臂结构，所述吊臂结构的第一端与所述工装滑台结构活动连接，所述吊臂结构的第二端处于自由状态；

吸盘结构，设置在所述吊臂结构上并适于沿所述吊臂结构的长度方向进行往复运动，所述吸盘结构适于吸合所述密封盖，通过所述升降结构驱动所述工装滑台结构朝远离所述半导体腔室的方向进行运动，带动所述吊臂结构朝远离所述半导体腔室的方向进行运动，从而使得所述吸盘结构与所述密封盖之间的吸力大于所述密封盖与所述腔体之间的吸力；

所述升降结构包括升降结构本体、设置在所述升降结构本体内的转动导向部件以及设置在所述转动导向部件上的滑块，所述工装滑台结构设置在所述滑块上；所述工装滑台结构包括设置在所述滑块上的滑台外壳以及设置在所述滑台外壳内的滑动杆，所述滑动杆的两端均伸出到所述滑台外壳的外部，在所述滑动杆上设有轴向弹性伸缩部件，其中，所述轴向弹性伸缩部件的第一端与所述滑台外壳的下端相抵接，所述轴向弹性伸缩部件的第二端与设置在所述滑动杆上的限位挡块相抵接；所述轴向弹性伸缩部件被设置为在所述滑动杆的上端缩回所述滑台外壳的情况下，向所述滑动杆施加弹性力，以使所述滑动杆的上端能够在所述滑动杆不受力的情况下再次滑出到所述滑台外壳的上端；

所述吊臂结构的第一端与所述滑台外壳的上下两端活动连接。

2.根据权利要求1所述的拆卸机构，其特征在于，在所述滑动杆伸出到所述滑台外壳的下端的端部设有安装部和设置在所述安装部上的把手，其中，下拉所述把手，所述轴向弹性伸缩部件处于被压缩的状态，所述滑动杆的上端缩回所述滑台外壳；松开所述把手，所述滑动杆的上端在所述轴向弹性伸缩部件的弹性力的作用下，再次滑出到所述滑台外壳的上端。

3.根据权利要求2所述的拆卸机构，其特征在于，所述吊臂结构包括吊臂本体和设置在所述吊臂本体上的横梁，所述吊臂本体的第一端与所述滑台外壳活动连接。

4.根据权利要求3所述的拆卸机构，其特征在于，在所述安装部上构造有腰型孔，在所述吊臂本体的第一端构造有开口朝向外侧的凹口，在所述凹口的上端构造有轴向通孔，在所述凹口的下端构造有径向通孔，其中，所述轴向通孔适于与所述滑动杆的上端相适配，所述径向通孔适于与所述腰型孔通过销轴相连接。

5.根据权利要求3所述的拆卸机构，其特征在于，所述横梁包括与所述吊臂本体相连接的横梁本体，在所述横梁本体内沿其延伸方向构造有凹腔，在所述凹腔内设有滑轨，在所述滑轨上设有滑动块，所述滑动块适于沿所述滑轨的延伸方向进行往复滑动；

在所述凹腔的延伸方向的侧壁上呈间隔式构造有多个定位孔。

6.根据权利要求5所述的拆卸机构，其特征在于，所述拆卸机构还包括设置在所述滑动块的内部的配合结构，所述配合结构与所述滑动块的延伸方向相垂直；

所述拆卸机构还包括定位结构，所述定位结构设置在所述配合结构内并适于与对应的所述定位孔相适配。

7.根据权利要求6所述的拆卸机构，其特征在于，所述配合结构包括设置在所述滑动块的内部的阶梯孔，所述阶梯孔与所述滑轨在同一平面内相垂直，所述阶梯孔包括依次连通的第一通孔、第二通孔以及第三通孔，其中，所述第一通孔和所述第三通孔的孔径均大于所述第二通孔的孔径，在所述滑动块的侧端面且对应所述阶梯孔的部位构造有挡块，在所述挡块上构造有缺口。

8.根据权利要求7所述的拆卸机构，其特征在于，所述定位结构包括活动式设置在所述阶梯孔内的L形拉杆、设置在所述L形拉杆上的弹性部件以及设置在所述L形拉杆上且适于抵接所述弹性部件的挡环，其中，所述弹性部件设置在所述第三通孔内且处于被压缩的状态；

所述L形拉杆的水平部与所述缺口相适配时，所述L形拉杆的竖直部在所述弹性部件的弹性力的作用下，朝外侧伸出并与相应的定位孔适配；

朝外侧拉出所述L形拉杆的水平部，并使得所述水平部与所述缺口相错开后，所述L形拉杆的竖直部与相应的所述定位孔相分离，在所述弹性部件的弹性力的作用下，回缩至所述阶梯孔内。

9.根据权利要求5所述的拆卸机构，其特征在于，所述拆卸机构还包括连接结构，所述连接结构适于将所述横梁和所述吸盘结构连接为一体，其中，所述连接结构与所述滑动块相连接，通过所述滑动块沿所述滑轨的延伸方向进行往复运动，带动所述连接结构沿所述滑轨的延伸方向进行往复运动。

10.根据权利要求9所述的拆卸机构，其特征在于，所述连接结构包括固定部件和纵向调节组件，其中，所述固定部件适于与所述滑动块相连接；

所述纵向调节组件适于调节所述吸盘结构在纵向上的距离。

11.根据权利要求10所述的拆卸机构，其特征在于，所述固定部件包括倒置几形固定支架，所述倒置几形固定支架与所述滑动块相连接；

在所述倒置几形固定支架的凹腔内设有纵向调节组件，所述纵向调节组件的下端与所述吸盘结构相连接，适于带动所述吸盘结构朝靠近所述密封盖的方向进行运动。

12.根据权利要求11所述的拆卸机构，其特征在于，所述纵向调节组件包括设置在所述倒置几形固定支架的凹腔内的挡板；

所述挡板的四个角通过导向件与所述倒置几形固定支架的凹腔底壁相连接；

所述挡板适于沿所述导向件的延伸方向进行往复运动；

在所述凹腔的底壁上构造有第一贯通孔；

在所述挡板上构造有第二贯通孔；

所述连接结构还包括适于穿过所述第一贯通孔和所述第二贯通孔的转动组件，所述转动组件的下端与所述吸盘结构相连接；

所述纵向调节组件还包括设置在所述转动组件上的弹簧，所述弹簧设置在所述挡板和所述凹腔的底壁之间。

13.根据权利要求12所述的拆卸机构，其特征在于，所述转动组件包括吸盘固定座、活动式设置在所述吸盘固定座上的球头支撑杆、设置在所述球头支撑杆上的球头挡块，其中，所述球头挡块与所述吸盘固定座焊接为一体，所述吸盘固定座与所述吸盘结构固定连接。